振動片、周波数調整方法、振動子、振動デバイス、および電子機器
【課題】周波数調整を簡単かつ高精度に行うことができる振動片、周波数調整方法を提供
すること、また、この振動片を備える信頼性に優れた振動子、振動デバイスおよび電子機
器を提供すること。
【解決手段】本発明の振動片は、基部と、基部からＹ軸方向に延出するとともに、Ｙ軸方
向に直交するＺ軸方向に屈曲振動する振動腕２８と、振動腕２８上に設けられ、エネルギ
ー線の照射により一部または全部が除去されることにより質量を減少させて、振動腕２８
の共振周波数を調整する第１の質量部５１および第２の質量部５４とを有し、第１の質量
部５１は、振動腕２８の第１の面２８１上に設けられ、第２の質量部５４は、振動腕２８
の第２の面２８２上に設けられ、第１の質量部５１および第２の質量部５４は、Ｚ軸方向
から見たときに、互いに重ならない部分を有する。
すること、また、この振動片を備える信頼性に優れた振動子、振動デバイスおよび電子機
器を提供すること。
【解決手段】本発明の振動片は、基部と、基部からＹ軸方向に延出するとともに、Ｙ軸方
向に直交するＺ軸方向に屈曲振動する振動腕２８と、振動腕２８上に設けられ、エネルギ
ー線の照射により一部または全部が除去されることにより質量を減少させて、振動腕２８
の共振周波数を調整する第１の質量部５１および第２の質量部５４とを有し、第１の質量
部５１は、振動腕２８の第１の面２８１上に設けられ、第２の質量部５４は、振動腕２８
の第２の面２８２上に設けられ、第１の質量部５１および第２の質量部５４は、Ｚ軸方向
から見たときに、互いに重ならない部分を有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片、周波数調整方法、振動子、振動デバイス、および電子機器に関する
ものである。
【背景技術】
【０００２】
水晶発振器等の振動デバイスとしては、複数の振動腕を備える音叉型の振動片を備える
ものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
例えば、特許文献１に記載の振動片は、基部と、この基部から互いに平行となるように
延出する３つの振動腕と、各振動腕上に下部電極膜、圧電体膜および上部電極膜がこの順
で成膜されて構成された圧電体素子とを有する。このような振動片において、各圧電体素
子は、下部電極膜と上部電極膜との間に電界が印加されることにより、圧電層を伸縮させ
、振動腕を基部の厚さ方向（いわゆる面外方向）に屈曲振動させる。
【０００３】
このような振動片においては、一般に、振動腕の先端部上に金属膜を設け、この金属膜
の一部をレーザー光の照射により除去して、振動腕の屈曲振動の周波数（共振周波数）の
調整が行われる（例えば、特許文献２参照）。
例えば、特許文献２に記載の周波数調整方法では、板状をなす振動腕の両板面上にそれ
ぞれ同じパターンで周波数調整用の金属膜が成膜されている。そして、レーザー光の照射
により、振動腕の一方の板面上の金属膜の一部と他方の板面上の金属膜の一部とを同時に
除去して粗調整を行い、その後、アルゴンイオンビームの照射により、金属腕の一方の板
面上の金属膜の一部をさらに除去して微調整を行う。
【０００４】
しかしながら、特許文献２に記載の周波数調整方法では、振動腕の一方の板面上の金属
膜と他方の板面上の金属膜とが互いに同じパターンであるため、レーザー光の照射により
、振動腕の一方の板面上の金属膜と他方の板面上の金属膜とが同時に除去されてしまう。
そのため、レーザー光の照射により、振動腕の一方の板面上の金属膜の一部と他方の板面
上の金属膜の一部とを別々に除去することが難しく、周波数の微調整が難しいという問題
がある。
【０００５】
ところで、屈曲振動子の周波数ｆはｆ≒ｔ／Ｌ２（ｔは振動腕の振動方向の厚み、Ｌは
振動腕の伸長方向の全長）で与えれ、前述した特許文献１に記載されたような面外方向に
振動腕を屈曲振動させる振動片において小型化を図る場合、振動腕の長さＬを短くすると
、Ｌを小さくした分、振動腕の振動方向（振動腕の厚み方向）の厚さｔを薄くする必要が
ある。具体的には振動腕の振動方向の厚さは数μｍとかなり薄くなるので、振動腕の一方
側から照射したレーザー光が振動腕の他方の面側に到達しやすい。また、振動腕の厚さが
薄いほど、除去される金属膜の質量（減少する質量）に対する周波数の変化量（上昇量）
が大きくなるため、周波数の微調整が難しくなる。一方、振動腕を基部の厚さ方向を法線
とする面内で屈曲振動させる一般的な振動片においては、振動腕の振動方向の厚さｔは振
動腕の幅方向となり、振動腕を薄板化する必要がないので前述のような問題は発生しない
。このようなことから、面外方向に振動腕を屈曲振動させる振動片において上述したよう
な周波数調整方法を用いると、周波数調整時にレーザーが貫通し表裏面の金属膜が削れて
