【課題】小型化しても、振動腕の面外振動による振動漏れを有効に除去し得る屈曲振動片及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基部２、１対の駆動用振動腕３ａ，３ｂ、１対の検出用振動腕４ａ，４ｂ、駆動電極及び検出電極を有する両側音叉型屈曲振動片１は、振動腕と基部との結合領域に形成された金属材料等の調整膜６ａ，６ｂを有する。調整膜は、駆動用振動腕と基部との結合部に形成されたテーパ部５ａ，５ｂの領域Ｓ１と、テーパ部に近い基部の領域Ｓ２及び駆動用振動腕の領域Ｓ３とを含むように形成される。調整膜は、駆動モードで駆動用振動腕を励振したときに検出電極から出力される検出電流をモニタリングしながら、それが０となるようにレーザー光照射等により部分的に削除される。 （もっと読む）

【課題】電力供給後の始動段階において、速やかに正確な速度情報をもたらすことができるジャイロスコープ装置のシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】始動中のジャイロスコープ１１０の動的モータ振幅補償のためのシステムは、始動中のジャイロスコープのモータ振幅成長のモデルに基づいて、アプリオリのモータ振幅信号１２２を生成するように構成されたアプリオリのモータ振幅モジュール１２０と、定常状態のスケール係数モジュール１２４と、アプリオリのモータ振幅信号および定常状態のスケール係数信号を受けるように構成された動的モータ振幅補償モジュール１２８とを含む。動的モータ振幅補償モジュールは、ジャイロスコープからの測定されたモータ振幅信号１１６、アプリオリのモータ振幅信号、を受け、始動段階の間に、検出された速度信号に適用される時変スケール係数１３０を出力する。 （もっと読む）

【課題】小型（薄型）のセンサーデバイス、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】センサーデバイス１は、第１の面１０ａに第１の電極１１および第２の電極１３を有する半導体装置としてのＩＣチップ１０と、第１の電極１１および第２の電極１３を囲むように設けられた枠状の固着部材と、第１の電極１１と電気的に接続された振動片としての振動ジャイロ素子２０と、固着部材９５を介して第１の面１０ａに接合され振動ジャイロ素子２０を覆う空間Ｔを形成する蓋体としてのリッド７０と、第２の電極１３と電気的に接続され、固着部材９５の内部（本実施形態ではＩＣ側固着部材９５ａおよびリッド側固着部材９５ｂの間）を通って空間Ｔの外に延びるリード線４２と、を有している。 （もっと読む）

【課題】シリコンのエッチング異方性に起因する振動特性の劣化が抑制されたシリコンからなる振動片、その振動片を用いたジャイロセンサー、それらを備えた電子機器、および振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】基部２１、および基部２１から延伸する振動腕２２を備え、振動腕２２の第１の面１ａに開口部を有する有底の溝２が形成され、溝２は、第１の面１ａにおいて開口部の中心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿った仮想の線Ｐ２が、溝２が形成される前の振動腕２２の重心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿う仮想の線Ｐ１に対して並行するいずれかの方向にずれた位置に配置されて設けられた振動片２０の製造方法であって、シリコンウェハーの第１の面１ａに塗布されたフォトレジスト膜に、同一のフォトマスクを用いて基部２１および振動腕２２の外形形状と溝２の開口部形状とを同時に露光する工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】小型で信頼性の高いセンサーデバイス、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】センサーデバイス１は、第１の面１０ａに第１の電極１１を有する半導体装置としてのＩＣチップ１０と、基部２１、前記基部２１から延伸された振動部を有し、第１の面１０ａと対向する第２の面２０ａに第２の電極としての引き出し電極２９を有する振動片としての振動ジャイロ素子２０と、を備えている。第１の面１０ａには、絶縁樹脂からなり第１の電極１１と配線３６を介して電気的に接続された第３の電極３７の少なくとも一部を露出させる開口部３２ａを有する筒状支持部３２が設けられ、第１の面１０ａおよび開口部３２ａにより形成された凹部に導電性接着剤９８が埋設され、引き出し電極２９に設けられたバンプ１２が凹部内に配置されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子を用いた慣性力センサに関し、温度変化に伴う検出精度の劣化を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、振動腕８とこれを支持する固定部６を有する振動子２と、振動子２の制御回路を構成するＩＣ３と、振動子２とＩＣ３を収容するパッケージ１と、パッケージ１の内部で振動腕８を振動可能に支持する支持台５を備えた慣性力センサにおいて、固定部６が接続される支持台５に固定部６を囲む壁部１８を設け、この壁部１８と固定部６の間に保持層２０を設けた構成とした。 （もっと読む）

