【目的】自動二輪車などの旋回時のロール角が大きな移動体の位置を精度良く求めるこ
とができ、ジャイロセンサの学習機能の構築が容易な角速度検出装置を提供する。
【構成】ナビゲーション装置１０は、移動体１に設置されるとともにジャイロセンサに
よって前記移動体１の旋回角速度ωを検知・算出する旋回角速度検知・算出手段１８を備
えており、特に、この旋回角速度検知・算出手段１８は、移動体１の正立状態における上
下方向（Ｘ軸方向）及び前後方向（Ｙ軸方向）に対して左右方向（Ｚ軸方向）において、
上下方向のＸ軸に対して互いに逆方向に同一角度θ１、θ２（θ１＝θ２＝θ０）傾けて
左右対称に設置された同感度の２つのジャイロセンサ２Ａ、２Ｂと、２つのジャイロセン
サ２Ａ、２Ｂのセンサ出力回路９、９と、センサ出力回路９、９の出力信号の変化ｘ１、
ｘ２から移動体１の旋回角速度ωを算出する演算手段と、を備える構成である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる多軸角速度センサに関し、多軸角速度センサを低背化することを目的とする。
【解決手段】本発明は、一端が固定部に接続され他端が錘部に接続された駆動アームからなる多軸角速度センサにおいて、駆動アームの形状を固定部から錘部の方向と直交する方向に延びるアーム辺の折り返し構造とし、アーム辺の延出方向に対して検出電極をアーム辺の中央部（撓み変曲点）から対称形状としたものである。 （もっと読む）

【課題】 隣接する電極間の静電容量による電気的結合にともなう特性の低下を抑えてＳＮ比を高めるとともに、設計の自由度を高めて、駆動および検出回路構成を簡素化し、かつ分極工程を簡素化して量産性に優れた、低コストの圧電素子を提供する。
【解決手段】 Ｈ字形状もしくは直方体の基板１０１の一面上に、下部電極１２０、分極された圧電薄膜１１９、および上部電極からなる、同一平面内に配置された、３以上の電気−機械変換手段を備えて、任意の１以上の前記電気−機械変換手段の分極された圧電薄膜１１９、すなわち分極部の分極の向きと、他の前記電気−機械変換手段の分極部の分極の向きとが互いに逆向きになるよう構成し、平衡形の駆動回路および／または検出回路を用いて、面内／面外方向の駆動振動モードを励振、または面内／面外方向の検出振動モードを検出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサ装置およびその製造方法に関し、角速度センサ装置の構造を簡素化することを目的とする。
【解決手段】本発明はパッケージ６の実装面に対して非平行に角速度センサ素子を実装する角速度センサ装置において前記角速度センサ素子は一端が固定部１０に支持された駆動アーム１２を振動させ角速度を検出する振動型素子とし、駆動アーム１２を固定部１０に対して対称配置した構造とした。 （もっと読む）

【課題】バネ・錐振動系の振動を効率的に減衰させることができる慣性センサーを提供すること。
【解決手段】本発明にかかる慣性センサー１００は、基部１２、基部１２に連続する弾性部１４、および、弾性部１４に連続し弾性部１４によって支持され、慣性力によって変位可能な質量部１６を有する基体１０と、弾性部１４の歪みを電界に変換する圧電変換構成２０と、前記電界を熱に変換する電熱変換部３０と、基部１２と質量部１６との間に発生した力に反応する変位検出部４０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】検出回路において電源電圧の制限を受けずに検波前利得を高め、検出信号の波形歪みの発生を避ける。
【解決手段】振動子を振動させ、この振動子に印加された角速度を検出する振動型ジャイロセンサにおいて、振動子の検出電極で検出される検出信号から角速度信号を生成する検出回路２０を備える。検出回路は、電源電圧に依存する信号処理を電流モードで行い、信号処理を電圧モードに代えて電流モードで行うことによって電源電圧による影響を避け、検波前利得を高めて、出力信号の雑音を低下させてＳ／Ｎ比を向上させ、検出回路の信号処理において電源電圧の制限による検出信号の波形歪みの発生を避ける。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動体の溶融により発生した加工屑を確実に除去することができる角速度センサ素子の製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサ素子の製造方法は、Ｓｉウエハ３４の上面にフィルムテープ３６を貼付した後、前記フィルムテープ３６をＳｉウエハ３４から剥離すると同時に、レーザ照射時に発生した加工屑３７をフィルムテープ３６に吸着させることにより除去する工程を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】振動腕に長溝を形成して電界効率を高めても、安定した屈曲振動を実現できる圧
電振動片と、圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電材料により形成された基部５１と、前記基部から延びる複数の振動腕３
５，３６とを備える圧電振動片であって、前記複数の振動腕には、その主面の長手方向に
沿って形成され、内側に駆動電極を備えた長溝３３，３４が設けられており、前記長溝の
先端部において、その幅寸法が先端側に向かって徐々に縮幅する長溝縮幅部３３ａ，３４
ａを備える圧電振動片。 （もっと読む）

