【課題】本発明は、角速度検出装置をパッケージ後であっても、振動子の強誘電体層に自発分極を生じさせるポーリング処理を容易に行なうことが可能な角速度検出装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、半導体基板の一領域に形成した振動子１００と、振動子１００が形成された領域とは異なる半導体基板の領域に形成した電子回路とを備える角速度検出装置１である。振動子１００は、半導体基板上に形成した下部電極１９４と、下部電極１９４上に形成した圧電体（強誘電体層）１４２と、圧電体１４２上に形成した上部電極（第１駆動電極１４４など）とを有する。電子回路は、振動子１００の上部電極と接続して、振動子１００に駆動信号を印加または振動子からの電気信号を出力する増幅回路と、振動子１００の下部電極１９４と接続し、圧電体１４２に自発分極を生じさせる程度の電圧を印加することが可能な電極端子４４とを有する。 （もっと読む）

【課題】振動子の重心と支持部材による支持の中心とを一致させることで、外来振動に起因するノイズの低減と、安定した振動子の支持を実現した振動子デバイスを提供する。
【解決手段】パッケージ４０の内部で弾性材からなる支持部材２０により振動子１０が支持された振動子デバイス１であり、振動子１０と異なる部材で形成した錘５０を振動子１０上に設けることで、支持部材２０による振動子１０の支持の中心位置Ｐ２と、錘５０が設けられた振動子１０の重心調整位置Ｐ３とを一致させる構成とした。これにより、外来振動や衝撃に起因するノイズを低減して、安定した信号を出力する振動子デバイスを提供することが出来る。 （もっと読む）

【課題】実装基板に実装した際の導電性固定部材同士の接触を防止し、正しい駆動を行うことのできる振動子および振動デバイスを提供すること
【解決手段】振動子２は、振動体４、振動体４を支持する第１、第２支持部５１、５２および第１、第２支持部５１、５２と振動体４を連結する４つの梁６１、６２、６３、６４を有する振動片３と、振動体４に設けられた電極７１０〜７４０と、第１、第２支持部５１、５２に設けられ、梁６１、６２、６３、６４に設けられた配線７１２〜７４２を介して電極７１０〜７４０と電気的に接続された端子７１２〜７４２とを有し、隣り合う一対の端子の間には、所定方向に離間するとともに、所定方向と交わる方向に延在する複数の溝５１２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】外部ケースの底壁部に呼吸穴を形成したものにあって、回路基板への実装時に防湿剤が呼吸穴に侵入することを効果的に防止する。
【解決手段】角速度センサ装置（２１）は、内部ユニットを外部ケース（２３）内に収容して構成され、回路基板上に実装される。外部ケース（２３）の下カバー（３２）に、空気抜き用の４個の呼吸穴（３６）を形成する。下カバー（３２）の下面部に、回路基板上に塗布された防湿剤が、該下カバー（３２）の下面部に付着した際に、その防湿剤を呼吸穴（３６）以外の部位に誘導するための溝部（３７）を、下カバー（３２）の四辺部寄り部位に呼吸穴（３６）形成部分を取囲むように矩形枠状に形成する。 （もっと読む）

【課題】母基板への実装が容易となったセンサ装置を提供する。
【解決手段】センサ基板（１０）と、回路基板（３０）と、パッケージ（５０）と、を有し、パッケージ（５０）が母基板（２００）に実装されるセンサ装置であって、パッケージ（５０）は、底部（５１）と、該底部（５１）に形成された環状の側壁部（５２）と、該側壁部（５２）の開口部を閉塞する蓋部（５３）と、を有し、センサ基板（１０）は、底部（５１）、側壁部（５２）、及び、蓋部（５３）によって構成された密閉空間内に配置され、回路基板（３０）は、密閉空間の外部に配置され、回路基板（３０）が接続された底部（５１）の外壁面（５１ｂ）には、ｚ方向の長さが、回路基板（３０）よりも長い凸部（５６）が形成され、該凸部（５６）と母基板（２００）とが接続されている。 （もっと読む）