【課題】水晶のエッチング異方性に起因する振動特性の劣化が抑制された水晶振動片、その水晶振動片を用いたジャイロセンサー、それらを備えた電子機器、および水晶振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】基部２１、および基部２１から延伸する振動腕２２を備え、振動腕２２の第１の面１ａに開口部を有する有底の溝２が形成され、溝２は、第１の面１ａにおいて開口部の中心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿った仮想の線Ｐ２が、溝２が形成される前の振動腕２２の重心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿う仮想の線Ｐ１に対して平行するいずれかの方向にずれた位置に配置されて設けられた水晶振動片としての振動素子２０の製造方法であって、水晶ウェハー第１の面１ａに塗布されたフォトレジスト膜に、同一のフォトマスクを用いて基部２１および振動腕２２の外形形状と溝２の開口部形状とを露光する工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】振動ジャイロ素子の角速度検出感度を維持し、かつ支持強度を確保し小型化を可能にする振動ジャイロ素子、振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサを提供する。
【解決手段】基部１０と、基部１０から直線状に両側へ延出された１対の検出用振動腕１１ａ，１１ｂと、基部１０から両側へ検出用振動腕１１ａ，１１ｂに直交する方向に延出された１対の連結腕１３ａ，１３ｂと、各連結腕の先端部からそれと直交して両側へ延出された各１対の駆動用振動腕１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂと、基部１０から各検出用腕に沿って延出される２対の梁２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂと、同方向に延出された各梁が連結された１対の支持部２２ａ，２２ｂと、を同一平面に備え、支持部２２ａ，２２ｂを検出用振動腕の延出する方向であって検出用振動腕の外側かつ前記駆動用振動腕の間に配置する。 （もっと読む）

【課題】ノイズの発生を抑制することで優れた信頼性を発揮しつつ、かつ、センサー素子の配置の自由度が高いモジュールおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】モジュール１は、アナログ回路を有する第１のリジッド基板２１と、デジタル回路を有する第２のリジッド基板２２と、角速度センサー４１２を有する第３のリジッド基板２３と、アナログ回路とデジタル回路とを電気的に接続するように第１のリジッド基板２１と第２のリジッド基板２２とを連結し、且つ可撓性を有する第１の連結部２６１と、アナログ回路と角速度センサー４１２とを電気的に接続するように第１のリジッド基板２１と第３のリジッド基板２２とを連結し、且つ可撓性を有する第２の連結部２６２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】信頼性を高め、小型薄型で、且つ優れた検出精度を発揮することのできるモジュールおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】モジュール１は、センサー素子４と、実装面を複数備え、且つ隣接する実装面の間が折り曲げ可能な実装基板２と、固定面３１〜３５を複数備えた支持部材３と、を有し、センサー素子４は、実装面の少なくとも１つに実装され、実装面の各々は、固定面３１〜３５の各々に沿って配置され、センサー素子４が支持部材３側に配置されている。 （もっと読む）

【課題】ダイナミックレンジの大きい物理量センサー、物理量センサーの制御方法、および、それらを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】基板１０と、基板１０の第１の面１０ａに対してα°傾いた第１の斜面２ａを有する第１載置部材２、および、第２の斜面３ａを有する第２載置部材３と、主たる物理量が印加される方向に検出軸ベクトルｎ₀を向けて第１の面１０ａ面に載置されたセンサーデバイスＤ₀と、検出軸ベクトルとは異なる方向に検出軸ベクトルｎ₁をおよび検出軸ベクトルｎ₂が向くように配置された第１載置部材２および第２載置部材３のそれぞれに載置されたセンサーデバイスＤ₁および、センサーデバイスＤ₂を含み、各検出軸ベクトルｎ₀，ｎ₁，ｎ₂の方向に、ｎ₁≠⊥ｎ₀、ｎ₂≠⊥ｎ₀、および、ｎ₁⊥ｎ₂の関係が成り立つことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、モジュールの位置決めを簡単かつ正確に行うことができる保持部材、モジュールおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】保持部材７は、モジュール１の保持の位置を決めるアライメント部７４１〜７４４を有し、アライメント部７４１〜７４４は、モジュール１を固定する載置面７４１ａ〜７４４ａを有している。保持部材７の中心に対し平面視で互いに直交する第１軸Ｊ１および第２軸Ｊ２により、保持部材７を第１〜第４の領域Ｓ１〜Ｓ４に区分けしたときに、アライメント部７４１〜７４４は、領域Ｓ１〜Ｓ４にそれぞれ１つずつ設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度センサの周囲の温度が長時間上昇しても、圧電層の分極量が低下することにより、感度が低下してしまうということのない特性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】そして、この目的を達成するために、本発明の角速度センサは、接着剤８９に無機化合物を含有させるとともに、ケース７０内に水分ゲッター材９０を設ける構成とした。これにより、角速度センサの出力信号の精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】繰り返しの応力に対して信頼性の高いアクチュエータを提供する。
【解決手段】配線１４を備えた可動部９と、この可動部９を捩れ運動または曲げ運動、もしくはその両方で駆動させるための駆動部１２と、からなり、配線１４は導電性有機高分子としたことを特徴とするアクチュエータである。このように、繰り返しの応力が印加される可動部９に設けた、下部電極、上部電極、配線などを金属でなく導電性有機高分子で形成することにより、マイグレーションが生じることはなく、また可動部の可撓性を高めることができるので、高い信頼性を有するアクチュエータを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、音叉型振動子を発振回路を共用として自己診断を行うことにより簡略化及び小型化することを目的とする。
【解決手段】本発明による自己診断機能を有する角速度センサは、音叉型振動素子(1)に駆動電極(9)と検出電極(20)と自己診断用電極(6,7)を設け、各自己診断用電極(6,7)と駆動電極(9)を一対のスイッチ(SW1,SW2)を介して１個のみの発振回路(10)を共用として選択的にＯＮ／ＯＦＦすることにより、音叉型振動子(1)の各アーム部(2,3)を対称駆動又は非対称駆動とする構成である。 （もっと読む）

