【課題】プロダクトフィーチャと同じ感度を受けるオーバーレイエラーを決定する方法を提供する。
【解決手段】オーバーレイエラーの決定に用いるマークはサブフィーチャ（４６）を含んでおり、このサブフィーチャはプロダクトフィーチャの最も小さいピッチとほぼ同等である最も小さいピッチを有する。これにより、歪みおよび収差に対する感度はプロダクトフィーチャのものと同じになる。しかしながら、マークが現像されるとサブフィーチャは組み合わされ、より大きいフィーチャの輪郭のみが現像される。 （もっと読む）

【課題】車両の走行位置と通過時刻との関係を高精度に特定することを可能とした電気鉄道保守用車両位置測定装置を提供する。
【解決手段】車両の屋根上に設置されてハンガを撮影するラインセンサカメラ２と、ラインセンサカメラ２によって取得した画像の解析を行う画像処理部とを備える電気鉄道保守用車両位置測定装置において、画像処理部を、ラインセンサカメラ２によって撮影された画像信号を時系列的に並べてなるラインセンサ画像を作成するラインセンサ画像作成部３１ａと、ラインセンサ画像上の点列から直線を検出するハフ変換部３１ｂと、ハフ変換部３１ｂによって検出された直線のうち予め設定する基準方向に対する角度が所定の範囲内にある直線をハンガとして抽出するハンガ認識部３１ｃと、ハンガ認識部３１ｃにおいて検出されたハンガが撮影された時刻を記録する時刻記録部３１ｄとから構成した。 （もっと読む）

【課題】下層に形成された凹部のパターンの上に、フォトレジストを形成して上層のパターンを重ねて露光する際に、下層のパターンの影響を受けずに上層のパターンを形成することができるパターン形成方法を提供する。
【解決手段】第１のデバイスパターンと、矩形状に掘り込まれたマークが第１の方向に所定の間隔で配列された第１のマーク列を第２の方向に複数配列した第１の検査用パターンと、が形成された加工処理対象上にレジストを塗布し、第２のデバイスパターンを形成するためのマスクパターンと、矩形状に掘り込まれたマークが第１のマーク列のマーク間に配置されるとともに、第２の方向の形成位置が第１のマーク列と所定の長さだけ重なるように配置される第２のマーク列を第２の方向に複数配列した第２の検査用パターンと、をレジストに形成し、第１と第２の検査用パターンを用いて算出した合わせずれ量から後の工程に進むか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】箱状ワークを対象とし、ワークが密着している場合や荷崩れの場合でもピッキングするワークの位置と姿勢を高い精度で認識することができる箱状ワーク認識装置および方法を提供する。
【解決手段】隣接して荷積みした複数の箱状ワーク１を上方から撮影して全体画像を取得する単眼カメラ１１と、複数の箱状ワーク全体の３次元形状を計測する距離センサ１２と、全体画像から箱状ワークのエッジ部分を検出し、エッジ部分を境界として３次元形状から各箱状ワークの位置と姿勢を認識し、ピッキングする箱状ワークの位置と姿勢を出力する物体認識処理装置１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサーの台数を増やすことなく、帯状部材の形状を精度よく検出する方法とその装置を提供する。
【解決手段】所定の速度で回転する成型ドラム２１に貼り付けられた帯状のタイヤ構成部材４０の位置座標を二次元変位センサー１１を用いて計測する際に、二次元変位センサー１１のラインビームの延長方向を帯状のタイヤ構成部材４０の長手方向とし、二次元変位センサー１１で計測した異なる計測角度で撮影した、始端４０ａもしくは終端４０ｂなどの同一箇所の変位量のデータを抽出するとともに、前記同一箇所の座標データを、前記同一箇所がラインビームの中心にくるように座標変換し、これら座標変換された複数の異なる計測角度で算出した同一箇所の座標データを合成することで、前記同一箇所の座標を特定するようにした。 （もっと読む）

