【課題】距離を計測する場合に長い検出距離で精度が高く、導電性膜の厚さを計測する場合に出力電圧が高い小型の磁界反射型センサを提供する。
【解決手段】磁界反射型センサ１は、交番磁界である一次磁界を発信し導電性の被対象物に渦電流を生じさせる励磁器１０と、渦電流によって発生した二次磁界を検出して受信信号を生成する受信器２０と、励磁器１０と受信器２０とを保持する非導電性材製のケース４０とを備え、励磁器１０は、第１脚部１１１と第２脚部１１２とこの二つの脚部を連結する梁部１１３とからなる門型の励磁コア１１と、梁部１１３に巻装した励磁コイル１６とで構成するとともに、二つの脚部の端面側を検出方向に向けて配置し、受信器２０は、棒状の受信コア２１と、受信コア２１に巻き回した受信コイル２６とで構成するとともに、第１脚部１１１の近傍で励磁器１０が発信した一次磁界をほとんど検出しない位置および角度に配置した。 （もっと読む）

【課題】温度変化があった場合でも、ギヤのバックラッシュの変化量を低減できる回転角度の検出精度のよい回転角度検出装置および電動パワーステアリング装置を提供する。
【解決手段】ケース８は、センサハウジング９との取付け部分、及び検出ギヤ４の回転を支持する部分に線膨張係数の小さい金属により形成されたインサート部材１１がインサート成形されている。また、回転体１０及びメインギヤ２内に装着されメインギヤ２を保持する保持リング３が同じく線膨張係数が小さい金属材料で形成されている。この保持リング３を介してメインギヤ２は回転体１０に圧入され、回転体１０にメインギヤ２がガタのない状態で組付けられる。 （もっと読む）

【課題】磁気式リニアエンコーダのスケールは一定間隔でＮ極、Ｓ極が繰り返し着磁された永久磁石が使用されるのが一般的であるが、長尺になると長い磁石を作る必要があり、磁石の製造が困難となり、さらに磁石と一般金属材料との熱膨張率の差から温度上昇により位置検出精度が劣化する。
【解決手段】移動する検出対象物に検出部と磁石を取り付け、スケールは交互に間隔を開けて設けられた多数の第１のヨーク板と第２のヨーク板よりなり、着磁された移動する磁石により第１のヨーク板および第２のヨーク板が互いに異極に着磁され、検出部が着磁されたヨークの磁場を検出する構成とする。これにより多数のヨークを積層する事により長尺のスケールを構成でき、磁石を長尺とする必要がない。またヨークは軟磁性金属であるため、昇温時の磁性材料と構造用金属の熱膨張率の差による検出精度の低下がない。 （もっと読む）

【課題】 座金による摩耗粉の発生を防止することが可能な回転角度検出装置を提供する。
【解決手段】 回転するシャフト部材２に設けられた磁石３と、磁石３の回転による磁力変化を磁気検出素子４と、シャフト部材２を回転可能に配設する第１の収納部１ｉを設けたハウジング１とを備えた回転角度検出装置Ａにおいて、シャフト部材２が第１の収納部１ｉから抜けないように第１の収納部１ｉの開口１ｐに樹脂製の座金１１を設け、座金１１がハウジング１と同じもしくはほぼ同じ線膨張係数を有するものである。 （もっと読む）

【課題】焼成時間をそれ程長くしなくても、クラックの発生する恐れのないプリントコイル製造方法を提供すること。
【解決手段】基板１１上にインクジェットプリンタにより、銀粒子と溶媒とを含む銀ペーストを、所定のコイル状に塗布するコイル塗布工程と、該塗布工程終了後に、該銀ペーストを加熱して焼成する焼成工程とを有するプリントコイル製造方法において、コイル塗布工程が、銀ペーストをコイル状に塗布する第１塗布工程Ｓ１と、第１塗布工程Ｓ１終了後、第１塗布工程Ｓ１で塗布した第１塗布層２１の上に、銀ペーストを重ねて塗布する第２塗布工程Ｓ２とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】熱変動による検出不良の発生を抑制することができるエンコーダを提供する。
【解決手段】磁場を検出する検出部（Ｄ）を備えるエンコーダであって、前記検出部に対して所定の距離（ｇ）で配置され、磁気パターンが形成された磁石部（６）と、前記磁石部を保持する回転部（３）と、熱変形により前記距離を変化させる補正部材（１０）とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安価に高精度な測定を可能とするリニアスケールを提供する。
【解決手段】リニアスケール１０は、変位測定に用いられる。リニアスケール１０は、低膨張セラミックスにて構成されたスケール台１１と、スケール台１１の上面に一体的に固定され測定時に読み取られる目盛り部１２と、スケール台１１をベース部材３０に取り付けるための取り付け部１３とを備える。取り付け部１３は、スケール台１１を貫通するように形成された貫通孔１３１ａ〜１３１ｃを備える。 （もっと読む）

【課題】良好な出力特性を与える回転角度センサを提供する。
【解決手段】被検出体に接続するロータ１０と一体に回転可能に設けられたリング状永久磁石２０と、リング状永久磁石２０の外周面を一定の間隙をおいて囲む集磁ヨーク４０（４１、４２）と、集磁ヨーク４０のギャップ４３、４４に配置されたホールＩＣ３０と、がケース本体５１とカバー５２とから構成されるケース５０内に配置された回転角度センサ１であって、ケース本体５１には、リング状永久磁石２０の外周面を一定の間隙Ｌｓをおいて囲むガイド筒５４が設けられており、ガイド筒５４は、ケース５０よりも線膨張係数の小さい材料で形成されると共に、外周面５４ａに集磁ヨーク４０が固定されている構成の回転角度センサ１とした。 （もっと読む）

