【課題】高さ測定結果に問題があった場合の原因分析を可能にした３Ｄセンサを提供する。
【解決手段】測定対象物４にレーザ光を投射する半導体レーザ１と、測定対象物４によって反射されたレーザ光を受ける複数のＰＳＤ２と、レーザ光を受けて各ＰＳＤ２から出力された電流信号に基づいて測定対象物４の高さを算出する高さデータ算出手段と、ＰＳＤ２ごとに算出した測定対象物４の高さデータの演算処理によって算出した測定対象物の真の高さ併せて演算処理の状態を示すデータを出力する高さデータ出力手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】 使用中の周囲の環境状態の変化に影響を受けることなく、高精度に座標を算出することができる座標入力装置及びその制御方法、プログラムを提供できる。
【解決手段】 電源投入時あるいはシステムリセット時の座標入力サンプリング状態でない状態で、かつ前記投光手段による投光を行っている状態で、受光部から得られる光量分布を示すリファレンスデータを記憶媒体に記憶する。座標入力サンプリング状態で、受光部から得られる光量分布が示すサンプリングデータを取得する。取得したサンプリングデータと、記憶媒体に記憶しているリファレンスデータとに基づいて、当該座標入力装置の周囲の環境光の変化の有無を判定する。当該座標入力装置の周囲の環境光に変化があると判定された場合、記憶媒体に記憶しているリファレンスデータをサンプリングデータに置き換えて更新する。サンプリングデータと、記憶媒体に記憶しているリファレンスデータとに基づいて、前記座標入力による指示位置の座標値を算出する。 （もっと読む）

【解決手段】測定機（１）は、測定容積内において測定センサ（３）を移動させるために座標軸線に沿って移動可能な複数の部材（８、１０、１２）を設けた可動ユニット（７）を備え、レーザセンサ（２６）は、可動部材（８）に結び付いて、可動ユニット（７）の動的変形に関連した値を供給し、これらの値は、動的変形により生じた測定機（１）の測定誤差を補正するために処理される。 （もっと読む）

【課題】エラーの発生を低減し測定時間の増加を抑制することができるパターン寸法測定装置を提供する。
【解決手段】画像処理部５１は「基板１」または「撮像光学系３および撮像装置４」の移動によって生じる位置ずれを考慮して参照用画像に予め設定されている保証内領域または保証外領域と、制御装置５に設定された特徴パターンまたは測定領域との位置関係を判定する。制御部５２は、この判定の結果に応じて、特徴パターンまたは測定領域が保証外領域に設定されるのを抑制するための処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】投影光学系及び結像光学系におけるディストーション等の影響を軽減し、計測精度が高い三次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】投影対象に所定の投影パターンを投影する投影部と、パターンの投影された前記投影対象を撮像する撮像部と、前記投影対象に対する前記撮像部の光軸方向の相対位置を調整する位置調整部と、平面形状を有する校正用プレートに前記投影パターンを投影し、前記撮像部により撮像されたプレート撮像画像から、光軸方向の位置毎にデータを記憶する校正データ記憶部と、被検査物にパターンを投影し、撮像された被検物撮像画像から前記被検物の光軸方向の高さを演算する形状演算部と、前記形状演算部により得られた前記高さ毎に、記憶された前記校正データを用いて、前記高さを演算するのに用いた前記被検物撮像画像のデータを校正し、校正画像を取得する校正画像取得部とを備えることを特徴とする形状測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】車両のドライバの目の状態を検出する技術において、光源の配置を工夫することで、目の検出ができなくなるような状況の発生頻度を低減する。
【解決手段】このように、右側近赤外照明１と、左側近赤外照明２と、右側近赤外照明１および左側近赤外照明２によって照らされた車両のドライバの目を撮影するためのカメラ３と、カメラ３によって撮影された目の状態に基づいた制御を実行するＥＣＵ４と、を備えた目状態検出装置５０において、右側近赤外照明１を、カメラ３よりもドライバの座席から向かって右側に配置し、かつ、右側近赤外照明１の光軸１１を、カメラ３の撮影方向３１に対して右に１５°〜４５°傾いて配置し、左側近赤外照明２を、カメラ３よりもドライバの座席から向かって左側に配置し、かつ、左側近赤外照明２の光軸２１はカメラ３の撮影方向３１に対して左に１５°〜４５°傾いて配置することで、目状態検出装置５０を車室内に設置する。 （もっと読む）

