【課題】調整の容易な干渉計測装置を提供する。
【解決手段】撮像素子が受光した全体領域から第１および第２部分領域を抽出し、抽出された第１および第２各部分領域で受光した干渉光の強度を複数の時刻で取得し、各時刻における前記強度のうちの一方および他方をそれぞれX座標値およびY座標値としたときのY座標値の最大値と最小値との差分を第１差分Aとして算出し、X座標値およびY座標値の組み合わせのデータを一次関数で近似した場合の傾きαを算出し、この傾きがゼロとなるようにXY座標系を回転し、回転後のXY座標系におけるY座標値の最大値と最小値との差分を第２差分B’として算出し、δ＝asin{(B’/cosα)/A}で表される角度δを算出し、当該角度δを干渉光の位相分布の均一性を示す指標として決定する。 （もっと読む）

【課題】回転体の駆動計測または計測に基づいた駆動制御を行い、かつ、ロータリエンコーダの取り付け偏心も検出または補正制御可能とするロータリエンコーダ装置を提供する。
【解決手段】先ず（１５０）では、ロータリエンコーダからのアナログ出力を（１５１）でＡ／Ｄ変換し、（１５２）でＰ₁、Ｐ₂、Ｐ₃・・・Ｐ₇₂等のパターンごとに出力される（１５３）回転パルス信号成分抽出と、（１５４）偏心信号成分抽出を行っており、具体的には、偏心による『当該ロータリエンコーダにおいて、回転角度に対するＨとＬレベルパルス幅の比率に応じて回転軸芯に対するロータリエンコーダの取り付け偏心量と、偏心位相を検出する偏心量位相検出手段』のロータリエンコーダ１周分（Ｐ₁、Ｐ₂、Ｐ₃・・・Ｐ₇₂）のパターンから得られるＨ／（Ｈ＋Ｌ）のＳｉｎ関数の周期変動の振幅と位相を求め、その変動成分を分離（フィルタリング）する事により求められる。 （もっと読む）

【課題】精度の点で有利なアブソリュートロータリーエンコーダを提供する。
【解決手段】第１軸の周りに一定の周期で複数のマークが配列され第２軸を回転中心として回転するスケールと、前記周期よりも小さいピッチで配置された複数の光電変換素子によって複数のマークの中の一部のマークを検出する第１検出器及び第２検出器のそれぞれから出力される周期信号に基づいて第１検出器の位置におけるスケールの絶対回転角度を算出する算出部と、を備える。前記算出部は、第１検出器から出力された周期信号の振幅を量子化することによってデータ列を生成し、該データ列を第１角度データに変換し、第１検出器及び第２検出器から出力された周期信号の振幅をそれぞれ規格化し、該振幅が規格化された周期信号を平均化し、該平均化された周期信号の位相から第１角度データよりも最小単位が小さい第２角度データを算出し、第１角度データと第２角度データとを合成する。 （もっと読む）

【課題】ダイナミックレンジの広い演算器が不要な干渉型光ファイバーセンサーシステムを提供する。
【解決手段】物理量を検知するセンシングファイバー１１ａおよびリファレンスファイバーを有する干渉計と、前記物理量の測定信号３を含む干渉光３２ａを、電気信号に変換するＯ／Ｅ変換器３３と、前記電気信号から、正弦波成分および余弦波成分を抽出するＡＭ復調器５１ａ、５１ｂと、該正弦波成分および該余弦波成分を用いて逆正接演算を行い、前記測定信号を含む信号を出力する逆正接演算器５３と、前記逆正接演算器から出力された信号の所定時間毎の差分を算出し、該差分信号を出力する差分器６１と、を備える。 （もっと読む）

ポジションエンコーダ装置は、一連の位置フィーチャー（ｆｅａｔｕｒｅｓ）を備えるスケールと、スナップ写真取込みプロセスを介して一連の位置フィーチャーを読み取るように構成されたリードヘッドとを備える。スナップ写真取込みプロセスは、スケールとリードヘッド間の相対速度を補償するように適応できる。
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【課題】温度変化が生じても、マークの位置を正確に検出することができる位置検出装置を提供する。
【解決手段】回転移動方向に所定間隔で検出用マークを有した無端回転体のマーク形成領域に対向配置されるべき位置検出装置であって、移動する上記マークを所定の検出位置で検出する複数の検出手段と、当該複数の検出手段を収容固定する収容保持部材と、上記複数の検出手段の夫々の検出部位の間の回転移動方向間隔を検知する検知手段とを備えるよう、構成する。 （もっと読む）

回転制限モータの回転子とともに回転する照明反射器に照明を向ける照明源と、照明源に隣接し照明反射器からの変調反射照明を受ける複数の検出器区域とを含む回転制限モータ用の位置変換器システムが開示される。 （もっと読む）

【課題】内挿処理に使用する２相の正弦波信号の周波数が高い場合にも、容易な演算処理で位相誤差を補正でき、位置検出精度が高いエンコーダ信号の補正回路を提供する。
【解決手段】ＡＤ変換器２の出力信号であるＡ１信号とＢ１信号のピーク値を検出するピーク検出器１５と、検出したピーク値を用いてオフセットおよび振幅の誤差を補正してＡ２信号とＢ２信号を生成するオフセット／振幅補正手段４と、Ａ２信号とＢ２信号の交点値を検出する位相誤差検出器７と、位相誤差検出器７で検出した交点値からＡ２信号とＢ２信号の補正係数を演算する位相補正手段６と、Ａ相とＢ相の正弦波信号を位置データに変換する位置データ変換手段１０を有した位置検出器において、Ａ相とＢ相の正弦波信号の周波数を検出する速度検出器２１と、オフセットおよび振幅と位相の補正値の更新を有効か無効かを切替える補正判定手段２２を設ける構成とする。 （もっと読む）

