【課題】有効な検出範囲をできるだけ確保しながら出力電圧範囲を所望の範囲に制限することが可能な検出回路、集積回路装置及びセンサー装置を提供すること。
【解決手段】検出回路３０は、感度調整部（可変ゲインアンプ３６０）及びオフセット調整部（オフセット調整ＤＡＣ３４２と同期検波回路３４０）の少なくとも一方と、電圧制限部（リミッター回路３７０）と、を含む。感度調整部（可変ゲインアンプ３６０）は、センサー素子４の検出感度に応じて検出信号（角速度信号）の電圧範囲を調整する。オフセット調整部（オフセット調整ＤＡＣ３４２と同期検波回路３４０）は、センサー素子４の出力オフセットに応じて検出信号（角速度信号）の０点電圧を調整する。電圧制限部（リミッター回路３７０）は、感度調整部及びオフセット調整部の後段に設けられ、検出信号（角速度信号）の電圧を所望の範囲に制限する。 （もっと読む）

【課題】電源電圧の変動や抵抗値のばらつきに起因する起動時間の変動を低減することが可能な駆動回路、集積回路装置及びセンサー装置を提供すること。
【解決手段】判定回路２６０は、センサー素子４が出力する駆動電流がＩ／Ｖ変換回路２００により電圧に変換された信号に基づいて得られる判定対象信号ＬＰＦＯの電圧と判定電圧との大小関係を判定する。駆動信号生成回路２３０は、判定回路２６０の判定結果に基づいて、判定対象信号ＬＰＦＯの電圧が判定電圧ＶＲ２を超えるまではセンサー素子の自励発振を補助する発振器２８０の発振信号に基づいて駆動信号を生成し、判定対象信号ＬＰＦＯの電圧が判定電圧ＶＲ２を超えた後はＩ／Ｖ変換回路２００により電圧に変換された信号に基づいて駆動信号を生成する。判定電圧ＶＲ２は、１又は複数の抵抗に定電流を流すことにより得られる電圧と基準電圧とを加算又は減算して得られる電圧である。 （もっと読む）

【課題】検出特性の劣化を抑制しつつ、薄型化可能なセンサーモジュールの提供。
【解決手段】センサーモジュール１は、第１平面１１と、第１平面１１に直角に接続された第２平面１２と、第１平面１１及び第２平面１２に直角に接続された第３平面１３と、第１平面１１に対向し外部部材への取り付け面としての第４平面１４と、を有し、第１平面１１が、第１平面１１から陥没した支持面１１ａを有する支持部材１０と、能動面２１側に接続端子２２を有し、能動面２１に沿った非能動面２９側が、支持部材１０の各面１１ａ，１２，１３にそれぞれ取り付けられたＩＣチップ２０と、接続電極３９を有した振動ジャイロ素子３０と、を備え、振動ジャイロ素子３０は、ＩＣチップ２０の能動面２１側に配置され、主面３０ａが支持部材１０の各面１１ａ，１２，１３にそれぞれ沿うように、接続電極３９がＩＣチップ２０の接続端子２２に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】振動型ジャイロスコープにおいて、センサ素子の検出感度の温度依存性をより広い温度範囲にて好適に補償可能とする。
【解決手段】温度特性ｆ(T)を有する振動子に対して、励振レベルを１／ｆ(T)で変化させる補償を行う。制御回路１０８は温度電圧生成回路１１０からｆ(T)で変化する電圧Ｖtempを入力され、温度に依存しない基準電流を供給される可変抵抗回路１０６の抵抗値を制御して電圧降下をＶtempに一致させる。可変抵抗回路１０６と同一構成の可変抵抗回路１０４は制御回路１０８の制御信号によりｆ(T)に応じた抵抗温度特性を与えられる。反転増幅回路１０２は励振レベルに応じたモニタ電圧を入力され、発振信号を増幅する可変利得増幅回路４２のゲインを制御する。反転増幅回路１０２の反転入力端子には可変抵抗回路１０４が接続され、１／ｆ(T)に応じて変化する補正電流Ｉcをモニタ電流Ｉmから減じる。 （もっと読む）

