【課題】小型圧電振動子であり落下等の衝撃に強い圧電振動子を得る。
【解決手段】圧電振動子１は、圧電振動素子４と、これを収容するパッケージと、を備えている。圧電振動素子１は、複数の振動腕９ａ、９ｂ、これらを連接する基部５、各振動腕９ａ、９ｂの他方の端部に設けた錘部９ａ、９ｂを備えた圧電基板４ａと、各振動腕の表裏面に形成され励振電極と、を備えている。パッケージは、素子搭載パッド１８、及び実装端子１６を備えた絶縁基板１１と、気密封止する蓋体３５と、絶縁基板１１上面には圧電振動素子４の各錘部９ａ、９ｂ及び基部５の先部と対向する部位に夫々金属、又は高分子からなる緩衝材２４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】感度及びノイズ除去性能に優れた圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】本発明による圧電振動型ヨーレートセンサ装置は、駆動腕と検出腕とを備えた圧電振動型ヨーレートセンサであって、検出腕における検出感度スペクトルは、駆動腕と検出腕とが逆位相で振動する第１検出用振動モードにおける第１共振周波数をピーク周波数とする第１ピーク、及び、駆動腕と検出腕とが同位相で振動する第２検出用振動モードにおける第２共振周波数をピーク周波数とする第２ピークを有しており、検出感度スペクトルにおいては、第１共振周波数及び第２共振周波数のうちのいずれか小さい一方の共振周波数よりもΔｆ高い周波数での検出感度が、一方の共振周波数よりもΔｆ低い周波数での検出感度よりも大きく、且つ、第１共振周波数及び第２共振周波数のうちのいずれか大きい他方の共振周波数よりもΔｆ低い周波数での検出感度が、他方の共振周波数よりもΔｆ高い周波数での検出感度よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】本発明は、２の補数表現だけでなく、他の符号付数値表現でも容易に出力信号を出力する角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明の角速度センサは、ＡＤ変換器７３からの出力信号を補正する補正演算手段７４とを備えるとともに、さらに補正演算手段７４の後段に符号付数値表現変換回路７６を設けたため、これにより、２の補数表現からオフセットバイナリー表現の出力信号に変換することができるから、容易に、他の符号付数値表現での出力信号を出力することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、Ｘ軸周り、Ｙ軸周りおよびＺ軸周りの３軸方向の角速度を検出することが出来る３軸検出角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明の３軸検出角速度センサは、Ｙ軸およびＺ軸検出用角速度センサ素子２０と別体に設けられるとともにＸ軸方向に延出された音叉型のＸ軸検出用角速度センサ素子７０とを設けたため、Ｘ軸周り、Ｙ軸周りおよびＺ軸周りの３軸方向の角速度を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、Ｙ軸周りおよびＺ軸周りの２軸方向の角速度を検出することが出来る２軸検出用角速度センサ素子を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の２軸検出用角速度センサ素子は、Ｙ軸検出振動体２７、３１、４７、５１によりＹ軸方向の角速度を検出するとともに、Ｚ軸検出振動体３４、３９、５４、５９によりＺ軸方向の角速度を検出するようにしたため、Ｙ軸周り及びＺ軸周りの２軸方向の角速度を検出することが出来るという効果を有する。 （もっと読む）

【課題】電源電圧の低下に起因する誤ったデータの出力を防止する角速度検出装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】角速度検出装置１は、角速度に応じた信号を発生させるセンサー素子（ジャイロセンサー素子１００）と、センサー素子が発生させる信号に基づいて角速度信号（アンプ３２６の出力信号）を生成する角速度信号生成部と、電源電圧を監視し、当該電源電圧が第１の閾値よりも高いか低いかを判定する電源監視部（電源監視回路６０）と、電源電圧が第１の閾値よりも高い時は角速度信号を第１の端子（外部出力端子１６）から出力させ、電源電圧が第１の閾値よりも低い時は第１の電圧の信号を第１の端子から出力させる出力部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、外部から加わるＹ軸方向およびＺ軸方向の振動を減衰させることが出来ないということのない、３軸方向全ての振動を減衰させることが可能な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】載置部材８０を端子電極７５と電気的に接続した端子８１により周囲から支持するように構成するとともに、この端子８１にＸ軸方向延出部８４、Ｙ軸方向延出部８２およびＺ軸方向延出部８３を設ける構成とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度検出手段における振動体の屈曲振動が加速度検出手段に直接に伝達されることにより、加速度が生じていないにも関わらず、加速度出力信号を検出してしまうということのない信頼性の向上した角速度および加速度検出用複合センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】振動子６１を防振端子８１を介してケース７０に固定するとともに、加速度検出素子８７をケース７０にリジッドに固定する構成とした。 （もっと読む）

