【課題】 加工精度がよく、量産性に優れ、且つ、特性のばらつきが少なく、その上、小型の音叉型圧電振動ジャイロ装置を提供する。
【解決手段】 シリコン支持層６上に埋め込み酸化膜層５、シリコン活性層１３を順に設けたＳＯＩ基板と、シリコン活性層１３上に接合された圧電単結晶１４とからなり、圧電単結晶１４、シリコン活性層１３及び埋め込み酸化膜層５の一部を除去して形成され、埋め込み酸化膜層５を介してシリコン支持層６に支持された、２つの脚部２，３を有し、圧電単結晶１４とシリコン活性層１３とからなる音叉型圧電振動子１５と、この圧電単結晶１４上に形成された駆動電極８，１０、検出電極７，１１及び基準電位電極９と、シリコン活性層１３上の圧電単結晶１４が接合されていない部分に形成された信号処理回路１２とで構成する。 （もっと読む）

【課題】エッチング屑（下部電極に相当する導体層）に起因した短絡を抑制し、信頼性を向上した角速度センサおよびその製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】ドライブ電極部２６およびモニタ電極部２８およびセンシング電極部２７は、音叉形状の基板に形成した下部電極と、この下部電極に形成した圧電材料からなる圧電膜と、この圧電膜に形成した上部電極とを有しており、圧電膜の幅よりも上部電極の幅を小さくして、上部電極の両端面に近接する近接部から圧電膜を露出させるようにした構成である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、Ｘ軸方向への音叉振動時におけるＺ軸方向への角速度センサとしての不要信号の発生を抑制できる薄型で、かつ、都度個別調整が不要な角速度センサおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】検出部を構成する上部電極８ｃ，９ｃの中心線８ｄ，９ｄが、音叉型振動子のアーム１ａ，１ｂの主面３ａ，３ｂの中心線１０，１１から主面３ａ，３ｂにそれぞれ隣接して設けられた側面３ｃ，３ｅ側に向かって、それぞれΔＷだけシフトした構成である。 （もっと読む）

【課題】 正確な検出信号を得ることができる圧電振動片と、この圧電振動片を搭載する信頼性が高い振動型ジャイロスコープを提供する。
【解決手段】 圧電振動片１０は、所定面内に形成される矩形の基部１２と、基部１２の対向するそれぞれの端面から延出される駆動振動腕１５Ａ〜１５Ｄと検出振動腕１６Ａ，１６Ｂと、駆動振動腕１５Ａ〜１５Ｄに形成される駆動信号電極１１１と、検出振動腕１６Ａ，１６Ｂに形成される検出信号電極１１３，１１４と、基部１２の少なくとも一方の主面に連続して形成される駆動信号電極１１１，１１２に連続する駆動信号電極パターン１１１Ａ，１１１Ｂと検出信号電極１１３，１１４に連続する検出信号電極パターン１１３Ａ，１１４Ａと、駆動信号電極パターン１１１Ａ，１１２Ａと検出信号電極パターン１１３Ａ，１１４Ａとのそれぞれの間に形成される定電位のＧＮＤ電極パターン１１５〜１２０と、が備えられている。 （もっと読む）

一般的には、新しく、改良された微小機械加工振動ジャイロスコープ、及び方法を提供することが、本発明の目的である。本発明のもう１つの目的は、振動するマス間の機械結合を必要としない、上記の特徴のジャイロスコープ、及び方法を提供することである。
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【解決手段】１軸の加速度検知及び２軸の角速度検知を与える微細加工マルチセンサである。この微細加工マルチセンサを製造する方法は、犠牲材料又は構造材料の層を基板表面上に堆積する。犠牲又は構造材料の堆積層は、複数の水平及び垂直の空間を有する直線状グリッドを使用して形成された所定のマスクパターンでマスクされる。このマスクパターンは、センサ装置の機能部品を規定する。このマルチセンサが、少なくとも１つの機能部品を有し、その基板上のアラインメントがセンサの最適性能に対して重要である場合、その重要な部品は、その縦軸がマスクの水平又は垂直軸と実質的に平行になるように規定される。このマルチセンサが、少なくとも１つの機能部品を有し、その基板上のアラインメントが最適センサ性能に対して重要でない場合、その重要でない部品は、その縦軸がマスクの水平及び垂直軸と平行にならないように規定される。
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【課題】駆動用電極の電極の長さを長く形成したとき、励振振動脚部に２次モードの励振を発生させてしまう可能性が生じる。又、検出用電極の場合では、電極の長さを長くして電極の大きさを大きく形成したとき、検出電荷量が低下してしまい、検出電荷を有効に取り出すことが難しくなる。
【解決方法】励振振動脚部と検出振動脚部とが平行に設けられ、且つこの励振振動脚部及び検出振動脚部の同一方向の端部に、励振振動脚部及び検出振動脚部を保持する基部が設けられた形状の角速度センサ素子において、励振振動脚部の長さ方向の長さをａとした場合、駆動用電極の長さｂ１を、０．３５ａ以上０．６８ａ以下の範囲とし、検出用電極の長さｂ２を、０．５ａ以上０．８５以下の範囲とし、且つ、ｂ１とｂ２との関係が、ｂ１＜ｂ２であることを特徴とする角速度センサ素子。 （もっと読む）