【課題】駆動信号の検出電極への容量結合が少なく、感度が高いセンサ用圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電膜６、７に少なくとも１層の埋め込み電極４を設け、埋め込み電極４の内少なくとも１層を電気的に安定な電位である基準電位に接続した基準電極とし、圧電膜６、７の成膜面に対し平行な方向の変位を駆動もしくは検出するための電極１、２と圧電膜６、７の成膜面に対し垂直な方向の変位を駆動もしくは検出するための電極３によって基準電極４を厚み方向に挟んだように構成する。 （もっと読む）

【課題】物理量センサシステムの回路規模を削減する。
【解決手段】物理量センサシステム(11)は、物理量センサ(10)を駆動させ、センサ信号(Ssnc)から物理量信号(Dphy)を検波する。アナログ・デジタル変換回路(102m,102s)は、モニタ信号(Smnt)およびセンサ信号(Ssnc)をデジタルモニタ信号(Dmnt)およびデジタルセンサ信号(Dsnc)にそれぞれ変換する。駆動制御回路(103)は、デジタルモニタ信号(Dmnt)に応じてドライブ信号(Sdrv)を制御する。位相調整回路(104)は、デジタルモニタ信号(Dmnt)とデジタルセンサ信号(Dsnc)との位相差を調整する。検波回路(105)は、位相調整回路によって位相差が調整されたデジタルモニタ信号(Dmnt)およびデジタルセンサ信号(Dsnc)を乗算することにより、物理量信号(Dphy)を検波する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動型のセンサ素子を用いるセンサ部品に関して振動型センサ素子を有するセンサ部品の温度変化に伴う不要信号出力を抑制することを目的とする。
【解決手段】本発明は、振動型のセンサ素子を密封するパッケージ８を複数のリード端子２７を介して樹脂ケース９の内部空間に支持するセンサ部品において、リード端子２７の樹脂ケース９とパッケージ８の間に設けられ複数のリード端子２７を所定間隔で整列させる枠体３０を設けるとともに、この枠体３０とパッケージ８の間に空隙３１を設ける構成とした。 （もっと読む）

【課題】角速度が加えられていない状態で発生する駆動ノイズによる検出信号への影響を低減できる角速度検出装置を提供する。
【解決手段】同一方向に延伸し、幅及び厚さが同一である一対の梁型の振動アーム１１、１２と、振動アーム１１、１２と厚さが同一で且つ幅が異なり、一対の振動アーム１１、１２間に配置されて振動アーム１１、１２と同一方向に延伸する梁型の検出アーム２０と、検出アーム２０の厚さ方向の変形を検知して、幅方向に振動する振動アーム１１、１２に加えられた振動アーム１１、１２の延伸方向を回転軸とする回転の角速度を検出する検出回路６００とを備える。 （もっと読む）

【課題】入力角速度を検出する振動ジャイロにおいて、振動子からの漏れ信号を除去する。
【解決手段】自励発振回路２１の出力信号を波形整形する波形整形回路４１と、波形整形回路４１の出力信号を検波信号とする同期検波回路４２と、同期検波回路４２の出力信号を直流に変換する整流回路４３と、整流回路４３の出力自励発振回路２１の出力信号を乗算する掛け算回路４４と、振動子１０からの検出信号から掛け算回路４４の出力信号を減算する減算回路４５からなる漏れ信号補償部４０により振動子１０からの機械的結合による漏れ信号を除去する （もっと読む）

【課題】本発明は、デジタル信号配線パターンに発生する高周波のノイズ信号が、容量結合により、振動子アナログ信号配線パターンの出力信号に影響を及ぼすことはなくなり、これにより、出力信号の安定したものが得られる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、基板１１の凹部１２における内底面と同一面から上側にかけて振動子アナログ信号配線パターン１８を有するアナログ層１７を設けるとともに、凹部１２における内底面と同一面から下側にかけてデジタル信号配線パターン２１を有するデジタル層１９を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】小型で量産性がよく、安定した共振周波数が得られる圧電振動片、その製造方法、この圧電振動片を備える圧電振動子および振動型ジャイロスコープを提供する。
【解決手段】圧電材料からなるウエハ１からフォトリソグラフィにより形成された圧電振動片１００，２００であって、圧電振動片１００，２００の一部と、これら圧電振動片の周囲に形成されているウエハの枠部１１とが連結される板状の連結部１２が形成され、連結部１２の少なくとも一方の表面に、断面形状が略Ｖ字状の凹部１４または凹部１５が前記連結部１２の幅方向に直線状に穿設されている。この凹部１４，１５で圧電振動片１００，２００をウエハ１から折り離して形成し、パッケージ内に格納する振動型ジャイロスコープ４００及び圧電振動子５００を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、Ｘ軸方向への音叉振動時におけるＺ軸方向への不要信号の発生を抑制できる角速度センサ用音叉型振動子をシリコンウエハに一括して形成できる製造方法およびその薄型な角速度センサ用音叉型振動子を用いた角速度センサを提供することを目的とする。
【解決手段】音叉型振動子３のアーム１ａ，１ｂのそれぞれの主面１ｃ，１ｄ上の先端側であり、かつ、それぞれの外側、内側に付加質量７ａ，７ｂを設け、さらにアーム１ａ，１ｂのそれぞれの主面１ｃ，１ｄ上の先端側であり、かつ、それぞれの内側、外側に溝８ａ，８ｂを設ける。 （もっと読む）