【課題】電子部品に傾きがあっても、電子部品の高さ計測を可能とする電子部品の端子高さ計測方法を提供する。
【解決手段】電子部品８にレーザをパルス点灯させたライン光を走査して、光切断法により端子９ａの高さを計測するための電子部品８の端子高さ計測方法において、レーザを連続点灯させつつ電子部品８を高さ方向に移動することにより電子部品８の端子位置を取得して、その位置情報から端子高さを計測するためのレーザ投光位置補正を行なう。前記端子位置は、レーザが電子部品８の片側の端子９ａに当たったときの電子部品８の高さ、該電子部品の高さと吸着中心Ｂのずれ、あるいは、レーザが電子部品８の両側の端子９ａに当たったときの電子部品８の高さの差Ａ’から電子部品８の傾きを求め、これから求めることができる。 （もっと読む）

【課題】ステージの左右の歪みを短時間で補正する。
【解決手段】互いに平行となるように離間配置し、移動体２の対向する面に配された一対のガイド軸２２，３２と、ガイド軸２２，３２のうち一方のガイド軸２２に設けられ移動体２の一側部２ａを一方のガイド軸２２に沿って移動させる第１の搬送機構２０と、ガイド軸２２，３２のうち他方のガイド軸３２に設けられ移動体２の他側部２ｂを他方のガイド軸３２に沿って移動させる第２の搬送機構３０と、移動体２の一側部２ａを一方のガイド軸２２に沿って基準位置まで移動させたとき、移動体２の他側部２ｂの所定位置からのずれ量を検出する検出部４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】帯状被検査体に開口を設けたり、溶接線を利用したりして検査性能を診断する場合の不具合を避け、ラインを停止させることなく安定的に検査性能を診断できるようにする。
【解決手段】搬送される鋼板１０２の表面に光を照射する光源１０３と、鋼板１０２からの反射光を受光して撮像するカメラ１０７と、光源１０３と鋼板１０２との間に配置され、光源１０３の光の透過率を変化させることのできる液晶パネル１０５とを備える。表面検査システムの検査性能を診断するときに、鋼板１０２の搬送速度に応じて液晶パネル１０５による投影時間を変えたり、液晶パネル１０５による透過率を変化させて影の輝度を変えたりすれば、様々な大きさや形状、輝度の疵に対する検査性能を保証することができる。 （もっと読む）

【課題】時系列的に変化する撮影画像から、撮影装置の撮影位置、姿勢又は対象物の座標を精度良く計測できる画像処理装置を提供する。
【解決手段】時系列的に撮影した一連の撮影画像を取得し、撮影画像から特徴点を抽出し、特徴点を追跡して相互に対応付け、相互に対応付けられた一連の撮影画像からステレオ画像を選択し、標定および三次元計測を行ない、三次元計測により求められた対応点の誤差範囲を算出し、算出された誤差範囲に基づいて、対応点の三次元計測への適否を判定し、不適切と判定された対応点を削除し、削除された対応点を除いて再度標定および三次元計測を行なうことにより、計測精度を向上できる。 （もっと読む）

【課題】非対称な色ムラを有するようなマークの位置を計測してもマーク位置の計測誤差を低減することができ、これにより、製造原価を上げることなく、アライメント装置毎の性能を均一化してアライメント装置間での機差を低減すること。
【解決手段】照明波長を変えて、測定マークのサイズを計測し、波長帯域によるマークサイズの変化量にもとづいて、結像手段の結像性能を調整する。具体的には、結像光学系に於ける第１リレーレンズの空気間隔を変化させて、結像光学系の倍率色収差を調整する。 （もっと読む）

【課題】車両速度が遅い場合であれ、操舵角センサの異常の有無を高い精度で判定することができる操舵角センサの異常判定装置を提供する。
【解決手段】操舵角センサ２１の異常の有無を判定する異常判定装置として、ナビゲーションシステム２２の地理情報及び位置情報を参照しつつ車両がカーブ路走行中にあるカーブ路走行期間を検出するプログラムと、そのカーブ路走行期間内のセンサ出力の最大値を検出するプログラムと、その最大値について所定の閾値との対比を行うことにより該最大値が相当量に足りるかあるいは満たないかを判断するプログラムと、その判断により最大値が相当量に満たないと判断された場合に操舵角センサ２１が異常である旨の判定をするプログラムと、を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】観測画像と変位計データを組み合わせて使用することで、構造物異常の原因種別を詳細に判別可能な構造物異常判別システム及び構造物異常判別方法ならびにプログラムを提供する。
【解決手段】構造物異常判別装置２ｂは、監視カメラ４の入力画像データから、当該時刻の背景画像データを作成し、構造物異常判別装置２ｂ内部の背景画像蓄積部に記憶している。背景画像蓄積部に記憶された当該時間の背景画像と直近過去の背景画像との差分から、監視カメラ４の変位、構造物の変位を判定する。また、装置内部の画像処理部での判定結果と変位計１の計測値とから、監視カメラ４の変位、構造物の変位、システム異常を判定する。 （もっと読む）

