【課題】ハンドリング及び作業性に優れる光電式エンコーダ及びそれを用いた真空装置を提供することである。
【解決手段】光電式エンコーダは、測定軸方向に所定ピッチで形成された回折格子１１を有するスケール１０と、スケール１０に照射された光の反射光を伝搬する第１ファイバ２０を備える検出ヘッド３０と、第１ファイバ２０を伝搬した反射光を集光する第１レンズ６０，６２と、集光された反射光を受光し、電気信号に変換する受光素子５４とを備える。 （もっと読む）

【課題】小型の検出器ユニットを可能とすると共に、光源による検出器ユニットの熱ひずみを回避して、ロバストで高精度な測定を可能とする。
【解決手段】第１の光学格子１３２が設けられたスケール１１０と、該スケール１１０に対峙して配置される検出器ユニット１４０と、を有する光電式エンコーダ１００において、前記スケール１１０に、前記第１の光学格子１３２で変調されて前記検出器ユニット１４０で受光される光を発光する面状光源１２０を一体的に備える。 （もっと読む）

【課題】パン方向、チルト方向、更には、ROTATION方向の回転角度を広範囲で、磁場影響を受けずに、高精度で小型の光学式角度センサを提供すること。
【解決手段】測定対象部に設けられた２色以上の色パターンと、前記色パターン上に照射する光源と、前記色パターンの透過又は反射光を前記色パターンに集光する光学レンズと、前記光学レンズで集光された光強度検出する多画素光センサを備え、第一色パターンのＰａｎ方向の移動量を測定しＰａｎ方向角度を算出し、第二色パターンを第一色パターンから分離検出してチルト方向の移動量を測定しチルト方向角度を算出することで、色パターンを測定対象の回転に応じ回転する球面上に設置し、その所定位置を観測することで、広角度範囲で高精度で小型で測定可能となる。 （もっと読む）

【課題】簡易な作業で光学部品の高精度な組み付けを可能とする
【解決手段】上下の突部１１１２の前後孔１１１２１に、レンズ１１２、スペーサ環１１３、光ファイバを接続したカップリング１１４を挿入し固定する。また、上下の突部１１１２の左右孔１１１２３にミラー筒１１５を各々挿入し、前後孔１１１２１と上下孔１１１２２の交差により形成されるミラー配置室に、ミラー面１１５１を位置させる。そして、ミラー筒１１５の溝部１１５２を操作してミラー面１１５１の回転角度を調整し、前後孔１１１２１に配置したレンズ１１２と、上下の突部１１１３の間に開いた開口を有する上下孔１１１２２との間で光が反射によって中継されるようにする。 （もっと読む）

【課題】ＡＢＳパターンの最小線幅がＡＢＳ受光素子アレイのアレイ間隔の整数倍となっていない場合でも、相関演算を行うことができ、高精度に移動距離を計測可能とする。
【解決手段】擬似ランダム符号に基づくＡＢＳパターン１０４が設けられたスケール１０２と、該スケール１０２により形成された明暗パターンを受光する受光素子１１２と、該受光素子１１２の出力に従う信号を処理して該受光素子１１２に対するスケール１０２の絶対位置を計測する信号処理回路１１８と、を有する絶対位置測長型エンコーダ１００において、前記信号処理回路１１８が、前記受光素子１１２のＡＢＳ受光素子アレイ１１４のアレイ間隔Ｐ_ＰＤＡよりも細かい間隔Ｄを求めると共に、前記ＡＢＳ受光素子アレイ１１４の出力に従う該間隔Ｄ毎のデジタル値を求めて出力する空間分割数変換回路１２４を備える。 （もっと読む）

【課題】ＡＢＳパターンに擬似ランダム符号を用いても少ない演算量で絶対位置を算出すると共に、ＡＢＳパターンに太り等が生じた場合でも絶対位置の精度を確保できる。
【解決手段】擬似ランダム符号に基づいたＡＢＳパターン１０４で明暗パターンを形成するスケール１０２と、該明暗パターンを受光する受光素子１１２からの信号ＳＡ３に２値化処理をして、前記ＡＢＳパターン１０４の最小線幅Ｐ_ＡＢＳ区間毎に、該２値化処理された値の微分後の絶対値が極大となる位置を求めるエッジ位置検出回路１２４と、該位置についてのヒストグラムからピーク位置ＰＫを求めるピーク位置検出回路１２６と、前記２値化処理された値に基づいて擬似ランダム符号を復号する復号回路１２８と、該擬似ランダム符号をその設計値に参照して絶対位置を算出するＡＢＳ位置検出回路１３０と、該絶対位置を前記ピーク位置ＰＫで補正する位置データ合成回路１３２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光スポットの変位を検出することを原理とする光学式センサにおいて、アナログ型のものは測定範囲が狭い、ダイナミックレンジが狭いなどの難点があり、ディジタル型のものは処理が面倒で、応答が遅いという難点があった。
【解決手段】光スポットの光強度を単独のフォトダイオードで検出することを基本として、受光素子前に光スポットよりピッチの短い格子を置くことでディジタル信号を得ると共に、広範囲の光スポット変位に対応できるアナログ型の検出器を併用する。 （もっと読む）