【課題】振動型ジャイロスコープにおいて、励振レベルを定める参照電圧の誤差や外来振動の影響を受けにくくして精度の向上を図る。
【解決手段】同期検波回路７２は、センサ素子の検出信号に基づく信号Ｘ、駆動回路からの発振信号Ｙ、及び参照電圧生成回路からの参照電圧Ｖrefを入力される。Ｖ／Ｉ変換回路１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃはそれぞれ信号Ｘ，Ｙ，Ｖrefを入力され、それら電圧信号Ｘ，Ｙ，Ｖrefを電流信号Ｉx，Ｉy，Ｉrefに変換してトランスリニア回路１１２へ入力する。トランスリニア回路１１２は（Ｉx・Ｉy／Ｉref）を演算することにより信号Ｘに対する同期検波を行い、演算結果の電流信号Ｉoutを出力する。当該Ｉoutに基づいて検波出力を得て、角速度信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で、互いに直交した面と面との間でワイヤーボンディングを行う必要がないセンサーモジュールの製造方法等を提供する。
【解決手段】集積回路１８と第１電極１５及び第２電極１６を有する半導体基板の第１の面に樹脂層２０を形成する工程と、樹脂層２０の第２の面に第１電極１５と接続する第１配線３１と第２電極１６と接続する第２配線３２とを形成する工程と、前記樹脂層２０の上方で第１配線３１と第１振動子６０を電気的に接続する工程と、半導体基板を分割し第１半導体基板１１と第２半導体基板１２を形成する工程と、第１半導体基板１１と第２半導体基板１２の間の樹脂層２０を屈曲させ第１構造体７０を形成する工程と、第４の面に第３配線９１を有する配線基板９０を準備する工程と、第１構造体７０を配線基板９０の第４の面に搭載する工程と、第２配線３２と第３配線９１とをワイヤーボンディングによって接続する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】対称回路の評価を適正に行うことができるとともに小型化が容易な慣性センサーを提供すること。
【解決手段】ジャイロセンサー１（慣性センサーの一例）は、信号処理ＩＣ１０とセンサー素子２０を含む。信号処理ＩＣの半導体基板１１の第１の面１１Ａと対向して設けられた複数の再配置配線３０の少なくとも１つは、半導体基板に形成された電極とセンサー素子に形成された電極を電気的に接続する。半導体基板の第１の面には、対称性を有する第１，第２の信号をそれぞれ生成するＱＶアンプ１１０，１２０（第１，第２の回路の一例）、配線１１２，１２２（第１，第２の配線の一例）、配線１１２，１２２を介して第１，第２の信号がそれぞれ供給されるパッド７０−１（第１の電極の一例），７０−ｎ（第２の電極の一例）がさらに形成され、半導体基板の第１の面に直交する方向から視た平面視において、配線１１２の形状と配線１２２の形状が対称性を有する。 （もっと読む）

【課題】単一の機械的な共振構造で構成できる、２軸ヨーレート検知ユニットを提供する。
【解決手段】反対に位置する２つの対を成して同一平面上に配置される４つの開放端音叉Ｆ１、Ｆ２、Ｆ３、Ｆ４を含み、第１の対の開放端音叉は第１の軸に沿って互いに反対の位置に配置され、第２の対の開放端音叉は第２の軸に沿って互いに反対の位置に配置され、第１の軸及び第２の軸は互いに対して垂直である。４つの開放端音叉は、４つの開放端音叉が全て周波数及び位相に関して同じように振動するように、機械的に互いに結合される。 （もっと読む）

【課題】ＱＶアンプの特性変動を低減させるとともに小型化が容易な慣性センサーを提供すること。
【解決手段】ジャイロセンサー１（慣性センサーの一例）は、信号処理ＩＣ１０とセンサー素子２０を含む。信号処理ＩＣ１０は、半導体基板１１の第１の面１１Ａに集積回路と電極とが形成されている。センサー素子２０は、振動部を有し、半導体基板１１の第１の面１１Ａと対向する面に電極が形成されている。半導体基板１１の第１の面１１Ａと対向して１又は複数の再配置配線３０が設けられ、再配置配線３０の少なくとも１つは、半導体基板１１に形成された電極とセンサー素子２０に形成された電極を電気的に接続する。ＱＶアンプ１１０，１２０は、センサー素子２０の検出信号が入力され、半導体基板１１の第１の面１１Ａに直交する方向から視た平面視において、センサー素子２０の振動部と重ならないように配置されている。 （もっと読む）