しまい、狙いの周波数よりずれてしまうという問題が顕著となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−５０２２号公報
【特許文献２】特開２００８−１６０８２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、周波数調整を簡単かつ高精度に行うことができる振動片、周波数調整
方法を提供すること、また、この振動片を備える信頼性に優れた振動子、振動デバイスお
よび電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の
形態または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の振動片は、第１の方向と該第１の方向に直交する第２の方向とを含む平面上に
形成される基部と、
前記基部から前記第１の方向に延出する振動腕と、を有し、
前記振動腕は、前記平面の法線方向に屈曲振動し、前記屈曲振動により圧縮または伸長
する第１の面と、前記第１の面が圧縮したときに伸長し前記第１の面が伸長したときに圧
縮する第２の面と、を有し、
前記第１の面に第１の質量部が設けられると共に、前記第２の面に第２の質量部が設け
られ、
前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、前記法線方向からの平
面視で、他方に対し非対向な部分を有することを特徴とする。
これにより、例えば、エネルギー線の照射位置に応じて、第１の質量部と第２の質量部
の少なくとも一方を（選択的に）除去することができる。そのため、エネルギー線の照射
による第１の質量部および第２の質量部の除去量を高精度に調整することができる。この
ようなことから、周波数（共振周波数）調整を簡単かつ高精度に行うことができる。
【０００９】
［適用例２］
本発明の振動片では、前記第１の質量部および前記第２の質量部は、前記法線方向から
の平面視で前記第２の方向に互いに隣り合って形成された部分を有することが好ましい。
これにより、第１の質量部および第２の質量部の第１の方向（振動腕の長手方向）にお
ける範囲を一致または重複させることができる。そのため、第１の質量部および第２の質
量部が振動腕の長手方向（第１の方向）に占める長さを抑えることができる。
【００１０】
［適用例３］
本発明の振動片では、前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、
帯状に形成されたことが好ましい。
これにより、例えば、エネルギー線を第１の質量部または第２の質量部に対し一列に連
続的に照射することが可能になり、第１の質量部または第２の質量部を一括して除去する
ことができる。そのため、第１の質量部または第２の質量部を所望量だけ迅速に除去する
ことができる。その結果、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
【００１１】
［適用例４］
本発明の振動片では、前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、
間隔を隔てて設けられた複数のブロック部を有することが好ましい。
これにより、第１の質量部または第２の質量部に形成されたブロック部の除去量に対す
る振動腕の周波数の変化量を予測するのが容易となる。その結果、周波数調整がより簡単
かつ高精度なものとなる。
【００１２】
［適用例５］
本発明の振動片では、前記第１の質量部および前記第２の質量部は、帯状に形成され、
且つ、前記法線方向からの平面視で互いに交差する部分を有することが好ましい。
これにより、第１の質量部および第２の質量部を振動腕に形成する際に、第１の方向お
よび第２の方向での位置決めに高精度を要することなく、第１の方向および第２の方向を
含む平面の法線方向から見たときに、第１の質量部および第２の質量部が互いに重ならな
い部分を有するものとなる。
【００１３】
［適用例６］
本発明の振動片では、前記第２の質量部は、前記第１の質量部の構成材料よりも比重の
小さい材料で構成されたことが好ましい。
これにより、第１の質量部の除去量に対する振動腕の周波数（共振周波数）の変化量を
、第２の質量部の除去量に対する振動腕の周波数（共振周波数）の変化量よりも大きくす
ることができる。そのため、第１の質量部を粗調整用、第２の質量部を微調整用として用
いることにより、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
【００１４】
［適用例７］
本発明の振動片では、前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、
ＳｉＯ２、Ａｌ、Ａｌ２Ｏ３、ＴｉＯ２、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、および