【課題】回折格子の姿勢変化の影響を受けずに、高い分解能で位置検出が可能な光学式変位測定装置を提供する。
【解決手段】光学式変位測定装置１０Ａは、回折格子１１Ｔで回折された２つの１回回折光Ｌｂ１，Ｌｂ２を再度回折格子１１Ｔに照射する反射光学系１６，１７で、第３の結像素子２７の焦点距離と第４の結像素子３０の焦点距離が等しく、第３の結像素子２７の焦点位置付近に回折格子１１Ｔと反射器２６を配置すると共に、第４の結像素子３０の焦点位置付近に回折格子１１Ｔと反射器２９を配置することで、移動位置検出方向以外への回折格子の変位の影響を抑える。 （もっと読む）

【課題】ＡＢＳパターンから生ずる信号の２値化エラーを低減し、安定で精度の高い絶対位置の計測を行う。
【解決手段】擬似ランダム符号に基づいたＡＢＳパターン１０４を備えると共に、該ＡＢＳパターン１０４で明暗パターンを形成するスケール１０２と、該明暗パターンを受光する受光素子１１２と、該受光素子１１２から出力される信号ＳＡ１に従うデジタル信号ＳＡ３を、輝度が高いモードＢと輝度が低いモードＤの２つに分け、該２つのモードの間の分散（モード間分散）が最大となるしきい値ｋにより２値化処理を行うと共に、該２値化処理された値から前記ＡＢＳパターン１０４の最小線幅Ｐ_ＡＢＳ単位で擬似ランダム符号を復号する２値化回路１２４と、該復号された擬似ランダム符号と前記擬似ランダム符号の設計値との相関を取ることで前記スケール１０２の受光素子１１２に対する絶対位置を算出する位置検出回路１３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 反射素子の光路上の位置を適切に設定することにより、装置全体の小型化を図りつつ、被検物の相対的変位の検出と、絶対角度位相の検出を高精度に行うことができる変位検出装置及びそれを有する光学機器を得ること。
【解決手段】 光束を被検物に照射する照明手段、被検物に設けられ反射部と非反射部を繰り返し形成した第１の反射手段、第１の反射手段で反射された光束を受光する第１の受光手段、被検物に設けられ、反射部と非反射部を有する非透光性の第２の反射手段、該第２の反射手段で反射された光束を受光する第２の受光する第２の受光手段、該第１の反射手段の非反射部を通過した光束を、第１の受光手段が配置されている位置の方向とは異なる方向に反射させる反射面を有する迷光防止手段、とを有し、第２の反射手段は、迷光防止手段の一部で反射し、第２の受光手段が配置されている位置の方向に反射される光束の光路上に配置されていること。 （もっと読む）

【課題】スケールの格子ピッチが狭くなっても、従来と同様の長いピッチの受光素子アレイで検出できるようにして、高速化・低価格化・小型化を実現する。
【解決手段】光源１０からの光を変調するための第１格子と、（メイン）スケール２０上に形成された第２格子２２と、前記第１、第２格子によって形成された干渉縞が投影される第３格子とを有する３格子型の光電式インクリメンタル型エンコーダにおいて、第１格子と第３格子の作用を兼ね備えた第１・第３兼用格子３２、３３をインデックス（スケール）３０に設け、該第１・第３兼用格子３２、３３上に生じたモアレ縞３４をレンズ光学系４０で検出する。 （もっと読む）

【課題】移動体の変位に依存せずに移動体の移動情報を検出する。
【解決手段】反射形エンコーダ１１は、発光チップ１５と受光チップ１７との２層構造を有し、受光チップ１７のフォトダイオード１７a,１７bと１７cとの間に貫通穴２０を形成し、受光側フレーム１８の貫通穴２０に対向する位置に貫通穴２１を形成している。移動体１２には、２つの反射面１３a,１３bを有するプリズム１３と、２つの反射面１４a,１４bを有するプリズム１４とを形成し、反射面１４bは、移動体１２の移動方向に一定のピッチＰで且つＰ/２幅で複数配列している。そして、移動体１２の移動に伴って、反射面１４bからの反射光がフォトダイオード１７a,１７bに入射される状態と、反射面１４bによって光が反射されない状態との繰り返しにより、フォトダイオード１７a,１７bで変調光を検出することによって、移動体１２の変位状態を表す移動情報を得る。 （もっと読む）

【課題】汎用性が高く、共通化を図ることができ、低価格を実現する。
【解決手段】光学変調トラックを持つパルスコードホイール９と、発光素子３と受光素子４を同一平面上あるいは対向して配置された光学式エンコーダモジュールとを有し、光学式エンコーダモジュールを、パルスコードホイールに平行に対向させ、発光素子からの光の反射光あるいは透過光の変調を受光素子により検出して、被検出部材の移動に関する情報を得る光学式エンコーダにおいて、発光素子とパルスコードホイールの間と、前記パルスコードホイールと受光素子の間の少なくとも一方に、投射光分布を補正する補正光学系５ａ，５ｂを設ける。 （もっと読む）