【課題】 回路の大規模化を抑えながらオフセット調整を実現できる検出装置等の提供。
【解決手段】 検出装置は駆動回路と検出回路を含み、検出回路は、振動子からの出力信号を増幅する増幅回路を含む。増幅回路は、出力信号に対応する差動信号の差動増幅を行う差動増幅回路７６と、差動増幅回路７６が有する少なくとも１つの抵抗の抵抗値を可変に制御することで、オフセット調整を行うオフセット調整回路７８を含む。差動増幅回路７６は、第１〜第４の抵抗ＲＢ１〜ＲＢ４とオペアンプＯＰＢを含む。オフセット調整回路７８は、第１、第３の抵抗ＲＢ１、ＲＢ３の少なくとも一方の抵抗値を可変に制御することにより、差動信号を構成する第１、第２の信号にそれぞれ重畳される第１、第２の不要信号の少なくとも一方を増幅して、オフセット調整を行う。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ると共に、周波数温度特性を改善した圧電振動素子を得る。
【解決手段】圧電振動素子１は、圧電振動素子１の圧電基板８が、複数の振動腕１５ａ、１５ｂ、その振動腕の一方の端部間を連接する基部１０、各振動腕１５ａ、１５ｂの他方の端部に夫々形成され幅広で錘部２０ａ、２０ｂ、及び、各振動腕１５ａ、１５ｂの振動中心に沿って形成された溝部１７ａ〜１８ｂ、を備えている。各錘部２０ａ、２０ｂは、振動中心に沿っての両側に対称に配置され且つ大きな質量を備えた質量部２１を備えており、圧電振動素子１に励振される屈曲−捩じり結合振動のうちの屈曲振動を主振動とし、その周波数温度特性が温度に関し三次特性となるように、圧電基板８の厚さ及び切断角度と、各質量部２１及び溝部１７ａ〜１８ｂの形状と、を夫々適切に設定する。 （もっと読む）

【課題】故障等を高精度に自己診断することができる角速度センサを提供する。
【解決手段】第一駆動腕と第二駆動腕とを有する音叉型の振動子と、駆動平面に沿って振動するように第一駆動腕を励振する第一駆動素子と、駆動平面に沿って振動するように第二駆動腕を励振する第二駆動素子と、第一駆動腕及び第二駆動腕を振動させる制御部と、第一駆動腕と第二駆動腕よりの振動を検出し、角速度を検出する検出部と、を備える角速度センサであって、制御部は、第一駆動腕と第二駆動腕とをそれぞれ同一周期及び同一振幅で、且つ振動位相が逆位相となるように、第一駆動素子及び第二駆動素子に駆動信号を出力する通常モードと、第一駆動腕と第二駆動腕とをそれぞれ同一周期及び同一振幅で、且つ第一駆動腕に対する第二駆動腕の振動位相が逆位相からずれつつ同位相とはならないように、第一駆動素子及び第二駆動素子に駆動信号を出力する自己診断モードと、を実行する。 （もっと読む）

【課題】小型で低コスト化が可能な振動デバイス、電子機器、及び、振動デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】センサーデバイス１は、第１の面２ａ及びその第１の面２ａとは反対側を向く第２の面２ｂを有し、互いに電気的に独立して設けられた複数の金属支柱と、複数の金属支柱の第１の面２ａ及び第２の面２ｂとは異なる面の隙間に充填され複数の金属支柱を一体に固定する絶縁体３３と、を備えた基板２と、能動面１０ａに電極パッド１１を有し、第１の金属支柱３に固定されたＩＣチップ１０と、支持部２１と振動部２２とを有し、支持部２１をＩＣチップ１０の能動面１０ａに接合することによりＩＣチップ１０に支持されたセンサー素子２０と、電極パッド１１と第２の金属支柱４Ａ，４Ｂ，４Ａ´，４Ｂ´とを電気的に接続するボンディングワイヤー９９と、ＩＣチップ１０及びセンサー素子２０を覆うように設けられた蓋体９と、を有する。 （もっと読む）

【課題】差動共振を抑えることが可能な音叉振動型角速度センサの提供。
【解決手段】 Ｘ軸方向へ互いに逆相に励起振動され、所定軸周りの角速度が生じた際にＸ軸方向と直交するＹ軸方向へ互いに逆相に変位振動される２つの錘を設け、該２つの錘のＹ軸方向での変位量の差に基づいて所定軸周りの角速度を検出する音叉振動型角速度センサ１，２であって、Ｙ軸方向における２つの錘の変位の同相分に基づいて、２つの錘をＹ軸方向の同相方向にフィードバック駆動する第１フィードバック系と、Ｙ軸方向における２つの錘の変位の逆相分に基づいて、２つの錘をＹ軸方向の逆相方向にフィードバック駆動する第２フィードバック系とを備える。 （もっと読む）

【課題】広い離調度調整範囲を確保すると共に、水晶振動子ごとの特性に合わせた離調度調整や漏れ調整を水晶ウェハー上で一括して行う水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】水晶を所定の外形形状に加工する外形形成工程ＳＴ１と、水晶振動子に電極を形成する電極形成工程ＳＴ２と、電極を形成した水晶振動子の離調度を測定する離調度測定工程ＳＴ３と、離調度測定工程の測定結果に基づいて、基部と検出脚の接続部分の近傍に形成された電極を所定形状に加工する電極加工工程ＳＴ５と、電極加工工程で加工された電極をマスクにして水晶振動子をエッチングにより削るエッチング工程ＳＴ６を有する水晶振動子の製造方法とした。 （もっと読む）

