【課題】光学エンコーダの利得とオフセットを動的に調整する。
【解決手段】光学エンコーダにおける利得とオフセットを動的に調整する方法は、回折格子を含むエンコーダ・ディスクを提供する段階と、前記エンコーダ・ディスクに光を照射する段階と、前記回折格子から回折された光を検出しかつ第１の細カウント・チャネルを出力するように構成された検出器を提供する段階と、前記第１の細カウント・チャネルの第１のターゲット利得と第１のターゲット・オフセットを計算する段階と、前記第１のターゲット利得と第１のターゲット・オフセットに基づいて、前記第１の細カウント・チャネルからサンプリングされたデータに補正を適用する段階と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 位置合わせに用いるマークからの光量を多くして検出しやすくする位置検出装置、及び、それを用いたインプリント装置を提供する。
【解決手段】 本発明の位置検出装置は、第一方向と、第一方向と異なる第二方向にそれぞれ周期をもつ第一回折格子と、第１回折格子の第二方向の周期と異なる周期を第二方向にもつ第二回折格子と、を斜入射照明する照明光学系と、第一回折格子と第二回折格子とからの回折光を検出する検出光学系と、を備え、検出した回折光に基づいて第一回折格子と第二回折格子との第二方向に関する相対的な位置を検出する位置検出装置であって、照明光学系はその瞳面において、第一方向に、複数の極を有する光を照明することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スケールの格子ピッチが狭くなっても、従来と同様の長いピッチの受光素子アレイで検出できるようにする。
【解決手段】第１格子１４と第２格子２２と第３格子３０とを有する３格子型の光電式インクリメンタル型エンコーダにおいて、第３格子３０で生じるモアレ縞３２を受光素子アレイ４０に投影するためのレンズ光学系５０、６０を備え、光源１０からの光を、スケール移動方向に対して横方向から入射するようにし、スケール２０上に、第２格子２２に隣接して原点パターン２６を形成すると共に、第３格子３０に隣接して、原点パターン２６の透過部３４を設け、主信号検出用受光素子（４０）に隣接して配設された原点信号検出用受光素子（４２）により、主信号と原点信号を同時に検出可能とし、原点パターン形成面と、レンズ光学系５０の中心面と、受光素子面とが１点で交差するシャインプルーフ光学系を構成する。 （もっと読む）

本発明は、光学式の回転角センサないし回転検出器のための改良されたコーディングディスク、改良されたコーディングディスクを備える光学式の回転角センサないし回転検出器、ならびに回転検出器の角度測定誤差を、特に、特にコーディングディスクの変位ないし偏心によって生じる角度測定誤差を、光学式に修正ないし補正する方法に関する。コーディングディスク（２０）は、少なくとも１つの目盛トラック（２２）と少なくとも１つの補正トラック（２４）とを含んでおり、目盛トラック（２２）はコーディングディスク（２０）の第１の半径方向領域に配置されており、補正トラック（２４）は目盛トラック（２２）に対してセンタリングされて、コーディングディスク（２０）の第２の半径方向領域に配置されており、それにより目盛トラック（２２）の中心は補正トラック（２４）の中心と一致している。補正トラック（２４）は、補正トラックの一領域に入射する光の少なくとも一部分が、補正トラック（２４）により、補正トラックと目盛トラック（２２，２４）の共通の中心を通る軸の方向へ半径方向に偏向されるように設計されるのが好ましい。補正トラックにより偏向される読取り光の方向は、補正トラックと目盛トラックの共通の中心を通る軸との交点を有しているのが好ましく、補正トラックと当該交点との間隔は、補正トラックと目盛トラックの間の光路の長さに相当している。読取り光は、コヒーレントまたはインコヒーレントであってよい。補正トラックの半径は、目盛トラックの半径よりも小さいか、またはこれより大きいか、またはこれと等しくてよい。補正トラック（２４）は回折構造を有しているのが好ましい。
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走査ユニットと、その走査ユニットに対して少なくとも測定方向に動く、測定尺の面内に配置された測定尺との相対的な位置を検出する役割を果たす光学式位置測定装置を提示する。この測定尺は、第一の直線に沿って、或いは第一の湾曲した線に沿って拡がる。この走査ユニットは、光源と、検出面内に配置された、第二の線に沿って拡がる検出器配列とを有し、第二の線の湾曲が、第一の直線又は第一の湾曲した線と異なる。測定尺の走査から得られた縞模様から第二の線に沿って拡がる縞模様への変換が行われる。その変換のために、測定尺の面と検出面が互いに非平行に配置される。
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【課題】原点検出時の動作時間を短縮し、取り付ける装置の運転効率を向上させることが可能で、原点復帰動作時間が少なく、高速動作が可能で高分解能な光学式アブソリュートエンコーダを提供する
【解決手段】測定用の符号パターンが同一ピッチで形成された測定用トラックと原点検出用トラック３を有するスケール１と、このスケール１から符号に対応した信号を得る光ピックアップ部とを有し、この光ピックアップ部から得られた位相が異なる２つの信号によりアブソリュートデータを作成し、前記スケール１の原点検出用トラック３には、同一ピッチで形成された複数の原点マーク４ａ，４ｂ，４ｃと、この原点マーク４ａ，４ｂ，４ｃ間に形成された原点位置確認マーク５ａ，５ｂ，５ｃとを有し、前記原点マーク４ａ，４ｂ，４ｃと原点位置確認マーク５ａ，５ｂ，５ｃの距離が何れの位置でも異なっている光学式アブソリュートエンコーダ。 （もっと読む）