【課題】 永久磁石に破損や脱落が生じるのを防止することができる着磁パルサリング、及びこれを用いたセンサ付き転がり軸受装置を提供する。
【解決手段】 本発明の着磁パルサリング１１は、環状磁石１２と、フランジ部２２を有する支持部材２０と、環状磁石１２をフランジ部２２に固定する固定部材３０とを備えている。固定部材３０は、弾性材料により形成されるとともに、フランジ部２２及び環状磁石１２の外周面を保持している第一の保持部３１と、第一の保持部３１の一端から径方向内側に突設され環状磁石１２の一端面１２ａの外周端縁に当接している外側止定部３２と、第一の保持部３１の他端から径方向内側に突設されフランジ部２２の他端面２２ｂに当接し、フランジ部２２と環状磁石１２とが離間するのを防止するフランジ部側止定部３６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】温度変化による精度の低下を防止するのに好適なレゾルバ装置を提供する。
【解決手段】単極レゾルバ３０ａは、環状の成層鉄心からなるレゾルバロータ１８ａと、環状の成層鉄心（珪素鋼板）からなるレゾルバステータ２０ａとを有する。レゾルバロータ１８ａ、１８ｉは、ステータポール２０ａｐ、２０ｉｐと所定間隔をもって対向して配置され、ボルト１８ｂによりロータ１２の内壁体１２ａの外周面に取り付けられている。内壁体１２ａは、レゾルバロータ１８ａ、１８ｉに近い熱膨張率となるように、その線膨張係数が１０．０×１０^-6[／℃]〜１７．５×１０^-6[／℃]の範囲に設定されている。 （もっと読む）

【課題】リトグラフィー投影装置の提供。
【解決手段】マスクステージのＸ、ＹおよびＲｘ位置が、マスクステージに装着された各グリッド格子の変位を測定する２つの光学式エンコダー読取りヘッド１０，１１を使用して測定され、グリッド格子１２，１３は、マスクＭＡ自体上のパターンと同一平面となるようにマスクテーブルＭＴの切取り部に設けるのが好ましい。他の自由度におけるテーブル位置の測定は、容量性または光学式高さセンサHSで測定することができる。 （もっと読む）

【課題】 製作コストが廉価であって主材が鉄である構造を有する被読取部材を用いて線膨張係数が小さい位置検出手段およびその取り付け方法を提供する。
【解決手段】 相対移動装置の一方の部材にベースを介して取り付けられた被読取部材と、他方の部材に取り付けられた読取ヘッドとを備えた位置検出手段であり、ベースは線膨張係数が５μｍ／ｍ／℃以下の低熱膨張材製であり、被読取部材は主材が鉄である構造を有し、ベースに固着され且つ温度変化によるベースの相対移動方向の伸縮に同調し、ベースは一方の部材に位置決めの基準となる基点で固定されるとともに少なくとも１箇所の可動点で相対移動方向に摺動可能に押圧されて取り付けられた位置検出手段。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変動に対して回転角度検出精度の低下を防止可能な磁気式ロータリエンコーダを提供する。
【解決手段】
磁気センサ１２０及びハウジング１３０に固定され、かつ、磁気ドラム１１０、磁気センサ、及びハウジングの線膨張変形による磁気パターン１１１と磁気センサとの間のギャップ１２２の寸法変動を打ち消すように材料及び形状を選定したギャップ補正板１４０を備えた。 （もっと読む）

【課題】温度変化が生じても、マークの位置を正確に検出すること。
【解決手段】転写ベルト１０上のマーク５を検出する光ピックアップ６ａ、６ｂと、光ピックアップ６ａ、６ｂを収容するケース１０１１、１０１２と、ケース１０１１、１０１２を固定位置１０２１、１０２２に固定して保持する回路基板１００５とを備え、固定位置１０２１、１０２２を含む面であって、転写ベルト１０の移動方向に垂直な面である固定位置面から、検出位置１０３１、１０３２を含む面であって、転写ベルト１０の移動方向に垂直な面である検出位置面までの、ケース１０１１、１０１２における部位の温度変化による転写ベルト１０の移動方向に平行な方向の膨張量の合計である総膨張量と、回路基板１００５における固定位置１０２１、１０２２の間の部位の温度変化による膨張量とが略同一であること。 （もっと読む）

【課題】 接着剤層への水分の透過を抑制し、接着剤の水分による劣化を防止でき、信頼性が向上した磁気エンコーダ、及び転がり軸受ユニットを提供する。
【解決手段】 磁気エンコーダ２６は、内輪１６ａに外嵌可能な円筒部２５ａと、円筒部２５ａから半径方向外方に広がるように形成されるフランジ部２５ｃとを有するスリンガ２５と、スリンガ２５のフランジ部２５ｃの外側面に接着剤によって取り付けられ、円周方向に多極着磁された略円環状の磁極形成リング２７と、を備える。磁極形成リング２７とスリンガ２５とを接合する接着剤層４０の厚さは、２μｍ以上４０μｍ以下である。 （もっと読む）