【課題】長尺体の直線度の調整を考慮した調整装置を提供すること。
【解決手段】長尺体（１５）の直線度を調整する調整装置（１８）は、第１の所定の方向（Ｘ）に長尺であり、ベース部（５１）に対して取り付けられた長尺体（１５）と、該長尺体にガイドされて移動する移動体（１４）と、該移動体に設けられた角速度センサー（３４）と、該角速度センサーが前記移動体と共に移動した際の該角速度センサーの姿勢の変化の情報と前記長尺体における移動中の前記角速度センサーの位置との関係を、関連づけして情報処理する情報処理部３９と、前記長尺体に対して前記第１の所定の方向と交差する方向に力を作用させて該長尺体の直線度を調整可能な調整手段（４１）と、前記調整手段により調整された後に、再度前記移動体が移動した際の前記関係についての前記情報処理された結果を、前記調整手段を操作する操作者に対して、知らせる通知手段（１９）と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、支持部に接続された振動片の上面に下部電極、圧電体層、上部電極を設け、上部電極と下部電極との間に制御電圧を印加することで振動片を側方に振動させる振動子に関し、振動子の生産性を高めることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために本発明は、支持部１６と、支持部１６に接続された振動片１７と、振動片１７の上面に設けられた下部電極２１と、下部電極２１上に設けられるとともに外周端が下部電極２１の外周端より内側となる圧電体層２２と、圧電体層２２上に設けられるとともに外周端が圧電体層２２の外周端より内側となる上部電極２０を有する振動子１２において、圧電体層２２を振動片１７の振動方向に偏倚させることで振動片１７の振動方向を調節する構成とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子をパッケージに収容した振動型の角速度センサに関して、小型化に伴う振動型の角速度センサの検出感度の劣化を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を解決するために、本発明は、駆動電極１０と検出電極１１を有する振動子２と、振動子２を収容するパッケージ１を備えた振動型の角速度センサにおいて、パッケージ１の内周面と近接する振動子２の少なくとも一部を、その断面形状がパッケージ１に近づくにつれて薄くする構造としたのである。 （もっと読む）

【課題】振動子の周波数調整において、電極パターンの電気容量の変化を低減し、電極パターンの浮遊容量の発生を抑制することで、振動子の精度を向上させる。
【解決手段】振動部分に加えて固定部分を有する振動子において、振動部分に金属膜を付着することによって周波数調整を行う場合に、金属膜を付着する必要がない固定部分において、周波数調整用の金属膜が不可避的に付着する可能性がある部分に金属膜を予め形成しておく。金属膜を予め形成しておくことによって、周波数調整時に固定部分に調整用の金属膜が付着した場合であっても、電気的特性が変化しないようにすることで、電極パターンの電気容量の変化を低減し、また、電極パターンの浮遊容量の発生を抑制する。 （もっと読む）

【課題】長尺体の直線度を容易に測定することを考慮した方法を提供すること。
【解決手段】長尺体の直線度を測定する測定方法は、角速度センサーが取り付けられた移動体を、長尺体にガイドされながら移動させる移動工程（Ｓ２）と、前記移動体が移動した際の前記角速度センサーの姿勢の変化の情報を前記角速度センサーが取得する取得工程（Ｓ３）と、前記角速度センサーの姿勢の変化の情報と前記長尺体における移動中の前記角速度センサーの位置との関係を、情報処理部が関連づけして情報処理する情報処理工程（Ｓ４）と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）