【課題】タイヤ用プライ等の連続シートの幅方向においてジョイントの連続的な検査が可能であり、信頼性が高い検査を行うことができ、さらに大きなスペースを必要としないジョイント検査装置を提供する。
【解決手段】トップ反材料の端部同士が重ね合わされて接続されることによりジョイントが形成された前記トップ反材料の連続シートの搬送途中において前記ジョイントを検査するジョイント検査装置であって、前記連続シートを停止させた状態で、前記ジョイントに沿って前記連続シートの幅方向に移動させて前記ジョイントにおける連続シートの厚み方向の変位を測定する２次元形状計測センサが設けられており、前記の測定結果に基づいて前記ジョイントの検査を行うジョイント検査装置。 （もっと読む）

【課題】位置を安定的に決定する。
【解決手段】複数の直線を有する位置決め用の模様に含まれる直線の内、平行でない二つの直線により形成される交点を認識し、認識した交点を用いて位置を決定する。また、位置決め用の模様は、磁気ディスク装置内にあるＦＰＣ上に形成された配線パターンであるＦＰＣ端子と、磁気ディスク装置内にある磁気ヘッドと接続される配線の内当該ＦＰＣ端子と重ね合わされる部分にある配線パターンであるヘッド端子とを重ね合わせて接続する際に用いられ、ヘッド端子を重ね合わせるＦＰＣ上の位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】従来、スポット溶接作業後の検査が、作業者による抜き取り検査で行われていたため、不具合品は発見できず検査に通ってしまうという課題や、ＣＡＤによる数値データ比較方法もあったが、作業が困難であった。
【解決手段】撮影機１によって予め正式打点指示図の通りにスポット溶接Ｓをしたサンプルとなる完全被検査物のスポット溶接打点ＳＰの全数の位置を撮影し、それらの画像を画像処理ユニット５に記録しておくとともに、撮影機１によって実際に製品となる被検査物Ｂのスポット溶接打点Ｓｎの全数の位置を撮影して、画像処理ユニット５にこれらの画像を記録し、これらの画像Ｓｎと予め記録してある完全被検査物のスポット溶接打点の全数の画像ＳＰとを比較し、その検査結果を自動的に判定する自動スポット溶接検査システムによる。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の各部分とカメラとの距離の相違に基づく遠近歪みを、検査対象物の外面形状に基づき精密に補正することができ、複数の画像を結合して１枚の平面画像に展開した場合でも、画像周辺の歪みを補正してパターンマッチング処理の誤差を大幅に低減でき、これにより精度の高い外観検査ができる外観検査方法および装置を提供する。
【解決手段】検査対象物１の検査表面の３次元形状データ６とＣＣＤカメラとの相対位置を予め入力するデータ入力ステップＳ１と、検査表面の全体を少なくとも一部を重複させて複数のＣＣＤカメラ１４で撮像して複数の画像４を取得する撮像ステップＳ２と、各画像の歪みを３次元形状データを基に補正して平面に展開し少なくとも一部が重複した複数の平面画像５を作成する画像補正ステップＳ３と、複数の平面画像の重複部分を結合して１枚の外面画像８を作成する画像結合ステップＳ４と、を有し、外面画像８により検査対象物の外観検査を行う。 （もっと読む）