【課題】単一のジャイロ素子を用いて、センシングの方向を複数のうちから容易に選択できるようにし、選択した方向のセンシングをその取り付け方に大きく規制されることなく容易に行えるようにした、ジャイロセンサーを提供する。
【解決手段】所定の検出方向を有するジャイロ素子をパッケージ内に収容してなるジャイロパッケージ３と、ジャイロ素子を駆動させる半導体装置４とを備えるジャイロセンサー１である。外面側に、異なる面方向の平面部を複数有してなる基板２を備えている。基板２の内面側に、ジャイロパッケージ３と半導体装置４とを設け、基板２の外面側の複数の平面部のそれぞれに、ジャイロパッケージ３及び半導体装置４に導通する外部端子を設けている。 （もっと読む）

【課題】 衝撃による圧電振動素子の剥がれを防ぐ。
【解決手段】 音叉形状又はＨ形状の圧電振動素子と、この圧電振動素子が搭載される圧電振動素子搭載パッドと第一の外部端子とを有する素子搭載部材と、圧電振動素子の周囲を気密の環境に維持するための第一の蓋部材と、素子搭載部材と第一の蓋部材との表面に設けられるポリイミド又はシリコンからなる樹脂部とから構成される慣性センサと、慣性センサと電気的に接続する慣性センサ接続パッドと第二の外部端子とを有し、慣性センサを搭載するモジュール部材と、慣性センサの周囲を気密の環境に維持するための第二の蓋部材と、を備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】無応力状態で圧電体膜を成膜できる結晶構造を有する圧電体素子を提案することを課題とする。
【解決手段】圧電体膜は、ａ軸配向結晶とｃ軸配向結晶とを含み、ａ軸配向結晶の格子定数とｃ軸配向結晶の格子定数との差が０．０６Å以内である。本発明者は、ａ軸配向結晶の格子定数とｃ軸配向結晶の格子定数との差が０．０６Å以内という条件を満たすときに、圧電特性を良好な特性値に維持しつつ、圧電体膜の内部に蓄積される応力を低減できるこを新規に見出した。上述の条件が満たされる場合には、ｃ軸配向結晶とａ軸配向結晶とが適度にバランスすることによって、圧電体膜の結晶粒子が下地上に理想的な状態で最蜜充填されることが応力低減に寄与しているものと考えられる。 （もっと読む）

【課題】音叉型振動子からなる角速度センサの検出感度を安定化する。
【解決手段】角速度検出素子０と、当該角速度検出素子０に与えられた角速度を検出する角速度検出回路部１とで角速度センサを構成する、角速度検出回路部１は、角速度検出素子０から得られるモニタ信号を用いて当該角速度検出素子０から得られるセンス信号のノイズ成分をキャンセルするノイズキャンセル回路３０を備える。このノイズキャンセル回路３０中の振幅調整回路４にて、加算切り替え用アナログスイッチを構成するＮＭＯＳＦＥＴとＰＭＯＳＦＥＴとの各々の基板電位をソース又はＧＮＤ・電源に切り替えるスイッチ回路を設け、アナログスイッチがオンの場合には基板電位を信号ラインに、オフの場合には電源・ＧＮＤにそれぞれ切り替えることで、当該アナログスイッチのオン抵抗増加を抑える。 （もっと読む）

【課題】傾斜磁場に感応しないようにする。
【解決手段】音叉式ジャイロスコープ１００は、導電性サスペンション１３３、１３４を介して基板１２９に連結されたアンカー１４４、１４５と接続される第１導電性プルーフマス１１０及び第２導電性プルーフマス１２０を備えている。第１の導電性プルーフマスの対向する２つの端１１１、１１２及び第２の導電性プルーフマスの対向する２つの端１２１、１２２に電気抵抗中間ポイント１７１が電気的に接続されており、該中間ポイントを介して、音叉式ジャイロスコープから感知電荷増幅器１３０に信号を提供し、感知電荷増幅器から、音叉式ジャイロスコープの回転を示す出力信号V_outを発生する。中間ポイントでは傾斜磁場の影響がキャンセルされるので、出力信号には、傾斜磁場によるノイズが含まれていない。 （もっと読む）

