【課題】清浄で且つ高温環境下となる検出領域にて被検出体の有無を精度よく検出できるようにする。
【解決手段】石英ボックス１の側壁１ａに開口部２を設け、パイプ状の結合用部材６を貫通するよう取り付ける。結合用部材６内にて、細長い円柱形状として、先端部が石英ボックス１内の検出領域４の近傍まで達するよう配置した石英ガラス部材３ｃの基端部と、反射型光ファイバセンサ８の平行型光ファイバ１７の先端部を取り付ける。平行型光ファイバ１７の投光用光ファイバ素線１０を通して導かれる光１３を、石英ガラス部材３ｃを通して損失が少ない状態で検出領域４の近傍まで導いてから、検出領域４に向けて投光させる。検出領域４に被検出体５が存在する場合に生じる反射光１３ａは、検出領域近傍にて石英ガラス部材３ｃの先端面で受けた後、石英ガラス部材３ｃ内を損失が少ない状態で導いてから、受光用光ファイバ素線１２へ受光させる。 （もっと読む）

【課題】プリント基板に実装される電子部品を一度に撮像して、装着異常を迅速かつ適切に処理することができる実装された電子部品の検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】プリント基板全体を視野に収めることが可能なカメラ手段を設け、実装前のプリント基板全体について前記カメラ手段によって第１回目の撮像を行い、電子部品を、該基板に実装すべき電子部品のうち一部を残して実装し、実装すべき電子部品の一部を残して実装されたプリント基板全体について前記カメラ手段によって第２回目の撮像を行い、第２回目に撮像された画像と第１回目に撮像された画像とを比較して第２回目の撮像前にプリント基板上に実装された電子部品の部品種及び取付け位置が正しいことを判定する部品実装良否判定画像処理を行い、該画像処理に並行して残りの電子部品を前記プリント基板に実装する。 （もっと読む）

【課題】ポリゴンミラーや半導体レーザー等を用いることなく、簡潔で且つ小型の構成により、部品の三次元位置や形状の認識を可能とする部品認識装置とこの部品認識装置を備えた部品実装装置を提供する。
【解決手段】吸着ノズルで吸着保持した部品２の側面と底面を同じ方向から観測可能とするためのミラー５８ａ〜５８ｄ又はハーフミラーと、これらを介して、部品側面の画像と底面の画像を一括して撮像する部品撮像カメラ５２を備える。 （もっと読む）

【課題】稼働効率を向上させることができる実装基板の検査用データ作成方法を提供する。
【解決手段】本発明は、実装基板Ｐ上に搭載された電子部品の実装状態を検査装置により検査するために用いる検査用データを作成する方法を対象とする。本発明は、検査装置１０の撮像手段によってサンプル基板を撮像してサンプル画像を得るステップと、検査装置１０による検査用ラインに対し独立するオフライン上にサンプル画像を取り込むステップと、オフライン上に検査用データを取得するステップと、オフライン上で検査用データを基準にしてサンプル画像の画像処理テストを行って、検査用データを検証し、必要に応じて修正するステップと、検査用データを検査装置１０に送り出すステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】検査効率を向上できる実装基板の検査方法を提供する。
【解決手段】本発明は、電子部品が実装された実装基板を検査するようにした実装基板の検査方法を対象とする。本方法は、実装基板Ｐを複数の撮像領域Ｐｇに分割して撮像し複数の分割撮像データを得る撮像ステップと、複数の分割撮像データを合成して広域撮像データを得る合成ステップと、広域撮像データから部分的に検査部品データを取り出し、その検査部品データと、予め準備された基準部品データとを比較して、検査部品データに対応する電子部品の良否を判断する判断ステップと、を含むものである。 （もっと読む）

【課題】基板テーブル及びこの基板テーブルの移動を制御する移動制御システムを含むリソグラフィ機器を提供すること。
【解決手段】移動制御システムは、基板テーブルＷＴの位置を検出するように構築された少なくとも３つの位置検出器Ｐ１〜Ｐ５を含む。基板テーブルＷＴの位置及び向きを測定するために、各位置検出器Ｐ１〜Ｐ５は、１次元又は多次元のタイプの光学式エンコーダを備える。これらの光学式エンコーダは、合わせて少なくとも６つの位置の値を提供するように配置され、３次元の各次元ごとに少なくとも１つの位置の値が提供される。 （もっと読む）

本発明は、歯根又はインプラント支柱のような少なくとも一つの義歯土台オブジェクト及びその周辺の三次元データを写像するための装置、並びに、義歯土台オブジェクトの三次元データを取り入れた、義歯部品をデータを用いて生成及び製造するための装置を備えた表面写像及び／又は生成のための装置に関する。かかる装置にあっては、義歯土台オブジェクト上に押しつけられる義歯部品の挿入方向を演算及び／又は決定するための装置、及び、義歯部品の前に義歯土台オブジェクト上に押しつけられ、この押しつけのための挿入方向とは異なった義歯部品の所要の挿入方向を生じさせるための支台部品を算定及び製造するための装置が備えられ、さらには義歯部品をデータを用いて生成及び製造するための装置が支台部品の三次元データを取り入れて生成及び製造するように設計されている。
また、本発明は、歯根又はインプラント支柱のような義歯土台オブジェクト及びその周辺から三次元データが写像され、それからこの義歯土台オブジェクトの三次元データに基づいて、その上に押しつけられる義歯部品が製造される、表面写像及び／又は生成のための方法に関する。かかる方法にあっては、義歯部品を製造する前に、義歯土台オブジェクト上への義歯部品の挿入方向が演算及び／又は決定され、この義歯土台オブジェクトの三次元データに基づいて、義歯部品の所要の挿入方向とは異なった義歯土台オブジェクト上への挿入方向を有する支台部品が算定及び製造され、そして、支台部品上に押しつけるに適した義歯部品が、その三次元データに基づき、データに従って生成及び製造される。
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