【課題】ビームスプリッタを用いて光の利用効率を低下させたり、台形プリズムのような複雑な光学部品を用いることなく、簡単な構成で、高精度の原点検出を行なう。
【解決手段】反射スケール２０上に形成された入側原点パターン２６及び出側原点パターン２８と、前記反射スケール２０に関して、光源４２及び受光素子５０と同じ側に配置された反射スリット４６と、前記入側原点パターン２６を物体面とする入側テレセントリック光学系を構成する入側レンズ４４と、前記出側原点パターン２８を結像面とする出側テレセントリック光学系を構成する出側レンズ４８とを備え、前記入側テレセントリック光学系と出側テレセントリック光学系により、前記反射スリット４６の両側にテレセントリック光学系を構成する。 （もっと読む）

本発明は、走査ユニットとこの走査ユニットに相対して少なくとも１つの測定方向に移動可能なスケールとの相対位置を検出するための光学位置測定装置に関する。このスケールは、組み合わせ式の構成ユニットとして形成されており、この構成ユニットは、少なくとも１つの反射素子と測定目盛とを有する。走査ユニットは分割手段を有し、この分割手段は、光源から発せられた光束を測定方向に少なくとも２つの部分光束に分割し、これらの部分光束が、この分割後、前記スケールの方向に伝播する。
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【課題】組立て調整を容易とすることが可能な光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】本発明に係る光学式エンコーダ１の一実施形態は、光を出射する発光素子１０と、略等間隔に配置された複数のスリットＳ１を有し、回転又は直線的に移動可能な可動スリット板３０と、発光素子１０からの光を受けて第１の分割光と第２の分割光とに分割し、これらの第１の分割光と第２の分割光とを可動スリット板３０におけるスリットＳ１の回転経路上又は直線経路上に向けてそれぞれ照射する多焦点レンズ２０と、可動スリット板３０を通過した第１の分割光に応じて第１の電気信号を生成する第１の受光素子４１と、第１の電気信号の位相と異なる位相である第２の電気信号であって、可動スリット板３０を通過した第２の分割光に応じて第２の電気信号を生成する第２の受光素子４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】画素ピッチの粗いラインセンサを用いても高分解能で検知ができ、さらにスケールの偏心や蛇行が発生しても誤差が生じない相対位置計測装置を提供する。
【解決手段】所定の反射率あるいは透過率の変化による連続したマークパターン２ａにより形成されたスケール２と、スケール２を照明する光源と、スケール２のパターンを読み取るラインセンサ４と、ラインセンサ４の出力信号を処理する信号処理部とを有し、スケール２の相対的な位置及び速度を検出する相対位置検出装置において、スケール２のマークパターン２ａをスケール移動方向に直交した一定間隔のラインパターンにより形成し、ラインセンサ４をラインパターン２ａに対して所定の角度を持って配設するようにした。 （もっと読む）

【課題】偏光要素を使用することなしに、走査信号の生成を可能とする光学エンコーダ。
【解決手段】エンコーダは、反射スケール本体２０およひ走査ユニット１０を有する。光源１１によって放射されたビーム束は、コリメータ光学系１２によって平行なビーム束に変換され、回折されないで走査板１３の支持基板１３．１を通過し、反射スケール２２に入射する。走査ユニット１０は、入射ビーム束がスケール２２で二回反射されてから検出要素１６．１、１６．２、１６．３で検出されるように、走査格子１４．３、１４．４、１４．５および反射要素１５．１、１５．２は、支持基板基板１３．１に形成される。 （もっと読む）

本発明は、軸（６）周りの回転角度を測定する光電子角度センサ（１ａ）に関する。その光電子角度センサは、前記軸の周りで回転可能な円形ディスク（２ａ）を有する。前記円形ディスクは、全面が符号化されている。前記円形ディスクは、平面感光性の検出器（３ａ）と、計算可能な符号化された画像を前記検出器に生成する装置と、回転角度を測定するメモリ計算要素（４ａ）と、を備えている。符号化された大部分の画像、特に、全体画像は、検出器に生成される。回転角度は、前記画像、および、メモリ計算要素によって設けられるパラメータ化された電子標準パターンからパラメータ変動確率比較法を用いて測定される。 （もっと読む）

【課題】最小限のコストアップで、且つ、比較的簡単な構成で、レンズ焦点距離の温度変化を軽減する。
【解決手段】プラスチックレンズ１０又はプラスチックレンズアレイ１２と、その焦点位置Ｆの間に、焦点距離ｆの温度変化を軽減するための、２つの平行な平面を有するプラスチックブロック２０を配設してレンズ光学系を構成する。該プラスチックブロック２０の表面に遮光パターン２２を形成することができる。前記レンズ光学系を含んで片側又は両側テレセントリック光学系を構成することができる。 （もっと読む）