【課題】被測定物の寸法精度の評価を的確に行うこと。
【解決手段】被測定物２の寸法を測定する寸法測定装置１であって、被測定物２を搬送する搬送手段５と、被測定物２が搬送される搬送領域１０，１１内の温度を制御する温度制御手段と、搬送領域１０，１１における測定部６に搬送された被測定物２の寸法を測定する寸法測定手段１５と、寸法測定手段による寸法測定時の被測定物２の温度を測定する温度測定手段１４とを備え、寸法測定手段１５によって測定された被測定物２の寸法は、温度測定手段１４によって測定された温度を用いて、予め定められた基準温度における寸法に補正される。 （もっと読む）

【課題】安価で且つ少ない作業手間と時間で路面性状を測定できる路面性状測定方法を提供する。
【解決手段】路面の補修を行う基準となる路面の平たん性σ、わだち掘れ深さＤ、ひび割れ率Ｃを測定する路面性状測定方法において、振動測定器２を搭載した車両３を一定速度で走行させて、被測定路面１の所定の区間内での振動数を検出して、その振動数から、予め形成された振動数に対する平たん性の相関表に基づいて前記区間内の平たん性σを決定することで、平たん性σを測定する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、精度良く膜厚測定可能な厚み測定装置または厚み測定方法を提供する。
【解決手段】基準部材１６の上に載置された測定対象部材１８上に載置されるように挿入された厚みの異なる複数の標準部材１４Ａ、１４Ｂ各々の表面から基準部材１６表面までの距離の測定結果に基づいた該距離の差分と、該厚み測定装置１０において予め特定環境条件下において測定された複数の標準部材１４Ａ、１４Ｂ各々の表面から基準部材１６表面までの距離の差分と、の比較結果に基づいて、膜厚センサ１２によって測定した膜厚測定結果を補正する。 （もっと読む）

【課題】処理対象物に所定の処理を施す処理装置におけるアラインメントの精度を高精度に評価する。
【解決手段】露光ステージ１８に装着された基板Ｆのアラインメントマーク６０ａ〜６０ｄを読み取り、アラインメントマーク６０ａ〜６０ｄを基準として、一定の関係からなる複数の異なるテストパターンを基板Ｆに繰り返し露光記録し、テストパターン同士の位置関係を比較してアラインメントの精度を評価する。 （もっと読む）

【課題】
同一パターンが形成されている複数の試料間の形状もしくは物性変化を容易に把握することができる走査プローブ顕微鏡を用いたパターン特性測定方法およびそのシステムを提供することにある。
【解決手段】
複数の試料間の同一領域を測定するために、マスターパターン上に基準位置を示すパターンを成型し、測定は基準パターンを起点とした領域内で行う。また、各試料の測定結果から、パターンを形成する単位領域の検出、および各検出単位領域内における形状特性等の算出を行い、測定領域内での各種特性のばらつき、各検出領域の二次元配列精度（ピッチのばらつき）等の、試料間での変化を表示し、パターンの特性変化が容易に把握できるようにする。 （もっと読む）