【課題】アパーチャ径を小さくすることなく、エアギャップ許容範囲を広げて、光源寿命を短くすることなく、調整を容易とする。
【解決手段】メインスケール２０と受光素子３４の間に、レンズ４２と、その焦点位置に配設されたアパーチャ４４が挿入されたテレセントリック光学系４０を持つ光電式エンコーダにおいて、前記レンズ４２、メインスケール２０及び受光素子３４の少なくともいずれか一つを、アパーチャ４４と受光素子３４中心を結ぶ軸に対して傾ける。 （もっと読む）

【課題】両側テレセントリック光学系を用いた光電式エンコーダを小型に構成する。
【解決手段】円形のハーフミラー６２と、その両面に背中合せに固着された一対の半球レンズ６４、６６とにより構成されるボールレンズ６０と、ＬＥＤ１２およびコリメータレンズ１４を用いて構成される光源１０、該光源１０から前記ボールレンズ６０のハーフミラー６２を介して照明光が入射される反射型スケール２２と、該スケール２２で反射され前記ボールレンズ６０のハーフミラー６２を透過した光の中心部を該ハーフミラー６２に向けて反射するアパーチャミラー７０と、受光素子３４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】両側テレセントリック光学系を用いた光電式エンコーダを、部品点数を増やすことなく小型に構成する。
【解決手段】メインスケール２０、２２と受光素子３４の間に、アパーチャ７０、８０と、該アパーチャ７０、８０に焦点が来るように、その両面に配設されたレンズでなる両側テレセントリック光学系５０が挿入された光電式エンコーダであって、同じボールレンズ６０に光を２回通すことにより、前記両側テレセントリック光学系５０を１つのボールレンズ６０で実現する。 （もっと読む）

【課題】スケール上視野を拡大し、汚れやうねりに対してロバストとすると共に、光源の信頼性を向上する。
【解決手段】メインスケール２０と受光素子３４の間に、レンズ４２と、その焦点位置に配設されたアパーチャ４４が挿入されたテレセントリック光学系４０を持つ光電式エンコーダにおいて、前記アパーチャを、測定軸方向に複数個（４２、４２ａ、４２ｂ）設けて、像を重ね合わせる。 （もっと読む）

【課題】２クラックを用いなくても、１トラックのスケールで、絶対位置を、低消費電力、高精度、高分解能、低価格で検出できるようにする。
【解決手段】スケール１０上のビットパターンの画像を検出器２０で取得して、スケールと検出器の相対変位を検出するようにされた光電式エンコーダにおいて、スケール１０上のＡＢＳパターンを、変調を施した擬似乱数により表現し、画像相関を用いた内挿方法と組合せることで、正確な絶対位置の検出を可能とする。 （もっと読む）

【課題】光学系を大型化することなく、組立許容度を向上して使い勝手を向上する。
【解決手段】テレセントリック光学系（レンズ４０、アパーチャ４２）を用いた光電式エンコーダにおいて、受光素子３５上の光学格子（インデックス格子３２）又は受光素子アレイ３４の受光素子３５を、異なるピッチＰa1、Ｐa2、Ｐa3、Ｐa4・・・で複数配設する。 （もっと読む）

【課題】 スケールと検出ヘッド部との相対姿勢変動に対してロバスト性を有し、高分解能で、かつ、安定した変位検出が可能な変位検出装置を提供する。
【解決手段】 光源１４０と、光源１４０からの光を二光束に分波するビームスプリッタ１７０と、ビームスプリッタ１７０からの二光束のそれぞれに対して設けられ、これら二光束を反射してスケール１１０に入射光として入射させる反射ミラー１８１、１８２と、スケール１１０に入射した二光束が回折格子１１１で回折されて生じる回折光のそれぞれに設けられ、回折光を再帰反射してスケール１１０に再帰光として入射させるコーナーキューブ１９１、１９２と、を備える。入射光および再帰光は回折格子溝に対して垂直な方向から入射され、かつ、入射光とスケールの法線ベクトルとのなす角αは、再帰光とスケールの法線ベクトルとのなす角βよりも大きい。 （もっと読む）

【課題】 必要位相精度と、インデックススケールとメインスケールとの距離と、平行光線のビーム発散角度と、周期パターンの周期との関係を規定することにより、所望の精度をもつ光学式エンコーダ装置を提供する。
【解決手段】 ビーム発散角θをもつコリメータ４１から出射された平行光線がインデックススケール４３を透過してギャップg離れたメインスケール４２までに到達するまでに広がる距離(g×tanθ)の、メインスケール４２のピッチPに対する割合((g×tanθ)/P)を、光電出力信号の位相で表した値は、光学式エンコーダ装置４５の必要位相精度A_phよりも小さい。 （もっと読む）

【課題】レンズ光学系を用いた光電式エンコーダのレンズの倍率収差による信号検出効率低下を防止する。
【解決手段】メインスケール２０、２２と受光素子３２、３５の間にレンズ光学系（４０、４２）が配設された光電式エンコーダにおいて、受光素子３２上の光学格子３１又は受光素子アレイ３４の受光素子３５を、レンズ４０の歪曲収差による像の周期に合わせて配置して、周期の異なる格子像を信号として検出できるようにする。 （もっと読む）

２つの部材の間の変位を測定するための装置である。スケールが一方の部材に設けられ、かつインクリメンタルパターンをそこに組み込まれた少なくとも１つの基準マークと共に有する。読み取りヘッドが他方の部材に設けられ、かつスケールのインクリメンタルパターンにより変調した光パターンと相互作用して前記変位量に応じて前記読み取りヘッドに対して移動する干渉縞を生ずる周期的回折手段と、干渉縞の動きを検出するための第１の検出手段と、基準マークを結像させるための結像手段と、基準マークの画像を検出するための第２の検出手段とを具えている。
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