【課題】振動漏れ成分に起因する角速度信号の温度変動を高次の温度補償回路を用いずに補償可能な角速度検出装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】角速度検出装置１は、角速度成分と振動漏れ成分とを含む信号を発生させる振動子（ジャイロセンサー素子１００）と、駆動信号を生成して振動子に供給する駆動回路２０と、振動子が発生させる信号から角速度成分を抽出し、当該角速度成分の大きさに応じた角速度信号３６ａを生成する角速度信号生成部（同期検波回路３５０及び積分回路３６０）と、振動子が発生させる信号から振動漏れ成分を抽出し、当該振動漏れ成分の大きさに応じた振動漏れ信号３６ｂを生成する振動漏れ信号生成部（同期検波回路３５２及び積分回路３６２）と、角速度信号３６ａの温度特性を補正するように、角速度信号３６ａに振動漏れ信号３６ｂを所与の比率で加算又は減算する加減算部（加減算回路３７０）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、検出回路が故障した場合に、角速度に対応しない出力信号を出力し続けてしまうということはなく、信頼性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、第１のセンス電極３４と第１の積分回路５６との間に、電荷を注入する第１の電流源７７を第１の故障診断スイッチ７８を介して設けるとともに、第２のセンス電極３５と第２の積分回路６７との間に、電荷を注入する第２の電流源７９を第２の故障診断スイッチ８０を介して設けたものである。 （もっと読む）

【課題】優れた耐衝撃性および優れた検知能力を発揮することのできる振動ジャイロ素子、振動ジャイロセンサーおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】振動ジャイロ素子２は、基部３１と、互いに離間して設けられた第１駆動振動系３９ａおよび第２駆動振動系３９ｂを有する本体部３と、本体部３を支持する支持部４とを有している。支持部４は、本体部３の周囲の少なくとも一部を囲むように設けられた基体４１を有し、基体４１の第１駆動振動系３９ａの第２駆動振動系３９ｂと反対側の部位にてパッケージ５に固定される。 （もっと読む）

【課題】一つのセンサーで回転角速度および加速度などの力の検出が可能で、且つ、構造が簡素で応答速度の速い複合センサー素子、それを用いた複合センサー、および、それを用いた複合センサー装置を提供する。
【解決手段】複合センサー素子１は、支持部１２、および、駆動電極１５ａ，１５ｂが設けられた振動腕１３，１４を有するジャイロ振動片１０と、基部３および錘部５が弾性を有する梁部により接続された質量部２と、を備えている。ジャイロ振動片１０は、振動腕１４と、錘部５との対向する主面５ａとが、間隙（ｇ）を空けて略平行に片持ち支持された態様で質量部２上に接合部材９６を介して接合されている。複合センサー２０は、パッケージ３０内に複合センサー素子１が接合され、パッケージ３０上にはシールリング３９を介してリッド４０が接合されている。パッケージ３０とリッド４０により形成された内部空間Ｔには気体が充填されている。 （もっと読む）

【課題】周波数調整を簡単かつ高精度に行うことができる振動片、周波数調整方法を提供
すること、また、この振動片を備える信頼性に優れた振動子、振動デバイスおよび電子機
器を提供すること。
【解決手段】本発明の振動片は、基部と、基部からＹ軸方向に延出するとともに、Ｙ軸方
向に直交するＺ軸方向に屈曲振動する振動腕２８と、振動腕２８上に設けられ、エネルギ
ー線の照射により一部または全部が除去されることにより質量を減少させて、振動腕２８
の共振周波数を調整する第１の質量部５１および第２の質量部５４とを有し、第１の質量
部５１は、振動腕２８の第１の面２８１上に設けられ、第２の質量部５４は、振動腕２８
の第２の面２８２上に設けられ、第１の質量部５１および第２の質量部５４は、Ｚ軸方向
から見たときに、互いに重ならない部分を有する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ軸方向の加速度に対する誤差信号を低減でき、Ｚ軸を含む複数の軸の角速度を検出することが可能な低背化された振動ジャイロを提供すること。
【解決手段】 Ｙ軸及びＺ軸周りの角速度を検出可能な振動ジャイロであって、Ｙ軸方向に長手方向を有する第１のアーム４と、その一端に接続され第１のアーム４の中心軸に関して対称な連結部３と、そのＸ軸方向の両端に接続されＹ軸方向に長手方向を有する第２のアーム５ａ、５ｂと、Ｙ軸方向に長手方向を有する第３のアーム７ａ、７ｂとを有する振動子を有し、第２のアームをＸ軸方向へ屈曲振動させる駆動手段、第１のアームのＸ軸方向の屈曲振動を検出する第１の検出手段、第２のアームのＺ軸方向の屈曲振動を検出する第３の検出手段、および、第３のアームのＸ軸方向の屈曲振動を検出する第２の検出手段を備え、Ｘ軸方向の加速度によって第１の検出手段に生じる誤差信号を、第２の検出手段に生じる検出信号によって相殺する。 （もっと読む）

