【課題】スライダとインデックススケールとの間のギャップをより正確に検出できるリニアエンコーダを提供する。
【解決手段】リニアエンコーダは、発光素子１２と、スケール１０と、スケール１０に対して相対変位するインデックススケール１３ａと、スケール１０およびインデックススケール１３ａを透過した光を電気信号に変換する受光素子１４ａと、を備えている。スケール１０には、互いに異なるピッチの主格子目盛１６および補助格子目盛１７が設けられている。リニアエンコーダのギャップ検出部は、補助格子目盛１７から得られる信号振幅に基づいて、主格子目盛１６から得られる信号振幅に対する温度の影響量を取得し、この温度の影響量を除去した信号振幅に基づいてスケール１０とインデックススケール１３ａとの間のギャップ量を求める。 （もっと読む）

【課題】光干渉信号出力をセンサ信号とするセンサには、構成が簡単で、センサ部分の無電源化が可能なホモダイン干渉方式があるが、安定な動作を得るには、使用部品に対し厳しい工作精度と熱膨張対策が必要であると共に、センサ信号として変動できる位相範囲は±９０度以内に限られていた。
【解決手段】干渉計の入力を周期性光パルスとし、参照光パルスの前半と後半で位相を９０度（直交位相）異なる位相とし、計測光パルスと干渉させることにより、９０度異なる２つの干渉出力値ｉ１、ｉ２を得て、その参照光と計測光の値ｒ、ｓとから、参照光と計測光の位相差をθとして、２つの余弦値ｃｏｓθ１、ｃｏｓθ２を算出して余弦曲線上に位置を定め、その角度θ１、θ２を求めることによって、干渉光の強度変動、位相動作点変動の影響を除外するとともに、１周期前との角度の差分を積算して、センサ出力とすることにより、センサ信号として変動できる位相範囲が、±９０度（半波長）を超えることを許容する光ファイバセンサを提供する。 （もっと読む）

【課題】スケールからの反射光による像のコントラストを高くし光検出器の誤検出を防ぐ。
【解決手段】下地部材に第１領域と第２領域とが交互に配置された反射型光学式スケールであって、下地部材に第１領域と第２領域とが交互に配置され、第１領域は、波長λの光の反射率が第２領域よりも高く、第１領域は、下地部材の上に配された反射部材と、反射部材の上に配された第１材料で構成された層と、第１材料で構成された層の上に配された第２材料で構成された層と、で構成され、第２領域は、下地部材の上に配された第２材料で構成された層で構成され、第１材料および第２材料は、光について透過性を有し、第１材料は、反射部材および第２材料よりも光の屈折率が低く、第２材料は、下地部材よりも光の屈折率が低く、第１材料および第２材料の光学膜厚は、第１領域の方が第２領域よりも光の反射率が大きくなるように設けられている。 （もっと読む）

【課題】モータ軸の回転量を検出するための検出ユニットにおいて、エンコーダとしての信頼性を簡便に高める。
【解決手段】入射光の光量に対応した出力信号を出力する複数の受光素子が所定方向に配置されている受光素子アレイと、符号版の少なくとも一部に光を照射する光源と、を備え、複数の受光素子は、光の光量分布に応じて所定方向と垂直な幅方向における実効領域の幅が変更されてそれぞれ設けられている。 （もっと読む）

【課題】位置検出器の走査組立品のキャリアに対する放射線源の所定の位置決めを簡単な手段によって可能にする。
【解決手段】放射線源が、異なる位置でそれぞれの電気導体要素に電気接触していて、この放射線源４をキャリア１に対する調整軌道に沿って異なる位置に配置できるようにするため、キャリア１の電気導体要素と放射線源４の電気接続要素４４，４６とが、導通部分を形成し、放射線源４をキャリア１に対して固定する前に、この放射線源４が、この放射線源４と電気導体要素との間の電気接触を維持しながら調整軌道に沿ってキャリア１に対して導通部分に接して移動可能である。 （もっと読む）

【課題】雰囲気温湿度が変化するような場合でも、高精度の位置測定を行うことができる位置測定装置を提供する。
【解決手段】コリメートレンズ２を透過した光のうち、ビームスプリッタ３で反射された光は、集光レンズ８により、ＣＣＤ９の受光面に集光される。光源１が振動して光ビームの位置が変われば、ＣＣＤ９に入射する光ビームの位置が変化するので、ＣＣＤ９の出力変動から、光ビームの振動中心を知ることができる。制御装置１０は、この振動中心を検出し、振動中心が予め定められた位置となるように、光源１を加振しているピエゾ素子１１に印加する電圧を制御する。 （もっと読む）

【課題】基準位置を高精度に検出する。
【解決手段】エンコーダ装置は、基準位置を示す基準位置パターンと位置情報パターンとを有するスケールと、スケールに光を照射する光源と、光を変調させる変調信号を生成する変調部と、変調信号に基づいて変調された変調光によって位置情報パターンを検出した位置情報信号に基づいて、スケールの位置情報を検出する位置情報検出部と、変調光によって基準位置パターンを検出した検出信号を出力する基準位置受光部と、検出信号に基づいて、基準位置を検出する基準位置検出部と、を備え、基準位置検出部は、光を変調することによって生じる基準位置の変位を補正する補正部を備える。 （もっと読む）