Ｐｔのいずれかを用いて構成されたことが好ましい。
金属もしくは絶縁材料（例えばセラミックス）は、気相成膜法により簡単かつ高精度に
成膜することができる。また、金属もしくは絶縁材料で構成された膜（錘膜）は、エネル
ギー線（特にレーザー）の照射により簡単かつ高精度に除去することができる。このよう
なことから、第１の質量部および第２の質量部をそれぞれ金属もしくは絶縁材料を成膜す
ることにより形成することで、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
【００１５】
［適用例８］
本発明の振動片では、前記第１の質量部の厚さは、前記第２の質量部の厚さよりも厚い
ことが好ましい。
これにより、第１の質量部の除去量に対する振動腕の周波数（共振周波数）の変化量を
、第２の質量部の除去量に対する振動腕の周波数（共振周波数）の変化量よりも大きくす
ることができる。そのため、第１の質量部を粗調整用、第２の質量部を微調整用として用
いることにより、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
【００１６】
［適用例９］
本発明の振動片では、前記第１の質量部および前記第２の質量部は、前記振動腕の先端
付近に設けられたことが好ましい。
これにより、第１の質量部および第２の質量部の除去量に対する振動腕の周波数（共振
周波数）の変化量を大きくすることができる。そのため、周波数調整を効率的に行うこと
ができる。また、励振電極や圧電体素子は振動腕の基端部から中央付近まで形成し、振動
腕の先端付近の空いたスペースを使って、第１の質量部および第２の質量部の設置に有効
利用することができる。そのため、振動腕の短尺化、ひいては、振動片の小型化を図るこ
とができる。
【００１７】
［適用例１０］
本発明の振動片では、前記振動腕には、第１の電極層と第２の電極層との間に配置され
た圧電体層が形成されたことが好ましい。
これにより、振動腕自体が圧電性を有していなかったり、振動腕が圧電性を有していて
も、その分極軸や結晶軸の方向が所定方向での屈曲振動に適していなかったりする場合で
も、振動腕を所定方向に効率的に屈曲振動させることができる。また、振動腕の圧電性の
有無、分極軸や結晶軸の方向を問わないので、振動腕を構成する材料の選択の幅が拡がり
、その結果、振動腕の寸法精度を簡単に高精度なものとすることができる。その結果、振
動腕の振動特性を良好なものとすることができる。
【００１８】
［適用例１１］
本発明の振動片では、前記振動腕は、前記第２の方向に複数並んで設けられ、隣り合う
２つの前記振動腕が互いに反対方向に屈曲振動することが好ましい。
これにより、互いに隣り合う２つの振動腕の漏れ振動を互いに相殺させることができる
。その結果、振動漏れの少ない振動片を実現することができる。
【００１９】
［適用例１２］
本発明の周波数調整方法は、本発明の振動片を用意する工程と、
前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方の質量を増減させて、前記
振動腕の共振周波数を調整する工程と、を有することを特徴とする。
これにより、例えば、エネルギー線の照射位置に応じて、第１の質量部と第２の質量部
とを別々に（選択的に）除去することができる。そのため、周波数（共振周波数）調整を
簡単かつ高精度に行うことができる。
［適用例１３］
本発明の振動子は、本発明の振動片と、
前記振動片を収納したパッケージと、を備えたことを特徴とする。
これにより、信頼性に優れた振動子を提供することができる。
【００２０】
［適用例１４］
本発明の振動デバイスは、本発明の振動片と、
前記振動片に接続された発振回路と、を備えたことを特徴とする。
これにより、信頼性に優れた発振器等の振動デバイスを提供することができる。
［適用例１５］
本発明の電子機器は、本発明の振動片を備えたことを特徴とする。
これにより、信頼性に優れた携帯電話、パーソナルコンピュータ、デジタルカメラ等の
電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る振動子を示す断面図である。
【図２】図１に示す振動子を示す上面図である。
【図３】図１に示す振動子に備えられた振動片を示す下面図である。
【図４】（ａ）は、図２中のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は、図２中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】図４（ａ）に示す第１の質量部および第２の質量部を説明するための部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＣ−Ｃ線断面図）である。
【図６】図２に示す振動片の動作を説明するための斜視図である。
