【課題】 描画位置合わせ機能において描画対象物のアライメントマークを撮影するためのアライメントカメラの光軸回転方向の位置ズレの校正方法を提供する。
【解決手段】 図４（ａ）に示すような、ＣＣＤカメラ２６の移動量（Ｘ軸）に対する光軸まわりのズレθｚを検出、記録する。これにより露光装置１０の組み立て時に、ＣＣＤカメラ２６の移動に対するθｚの変動履歴を取得し、ＣＣＤカメラ２６ひとつにつき少なくとも代表となる１データ、あるいは複数の履歴データをそのＣＣＤカメラ２６固有のパラメータとして記録しておくことが可能となる。アライメント機能の校正作業の際に、ＣＣＤカメラ２６の移動量に応じて変動するθｚに対して図４（ｂ）に示すように、θｚの変動を補正し、打ち消す方向（図中破線）に図３の回転手段２６ＤによってＣＣＤカメラ２６を回転させ、ＣＣＤカメラ２６の移動量（Ｘ軸）に対する光軸まわりのズレであるθｚを補正する。 （もっと読む）

【課題】 センサ原点のドリフトを抑制する。
【解決手段】 被計測手段のリファレンスの位置を計測手段で定期的に計測して該計測結果を記憶手段に記録データとして記憶し、システムリセットが発生した時に、前記計測手段を初期化し（Ｓ２３）、前記記憶手段に記憶された記録データのうち最新の記録データに基づいて原点オフセットを算出し（Ｓ２５）、被計測手段の位置を前記計測手段で計測し（Ｓ２６）、当該計測結果及び原点オフセットに基づいて定められる位置を位置調整動作の基準となる原点とする。 （もっと読む）

【課題】 車両周辺での所望の監視範囲に対して対象物の検出処理を適正に実行する。
【解決手段】 オフセット切出位置補正部１５は視差オフセット補正量算出部１３にて算出された位置補正量に応じて、スレーブカメラ２Ｌに対する対象物検知処理領域ＥＡの位置を補正する。パン・ピッチ切出位置補正部１６はパン・ピッチ角補正量算出部１４にて算出された各カメラ２Ｒ，２Ｌ毎の位置補正量に応じて、各カメラ２Ｒ，２Ｌに対する対象物検知処理領域ＥＡの位置を補正する。切出位置判定部１７は、位置が補正された対象物検知処理領域ＥＡが、赤外線画像上での各カメラ２Ｒ，２Ｌの全画角領域ＴＡ内の所定の画像保証領域ＧＡ内に含まれているか否かを判定し、判定結果が「ＮＯ」の場合には、聴覚的警報や視覚的警報等を報知装置２１から出力させると共に、補正された対象物検知処理領域ＥＡに対する物体検知処理の実行を禁止する。 （もっと読む）

【課題】物体をその表裏から計測する２台の光学式変位センサを使用して物体の厚みを計測するようにした光学式変位センサシステムにおいて、計測条件の如何に拘わらず正確な厚み演算値が得られるようにした光学式変位センサシステムを提供すること。
【解決手段】厚み演算手段は、第１又は第２の計測距離監視手段、並びに、第１及び第２の受光量監視手段の監視結果のいずれかが所定範囲内から外れたときには、両計測結果に基づいて算出される厚みの代わりに、所定範囲から外れる直前に算出された厚みを出力する。 （もっと読む）

【課題】物体表面を投影光学系の最良結像面に位置させて、パターンを精度良く物体上に転写する。
【解決手段】制御装置７０により、湿度に少なくとも依存する計測装置（１０２ａ、１０２ｂ）の計測値の変化に関する情報を考慮して、前記計測装置近傍の雰囲気の湿度が制御される。この湿度の制御が行われた結果、計測装置の湿度に起因する計測値の変化量が最小（例えば零）となるようにすることができる。従って、湿度（の変化）に起因する計測装置の計測誤差の発生を低減して計測装置により精度良く物体表面の位置を計測し、この計測結果に基づいて物体Ｗ表面を投影光学系ＰＬの最良結像面に位置させて、レチクルＲのパターンを精度良く物体上に転写することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 保護ガラスの汚れを検知する精度を向上させることが可能な光学式測定装置を提供する。
【解決手段】 しきい値９０％，５０％，１０％でそれぞれ、測定対象物の寸法の測定値Ｑ_９０，Ｑ_５０，Ｑ_１０を得る。測定値Ｑ_９０と測定値Ｑ_５０との差（つまり測定値の変位量）が予め決められた基準値以上か判断する。（ｂ）〜（ｄ）は基準値以上の場合を示しており、保護ガラスに汚れが存在する。（ａ）は基準値より小さく、汚れがない。次に、測定値Ｑ_５０と測定値Ｑ_１０との差が予め決められた基準値以上か判断する。（ｃ）はこの基準値以上の場合を示しており、保護ガラスに濃い汚れが存在する。よって、ブザーを鳴らしかつ赤色ランプを点灯させ、オペレータに直ぐに汚れの除去をするように警告する。 （もっと読む）

【課題】 計測精度が向上された３次元計測方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 ３次元計測装置システムの画像処理装置４に、位相値信頼性判定部４３を設ける。位相値信頼性判定部４３は、輝度飽和領域、コントラスト低下領域、コントラスト低下領域の境界領域、位相エラー領域を抽出する。位相値の計測値が信頼できない、これらの領域においては、別途再測定を行うなどして、信頼性の高い位相値を計測し、全体として、精度の高い３次元計測を行う。 （もっと読む）

【課題】 被測定対象物に対してレーザ光が所望とする位置に照射されているか、否かの確認機能を備え、かつ構造が簡便な光学測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 光学測定装置はレーザ光源２２、撮像部２９、集光部３５、ＣＰＵ３５、モニタ５５を主体として構成されるととももに、被測定対象物Ｗの角度を算出する測定モードと、レーザ光の照射位置調整を行うための照射位置調整モードが設定されている。集光部２５は被測定対象物Ｗで正反射した正反射光の光路内に定置される収束レンズ２６と、同光路内に出入り可能とされた可動レンズ２７とからなる。そして、照射位置調整モードが選択されたときには、可動レンズ２７が光路内に進入する。これにより、正反射光は撮像部２９の前方で焦点を結び、撮像面２９Ａには所定の大きさの光像が形成され、これがモニタ５５に表示される。従って、モニタ５５の画面を参照することでレーザ光が所望とする位置に照射されているか、否かを知ることが出来る。 （もっと読む）

本発明は、基板の上に配置された膜の特性を測定する方法およびシステムを提供することを対象とする。該方法は、膜の上において複数の処理領域を識別することと、複数の処理領域のサブセットの特性を測定することと、測定された特性を確定することと、測定された特性の１つの変化を決定することと、測定された特性の１つと、サブセットの残りの処理領域に関連付けられる測定された特性との比較に基づいて、変化の原因を関連付けることとを含む。該システムは、上述された方法を実施する。
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