【課題】短時間で高精度な調整を可能とする物理量センサの特性調整方法を提供する。
【解決手段】センサ素子８と、このセンサ素子８からの出力を一定倍率で増幅し最終出力を出力する増幅回路９と、前記増幅回路９の増幅率を調整するための調整手段１０を備えた物理量センサ７において、外部より物理量を加えて前記センサ素子８からの出力を測定する第一の工程と、この出力に基づき前記増幅率を決定した後、電気信号を前記増幅回路９に入力しながら前記調整手段１０を調整して最終出力とした。 （もっと読む）

【課題】検出素子の検出性能を悪化させることなく、検出軸を所定角度に設定できる慣性センサを提供することを目的とする。
【解決手段】実装基板との電気的接続をする複数のリードと、前記複数のリードによって構成されるリード端子２０の形状に基づいて設置角度が決まり、かつ、検出軸７０に対する動作に応答するセンサを含むジャイロセンサ１０と、ジャイロセンサ１０を固定し、モールドパッケージの底面６１の垂線と検出軸７０とが所定の角を成すモールドと、を有する。 （もっと読む）

【課題】 特に、実装工程が１回で済み、回路基板に面実装できる物理量センサ装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 回路基板６上に高さ方向（Ｚ軸方向）に向けて立設される実装基板２と、前記回路基板６の表面から見て前記実装基板２の垂直面８ａに実装されるジャイロセンサ素子３と、を有し、前記実装基板２の底面３６は電極３５が露出した前記回路基板６への実装面であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動ジャイロ素子の角速度検出感度を維持し、かつ支持強度を確保し小型化を可
能にする振動ジャイロ素子、振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサを提供す
る。
【解決手段】基部１０と、基部１０から直線状に両側へ延出された１対の検出用振動腕１
１ａ，１１ｂと、基部１０から両側へ検出用振動腕１１ａ，１１ｂに直交する方向に延出
された１対の連結腕１３ａ，１３ｂと、各連結腕の先端部からそれと直交して両側へ延出
された各１対の駆動用振動腕１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂと、基部１０から各検出用
腕に沿って延出される２対の梁２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂと、同方向に延出された
各梁が連結された１対の支持部２２ａ，２２ｂと、を同一平面に備え、支持部２２ａ，２
２ｂを検出用振動腕の延出する方向であって検出用振動腕の外側かつ前記駆動用振動腕の
間に配置する。 （もっと読む）

【課題】各圧電振動子の駆動周波数の差による干渉ノイズの問題、干渉周波数成分を除去するローパスフィルタを設けることによる応答性悪化の問題、周波数を異ならせることによる各軸の検知特性のずれの問題を解消する。
【解決手段】入力バッファ２１，３１は圧電振動子１１，１２の検出用電極Ｅｄに現れる電圧信号を入力する。加算回路２２は、入力バッファ２１，３１の出力電圧をそれぞれ加算し、振幅制御回路２３は加算回路２２の出力電圧が一定振幅になるようにしてループゲインを自動利得制御する。移相回路２４は正帰還によって発振動作するように圧電振動子１１，１２へ与える駆動電圧の位相を制御する。差動増幅回路２５，３５は軸回りの角速度に応じて現れる電圧差を増幅し、同期検波回路２８，３８は発振信号から生成した同期信号で検波を行い、角速度に応じた電圧信号を検出する。 （もっと読む）

【課題】センサ信号と検波信号との位相関係を精密に調整する。
【解決手段】波形整形回路１０１は、物理量センサに供給される駆動信号Ｓｄｒｖを基準クロックＣＫｒｅｆに変換する。ＰＬＬ回路１０２は、基準クロックＣＫｒｅｆを逓倍してそれぞれ位相が異なるｎ個の発振クロックＣＫ０，ＣＫ１，・・・，ＣＫｎ−１を生成する。セレクタ１０３は、設定値ＳＥＴ１に基づいて発振クロックＣＫ０，ＣＫ１，・・・，ＣＫｎ−１のいずれか１つを選択クロックＣＫＳＥＬとして出力する。分周回路１０５は、選択クロックＣＫＳＥＬを分周してアナログ検波信号Ｓｄｅｔを生成する。入力アンプ１０６は、物理量センサからのセンサ信号Ｓ１０を電圧に変換してアナログセンサ信号Ｓｓｎｃとして出力する。同期検波回路１０７は、アナログ検波信号Ｓｄｅｔを用いてアナログセンサ信号Ｓｓｎｃから物理量信号を検波する。 （もっと読む）

【課題】物理量を検出する素子を内蔵した素子取付パッケージにおいて、特定の面を所定
の方向に向かせて回路基板に取り付けることができる素子取付パッケージを提供すること
を目的とする。
【解決手段】物理量を検出する基準面３０を有する素子８を内蔵し、素子８が設置される
回路基板５５上に素子８を取り付けるための素子取付パッケージ１であって、素子取付パ
ッケージ１の回路基板５５上への取付面２は、基準面３０が所定の方向に向くように回路
基板５５に対して角度を規定したものである。 （もっと読む）