【課題】スケールの位置情報を高精度に検出する。
【解決手段】エンコーダ装置は、照射光を射出する光源部と、少なくとも移動方向に光源部と相対的に移動可能であって、照射光が入射され、移動方向に沿って形成されたパターンを有するスケールと、照射光を変調させる変調信号と、変調信号に応じた参照信号とを生成する変調部と、照射光を受光して、受光した照射光に応じた受光信号を出力する受光部と、参照信号を遅延させて遅延参照信号を生成する遅延信号生成部と、遅延信号生成部によって生成された遅延参照信号と受光信号とに基づいて、移動方向におけるスケールの位置情報を検出する位置検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】安価で信頼性の高い信号処理装置を提供する。
【解決手段】被計測物の変位に応じた複数の周期信号に基づいて、前記変位に係る波数および位相の組み合わせを得る信号処理装置であって、前記複数の周期信号のサンプリング毎に該複数の周期信号から位相を得る第１手段と、サンプリング毎に前記第１手段により得られた位相に基づく波数および位相の組み合わせに対して回帰演算を行うことにより、サンプリング間隔における前記位相の変化量を得る第２手段と、第１サンプリングでの前記組み合わせに前記変化量を加算して第２サンプリングでの前記組み合わせを予測する第３手段と、前記第１手段により得られた前記第２サンプリングでの位相から、前記第３手段により予測された前記組み合わせの予測誤差を得る第４手段と、前記第３手段により予測された前記組み合わせに前記予測誤差を加算して前記第２サンプリングでの前記組み合わせを得る第５手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】高分解能を有するアブソリュートエンコーダに有用なスケールを提供する。
【解決手段】 アブソリュートエンコーダのスケールには、少なくとも１つの方向に沿って所定のピッチで複数のマークが配列されている。前記スケールは、前記少なくとも１つの方向に沿って前記所定のピッチで配置された光反射性または光透過性を有する複数のマークを含む基材を有する。前記複数のマークのうちの一部のマークには、光を減衰させる膜が形成されている。 （もっと読む）

【課題】基準位置を高精度に検出する。
【解決手段】エンコーダは、位置情報パターンと基準位置を示す基準位置パターンとを有するスケールと、位置情報パターンを検出した位置情報信号を出力する位置情報検出部と、基準位置パターンを検出して、第１信号と第２信号とを出力する基準位置検出部と、第１信号と第２信号とに基づいて、基準位置の近傍位置を示す基準位置近傍信号、及び、基準位置を示す基準信号を生成する信号生成部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】位置測定装置における可動部材をできる限り他の部材と機械的に接続せずに成る高精度の位置測定装置を提供すること。
【解決手段】検出ユニット２０と信号ユニット３０を構造的に分離されたユニットとして形成し、検出ユニット２０を測定標準１０に対して少なくとも１つの測定方向ｘに沿って変位可能に配置し、光源から照射されるビームを信号ユニット３０から検出ユニット２０の方向へ照射し、少なくとも１対の部分ビームを検出ユニット２０から信号ユニット３０の方向へ照射し、検出ユニット２０及び信号ユニット３０を互いに平行な平面内に配置し、信号ユニット３０と検出ユニット２０の間におけるビームの少なくとも一部の拡がり方向を前記平面に対して垂直に配向するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】ポリゴンミラーなどの静止物体の校正に使用されるエンコーダに有用な技術を提供する。
【解決手段】光源と、マークが一定のピッチで配列され相対移動するスケールと、スケールのピッチによって決定される周期の整数分の一の大きさの周期で偏光方向が回転する直線偏光を生成する光学系と、生成された直線偏光を第１直線偏光と第２直線偏光とに分割する分割部と、固定配置された第１偏光板を含み、スケールが相対移動する間における、第１偏光板を通過した第１直線偏光の偏光方向の回転の数を得る第１ユニットと、直線偏光の偏光方向に対して回転する第２偏光板を含み、スケールが静止したときにおける第２直線偏光の偏光方向を検出することによってスケールが静止したときにおける直線偏光の１回転内の位相を得る第２ユニットと、第１ユニットおよび第２ユニットにより得られた結果を統合してスケールの移動量を出力する出力部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】調整の容易な干渉計測装置を提供する。
【解決手段】撮像素子が受光した全体領域から第１および第２部分領域を抽出し、抽出された第１および第２各部分領域で受光した干渉光の強度を複数の時刻で取得し、各時刻における前記強度のうちの一方および他方をそれぞれX座標値およびY座標値としたときのY座標値の最大値と最小値との差分を第１差分Aとして算出し、X座標値およびY座標値の組み合わせのデータを一次関数で近似した場合の傾きαを算出し、この傾きがゼロとなるようにXY座標系を回転し、回転後のXY座標系におけるY座標値の最大値と最小値との差分を第２差分B’として算出し、δ＝asin{(B’/cosα)/A}で表される角度δを算出し、当該角度δを干渉光の位相分布の均一性を示す指標として決定する。 （もっと読む）