【課題】回転体の駆動計測または計測に基づいた駆動制御を行い、かつ、ロータリエンコーダの取り付け偏心も検出または補正制御可能とするロータリエンコーダ装置を提供する。
【解決手段】先ず（１５０）では、ロータリエンコーダからのアナログ出力を（１５１）でＡ／Ｄ変換し、（１５２）でＰ₁、Ｐ₂、Ｐ₃・・・Ｐ₇₂等のパターンごとに出力される（１５３）回転パルス信号成分抽出と、（１５４）偏心信号成分抽出を行っており、具体的には、偏心による『当該ロータリエンコーダにおいて、回転角度に対するＨとＬレベルパルス幅の比率に応じて回転軸芯に対するロータリエンコーダの取り付け偏心量と、偏心位相を検出する偏心量位相検出手段』のロータリエンコーダ１周分（Ｐ₁、Ｐ₂、Ｐ₃・・・Ｐ₇₂）のパターンから得られるＨ／（Ｈ＋Ｌ）のＳｉｎ関数の周期変動の振幅と位相を求め、その変動成分を分離（フィルタリング）する事により求められる。 （もっと読む）

【課題】高精度な位置の測定を行う。
【解決手段】露光装置１００には、レチクルステージＲＳＴの位置情報を測定するため、エンコーダ１７_Y1、１７_Y2、１７_Xを備えるエンコーダシステム１６が設けられている。エンコーダ１７_Y1、１７_Y2、１７_Xのプローブ部１９_Y1、１９_Y2、１９_Xから発生られるレーザプローブは、スケール１８₁上のパターンの配列方向に沿って振動し、その位置情報を含み、プローブの振動により変調された信号を出力する。変調された信号は、振動周波数の高調波によりその位相が検出され、その検出結果に基づいてレチクルステージＲＳＴの位置情報が検出される。 （もっと読む）

【課題】別個のレチクルを利用する必要性なしに擬似正弦波出力信号を生成することが可能な光学エンコーダの提供
【解決手段】光学エンコーダ(10)は、光源(12)、検出器アレイ(13)、及びコード部材(20)を含む。検出器アレイ(13)は、光源に対して間隔をおいて配置され、少なくとも１つの検出器セット(14)を含む。少なくとも１つの検出器セットのそれぞれは、複数の検出器要素(16)を含む。コード部材(20)は、１）光源と検出器アレイとの間に配置され、２）移動方向に沿って検出器アレイに対して移動可能であり、及び３）コード部材が検出器アレイに対して移動する際に、光源によって放出された光(56)が検出器アレイを横切って進む光スポット(58)を生成するようにフィルタリングされる複数の円形開口または楕円開口(22)を画定する。他の実施形態も開示される。 （もっと読む）

【課題】光学系結像性能の収差（歪み）等によって縞周期がばらついても、１種類の受光アレイ素子で対応できるようにして、低価格化を実現する。
【解決手段】スケール１０、６４と受光アレイ素子４０、６６を有する光電式エンコーダにおいて、受光素子（フォトダイオード４３）が測定方向に細分化された受光アレイ素子４０（フォトダイオードアレイ部４２）、６６と、各受光素子（４３）を、検出すべき縞の周期に合わせてオンオフするための手段（コンパレータ部４４、縞周期検出部５０、選択スイッチ部４６、増幅回路５２）を備える。 （もっと読む）

【課題】被検査対象物から発生するＡＥをセンサホルダの共振波として検出すると共に、そのＡＥ波の発生箇所を特定することにより、被検査対象物の腐食および疲労破壊等の箇所を特定することが可能な弾性波検出装置を提供する。
【解決手段】光源２と、第１カプラ４と、参照光用光ファイバ５と、センサ用光ファイバ６と、光ファイバ５、６の一方端から他方端に向けて導光された光を重ね合わせる第２カプラ７と、その重ね合わされた光の強度を検出する光検出器８、９と、被検査対象物２０に発生する弾性波を検出する処理装置１２と、光検出部８、９の検出信号からノイズ成分を抽出するフィルタ１４および積分器１５と、ノイズ成分に基づいて、当該ノイズ成分を除去するように参照光用光ファイバ５の伸縮を制御するアクチュエータドライバ１６、センサホルダ１８およびアクチュエータ５１とを設ける。 （もっと読む）

アブソリュートエンコーダ１の回転軸２に取り付けられた回転板３に、所定の位置関係で第１の開口３１、第２の開口３２を形成し、回転板３の下面３ａに対向するように２次元のプロファイルセンサ５を設置する。また、回転板３の開口３１、３２を挟んでプロファイルセンサ５の光感応領域と対向するように、光源４１、４２からなる光供給部４を設置する。そして、光源４１、４２から供給された測定光が回転板３の開口３１、３２を通過してプロファイルセンサ５で検出された第１検出位置Ｐ１、第２検出位置Ｐ２の相関によって、回転軸２の回転角の絶対値を算出する。これにより、回転軸の回転角の絶対値を簡単な構成で精度良く測定できるアブソリュートエンコーダが得られる。
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【課題】本発明は、キャリア成分ｆ（ωｔ）を含まない２相出力信号を用いて閉ループ方式にて内挿分割し、回路構成を簡略化することを目的とする。
【解決手段】本発明による内挿分割回路は、互いに位相が異なる第１、第２出力信号（ＳＸ，ＳＹ）は内挿回路(70)のｃｏｓ，ｓｉｎ乗算回路(713,714)に入力され、各ｃｏｓ，ｓｉｎ乗算回路(713,714)からの各乗算出力が減算回路(715)に入力されて減算処理されて偏差(ε)が出力され、この偏差(ε)を用いて位置データ(φ)を得る構成である。 （もっと読む）