【課題】光源から出射され測定対象物に照射される光の光軸に対して平行に近い測定対象物の表面の３次元形状を精度良く測定することを可能にする。
【解決手段】３次元形状測定装置は、反射ミラー３１，３２によって、３次元形状撮像装置１０から出射されたレーザ光を反射して、同３次元形状撮像装置１０から直接ワークＷＫ１，ＷＫ２に照射されるレーザ光とは異なる方向からワークＷＫ１，ＷＫ２に導くとともに、同異なる方向から導かれたレーザ光による測定対象物からの反射光を３次元形状撮像装置１０に導く。そして、３次元形状測定装置は、ワークＷＫ１，ＷＫ２から反射ミラー３１，３２を介して３次元形状撮像装置１０に導かれる反射光に基づくワークＷＫ１，ＷＫ２の３次元形状を、ワークＷＫ１，ＷＫ２から直接３次元形状撮像装置１０に導かれる反射光に基づくワークＷＫ１，ＷＫ２の３次元形状に合成する。 （もっと読む）

【課題】異なるマスクレイヤに属するショット間の重ね合わせ精度を高速に計測することができ、高精度なショット重ね合わせを実現できるフォトマスク、重ね合わせ精度計測方法及び半導体装置の製造方法を提供する
【解決手段】矩形のショット１の四隅に、ショットを構成する隣接する２辺と平行な方向沿って伸びるラインパターンを備えた測定マーク領域１３、１４、１５、１６を配置する。また、当該ショット１が転写された下地層の上層には、ショットを構成する隣接する２辺と平行な方向沿って伸びるラインパターンを備えた測定マーク領域をショット１と同一の位置に具備するショットが転写される。各測定マーク領域のラインパターンは、各マーク領域が完全に重なる状態で基板上に転写されたときに、各ラインパターンが互いに重なることのない状態に配置されている。 （もっと読む）

【課題】球面収差の影響を取り除き、また界面の溝構造の影響も受けない条件で測定を行うことで、複数の界面を持ち、少なくとも１つの界面が周期性を持った同心円状の溝構造を有する被測定物の界面の位置を高精度に測定することができる界面の位置測定方法を提供する。
【解決手段】光源から出射した直線偏光の光を、対物レンズを介して被測定物に集光し、光軸方向に対物レンズと被測定物との相対距離を変化させて、その時々の被測定物からの反射光を検出器で受光し、検出した受光ピークに基づいて、複数の界面を持つ透明な被測定物の界面の位置を求めるに際し、光の収差を補正して、被測定物の界面の位置測定を行う。 （もっと読む）

光学的薄膜アレイを分析するためのイメージ分析ワークステーションが開示されている。開示されている一実施態様は、それぞれが目的とする分析物のための固定化された捕捉試薬を包含する複数の個別的にアドレス可能な位置を提供する単一の光学的薄膜テスト表面を含む個別のアレイに関連する。ここでは、これらを『アレイ状の光学的薄膜テスト表面』と呼ぶ。好ましくは、個別のアレイ状の光学的薄膜が少なくとも４、より好ましくは少なくとも１６、さらに好ましくは少なくとも３２、それよりも好ましくは少なくとも６４、もっとも好ましくは１２８個もしくはそれを超える数の個別的にアドレス可能な位置を包含する。個別的にアドレス可能な位置の１ないしは複数は、コントロール信号（たとえば、正規化信号用、および／または正および／または負のコントロールとして作用する信号）または基準信号（すなわち、デバイス内におけるアレイ状の光学的薄膜テスト表面の相対的なアラインメントを決定するために使用される情報）を提供することができる。
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【課題】 ワークに形成されたスポット溶接部の数と位置を精度良く検査することができる検査装置を提供する。
【解決手段】 溶接部１２を検査するための検査装置１０は、ロボットアーム２１に設けられたレーザセンサ２２と、レーザセンサ２２をワーク１１の表面に沿って移動させる制御部２３と、判定部２４と、表示装置２５などを備えている。判定部２４は、レーザセンサ２２をワーク１１に対して等速度で移動させている間に、レーザセンサ２２からワーク表面１１ａに向けてレーザビームを照射し、その反射光に基いてレーザセンサ２２からワーク１１までの距離を検出する。こうして検出された波形を微分化することにより、レーザセンサ２２からワーク１１までの距離の変化量を求める。そしてこの変化量がしきい値を越えたとき、レーザビームが照射された個所にスポット溶接部１２が存在したと判断する。 （もっと読む）

