【課題】スケール、スケールベース、及びベースの熱膨張等による伸縮で生じるスケールベースの変形を防いで、スケールによる高精度な変位測定を可能とする。
【解決手段】スケールベース１１２は、スケール１１６で測定される測定方向（Ｙ方向）の複数箇所Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３でベース１１０に固定され、該固定される箇所Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３間のスケールベース１１６にスリット１１４が設けられ、前記スケール１１６は該スケールベース１１２の該固定される箇所Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の２箇所以上において該スケールベース１１２により支持され、且つ、該スケールベース１１２は、該固定される箇所Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３以外の位置において該ベース１１０との間、及び該支持する箇所以外の位置において該スケール１１６との間、のそれぞれに空隙Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３を有する。 （もっと読む）

【課題】被計測物を回転させるための円筒状工具計測用治具において、被計測物を回転方向に係らず安定して回転させる。
【解決手段】被計測物の円筒側面の少なくとも二箇所を保持する手段と、被計測物の底面の位置を決める手段と、被計測物を回転させるための、被計測物の回転軸と直角な方向に駆動するベルトとを備えた治具において、少なくともベルトの被計測物に接する側の面が弾性体からなり、かつ該被計測物に接する側の面が被計測物の計測部分の方向に向かって被計測物から離れる方向に傾斜している構造とする。 （もっと読む）

【課題】半導体製造プロセスにおける熱処理装置で使用されるウェーハを載置するための熱処理治具を製造するにあたり、ウェーハに発生する損傷や結晶欠陥を低減できる形状であることを測定できる熱処理用治具の形状測定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】形状測定時における熱処理用治具５の支持部９、１８、２７の位置を、縦型熱処理装置における保持部の位置と同一にした。これにより、熱処理用治具５の自重による撓みが計測器上で便宜的に再現できる。よって、半導体製造プロセスにおける縦型熱処理装置で使用されるウェーハ３を載置するための熱処理治具５を製造するにあたり、ウェーハ３に発生する損傷や結晶欠陥を低減できる形状であることを、簡易でかつ正確に測定できる。 （もっと読む）

【課題】簡易な機構により、機器単体でも移設を好適に検知することができるとともに、当該機器が移設されたことを好適に示すことができる移設検知機構及び床設置型機器を提供することである。
【解決手段】床設置型機器１００に、重力により移動する振子レバー１１を備え、当該床設置型機器１００が設置面Ｂから離間した場合に、振子レバー１１の移動結果をラチェット機構１３を用いて機械的に保持する。 （もっと読む）

【課題】電動ドリル等で一定の角度で穴あけ加工を行う場合、作業に伴う角度計測、及び加工中の角度計測を同時に行える手段が無く、両手がふさがることで高所作業では危険が伴った。距離センサーと制御回路で構成する片手で操作でき加工中でも角度を視認、計測できる角度表示装置を提案する。
【解決手段】 電動ドリル等の回転軸円周上の上下左右方向に反射型距離センサー１、２、３、４を配置し、反射干渉を防ぐための順次駆動回路５、計測時間比較回路６、計測値表示回路７、上下方向角度表示装置８、左右方向角度表示装置９、電源１０、スイッチ１１、ハウジング１２で構成される角度表示装置。電動ドリルに装着するため片手で操作でき、ドリル軸回転中、暗所、作業者の姿勢、利き腕、加工対象物の傾斜、円筒面、球面に関わらず角度の視認、計測が可能であり、加工中でも角度修正が容易な角度表示装置。 （もっと読む）

【課題】ステージの左右の歪みを短時間で補正する。
【解決手段】互いに平行となるように離間配置し、移動体２の対向する面に配された一対のガイド軸２２，３２と、ガイド軸２２，３２のうち一方のガイド軸２２に設けられ移動体２の一側部２ａを一方のガイド軸２２に沿って移動させる第１の搬送機構２０と、ガイド軸２２，３２のうち他方のガイド軸３２に設けられ移動体２の他側部２ｂを他方のガイド軸３２に沿って移動させる第２の搬送機構３０と、移動体２の一側部２ａを一方のガイド軸２２に沿って基準位置まで移動させたとき、移動体２の他側部２ｂの所定位置からのずれ量を検出する検出部４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】カンチレバーに対して垂直方向に高い探針を備える計測プローブ及びこのような探針を容易に形成することができる計測プローブの製造方法を提供すること。
【解決手段】計測プローブ１は、導電性ポリマーを含むカンチレバー２と、カンチレバー２の固定端２ａが接続されてカンチレバー２を片持ち支持する基部３とを備えている。カンチレバー２は、固定端２ａが基部３に接続される一方、自由端２ｂがカンチレバー２の軸線方向及び面内方向に対して垂直方向のそれぞれに対して先鋭に形成されている。カンチレバー２の固定端２ａと自由端２ｂとの間には湾曲部（曲げ部）２Ａが配されており、固定端２ａ側の面内方向に対して自由端２ｂ側が垂直方向に曲げられて探針５となっている。 （もっと読む）