【課題】被溶接物の開先位置を精度良く迅速に計測可能にする。
【解決手段】被溶接物の三次元開先位置を算出する開先計測センサと、開先計測センサを位置計測可能な位置に位置決めする位置決め装置と、開先計測センサに対して被溶接物を回転させる回転装置と、回転装置の回転角度を計測する回転角度計測装置と、三次元開先位置情報及び回転角度情報を所定時間間隔で同時に受け付ける第一受付手段と、回転角度情報を第一受付時間と関連付けて格納する第一バッファと、第一受付時間の位相遅れ時間前に対応する回転装置の回転角度を補正回転角度として算出する位相遅れ補正手段と、三次元開先位置を位置決め装置の座標系から被溶接物の軸心線を基軸とする座標系に変換する変換手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板と光学系とを相対的にＸ方向及びＹ方向へ移動して基板の検査を行う際、基板の移動範囲を小さくして、装置を小型化する。
【解決手段】半導体ウェーハ１の表面を４つの検査領域に分割する。半導体ウェーハ１をステージによりＸ方向に半導体ウェーハ１の直径（２Ｒ）の半分の距離（Ｒ）だけ移動し、光学系をＹ方向に半導体ウェーハ１の直径（２Ｒ）の半分の距離（Ｒ）だけ移動して、１つの検査領域の検査を行う。１つの検査領域の検査が終了したら、半導体ウェーハ１を９０°回転させて、検査領域を切り替える。これらを繰り返すことにより、半導体ウェーハ１の表面全体の検査を行う。検査装置が半導体ウェーハの移動のために占有する面積は、３Ｒ×２Ｒとなる。 （もっと読む）

【課題】ビート形状の計測誤差が小さく、しかも、レーザー変位計により照射されるレーザー光線の照射方向が母材表面に対して傾いていても高精度な溶接品質検査を可能とするアーク溶接品質検査方法を提供する。
【解決手段】本発明のアーク溶接品質検査方法は、表面形状を測定するための３次元変位計としての３次元レーザー変位計を用いて、２つの母材５ａ，５ｂが突き合わされ溶接接合されたビード８を含む部分の表面変位ｚを測定し、この変位ｚにより溶接品質を検査するものであって、３次元レーザー変位計により得られたビード８を含む部分の表面変位データに基づいて、溶接母材５ａ，５ｂの表面形状データと、ビード８の表面形状データとを取得して、母材５ａまたは母材５ｂの表面をビード８側に外挿した仮想面（仮想直線Ｌ）を特定して、この仮想面（仮想直線Ｌ）からビード８表面までの変位ｚに基づいて溶接品質検査の合否を判定する。 （もっと読む）

【課題】
サーチ動作により得られた測距データを元に、以後サーチ動作を行うことなく、異なる画像処理パラメータを適用した際の画像解析結果をティーチペンダント上で確認できる自動溶接機の位置検出システムを提供する。
【解決手段】
ティーチペンダントＴＰのキーボード４１から再画像解析を行う指示があったとき、ロボット制御装置ＲＣは、ロボット制御装置ＲＣが備える記憶部の第１記憶領域に記憶した測距データに基づき調整入力された画像処理パラメータに従って溶接継手の画像解析を行う。ロボット制御装置ＲＣはその画像解析に基づき溶接継手の開先形状に関する特徴点を含む開先情報を取得し、ディスプレイ４２は調整入力された画像処理パラメータに従って得られた画像解析データを表示する。 （もっと読む）

【課題】歯科分野に適用される光コヒーレンストモグラフィー装置を提供する。
【解決手段】生体の顎口腔領域における組織または顎口腔領域の人工組成物を被計測体とし、データ演算部を持つ３次元上特性測定・表示装置であって、咬合状態にない歯牙表面の形状データ、咬合運動状態を含む咬合状態にある咬合面の形状データ、咬合運動状態を含む咬合状態にある上下咬合面の形状、咬合運動状態を含む咬合状態にある上下対合歯の咬合面を含む断層データのいずれか少なくともひとつに、上下咬合面の接触点または接触面のデータを前記演算部により演算して表示するか、さらに前記３次元上特性測定・表示装置による演算生成によらず別途得られた咬合状態に無い歯牙表面の形状データを同時表示することにより、口腔組織の表面形状や咬合面形状・咬合状態を測定表示することを特徴とする３次元上特性測定・表示装置である。 （もっと読む）

【課題】先行材の後端部と後行材の先端部とを重ね合わせて接合した帯状材の接合箇所を、簡単な構成の装置を使用して容易に検出できる接合箇所の検出方法を提供する。
【解決手段】それぞれ帯状の先行材１０の後端部と後行材１１の先端部とを重ね合わせて接合した帯状材の接合箇所１２を検出する方法において、先行材１０の後端面および後行材１１の先端面のいずれか一方の検出部１３を、非接触式の光反射型検出器１４を使用して検出する。 （もっと読む）