【課題】物理量センサの検出精度を安定させる。
【解決手段】振幅検出回路１０１は、物理量センサの自励振動に応じたモニタ信号Ｓｍｎｔの振幅値Ｄ１０１を検出する。波形整形回路１０２は、モニタ信号Ｓｍｎｔをパルス信号Ｐ１０２に変換する。パルス振幅変調回路１０４は、振幅値Ｄ１０１に応じてパルス信号Ｐ１０３の振幅を調整して、物理量センサの自励振動を制御するためのドライブ信号Ｓｄｒｖとして出力する。 （もっと読む）

【課題】精度良く素子を立たせることができる電子デバイスを提供する。
【解決手段】電子デバイス１００は、樹脂体４０と、一の面４２側に形成された第１リードフレーム１０と、一の面４２と対向する他の面４４側に形成された第２リードフレーム２０と、樹脂体４０によって封止された電気素子であって、第１表面５０は、第１リードフレーム１０の面と、樹脂体４０の一の面４２と、を有し、第２表面５２は、第２リードフレーム２０の面と、樹脂体４０の他の面４４と、を有し、搭載側面５４は、樹脂体４０の第１リードフレーム１０と第２リードフレーム２０との間の面４６を有し、第１表面５０の第１リードフレーム１０の面は、第１表面５０の搭載側面５４に隣接する第１端部に配置され、第２表面５２の第２リードフレーム２０の面は、第２表面５２の搭載側面５４に隣接する第２端部に配置され、第１リードフレーム１０は、電気素子に電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】物理量センサの検出精度を安定させる。
【解決手段】アナログ・デジタル変換回路１０１は、物理量センサからのモニタ信号Ｓｍｎｔをデジタルモニタ信号Ｄｍｎｔに変換する。振幅検出回路１０２は、デジタルモニタ信号Ｄｍｎｔの振幅値の平均値Ｄ１０７を検出する。デジタル・アナログ変換回路１０３は、振幅検出回路１０２によって得られた平均値Ｄ１０７をアナログ平均値Ｖ１０３に変換する。可変利得増幅回路１０４は、デジタル・アナログ変換回路１０３によって得られたアナログ平均値Ｖ１０３に応じて増幅利得が可変であり、その増幅利得に従ってモニタ信号Ｓｍｎｔを増幅または減衰させてドライブ信号Ｓｄｒｖとして出力する。 （もっと読む）

【課題】電源電圧の変動や温度変化に起因するノイズ補正精度の劣化を抑制できる物理量検出回路を提供する。
【解決手段】アナログ・デジタル変換回路１０１は、物理量センサからのモニタ信号Ｓｍｎｔおよびセンサ信号Ｓｓｎｃをそれぞれデジタルモニタ信号Ｄｍｎｔおよびデジタルセンサ信号Ｄｓｎｃに変換する。補正回路１０２は、デジタルモニタ信号Ｄｍｎｔの振幅および位相を調整してデジタルセンサ信号Ｄｓｎｃのノイズを減衰させるためのデジタル補正信号Ｄｃｏｒを生成するとともに、デジタル補正信号Ｄｃｏｒを用いてデジタルセンサ信号Ｄｓｎｃを補正してデジタルセンサ信号ＤＤＤを出力する。検波回路１０３は、デジタルセンサ信号ＤＤＤから物理量センサに与えられた物理量に対応する物理量信号Ｄｐｈｙを検波する。 （もっと読む）

【課題】慣性センサにおいて、感度を低下させずに、線形入力に対する応答を低減する。
【解決手段】ＭＥＭＳ装置は、少なくとも１つの基板、少なくとも１つのプルーフマス、および吊り下げシステムを含む。吊り下げシステムは、少なくとも１つのプルーフマスを基板に接続する少なくとも１つの屈曲部を有し、また、分割支持梁を備える、少なくとも１つのアンカー吊り下げ素子を有する、分割支持梁は、第１分割部分と第２分割部分とを有する。第１分割部分および第２分割部分は湾曲した形状である。これにより、差動モード入力に対して可撓性を有し、共通モードに対して剛性を有するアンカー吊り下げ素子を実現できる。 （もっと読む）