【課題】角速度変換ゲインの変化や、オフセットの変化が少ない、コリオリの力による角速度検出精度の良いジャイロセンサ用の制御回路を提供する。
【解決手段】振動子２４と、振動子２４に接続され、振動子２４を駆動する駆動部１００と、振動子２４に接続され、クロック信号ＣＫを出力する発振部２００と、振動子２４に接続され、振動子２４の検出信号ＳＥＮを受信し、コリオリの力による角速度を検出する検出部３００とを備え、駆動部１００は、振動子２４からの振動子振動モニタ信号ＴＦＤＭを受信する入力ＩＮと、振動子２４を駆動する駆動部１００の出力ＯＵＴ間の位相差がゼロである制御回路４００。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電機械的振動を電気信号に変換する機械−電子変換素子から出力されるアナログ電気信号をデジタル電気信号に変換し所定の信号処理を施し出力信号を形成する電子部品に関して電子部品の小型且つ省電力化に加え周辺回路の削減を目的とする。
【解決手段】本発明は、電子部品を構成する温度検出回路１７と信号処理回路１４の出力間に故障診断回路２２を設け、この故障診断回路２２で温度検出回路１７に対して駆動制御回路１３を制御する制御電圧１５を基準電圧として得た第１の出力結果と、信号処理回路１４を制御する制御電圧１６を基準電圧として得た第２の出力結果との差分データを予め定められた所定の範囲内にあるかどうかを判断し、この判断結果を信号処理回路１４の出力信号に付加する構成とした。 （もっと読む）

【課題】外部衝撃に耐えることができる信頼性の高い物理量検出デバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係る物理量検出デバイス１００は、パッケージ１０と、パッケージ１０に収容されている支持基板２０と、支持基板２０に形成されているリード３０，３３と、リード３０，３３によって支持されている振動子４０と、を含み、支持基板２０は、パッケージ１０の第１底面１２上に固定された第１部分２１と、パッケージ１０の第２底面１４上に固定された第２部分２２と、第１部分２１と第２部分２２との間に位置し、振動子４０と対向している第３部分２３と、第１部分２１と第３部分２３との間に位置し、第３部分２３に対して傾いている第４部分２４と、第２部分２２と第３部分２３との間に位置し、第３部分２３に対して傾いている第５部分２５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 安定で良好な特性を維持しつつ、小型化が可能で、ウェハ基板内に多数配置して量産化を図ることが可能な圧電音叉振動子およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】 矩形平板状の基部と、基部と同一の厚さで同一平面内で互いに平行に配置され、その一辺に一端を連結されたｎ本の振動アームからなる圧電音叉振動子において、振動アームの幅をＷ１、振動アームの互いの間隔をＷ２、基部の振動アームが連結された辺の幅をＷ３とするとき、Ｗ３＝２ｎ×Ｗ１＋（２ｎ−１）×Ｗ２をほぼ満たす関係にある。製造においては、基板上に振動アームの先端を直線状となるように配列した第一の列１０１と、第一の列１０１を１８０度回転した向きに配列した第二の列１０２とを互いに対向して配置し、第一の列１０１の互いに隣接する圧電音叉振動子パターンの振動アームの間に第二の列１０２の振動アームを配置する。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を有し、かつ容易に、種々の方向の検出軸に対して対応することができる物理量検出デバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係る物理量検出デバイス１００は、パッケージ１０と、パッケージ１０に収容されている支持基板２０と、支持基板２０の上方に支持されている振動子４０と、を含み、パッケージ１０は、第１底面１２と、第１底面１２より低い位置にある第２底面１４と、を有し、支持基板２０は、第１底面１２に固定されている第１固定部２１と、第２底面１４に固定されている第２固定部２２と、第１固定部２１と第２固定部２２との間に位置し、パッケージ１０の外側底面１８に対して傾斜している橋梁部２３と、第１固定部２１と橋梁部２３との間に位置する第１屈曲部２４と、第２固定部２２と橋梁部２３との間に位置する第２屈曲部２５と、を有し、第１屈曲部２４および第２屈曲部２５の剛性は、第１固定部２１および第２固定部２２の剛性に比べて小さい。 （もっと読む）

【課題】本発明は、支持部材に電気機能素子を実装した電子部品およびその製造方法に関し、温度特性の改善を目的とする。
【解決手段】本発明は、支持部材（パッケージ）３に電気機能素子（加速度センサ素子）２を実装した電子部品において、電気機能素子２を支持部材に接合する接着層１０を、接着剤７を二度の硬化工程を経て形成された台座８部分と、接着剤９を一度の硬化工程により硬化させた接着層１０部分で構成することにより、電子部品における温度特性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】慣性力を検出する感度と精度を向上させることを目的としている。
【解決手段】錘部７と、可撓性を有し錘部７を支持し、所定の厚みを有し同一平面に形成され、前記厚み方向において対称である第１アーム２、第２アーム３と、前記第１アーム２、第２アーム３を介して前記錘部７を保持する枠体６と、前記錘部７を駆動させる第１駆動電極８、第２駆動電極９と、前記錘部７に作用する慣性力を検出するための感知電極１０とを備え、前記第１アーム２、第２アーム３が、前記第１アーム２、第２アーム３が形成された平面に対する垂直な方向における前記錘部７の厚みよりも薄い箇所を有し、前記錘部７が、前記第１アーム２、第２アーム３が形成された平面に対する垂直な方向において対称であるものである。 （もっと読む）