【課題】光学センサ４によってプラスチックフィルム１の反射光または透過光を画像認識し、その画像変化によってヒートシール部分２の微小凹凸表面を読み取り、プラスチックフィルム１のヒートシール位置を検出するとき、微小凹凸表面であっても、鮮明に画像変化があらわれるようにする。
【解決手段】光源４によって遮蔽板３およびプラスチックフィルム１が照射される。遮蔽板３は一定長さのエッジ５を有する。したがって、エッジ５によって影の境界７が形成され、影の境界７において、光学センサ８によってプラスチックフィルム１の反射光または透過光が画像認識される。 （もっと読む）

【課題】光学的手段で得た溶接鋼管の断面プロフィールから、専用治具による測定と互換性があり精度よく高速にピーキングを計算する方法を提供する。
【解決手段】溶接鋼管の溶接部に線状光又は走査した点状光を照射し、溶接部表面に照射された線状光又は点状光の像を撮像して、光学的手段により溶接鋼管の断面プロフィールを検出する断面形状検出方法において、ピーキング測定治具の脚と断面プロフィールとの接触点Ａ，Ｂ間の距離ＡＢが治具の脚幅Ｗに等しく、かつ、ＡＢの中点Ｃと止端点Ｐを結ぶ線分ＣＰがＡＢと直交するという拘束条件を満たすように、止端点Ｐから距離がともにＲ_kにある等距離点の対Ａ_k，Ｂ_kを探索し、それらの間の距離Ａ_kＢ_kを計算して、脚幅Ｗに近いところでの深さＣＰを計算する。 （もっと読む）

【課題】溶接時の熱、錆等による管表面の色変化や検出時の照明具合等（外乱）による誤検出がなく、ロバスト（安定）なシーム位置検出が可能な方法、装置を提供する。
【解決手段】ＣＣＤカメラ２で撮像された電縫管１１外周面の画像の画素群に対して自己相関関数を計算し、その結果値に周期性が検出される画素列を求め、その画素列の位置をシーム位置として検出する画像演算処理回路４を設ける。自己相関関数の計算によるシーム位置の検出は、外乱に強いロバストなシーム位置の検出を可能とする。 （もっと読む）

【課題】光ファイバにおける所定区間のブリルアンスペクトルのパラメタをより精度良く測定すること。
【解決手段】本発明のブリルアンスペクトル測定装置１は、光ファイバ部１０と、光ファイバ部１０から出力されるブリルアン散乱光のスペクトルを検出する測定器５と、を備える。光ファイバ部１０は、センシングファイバ１１と、センシングファイバ１１に直列接続された接続用ファイバ１２，１３とを含む。所定の温度及び所定の印加歪状態において、センシングファイバ１１のブリルアンスペクトルの中心周波数ν_B1と接続用ファイバ１２，１３のブリルアンスペクトルの中心周波数ν_B1との差は、センシングファイバ１１及び接続用ファイバ１２，１３のブリルアンスペクトルの線幅以上である。 （もっと読む）

【課題】シート端の位置を安価に検出するシート端検出装置を実現することを目的とする。
【解決手段】フォトセンサを用いてシート状物体の端部を検出するシート端検出装置において、前記シート状物体の一方の面に配置された一つの発光素子と、前記シート状物体の他方の面に配置された分割受光素子と、該分割受光素子からの複数の出力信号を入力するとともに基準値調整手段手段からの基準値を入力する比較回路と、前記シート状物体を挟み前記発光素子と分割受光素子を搭載するセンサアームと、該センサアームをシート状物体の幅方向に駆動させる駆動装置を具備し、
前記比較回路は前記分割受光素子のそれぞれの出力と前記基準値調整手段手段からの基準値を比較し、その比較結果に基づいて前記駆動装置に駆動指令を出力する。 （もっと読む）