【課題】受光部における誤検出を防止可能なロータリスケールを具備する位置検出装置、ロータリスケール、および位置検出装置を備える液体吐出装置を提供すること。
【解決手段】被検出物３１の位置検出を行う位置検出装置であり、発光部６２および受光部６４を備え、これらの間に空間部６１３を備えるフォトセンサ６０と、空間部６１３の間に差し掛かるロータリスケール５１と、ロータリスケール５１に設けられ、第１透光部５３ａおよび第１遮光部５３ｂが交互に形成される位置検出パターン５３と、ロータリスケール５１に設けられ、第２透光部５４ａおよび第２遮光部５４ｂが交互に形成され、通過する光量が位置検出パターン５３を通過する光量よりも少なくなる汚れ検出パターン５４と、フォトセンサ６０を移動させて、位置検出パターン５３の検出状態と汚れ検出パターン５４の検出状態とを切り替えるセンサ位置切替機構７０と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】スケールに対する被検出光の照射位置が基準からずれた場合でも、絶対角度を精度良く検出することができるエンコーダ、及びこのようなエンコーダに用いるエンコーダ用受光装置を提供する。
【解決手段】エンコーダ１では、一直線状の光透過部１７に被検出光を透過させることにより、スケール板１１において、配列ラインＬ１，Ｌ２の互いに離間した一部を含む領域に被検出光が照射される明部１９が形成され、他の領域に被検出光が照射されない暗部２０が形成される。したがって、光強度ピークＰ１，Ｐ２間の相対角度（基準相対角度）は、光透過部１７の形状から一義的に算出できる。そこで、エンコーダ１では、角度検出時の相対角度と基準相対角度とのずれ量を補正量α°として算出することにより、スケール板１１に対する被検出光の照射位置が基準からずれた場合でも、絶対角度を精度良く検出することができる。 （もっと読む）

【課題】経済的で頑丈であるとともに設置しやすく高分解能な光学式エンコーダおよびその読取ヘッドを提供すること。
【解決手段】２つの部材間の相対位置を測定する光学式エンコーダは、スケール格子と、この格子を照らす第１波長光源を備える読取ヘッドとを備える。格子はスケール光を出力し、変位する周期的強度パターンを第１波長で形成する。読取ヘッドは複数の空間位相検出器を備え、空間位相検出器は、周期的な空間フィルタと、第１波長周期的強度パターンから生じる光を受光し、第２波長光を出力する蛍光体層と、この第２波長光を受光・感知する光検出素子とを備える。光検出素子は、第１波長周期的強度パターンの空間フィルタ処理後のパターンに対応する第２波長光を受光し、当該空間位相検出器に対する空間位相を示す信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】精度の点で有利なアブソリュートロータリーエンコーダを提供する。
【解決手段】第１軸の周りに一定の周期で複数のマークが配列され第２軸を回転中心として回転するスケールと、前記周期よりも小さいピッチで配置された複数の光電変換素子によって複数のマークの中の一部のマークを検出する第１検出器及び第２検出器のそれぞれから出力される周期信号に基づいて第１検出器の位置におけるスケールの絶対回転角度を算出する算出部と、を備える。前記算出部は、第１検出器から出力された周期信号の振幅を量子化することによってデータ列を生成し、該データ列を第１角度データに変換し、第１検出器及び第２検出器から出力された周期信号の振幅をそれぞれ規格化し、該振幅が規格化された周期信号を平均化し、該平均化された周期信号の位相から第１角度データよりも最小単位が小さい第２角度データを算出し、第１角度データと第２角度データとを合成する。 （もっと読む）

【課題】マークが円筒面に形成されたアブソリュートロータリーエンコーダで計測精度の点で有利なものを提供する。
【解決手段】円筒面に複数のマークが一定の周期で周方向に沿って配列された回転する円筒体、前記円筒面に光を射出する光源、前記周期よりも小さいピッチで配置された複数の光電変換素子によって前記複数のマークの中の所定の数のマークを検出する検出器、前記検出器の出力に基づいて前記検出器の位置における前記円筒体の絶対回転角度を算出する算出部、前記検出器は前記光源と前記円筒面と前記検出器との幾何学的配置に起因して前記円筒面における前記所定の数のマークの領域が前記検出器に歪んで投影されることによって周期が不均一にされた前記所定の数のマークの信号を出力する。前記算出部は補正データを用いて前記所定の数のマークの信号を補正し前記補正された前記所定の数のマークの信号を用いて前記円筒体の絶対回転角度を算出する。 （もっと読む）

【課題】コード・ホイールの位置合わせ不良を補正する装置及び方法を提供する。
【解決手段】この装置及び方法は、少なくとも第１及び第２の運動検出用フォトディテクタの上方及び下方に配置された上部及び下部のコード・ホイール位置合わせ不良用フォトディテクタを使用する。別の実施形態によれば、光学エンコーダ内の出力回路の利得を自動的に設定する装置及び方法が提供される。光学エンコーダのさらに別の実施形態では、本発明のコード・ホイール位置合わせ不良用機能と自動利得制御機能が組み合わされる。 （もっと読む）