【課題】慣性センサを提供する。
【解決手段】慣性センサ（２０）は、振動運動を受けるように構成された駆動質量（３０）と、駆動質量（３０）に連結された感知質量（３２）とを含む。軸上トーションばね（５８）は、感知質量（３２）に結合され、当該軸上トーションばね（５８）は回転軸（２２）と同一ロケーションに配置されている。慣性センサ（２０）は、軸外ばねシステム（６０）をさらに含む。軸外ばねシステム（６０）は、軸外ばね（６８、７０、７２、７４）を含み、その各々は、感知質量（３２）上の回転軸（２２）からずれたロケーションにおいて感知質量（３２）に結合された接続接合部分（７６）を有する。合わせて、軸上トーションばね（５８）および軸外ばねシステム（６０）は、感知質量（３２）が、駆動質量（３０）の駆動周波数に実質的に一致する感知周波数において回転軸（２２）を中心として平面外で振動することを可能にする。 （もっと読む）

【課題】接着剤同士の凝集の問題を解消してパッケージ内の複数の電子部品の位置ずれによる問題を無くしたパッケージ部品を構成する。
【解決手段】パッケージ部品１０１は、パッケージ本体２２と、その内部に収納されたセンサチップ３０及びＩＣチップ３１を備えている。パッケージ本体２２は、内底面と内側壁とにより構成される中空部２３を備えている。パッケージ本体２２の内底面には凹部２４が形成されている。センサチップ３０は凹部２４に第１の接着剤３３で接着固定されている。ＩＣチップ３１は、凹部２４以外の領域に、第２の接着剤３４で接着固定されている。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができるセンサー素子、センサー素子の製造方法およびセンサーデバイスを提供すること、また、かかるセンサーデバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー素子は、基部と、前記基部から延出され、通電により駆動振動する駆動用振動腕と、基部から延出され、駆動用振動腕の駆動振動に伴って振動する調整用振動腕２４１と、駆動用振動腕に加えられた物理量に応じて信号を出力する検出用電極と、調整用振動腕２４１に設けられ、検出用電極に電気的に接続され、振動腕２４１の振動に伴って検出用電極とは逆極性の電荷を出力する調整用電極５５１、５５３とを有し、調整用電極５５１は、検出用電極に電気的に接続された共通部６０と、共通部６０から分岐するとともに調整用振動腕２４１の延出方向に沿って並んで設けられた複数の分岐部６１とを備える。 （もっと読む）

【課題】別部品を用意することなく、検出精度が低下することを抑制することができる角速度センサ装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】隣接するリード３０がケース２１から突出している部分において固定タイバー３１によって連結されているものを備えるケース２１を用意し、ケース２１に接合部材４０を介してセンサ部１０を搭載する。その後、固定タイバー３１の一部をリード３０に残しつつカットしてリード３０を分離することにより、センサ部１０をリード３０のうちケース２１から突出する部分および固定タイバー３１の残部にて構成されるリード部３２の共振周波数に対する振動を吸収する動吸振器として作用させるカット工程を行う。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＯＳプロセスで製造される半導体装置においてトランスリニア原理を用いた演算回路を実現する。
【解決手段】トランスリニアループを模擬するためのｎｐｎトランジスタＱ１〜Ｑ４は、ｎ型基板を共通のコレクタとする一方、それぞれに対応して形成されたｐウェルをベースとし、ｎＭＯＳのソース、ドレインと同様にｐウェル内に形成されるｎ型領域をエミッタとする。入力トランジスタＱ１〜Ｑ３への入力電流の供給はエミッタに接続された電流源Ｉ１〜Ｉ３により行う。試行値Ｎtに応じた電流を生成する電流ＤＡＣ２１０を出力トランジスタＱ４のエミッタに接続する。Ｑ２，Ｑ４のエミッタ間は分断し、その両端の電位を比較してその結果に応じた比較出力を生成する電位比較回路２１２を接続する。制御回路２１４は比較出力に基づいて、分断個所での電位平衡状態に対応したＮtを探索して演算値として出力する。 （もっと読む）