【図７】図６に示す振動片の周波数の調整方法を説明するための図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するための部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＤ−Ｄ線断面図）である。
【図９】本発明の第３実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するための部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＥ−Ｅ線断面図）である。
【図１０】本発明の第４実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するための部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＦ−Ｆ線断面図）である。
【図１１】本発明の第５実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するための部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＧ−Ｇ線断面図、（ｃ）は、（ａ）中のＨ−Ｈ線断面図）である。
【図１２】本発明の振動片を備える電子機器（ノート型パーソナルコンピュータ）である。
【図１３】本発明の振動片を備える電子機器（携帯電話機）である。
【図１４】本発明の振動片を備える電子機器（ディジタルスチルカメラ）である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の振動片、周波数調整方法、振動子、振動デバイスおよび電子機器を添付
図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る振動子を示す断面図、図２は、図１に示す振動子
を示す上面図、図３は、図１に示す振動子に備えられた振動片を示す下面図、図４は、（
ａ）は、図２中のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は、図２中のＢ−Ｂ線断面図、図５は、図４（
ａ）に示す第１の質量部および第２の質量部を説明するための部分拡大図（（ａ）は、上
面図、（ｂ）は、（ａ）中のＣ−Ｃ線断面図）、図６は、図２に示す振動片の動作を説明
するための斜視図、図７は、図６に示す振動片の周波数の調整方法を説明するための図で
ある。なお、各図では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およ
びＺ軸を図示している。また、以下では、Ｙ軸に平行な方向（第１の方向）をＹ軸方向、
Ｘ軸に平行な方向（第２の方向）を「Ｘ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向（第１の方向と第２
の方向とを含む平面の法線方向）をＺ軸方向と言う。また、以下の説明では、説明の便宜
上、図１中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
図１に示す振動子１は、振動片２と、この振動片２を収納するパッケージ３とを有する
。
以下、振動子１を構成する各部を順次詳細に説明する。
【００２３】
（振動片）
まず、振動片２について説明する。
振動片２は、図２に示すような３脚音叉型の振動片である。この振動片２は、振動基板
２１と、この振動基板２１上に設けられた圧電体素子２２、２３、２４および接続電極４
１、４２と、第１の質量部５１、５２、５３および第２の質量部５４、５５、５６とを有
している。
振動基板２１は、基部２７と、３つの振動腕２８、２９、３０とを有している。
振動基板２１の構成材料としては、所望の振動特性を発揮することができるものであれ
ば、特に限定されず、各種圧電体材料および各種非圧電体材料を用いることができる。
【００２４】
例えば、かかる圧電体材料としては、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、
ホウ酸リチウム、チタン酸バリウム等が挙げられる。特に、振動基板２１を構成する圧電
体材料としては水晶（Ｘカット板、ＡＴカット板、Ｚカット板等）が好ましい。水晶で振
動基板２１を構成すると（すなわち基部２７および振動腕２８、２９、３０を水晶で構成
すると）、振動基板２１の振動特性（特に周波数温度特性）を優れたものとすることがで
きる。また、エッチングにより高い寸法精度で振動基板２１を形成することができる。
【００２５】
また、かかる非圧電体材料としては、例えば、シリコン、石英等が挙げられる。特に、
振動基板２１を構成する非圧電体材料としてはシリコンが好ましい。シリコンで振動基板
２１を構成すると、振動基板２１の振動特性を優れたものを比較的安価に実現することが