【課題】量産性に優れ、小型で高感度な音叉型振動子を有する角速度センサを提供すること。
【解決手段】本発明は、ベース部１０と、ベース部１０から延びる少なくとも２本のアーム部１２と、２本のアーム部１２それぞれの表面にそれぞれ形成された第１駆動電極２８及び第１検出電極３０と、２本のアーム部１２それぞれの側面から裏面にかけて形成され、互いに電気的に接続された第２駆動電極３２と、を有する音叉型振動子を具備することを特徴とする角速度センサ。 （もっと読む）

【課題】キャップを金属製ステムにシール封止する際に、ステム胴部とキャップとの間で接触を生じ、スパーク等を生じて、内部の部品に影響を及ぼすことのないジャイロパッケージを得る。
【解決手段】ジャイロ部品を搭載した金属製ステム（１０）に金属製キャップ（２０）を位置決めしてシール封止する構造を有するジャイロパッケージにおいて、金属製ステムのステム胴部（１１）をテーパ状に形成し、金属製キャップのフランジ部（２２）と金属製ステムのフランジ部（１２）との間で電気溶接により接合したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】実装面積を小さくしつつ安定して回路基板に実装できる圧電ジャイロセンサおよ
び電子機器を提供すること。
【解決手段】圧電ジャイロ素子をパッケージに収容した圧電ジャイロセンサである。前記
パッケージを一対の対向する平面部にキャビティを形成したＩ型構造とし、一方の前記キ
ャビティに前記圧電ジャイロ素子を、他方の前記キャビティに前記圧電ジャイロ素子の駆
動用ＩＣチップを搭載し、前記パッケージの側面領域に前記圧電ジャイロ素子及び駆動用
ＩＣチップの少なくとも一方と導通される外部接続電極パッドを形成し、回路基板に対し
て縦置き実装可能としてなる。 （もっと読む）

【課題】起動開始時における慣性力センサの破壊を防止する。
【解決手段】慣性力センサ１０は、駆動信号Ｓｄｒが供給されて自励振動し自励振動に対応する振動信号Ｓｏｓｃを出力するとともに外部から与えられた慣性力に応じてセンサ信号Ｓ１０を出力する。駆動回路１１は、振動信号Ｓｏｓｃに基づいて駆動信号Ｓｄｒｖを制御する。検出回路１２は、センサ信号Ｓ１０に基づいて慣性力を検出する。制御回路１４は、駆動回路１１を起動させる際、駆動回路１１の動作パラメータを設定し、駆動回路１１の動作パラメータの設定が完了した後に駆動回路１１を起動させる。 （もっと読む）

【課題】樹脂接着剤が流動しても、電気的な接続が損なわれずに低背化を図れるセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】 素子３２、ＩＣチップ３４は、入出力信号用として、各々、入出力電極４８、５０を有し、素子３２は、その表面に配置した入出力電極４８を介して電気的に接続し、ＩＣチップ３４は、その表面にのみ配置した入出力電極５０を介して電気的に接続し、基板３５は、その表面に配置した金属配線パターン４２を介して電気的に接続し、このＩＣチップ３４の入出力電極５０と基板３５の金属配線パターン４２とをワイヤ５４を介してワイヤボンディングにより電気的に接続するとともにＩＣチップ３４の入出力電極５０と素子３２の入出力電極４８とを金属バンプ５５により電気的に接続し、ＩＣチップ３４と素子３２と基板３５とは、互いに重畳するように、液状樹脂５６を介在させて硬化させるとともに金属バンプ５５を金属接合させて固定した。 （もっと読む）

【課題】デジタル物理量信号の検波精度を向上させる。
【解決手段】物理量センサ１０は、外部から与えられた物理量に応じてセンサ信号Ｓ１０を出力する。アナログ／デジタル変換器１０４は、アナログセンサ信号Ｓｓｎｃをデジタルセンサ信号Ｄｓｎｃに変換する。デジタルフィルタ１００は、アナログ／デジタル変換器１０４からのデジタルセンサ信号Ｄｓｎｃのうち所定のカットオフ周波数よりも高い周波数成分を減衰させる。検波信号生成器１０５は、正弦波信号に対応するデジタル検波信号Ｄｄｅｔを生成する。乗算器１０６は、デジタルフィルタ１００を通過したデジタルセンサ信号Ｄｐｓにデジタル検波信号Ｄｄｅｔを乗算する。これにより、デジタル物理量信号Ｄｐｈｙが検波される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高温動作時の基点電圧変動量をさらに小さくして信頼性を高めることができる角速度センサ等の圧電デバイスの製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の圧電デバイスの製造方法は、ウエハ状のシリコン基板３０の上方に下部電極層３３を形成する工程と、前記下部電極層３３の上方に圧電体層３２を形成する工程と、前記圧電体層３２の上方に上部電極層３４を形成する工程と、前記圧電体層３２と上部電極層３４との間に密着層３５を形成する工程とを備え、前記密着層３５を形成する工程は、前記ウエハ状のシリコン基板３０を加熱せずにタングステンを蒸着することによりβ相タングステンからなる密着層３５を形成した後、このβ相タングステンからなる密着層３５を熱処理することによりα相タングステンからなる密着層３５に転移させるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】サンプリング周波数の増大を抑制しつつ位相調整の精度を向上させる。
【解決手段】シフトレジスタ１００Ｒは、サンプリング周波数よりも高い周波数を有する逓倍クロックＣＫｘに同期してサンプリング周波数と同一の周波数を有する動作クロックＣＫａを順次シフトさせることにより、複数の遅延クロックＣＣ１，ＣＣ２，・・・を生成する。セレクタ１００Ｓは、遅延クロックＣＣ１，ＣＣ２，・・・の中からいずれか１つを選択し、選択した遅延クロックをサンプリングクロックＣＫｓｐとして出力する。アナログ／デジタル変換回路１０４は、サンプリング位相調整回路１００からのサンプリングクロックＣＫｓｐに同期してアナログセンサ信号Ｓｓｎｃをデジタルセンサ信号Ｄｓｎｃに変換する。 （もっと読む）