【課題】角速度の検出精度の低下が抑制された角速度センサ装置を提供する。
【解決手段】互いに直交の関係にあるｘ方向とｙ方向とに変位可能な振動子、該振動子をｘ方向に振動させる加振部、及び、振動子のｙ方向への変位量を検出する検出部を有する角速度センサ（１０）と、該角速度センサ（１０）を搭載する搭載部（３０）と、角速度センサ（１０）と外部素子とを電気的に中継するリード（４０）と、該リード（４０）と搭載部（３０）を支持する支持部（５０）と、を有し、リード（４０）が外部素子に機械的に固定される角速度センサ装置（１００）であって、搭載部（３０）は、支持部（５０）に片持ち支持された吊りリード（３１）を有し、該吊りリード（３１）の端部に角速度センサ（１０）が搭載されており、吊りリード（３１）の長手方向が、ｘ方向若しくはｙ方向に沿っている。 （もっと読む）

【課題】ディザピックオフ抵抗器の抵抗値の調整作業を不要とし、その分、コストダウンを図る。
【解決手段】ディザ制御回路はステートマシン６２を具備する。ステートマシン６２は、ディザ角速度信号の出力を選択するセレクト信号をマルチプレクサ６１に出力し、コントローラ目標値Ｘｂを減算器５３に出力した時のＡ／Ｄ変換されたディザピックオフ信号の振幅Ｘａを取得する状態と、Ａ／Ｄ変換されたディザピックオフ信号の出力を選択するセレクト信号をマルチプレクサ６１に出力し、振幅Ｘａをコントローラ目標値として減算器５３に出力する状態とを有する。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、電子部品の位置決めを簡単かつ正確に行うことができるセンサーデバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】センサーデバイス１は、内側に固定面１０１、１０２を有する固定部材３と、固定部材３の固定面１０１、１０２に直接または間接的に固定された少なくとも１つの電子部品７とを有し、固定部材３が、電子部品７を収容するケーシング１０の一部を構成する。また、固定面１０１、１０２は、互いに直交している。 （もっと読む）

【課題】マイクロシステムおよび／またはナノシステムタイプの新規作製方法、ならびに新規構造体を提供すること。
【解決手段】下部電極と呼ばれる少なくとも１つの電極（１０２）、および少なくとも１つの誘電体層（１０３）を含む第１の基板（１００）と、
可動部分（２１０）を含めた、デバイスのメイン平面と呼ばれる平面全体に延在する中間基板（２００’）と、
中間基板（２００’）に付着された上部基板（３００）であって、前記可動部分が下部電極と上部基板との間を移動することができる、上部基板と
を含む、マイクロシステムおよび／またはナノシステムタイプのデバイスについて記載されている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、電子部品の位置決めを簡単かつ正確に行うことができるセンサーデバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】センサーデバイス１は、角速度センサー７１１が実装された第１のリジッド基板２１と、角速度センサー７１２が実装された第３のリジッド基板２３とを有する実装基板２と、実装基板２を固定する台座３とを有している。また、台座３は、ｘ軸およびｙ軸に沿う第１固定面を有する基部３１と、基部３１上に設けられ、且つ、ｘ軸およびｙ軸に沿う第２固定面およびｙ軸およびｚ軸に沿う第３固定面の少なくとも一方を有した突出部４１〜４４と、を含み、リジッド基板２１、２２、２３の各々は、第１固定面、第２固定面または第３固定面に支持され、角速度センサー７１１、７１２は、検出軸が互いに交わっている。 （もっと読む）