できる。また、基部２７に集積回路を形成するなどして、振動片２と他の回路素子との一
体化も容易である。また、エッチングにより高い寸法精度で振動基板２１を形成すること
ができる。
このような振動基板２１において、基部２７は、Ｚ軸方向を厚さ方向とする略板状をな
している。また、図１および図３に示すように、基部２７は、薄肉に形成された薄肉部２
７１と、この薄肉部２７１よりも厚肉に形成された厚肉部２７２とを有し、これらがＹ軸
方向に並んで設けられている。
【００２６】
また、薄肉部２７１は、後述する各振動腕２８、２９、３０と等しい厚さとなるように
形成されている。したがって、厚肉部２７２は、そのＺ軸方向での厚さが各振動腕２８、
２９、３０のＺ軸方向での厚さよりも大きい部分である。
【００２７】
このような薄肉部２７１および厚肉部２７２を形成することにより、振動腕２８、２９
、３０の厚さを薄くして振動腕２８、２９、３０の振動特性を向上させるとともに、振動
片２を製造する際のハンドリング性を優れたものとすることができる。
そして、基部２７の薄肉部２７１の厚肉部２７２とは反対側には、３つの振動腕２８、
２９、３０が接続されている。
【００２８】
振動腕２８、２９は、基部２７（薄肉部２７１）のＸ軸方向での両端部に接続され、振
動腕３０は、基部２７（薄肉部２７１）のＸ軸方向での中央部に接続されている。
３つの振動腕２８、２９、３０は、互いに平行となるように基部２７からそれぞれ延出
して設けられている。より具体的には、３つの振動腕２８、２９、３０は、基部２７から
それぞれＹ軸方向（Ｙ軸の矢印方向）に延出するとともに、Ｘ軸方向に並んで設けられて
いる。
この振動腕２８、２９、３０は、それぞれ、長手形状をなし、その基部２７側の端部（
基端部）が固定端となり、基部２７と反対側の端部（先端部）が自由端となる。
【００２９】
また、各振動腕２８、２９、３０は、長手方向での全域に亘って幅が一定となっている
。なお、各振動腕２８、２９、３０は、幅の異なる部分を有していてもよい。
また、振動腕２８、２９、３０は、互いに同じ長さとなるように形成されている。なお
、振動腕２８、２９、３０の長さは、各振動腕２８、２９、３０の幅、厚さ等に応じて設
定されるものであり、互いに異なっていてもよい。
なお、振動腕２８、２９、３０の各先端部には、必要に応じて、基端部よりも横断面積
が大きい質量部（ハンマーヘッド）を設けてもよい。この場合、振動片２をより小型なも
のとしたり、振動腕２８、２９、３０の屈曲振動の周波数をより低めたりすることができ
る。
【００３０】
図４（ａ）に示すように、このような振動腕２８の上面２８１上には、第１の質量部５
１が設けられ、また、振動腕２８の下面２８２上には、第２の質量部５４が設けられてい
る。この第１の質量部５１および第２の質量部５４は、それぞれ、例えば、エネルギー線
の照射により一部または全部が除去されることにより質量を減少させて、振動腕２８の共
振周波数を調整するためのものである。同様に、振動腕２９の上面２９１上には、第１の
質量部５２が設けられ、また、振動腕２９の下面２９２上には、第２の質量部５５が設け
られている。また、振動腕３０の上面３０１上には、第１の質量部５３が設けられ、また
、振動腕３０の下面３０２上には、第２の質量部５６が設けられている。
【００３１】
なお、第１の質量部５１、５２、５３および第２の質量部５４、５５、５６については
、後に詳述する。
また、図４（ｂ）に示すように、このような振動腕２８上には、圧電体素子２２が設け
られ、また、振動腕２９上には、圧電体素子２３が設けられ、さらに、振動腕３０上には
、圧電体素子２４が設けられている。これにより、振動腕２８、２９、３０自体が圧電性
を有していなかったり、振動腕２８、２９、３０が圧電性を有していても、その分極軸や
結晶軸の方向がＺ軸方向での屈曲振動に適していなかったりする場合でも、比較的簡単か
つ効率的に、各振動腕２８、２９、３０をＺ軸方向に屈曲振動させることができる。また
、振動腕２８、２９、３０の圧電性の有無、分極軸や結晶軸の方向を問わないので、各振
動腕２８、２９、３０の材料の選択の幅が広がる。そのため、所望の振動特性を有する振
動片２を比較的簡単に実現することができる。
【００３２】
圧電体素子２２は、通電により伸縮して振動腕２８をＺ軸方向に屈曲振動させる機能を
有する。また、圧電体素子２３は、通電により伸縮して振動腕２９をＺ軸方向に屈曲振動
させる機能を有する。また、圧電体素子２４は、通電により伸縮して振動腕３０をＺ軸方
向に屈曲振動させる機能を有する。
このような圧電体素子２２は、図４（ｂ）に示すように、振動腕２８上に、第１の電極
層２２１、圧電体層（圧電薄膜）２２２、第２の電極層２２３がこの順で積層されて構成
されている。
同様に、圧電体素子２３は、振動腕２９上に、第１の電極層２３１、圧電体層（圧電薄
膜）２３２、第２の電極層２３３がこの順で積層されて構成されている。また、圧電体素