【課題】回路基板に正しい姿勢（方向）で実装できるとともに、外部衝撃による検出精度
の影響を回避できる構造とした圧電デバイスと、その製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電素子をパッケージに収容した圧電デバイスであって、パッケージ端子の
形成面に軟質ゴム台座を一体接合してなり、この軟質ゴム台座にはパッケージ端子と電気
的に接続される外部接続電極パッドを形成し、この外部接続電極パッドを有する軟質ゴム
台座を介して回路基板に実装可能とした。前記軟質ゴム台座はシリコーンゴムから形成さ
れ、このシリコーンゴムに外部接続電極パッドをスパッタ形成する。前記軟質ゴム台座は
接合されるパッケージと同サイズとしてもよいが、よりも大きい面積を有するように構成
してもよい。 （もっと読む）

【課題】センサ信号と検波信号との位相関係を精密に調整する。
【解決手段】物理量センサ１０は、所定周波数の駆動信号Ｓｄｒｖが供給され外部から与えられた物理量に応じてセンサ信号Ｓ１０を出力する。波形整形回路１０１は、駆動信号Ｓｄｒｖを基準クロックＣＫｒｅｆに変換し、逓倍回路１０２は、駆動信号Ｓｄｒｖを逓倍して動作クロックＣＫａを生成する。シフトレジスタ１００Ｒは、動作クロックＣＫａに同期して基準クロックＣＫｒｅｆを順次シフトし、遅延クロックＣＫ１〜ＣＫｎを生成する。セレクタ１００Ｓは、設定値ＳＥＴに対応する遅延クロックを選択クロックＳＳＳとして選択する。入力アンプ１０３は、センサ信号Ｓ１０を電圧に変換してアナログセンサ信号Ｓｓｎｃとして出力する。同期検波回路１０４は、選択クロックＳＳＳを検波信号として用いてアナログセンサ信号Ｓｓｎｃから物理量信号を検波する。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子用パッケージ、及び圧電振動片を前記圧電振動子用パッケージに実装
した圧電振動子、及びこれらの製造方法を提供する。
【解決手段】一面を実装面とする板状のパッケージ実装部１２と、前記実装面に形成され
た実装電極１６と、前記実装面の反対面に立てられた板状のパッケージ直立部１４と、を
備え、前記パッケージ直立部は、前記パッケージ直立部１４の板面に形成された接続電極
１８と、前記接続電極１８と前記実装電極１６を接続する基板配線２２と、を備えてなる
。 （もっと読む）

電子アセンブリを形成するためのシステムおよび方法が提示される。第１の感知軸を有する第１の慣性センサが、ブラケットに装着される。第２の感知軸を有する第２の慣性センサは、第２の感知軸が第１の感知軸に対して実質的に直交となるように、ブラケットに装着される。ブラケットは、少なくとも１つのマイクロ電子デバイスが設置された回路基板に装着される。
（もっと読む）

【課題】欠陥が存在する圧電層を有する角速度センサが存在しても、ウエハ上の他の良品の角速度センサの圧電層に所望の分極処理を施すことが可能な角速度センサの製造方法を提供すること。
【解決手段】
本発明に係る角速度センサの製造方法は、下部用分極配線６５及び下部用検査パッド７０を形成する工程と、上部用連結配線６６、上部用検査パッド８１、上部用接続パッド８２及び上部用接続配線６８とを形成する工程と、下部用検査パッド７０及び上部用検査パッド８１を用いて抵抗検査を行う工程と、抵抗検査工程にて所定の抵抗値が検出された一以上の角速度センサ１に対応する上部用検査パッド８１及び上部用接続パッド８２を電気的に接続する工程と、上部用接続配線６８及び下部用分極配線６５を介して電圧を印加することにより圧電層の分極処理を行う工程とを具備する。 （もっと読む）