【課題】漏れ信号を無くし、検出部の振動を妨げない、高感度且つ量産性に優れた、小型の振動ジャイロを提供する。
【解決手段】互いに直交するＸ、Ｙ、Ｚの３つの軸で表される空間において、駆動アーム２０、２１はＸ軸方向の屈曲振動を励振する駆動手段、検出アーム３０、３１はＸ軸方向の屈曲振動を検出する検出手段、検出アーム３２、３３はＺ軸方向の屈曲振動を検出する検出手段を備えている。駆動アーム２０、２１と検出アーム３２、３３のＸ軸方向の長さは異なっており、連結部１０のＹ軸方向の長さは駆動アーム２０、２１のＸ軸方向の長さに対して２〜５倍、連結部１２のＹ軸方向の長さは検出アーム３２、３３のＸ軸方向の長さに対して２〜５倍の長さを有している。また、駆動アーム２０、２１と、連結部１０、１１、１２と、検出アーム３２、３３と、付加質量５０、５１、５２、５３とは、検出アーム３０、３１に平行な中心線で線対称である。 （もっと読む）

【課題】小型で、オーバーエッチングにより所定の周波数からの周波数偏差の少ない圧電振動素子を得る。
【解決手段】複数の棒状の振動腕１５ａ、１５ｂ、各振動腕１５ａ、１５ｂの一方の端部間を連接する基部１２、各振動腕１５ａ、１５ｂの他方の端部に夫々形成され各振動腕１５ａ、１５ｂよりも幅広の錘部２０ａ、２０ｂ、及び、各振動腕１５ａ、１５ｂの振動中心線Ｂに沿った表面及び裏面に夫々形成された溝部１７ａ、１７ｂ、を備えた圧電基板１０である。更に各溝部内を含めた各振動腕の表裏面に夫々形成された励振電極３０〜３６を備え、各錘部２０には夫々表裏面を貫通し、且つ前記各振動腕の長手方向に沿って直線状に延びる周波数調整用スリット２５が、複数本形成される。 （もっと読む）

【課題】小型で、Ｚ軸回りの角速度に対する感度の低下がなく、さらに他軸感度を低減した振動ジャイロを提供する。
【解決手段】互いに直交するＸ、Ｙ、Ｚの３つの軸で表される空間に配置し、ＸＹ平面に平行な平板にＺ軸方向の貫通穴を形成した検出素子１を有し、検出素子１は、Ｙ軸方向に長手方向を有する複数の屈曲アーム３ａ〜３ｄと屈曲アームを直角に連結する複数の連結部４ａ〜４ｄからなり、屈曲アームの屈曲振動を励振する駆動手段と、屈曲アームの屈曲振動を検出する検出手段とを備え、前記平板のＹ軸方向の中心線の両側にＹ軸回りおよびＺ軸回りの角速度を検出する第１振動子とＸ軸回りの角速度を検出する第２の振動子を配置し、３軸の角速度を検出する。 （もっと読む）

【課題】漏れ出力を抑制調整可能な振動片、それを用いたセンサーユニット、および、その製造方法、および、それらの振動片またはセンサーユニットを搭載した電子機器を提供する。
【解決手段】振動ジャイロ素子１１は、基部２１と、基部２１のＹ軸方向の両端部からそれぞれ延伸された一対の駆動用振動腕２２ａ，２２ｂ、および、一対の検出用振動腕２３ａ，２３ｂを有している。また、基部２１のＸ軸方向の両端部からそれぞれ延伸された連結部２４ａ，２４ｂ各々の先端部から、駆動用振動腕２２ａ，２２ｂと並行させて延伸された調整用振動腕１２５ａ，１２５ｂが設けられている。各調整用振動腕１２５ａ，１２５ｂの先端側には、幅広部としての錘部１２７ａ，１２７ｂを有している。各調整用振動腕１２５ａ，１２５ｂの主面には、振動ジャイロ素子１１の漏れ出力を調整するための膜体としての調整用電極１４５ａ，１４５ｂが設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、出力信号が不安定になってしまうということのない、信頼性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】ケース７０における外底面の４隅の近傍に、振動子６１における第１の駆動電極６５、第２の駆動電極６６、検出電極６７およびＩＣ９０のいずれにも電気的に導通しないダミー電極７９を設けることで、ケースにおける電源電極における半田付部にクラックが発生することを防止する。 （もっと読む）