【課題】電縫管製造工程の任意の位置で、電縫管のシーム（ボンド）位置を的確且つ迅速に検出する。
【解決手段】突合せ溶接によって生じるビード１４が切削された後、溶接部がアニールされる電縫管１２のシーム位置検出方法において、シームアニール入側で溶接線位置と切削帯中心位置とのずれ量Δを測定し、シームアニールスタンド間あるいはアニーラ（２４）出側の所定の位置で切削帯位置を測定し、この測定された切削帯位置の測定値を、前記ずれ量Δで修正する。 （もっと読む）

【課題】 プレス成形後に生じた割れを正確に検知できるようにする。
【解決手段】 プレス成形されたワークの所定部位を包含し当該ワークからはみ出す検査領域に前記ワークの前面からレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、当該検査領域に照射されたレーザー光を前記ワークの背面から受光するレーザー光受光手段と、前記検査領域で受光されたレーザー光に基づいてレーザー光の漏洩面積を演算する漏洩面積演算手段と、良品ワークにおけるレーザー光の漏洩面積を基準漏洩面積として記憶する記憶手段と、前記演算された漏洩面積を当該基準漏洩面積と比較する比較手段と、前記演算された漏洩面積が前記基準漏洩面積よりも大きいときに前記ワークに割れが生じていると判断する判断手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 不良である継ぎ目部を、より安価、簡易な方法で、より速い段階（例えば矯正機を通過する前）に識別し、リジェクトすることにより、より好ましい品質管理方法となり、さらに生産性を高めた鋼管の製造方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 複数の鋼帯の長手方向端部を順次溶接接合して原板を作製し、該原板を加熱、成形して鋼管を連続的に製造する方法であって、原板の溶接接合箇所にマーキングするマーキング工程と、マーキング箇所を加熱炉５、６前（Ａ）で検出し、その位置から絞り圧延機８出側（Ｃ、Ｄ）までトラッキングを行い、該トラッキングにより絞り圧延機出側にてマーキングされていた部位を特定するマーキング部位特定工程と、特定されたマーキング部位に再度マーキングを施す工程と、再度マーキングされた部位を冷却床またはその出側でリジェクトする工程とを備える。 （もっと読む）

負荷されていない状態で、シート部品の少なくとも１つの結合部またはスプライス接続部における欠陥を検出するための方法、および／または結合部またはスプライス接続部の幾何学的特徴を検出するための方法であって、
ａ．前記結合部またはスプライス接続部を非一方向電磁放射線に当て；
ｂ．前記結合部またはスプライス接続部によって反射または屈折された放射線の二次元検出を行い；
ｃ．前記二次元検出に対応する出力信号を形成し；
ｄ．当該出力信号を分析することによって、前記結合部またはスプライス接続部の少なくとも一部の生じている可能性のある欠陥または幾何学的特徴を定める、
ステップを有している、
ことを特徴とする方法。
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【課題】 アルカリ蓄電池などの構成部材である第１金属板材と第２金属板材とのスポット溶接部Ｂの溶接の良，否を確実に判別する検査法を提供する。
【解決手段】 第１金属板材１に円錐状の凸壁部５と凹窪部６を屈曲により形成し、該第１金属板材１をその凸壁部５を介して第２金属板材に重ね、スポット溶接するに当たり、スポット溶接により生成するナゲットＢの一部ｂを該凹窪部６内に露出させ、その露出したナゲット部ｂの径の寸法や形状の相異によりスポット溶接の良，否を判別する。 （もっと読む）