【課題】 複数の撮像ヘッドを有した顕微鏡撮像装置及び寸法測定装置において、いずれかが異常になったときに、他の撮像ヘッドでカバー可能なシステムを提供する。
【解決手段】 複数の撮像装置それぞれについて退避エリアを設け、かつ、それぞれの撮像ヘッドが、被測定対象物の測定ポイントの位置に移動可能なストロークを持たせ、撮像ヘッドが故障または非稼動状態である場合には、残りの撮像へッドでカバーすることが可能な顕微鏡撮像装置及び寸法測定装置。 （もっと読む）

【課題】撮像部にラッチアップが起きた場合に、撮像部に負担を与えることなくラッチアップ状態を退避する。
【解決手段】接触した生体の生体情報を読み取る撮像部１１と、撮像部を制御する撮像ユニット制御部１２と、生体の接触により放電が生じ、撮像部の電源電圧または電源電流に異常が起きた場合に、異常が起きたこと又は放電が起きたことを検出する異常検出部１４と、異常検出部が異常を検出した場合に、撮像部に対する撮像ユニット制御部からの入力を遮断した後、撮像部に対する電源供給を遮断する電源制御部１５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 回転体の回転速度の検出のための構成を簡略化する。
【解決手段】 回転体１の回転中心にモータ２の回転軸３が、回転軸３には回転体１とモータ２との間に円盤状のエンコーダ４がそれぞれ設けられており、モータ２の回転によって回転体１とエンコーダ４とを同時に同速度で回転させる。エンコーダ４上には、複数のスケール５が回転軸３を中心に環状に配設されており、検出部６がエンコーダ４の回転時にエンコーダ４上の各スケール５に対して光源から光を照射し、各スケール５を透過した透過光をセンサによって検出したときの検出信号を制御部７へ出力し、制御部７は、回転体１の回転中は検出部６からの検出信号に基づいてエンコーダ４の取り付け偏心量を検出し、その検出した取り付け偏心量を補正することによって回転体１を所定の回転速度で回転させ、モータ２の回転数を調整して回転体１の回転速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバを利用した歪・温度分布の観測システムにおいて、データの正確さ，信憑性，システム機能保全性といった信頼性を向上させる。
【解決手段】光ファイバ素線１０，１５における光ファイバ裸線１１と保護被覆１２，１６の複合形態を相互接着か相互非接着かの２種類とし、この２種類を取り混ぜた３本以上の素線群２１〜２３を仕込んだ光ファイバセンサー２０を用いることで、該素線群の各素線データ間の相互支援による信頼性の向上が行えるようにした。 （もっと読む）

【課題】不具合の原因を特定しやすい構成を提供する。
【解決手段】変位センサ１は、ヘッド部１１とコントローラ１２とを有し、ヘッド部１１には、ワークＷに向けて投光する投光手段と、位置検出手段とが設けられている。コントローラ１２は、位置検出手段からの電圧信号Ｓ１に基づいてワークＷまでの距離を測定できるように構成されている。さらに、コントローラ１２では、測定モードと本体部診断モードとを切り替え可能とされている。本体部診断モードに設定された場合には、擬似的な検出信号が生成され、アンプ部、Ａ／Ｄ変換器を介してＣＰＵに与えられる。メモリ３９には、擬似的な検出信号が与えられたときの測定結果の基準となる基準情報が記録されており、擬似的な検出信号が与えられたときの測定結果と、メモリ３９に記憶される基準情報とに基づきコントローラ１２の異常を判定するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】発光・受光素子への外乱光入射を防ぐと共に水滴等の付着を防止し、正確に発光・受光素子の良否を判断することである。また、正しい車形検出を行ない、安全な洗車を提供する装置を実現することを課題としている。
【解決手段】車形検出を行うための発光素子Ｌと受光素子Ｒとを外乱光吸収面で構成される所定深さの溝の中に配置し、可視光線を遮断する可視光カットフィルターを通して光信号を授受する。 （もっと読む）

【目的】
デザインや配色上の制約をなくし、低コストかつ高強度で、検出方法を自由に選択できると共に素子の故障等にも対応し得る装置を提供する。
【構成】
光学的検出装置の透明板２３の周縁部に、一体的にかつ発光素子６及び受光素子７側へ拡大してフィルタ部２３Ｃを形成した。このフィルタ部２３Ｃは各素子６，７への外部からの不要な光の侵入を防ぐと共に上側面が保護カバー２１に広い面積で接着される。フィルタ部２３Ｃの内側には装置の外観等に合わせた色の着色部を設けた。選択手段で一方向と他方向の素子対を選択的に駆動させ、各素子の使用頻度を抑える。隣接素子作動手段で故障素子に代えて隣接する素子を作動させ、一部の故障等に対する抵抗力を強めて信頼性を向上させる。 （もっと読む）