子２４は、振動腕３０上に、第１の電極層２４１、圧電体層（圧電薄膜）２４２、第２の
電極層２４３がこの順で積層されて構成されている。
【００３３】
以下、圧電体素子２２を構成する各層を順次詳細に説明する。なお、圧電体素子２３、
２４の各層の構成については、圧電体素子２２と同様であるため、その説明を省略する。
［第１の電極層］
第１の電極層２２１は、基部２７上から振動腕２８上にその延出方向（Ｙ軸方向）に沿
って設けられている。
【００３４】
本実施形態では、振動腕２８上において、第１の電極層２２１の長さは、振動腕２８の
長さよりも短くなっている。
また、本実施形態では、第１の電極層２２１の長さは、振動腕２８の長さの２／３程度
に設定されている。なお、第１の電極層２２１の長さは、振動腕２８の長さの１／３〜１
程度に設定することができる。
【００３５】
このような第１の電極層２２１は、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム
（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（
Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタ
ン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料によ
り形成することができる。
【００３６】
中でも、第１の電極層２２１の構成材料としては、金を主材料とする金属（金、金合金
）、白金を用いるのが好ましく、金を主材料とする金属（特に金）を用いるのがより好ま
しい。
Ａｕは、導電性に優れ（電気抵抗が小さく）、酸化に対する耐性に優れているため、電
極材料として好適である。また、ＡｕはＰｔに比しエッチングにより容易にパターニング
することができる。さらに、第１の電極層２２１を金または金合金で構成することにより
、圧電体層２２２の配向性を高めることもできる。
【００３７】
また、第１の電極層２２１の平均厚さは、特に限定されないが、例えば、１〜３００ｎ
ｍ程度であるのが好ましく、１０〜２００ｎｍであるのがより好ましい。これにより、第
１の電極層２２１が圧電体素子２２の駆動特性や振動腕２８の振動特性に悪影響を与える
のを防止しつつ、前述したような第１の電極層２２１の導電性を優れたものとすることが
できる。
【００３８】
なお、例えば第１の電極層２２１を金で構成し、振動基板２１を水晶で構成した場合、
これらの密着性が低い。そのため、このような場合、第１の電極層２２１と振動基板２１
との間には、Ｔｉ、Ｃｒ等で構成された下地層を設けるのが好ましい。これにより、下地
層と振動腕２８との密着性、および、下地層と第１の電極層２２１との密着性をそれぞれ
優れたものとすることができる。その結果、第１の電極層２２１が振動腕から剥離するの
を防止し、振動片２の信頼性を優れたものとすることができる。
この下地層の平均厚さは、下地層が圧電体素子２２の駆動特性や振動腕２８の振動特性
に悪影響を与えるのを防止しつつ、前述したような密着性を高める効果を発揮することが
できれば、特に限定されないが、例えば、１〜３００ｎｍ程度であるのが好ましい。
【００３９】
［圧電体層］
圧電体層２２２は、第１の電極層２２１上に振動腕２８の延出方向（Ｙ軸方向）に沿っ
て設けられている。
また、振動腕２８の延出方向（Ｙ軸方向）における圧電体層２２２の長さは、同方向（
Ｙ軸方向）における第１の電極層２２１の長さに略等しい。
【００４０】
これにより、圧電体層２２２のＹ軸方向の全域に亘って前述したように第１の電極層２
２１の表面状態により圧電体層２２２の配向性を高めることができる。そのため、振動腕
２８の長手方向（Ｙ軸方向）において圧電体層２２２を均質化することができる。
また、圧電体層２２２の基部２７側の端部（すなわち圧電体層２２２の基端部）は、振
動腕２８と基部２７との境界部を跨ぐように設けられている。これにより、圧電体素子２
２の駆動力を振動腕２８に効率的に伝達させることができる。また、振動腕２８と基部２
７との境界部における剛性の急激な変化を緩和することができる。そのため、振動片２の
Ｑ値を高めることができる。
【００４１】
このような圧電体層２２２の構成材料（圧電体材料）としては、例えば、酸化亜鉛（Ｚ
ｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）、ニオブ酸
リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、ニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ３）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ
２Ｂ４Ｏ７）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等