【課題】 部品を搭載したシャーシの基準面に対する部品の測定面の相対的な高さを正確に求めることが可能な高さ測定装置を提供する。
【解決手段】 シャーシ１を三箇所で支持する支持ピン３２ａ，３２ｃと、シャーシ１を位置決めする位置決めピン３３ａと、基準面９および測定面１０の高さを計測する計測器３５とが設けられ、部品２の荷重Ｗが作用する荷重作用部１４に、部品２の荷重Ｗと同等の押上げ力Ｆａをシャーシ１の下方から上向きに付与することによって、シャーシ１の下方への変形を矯正する矯正手段３９が設けられている。 （もっと読む）

ワークピースの特性を直接的に測定するゲージ・グリッパ組立体である。組立体は、ロボットアームのような搬送メカニズムに取り付けられるために適応されており、グリッパおよびゲージを有するヘッドを含む。グリッパは把手部またはその他の手段を使用してワークピースを持ち上げ、保持するために適応されており、ゲージは、ワークピースがグリッパによって保持されている間に、ワークピースの特性を直接的に測定するために適応されている。
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【課題】 ホイールを取り外さない状態で、ディスクロータの振れを測定することができる測定具を一時的に車両に固定する技術を実現する。
【解決手段】 測定具１２は、ブレーキキャリパが固定されているサスペンション部材、または、そのサスペンション部材に固定されているブレーキキャリパに固定して用いられる。その測定具１２は、支持部材１７と、その支持部材の先端部に位置決めされる一対の片持部材２０、２１と、片持部材２０、２１の先端部に位置決めされる非接触式のギャップセンサ２２、２３を備えている。さらに支持部材１７をサスペンション部材またはブレーキキャリパに固定し、一方のギャップセンサ２３がディスクロータの表面に向かい合い、他方のギャップセンサ２２がディスクロータの裏面に向かい合う位置に固定する固定手段１４、１５を備えている。 （もっと読む）

【課題】 安価な構成で且つ直前の測定方向に左右されず、ヒステリシスの影響を一定にして高精度な測定を可能にする。
【解決手段】 被測定物にプローブが接触したときのプローブの三次元位置の情報から測定要素のパラメータを算出する三次元測定システムにおいて、プローブを被測定物の測定点に同じ方向から２回連続して接触させ、このうちプローブが後で接触したときの三次元位置の情報のみを取り込んで測定要素のパラメータを算出する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、被被測定部材の厚さ、うねり、及びナノトポグラフィを測定する表面形状測定装置に関し、ガイドバーのガイド面に案内されて移動するスライダの横振れを小さくして、１つの装置で被測定部材の厚さ、うねり、ナノトポグラフィを精度良く測定することを課題とする。
【解決手段】 ワーク保持器９０が配設されたスライダ６１を複数の流体静圧パッド６２，６３によりガイドバー５１に対して移動可能に支持し、ワイヤ１１８を介して駆動モータ１０４の動力をスライダ６１に伝達させて、スライダ６１をＸ，Ｘ方向に移動させてワーク２９の面２９Ａ，２９Ｂの表面形状の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】 レンズ等の表裏面の偏心及び傾きを高精度に測定する表裏面の偏心及び傾きの測定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 レンズ２０２と真球２０３ａ，２０３ｂ，２０３ｃの形状を表面側及び裏面側から測定可能な被測定物保持治具２０１を用いてレンズ２０２の三次元形状データと真球２０３ａ，２０３ｂ，２０３ｃの中心点座標を測定し、真球２０３ａ，２０３ｂ，２０３ｃの中心点座標を基準にレンズ２０２の表裏面の三次元形状データを合成し、レンズ表裏面合成データからレンズの表面と裏面との間の偏心及び傾きを算出する。 （もっと読む）

【課題】 塗装された樹脂製車両部品であっても隣接部品との隙間や段差を均一に管理可能な樹脂製車両部品の計測解析方法を提供する。
【解決手段】 射出成形した生地の樹脂製車両部品（２）を隣接部品を含めて形成した生地用マスターモデルＭに組付けて樹脂製車両部品（２）の形状および隣接部品との隙間および段差を計測する生地用拘束計測工程と、塗装後の樹脂製車両部品（２）を隣接部品を含めて形成した塗装用マスターモデルＭに組付けて樹脂製車両部品（２）の形状および隣接部品との隙間および段差を計測する塗装用拘束計測工程と、生地用拘束計測工程の計測値と塗装用拘束計測工程の計測値とから車両へ組付けられる樹脂製車両部品（２）の形状および隣接部品との隙間および段差の許容値外への変化がいずれの工程に起因して発生しているかを判定するようにした。 （もっと読む）