【課題】圧電特性の良い非鉛材料薄膜を実現するために、結晶配向性に優れた（Ｎａ，Ｂｉ）ＴｉＯ₃−ＢａＴｉＯ₃薄膜およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】基板１２上の（１１１）面方位である電極膜１３上に形成された、
ペロブスカイト型複合酸化物（Ｎａ，Ｂｉ）ＴｉＯ₃−ＢａＴｉＯ₃圧電体層１５において、電極膜１３との界面に隣接して、（１１１）面方位である（Ｎａ_xＢｉ_0.5）ＴｉＯ_0.5x+2.75−ＢａＴｉＯ₃（０．２９≦ｘ≦０．４）界面膜１４を設けている。本発明による（Ｎａ，Ｂｉ）ＴｉＯ₃−ＢａＴｉＯ₃圧電体層１５は、（１１１）面方位にのみに強く結晶配向することで優れた圧電特性を示し、鉛を含まない元素による圧電体薄膜を提供することができ、インクジェットヘッド、角速度センサ、圧電発電素子等への応用が可能となる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、駆動振動時に水平方向のバランスを取ることができ、不要信号が発生しにくい角速度センサ素子を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサ素子は、上側基体２２の下面と下側基体２６の上面を接合し、上側基体２２および下側基体２６に対して、上側駆動部２３、２４および上側検出部２５と、下側駆動部２７、２８および下側検出部２９とを互いに対称配置させるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】構造が簡素であり、低消費電力、低コストで応答速度の速い力検出センサーを得る。
【解決手段】圧電基板、及び該圧電基板の少なくとも一方の主面上に電極膜を形成した圧電振動素子１０と、圧電振動素子１０を片持ち支持する基台５と、圧電振動素子１０の自由端部に搭載した質量部２０と、を備えた振動型力検出センサー１である。圧電基板は、振動部１４ａ、１４ｂと、該振動部の両端部を夫々支持する支持部１２ａ、１２ｂと、を備えており、質量部２０は、一方の前記支持部１２ｂに搭載されている。圧電振動素子１０は、基台５の一方の主面と直交する方向の力が作用した際に振動部１４ａ、１４ｂと前記主面との間隙が変化して振動部１４ａ、１４ｂの等価抵抗が変化するように基台５の一方の主面と並行に粘性を有する接着剤２５を介して片持ち支持されていることを特徴とする振動型力検出センサーである。 （もっと読む）

【課題】高精度の物理量検出信号を得ることを可能とした物理量センサを提供する。
【解決手段】外部から印加された物理量を電気信号に変換する振動子２０と、振動子を発振させる発振回路３０と、振動子からの被検波信号を発振回路からの検波信号に基づいて検波する検波回路６０を有する物理量センサ１００において、検波回路の前段で発振回路からの検波信号及び振動子からの被検波信号の何れか一方の信号をΔΣ変調し且つ変調信号Ｖ２６を出力するΔΣ変調器７０と、出力電圧が可変な可変電圧源と、可変電圧源の出力電圧を制御する制御部を更に有し、ΔΣ変調器は出力電圧を基準として作成されたフィードバック信号Ｖ２２を用いてΔΣ変調を行うことを特徴とする物理量センサ。 （もっと読む）

【課題】低駆動電圧化を図りつつ、物理量（例えば速度、加速度等）を高精度に検出することができる物理量センサー素子片、物理量センサー素子および物理量センサーを提供すること。
【解決手段】物理量センサー素子片２は、電圧の印加により捩り振動する４つの駆動用振動腕２２、２３と、駆動用振動腕２２、２３とは別体として設けられ、駆動用振動腕２２、２３が屈曲振動したときにその屈曲振動に伴って屈曲振動し、その屈曲振動の状態に応じた電荷を生じさせる２つの検出用振動腕１００とを有し、検出用振動腕１００で生じた電荷に基づいて、所定の物理量を検出し得る。 （もっと読む）

【課題】熱弾性損失を低減し、Ｑ値が高い振動片を提供する。
【解決手段】振動片１０は、屈曲振動をする振動腕３０と、振動腕３０の端部を結合する基部２０と、振動腕３０の振動中心に対して対称で、振動腕３０との結合部から基部２０との結合部に近づくにつれての幅が広がるテーパー部２５と、を有し、振動腕３０の長さをＬ、幅をＷで表し、テーパー部２５の長さをＬｔ、幅をＷｔと表すとき、テーパー部２５の形状を、テーパー長さ占有率η＝Ｌｔ／Ｌとテーパー幅占有率ξ＝２Ｗｔ／Ｗで律する。テーパー部２５の形状をこのようにすることで、振動に伴い発生する熱弾性損失を低減してＱ値を高め、安定した振動特性を実現できる。 （もっと読む）