【課題】低コスト化を図るとともに、高品質な気密封止を実現することができる電子デバイス用パッケージおよび電子デバイスを提供すること、また、かかる電子デバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のパッケージ３は、ベース部材６１と、ベース部材６１との間に電子部品が収納される内部空間を形成しつつ、ベース部材６１に接合された蓋部材６３とを有し、ベース部材６１と蓋部材６３との接合部９０は、ｘ軸方向に沿ってシーム溶接によりベース部材６１と蓋部材６３とを接合した溶接部９１と、ｙ軸方向に沿ってシーム溶接によりベース部材６１と蓋部材６３とを接合した溶接部９３とを有し、平面視で、溶接部９１および溶接部９３は、互いに重ならず、かつ、溶接部９１をｘ軸方向に延長した領域Ａ１と、溶接部９３をｙ軸方向に延長した領域Ａ２とが重なる領域Ａ３は、蓋部材６３の輪郭に対して外側に位置している。 （もっと読む）

【課題】信頼性を向上させることが可能な物理量センサーの製造方法の提供。
【解決手段】物理量センサーの製造方法は、ベース基板に溝部を形成し、溝部内に配線を設けるベース基板配線形成工程Ｓ１と、センサー基板に導電性を有する突起部を設けるセンサー基板突起部形成工程Ｓ２と、配線と突起部とが、平面視において、互いに重なるようにベース基板とセンサー基板とを位置合わせする位置合わせ工程Ｓ３と、ベース基板とセンサー基板とを接合し、配線と突起部とを接続する接合工程Ｓ４と、センサー基板をエッチングしてセンサー素子を形成するセンサー素子形成工程Ｓ５と、を含み、配線の厚さ寸法ｔ１を溝部の深さ寸法ｄよりも小さく、且つ、配線の厚さ寸法ｔ１と突起部の厚さ寸法ｔ２との和を、溝部の深さ寸法ｄよりも大きくすることを特徴とする（ｄ＞ｔ１、且つ、ｄ＜（ｔ１＋ｔ２））。 （もっと読む）

【課題】センサー部やベース基板の損傷を抑制しつつ、製造時などにおけるベース基板とセンサー部との貼り付きを回避可能な物理量センサー、および物理量センサーの製造方法の提供。
【解決手段】物理量センサー１は、肉薄部６ａおよび肉厚部６ｂが設けられたベース基板６と、ベース基板６の肉薄部６ａの上方に揺動可能に配置されたセンサー部４と、を有し、ベース基板６には、平面視でセンサー部４の端部と重複する肉薄部６ａの少なくとも一部に導電膜９，１０が設けられ、導電膜９，１０が、肉厚部６ｂの表面の少なくとも一部まで延びていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】屈曲振動片の振動腕の側面に厚さ方向に分離した電極を高精度にパターニングする。
【解決手段】屈曲振動片２１は、基部２２から延出する断面矩形の振動腕２４が下面２４ｂ及び上面２４ａと左側面２４ｃ及び右側面２４ｄとの間に、それぞれ左側面及び右側面に交わる段差面２７ａ，２８ａと上面及び下面に交わる段差側面２７ｂ，２８ｂとからなる第１、第２段差部２７，２８を有し、左右側面の第１、第４検出電極２９ａ，２９ｄと段差側面の第２、第３検出電極２９ｂ，２９ｃとが、電極膜を形成していない段差面２７ａ，２８ａの部分によりそれぞれ振動腕の厚さ方向に分離されている。第１〜第４検出電極は、従来のフォトエッチングにより、一般的な露光機を用いた上下面からの露光によって高精度にパターニングされる。 （もっと読む）

【課題】小型かつ簡易な構成の角速度センサ、半導体装置及び携帯機器を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様である角速度センサ１００は、リングオシレータ１１及び検出回路１３を有する。リングオシレータ１１及び検出回路１３は、半導体基板上に形成される。リングオシレータ１１は、インバータＩＶＶ１〜ＩＮＶ３からなる遅延パスを有する。検出回路１３は、リングオシレータ１１の発振周波数の変動量から、回転の角速度を検出する。 （もっと読む）