【課題】スケールの格子ピッチが狭くなっても、従来と同様の長いピッチの受光素子アレイで検出できるようにして、高速化・低価格化・小型化を実現する。
【解決手段】光源１０からの光を変調するための第１格子と、（メイン）スケール２０上に形成された第２格子２２と、前記第１、第２格子によって形成された干渉縞が投影される第３格子とを有する３格子型の光電式インクリメンタル型エンコーダにおいて、第１格子と第３格子の作用を兼ね備えた第１・第３兼用格子３２、３３をインデックス（スケール）３０に設け、該第１・第３兼用格子３２、３３上に生じたモアレ縞３４をレンズ光学系４０で検出する。 （もっと読む）

【課題】回転体の物理量を好適に計測し得る回転体の計測装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】計測対象の回転体を配する回転部２と、回転部２を回転可能に支持する固定支持部３と、回転体の計測手段としてFBGセンサ部４が形成された光ファイバ５と、回転体から固定支持部３へ光ファイバ５を延在するよう回転部２と固定支持部３の間で光ファイバ５を接続するロータリジョイント６と、光ファイバ５へ光を連続的に出力する光源７と、FBGセンサ部４からの反射光を分離する光サーキュレータ８と、反射光の信号を処理して回転体の物理量を算出する信号処理部１２とを備える。 （もっと読む）

スケール読取り装置の読取りヘッドであって、光源と、光検出器要素のアレイとを含み、前記光源および光検出器要素のアレイは格子整合半導体化合物中に製造されている読取りヘッド。
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１つまたは複数の読取ヘッド（１１４）および放射状目盛（２０）を備えるロータリエンコーダ装置について記載する。この１つまたは複数の読取ヘッド（１１４）の各々は、放射状目盛を照明するための発光部（３０、３２）と、読取ヘッド検光子平面（ＡＰ）に形成される干渉縞を検出するための光検出部（４０、４２）とを含む。この読取ヘッド検光子平面（ＡＰ）は、放射状目盛（２０）を収容する面に対して傾いている。好ましい実施形態では、この読取ヘッド検光子平面（ＡＰ）は、ロータリエンコーダ装置の回転中心（１１２）に向かって角度（β）だけ傾いている。
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【課題】受光光量を減らすことなく、所望の高次高調波を削減し、低歪の検出を行って、高精度の測定を可能とする。
【解決手段】スケール１０上の格子パターン１２又はスケール１０上に生成されたモアレ縞をレンズ光学系２０により受光素子へ導くようにされた光電式インクリメンタル型エンコーダにおいて、位相格子４０による＋１次回折光と−１次回折光の到達点の差ｄｘが、除去したい高次高調波の波長λの半分となるように、位相格子ピッチＰ_Gと配設位置Ｌが決定された位相格子４０を設ける。 （もっと読む）

【課題】スケールの格子ピッチが狭くなっても、従来と同様の長いピッチの受光素子アレイで検出できるようにして、高速化・低価格化を実現する。
【解決手段】光源１０からの光を変調するための第１格子１４と、スケール２０上に形成された第２格子２２と、前記第１格子１４、第２格子２２によって形成された干渉縞２４が投影される第３格子３０とを有する３格子型の光電式インクリメンタル型エンコーダにおいて、前記第３格子３０で生じるモアレ縞３２を受光素子アレイ４０に投影するためのレンズ光学系５０、６０を備える。 （もっと読む）

【課題】 複合材の損傷を探知する光ファイバ（ＦＢＧセンサ）を備え、高い視認性を有して取扱い易い損傷探知用モジュール化センサ及びその製造方法を提供する。また、この損傷探知用モジュール化センサが埋め込まれた構造用複合材を提供する。
【解決手段】 ＦＢＧセンサ４を有する光ファイバ１１の端部にコネクタ１２を取り付け、光ファイバ１１に部分的にフィルム１３を固着することにより、高い視認性を有し取扱い易い損傷探知用モジュール化センサ１０を構成する。そして、損傷探知用モジュール化センサ１０の光ファイバ１１（ＦＢＧセンサ４を含む）の露出部を構造用複合材１００の応力集中部を通るように埋設し、構造用複合材１００の端部にフィルム１３をその一部を突出させるようにして埋設する。 （もっと読む）