【課題】物理量センサが正常に動作するかを簡単な構成で確かめる。
【解決手段】駆動腕部１１Ａ，１１Ｂと検出腕部１２とを備えた振動素子１０と、駆動腕部１１Ａ，１１Ｂを駆動するための駆動信号を第１駆動線Ｄ１及び第２駆動線Ｄ２を介して発生させる駆動回路２３１と、検出腕部１２から検出信号を第１検出線Ｓ１及び第２検出線Ｓ２を介して検出する検出回路２３２と、を含む物理量センサ１であって、第１駆動線Ｄ１と第２駆動線Ｄ２との少なくとも一方を第１検出線Ｓ１及び第２検出線Ｓ２に対して静電結合を発生するように配線した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、検出部の故障診断のために、振動子上に駆動部と検出部とは別の新たな手段を設けることなしに、シンプルな構成、かつ、小型で高精度な検出部の故障診断が可能な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】外部から故障診断を実施するためのチェック信号ａが端子５４に入力されるとアンプ４５の増幅度が減少し、同時にＡＧＣ回路４３の働きによりアンプ４４の増幅度が逆に増加することで、音叉型振動子のアームの中心線を境に離間した一対の駆動電極の一方には小さな駆動信号が、他方には大きな駆動信号が印加されるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ゼロ点出力の急峻な温度変動を低減し、低温から高温まで幅広い環境下において高精度で小型化に適した振動ジャイロセンサを提供する。
【解決手段】容器の内部に振動体を配置し、平板状の蓋体で気密封止して構成する振動体パッケージにおいて、蓋体の厚さ分布を不均一にする。蓋体は中央部が凸形状、中央部が凹形状、容器と接している部分以外に一つ以上の突起物がある形状、容器と接している部分以外に一つ以上の溝がある形状などを取る。 （もっと読む）

【課題】 特に、下地膜を改良して、圧電体膜の圧電定数ｄ３１を高めることが出来る圧電素子及び角速度センサを提供することを目的としている。
【解決手段】 シリコン基板１１上に下から第２下地膜２１、第１下地膜１２、Ｒｕ膜３１、下部電極１３、圧電体膜１４及び上部電極１５の順に積層される。第２下地膜２１はＴａで形成され、第１下地膜１２は、ＮｉＦｅ、ＮｉＣｒ、ＦｅＣｒあるいはＮｉＦｅＣｒで形成される。また、下部電極は、例えば、Ｐｔで形成され、圧電体膜１４は例えばＰＺＴで形成される。これにより従来に比べて効果的に圧電体膜１４の圧電定数ｄ３１を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】専用トルク要素を必要とせずに複数の軸に沿って駆動するように構成された振動構造ジャイロスコープにおける同調誤差を補正する装置及び／又は方法。
【解決手段】１つ以上の駆動素子の駆動信号に他の駆動素子に対する位相オフセットを導入し、直角位相信号を最小化又は低減することによって補正を行う。同調は、ユーザの裁量で実行される手動調整として、閉ループ能動補正システムとして、又は１回限りの「設定後操作不要な」調整として行うことができる。本手法では、単に誤同調を補償するのではなく、共振器組立体の同調を改善する。それによって、本発明の様々な実施形態では、複数の駆動軸間の有害な干渉が低減される。従って、共振器に存在する振動エネルギの保存が強化され、支持構造へ伝達される振動エネルギが減少する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサ及びこれに用いられる角速度センサ素子に関し、検出レベルの向上を目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明は、一端が固定部９に接続され他端が錘部１０に接続された駆動アーム１１からなる角速度センサにおいて、駆動アーム１１の形状を固定部９と錘部１０を結ぶ方向と直交する方向に延びるアーム辺１１ａ，１１ｂの折り返し構造としたものである。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳセンサによる物理量の検出精度を高める。
【解決手段】ＭＥＭＳセンサの製造方法は、支持部と、支持部に一端が結合し支持部よりも薄い梁部と、梁部の他端に結合し梁部よりも厚い錘部と、梁部に設けられ梁部の歪みを検出する歪み検出手段と、を備えるＭＥＭＳセンサの製造方法であって、基板の表面上に膜を積層することによって膜によって構成される歪み検出手段と基板とを含む積層構造体を形成し、第一の通孔が形成されている第一の保護膜と第二の通孔が形成されている第二の保護膜とを基板の裏面上に形成し、第一の通孔から露出している積層構造体を貫通するまでエッチングすることによって、梁部の側面と錘部の側面の梁部から離間している部分とを形成し、第二の通孔から露出している基板をエッチングすることによって梁部の厚さを調整するとともに錘部の側面の基板からなる残部を形成する、ことを含む。 （もっと読む）