が挙げられるが、ＡＩＮ、ＺｎＯを用いるのが好ましい。
【００４２】
中でも、圧電体層２２２の構成材料としては、ＺｎＯ、ＡｌＮを用いるのが好ましい。
ＺｎＯ（酸化亜鉛）や窒化アルミニウム（ＡｌＮ）は、ｃ軸配向性に優れている。そのた
め、圧電体層２２２をＺｎＯを主材料として構成することにより、振動片２のＣＩ値を低
減することができる。また、これらの材料は、反応性スパッタリング法により成膜するこ
とができる。
また、圧電体層２２２の平均厚さは、５０〜３０００［ｎｍ］であるのが好ましく、２
００〜２０００［ｎｍ］であるのがより好ましい。これにより、圧電体層２２２が振動腕
２８の振動特性に悪影響を与えるのを防止しつつ、圧電体素子２２の駆動特性を優れたも
のとすることができる。
【００４３】
［第２の電極層］
第２の電極層２２３は、圧電体層２２２上に振動腕２８の延出方向（Ｙ軸方向）に沿っ
て設けられている。
また、振動腕２８の延出方向（Ｙ軸方向）における第２の電極層２２３の長さは、圧電
体層２２２の長さに略等しい。これにより、第２の電極層２２３と前述した第１の電極層
２２１との間に生じる電界により、振動腕２８の延出方向（Ｙ軸方向）において圧電体層
２２２の全域を伸縮させることができる。そのため、振動効率を高めることができる。
【００４４】
このような第２の電極層２２３は、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム
（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（
Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタ
ン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料によ
り形成することができる。特に、第２の電極層２２３の構成材料は、第１の電極層２２１
と同様、金を主材料とする金属（金、金合金）、白金を用いるのが好ましく、金を主材料
とする金属（特に金）を用いるのがより好ましい。
【００４５】
また、第２の電極層２２３の平均厚さは、特に限定されないが、例えば、１〜３００ｎ
ｍ程度であるのが好ましく、１０〜２００ｎｍであるのがより好ましい。これにより、第
２の電極層２２３が圧電体素子２２の駆動特性や振動腕２８の振動特性に悪影響を与える
のを防止しつつ、第２の電極層２２３の導電性を優れたものとすることができる。
なお、圧電体層２２２と第２の電極層２２３との間には、必要に応じて、ＳｉＯ２（酸
化ケイ素）、ＡｌＮ（窒化アルミ）等の絶縁体層を設けてもよい。この絶縁体層は、圧電
体層２２２を保護するとともに、第１の電極層２２１と第２の電極層２２３との間の短絡
を防止する機能を有する。また、この絶縁体層は、圧電体層２２２の上面のみを覆うよう
に形成してもよいし、圧電体層２２２の上面および圧電体層２２２の側面（第１の電極層
２２１に接する面以外の面）も覆うように形成してもよい。
【００４６】
この絶縁体層の平均厚さは、特に限定されないが、５０〜５００ｎｍであるのが好まし
い。かかる厚さが前記下限値未満であると、前述したような短絡を防止する効果が小さく
なる傾向となり、一方、かかる厚さが前記上限値を超えると、圧電体素子２２の特性に悪
影響を与えるおそれがある。
このような圧電体素子２２においては、第１の電極層２２１と第２の電極層２２３との
間に電圧が印加されると、圧電体層２２２にＺ軸方向の電界が生じる。この電界により、
圧電体層２２２は、Ｙ軸方向に伸張または収縮し、振動腕２８をＺ軸方向に屈曲振動させ
る。
【００４７】
同様に、圧電体素子２３においては、第１の電極層２３１と第２の電極層２３３との間
に電圧が印加されると、圧電体層２３２は、Ｙ軸方向に伸張または収縮し、振動腕２９を
Ｚ軸方向に屈曲振動させる。また、圧電体素子２４においては、第１の電極層２４１と第
２の電極層２４３との間に電圧が印加されると、圧電体層２４２は、Ｙ軸方向に伸張また
は収縮し、振動腕３０をＺ軸方向に屈曲振動させる。
【００４８】
このような圧電体素子２２、２３、２４において、前述した第１の電極層２２１、２３
１は、図示しない貫通電極および配線からなる導通部を介して、第２の電極層２４３に電
気的に接続されている。そして、第２の電極層２４３は、図２に示すように、基部２７の
上面に設けられた接続電極４１に電気的に接続されている。これにより、第１の電極層２
２１、２３１および第２の電極層２４３は、それぞれ、接続電極４１に電気的に接続され
ている。
【００４９】
また、第１の電極層２４１は、図示しない貫通電極および配線からなる導通部を介して
、第２の電極層２２３、２３３に電気的に接続されている。そして、第２の電極層２２３
、２３３は、図２に示すように、配線４３を介して、基部２７の上面に設けられた接続電
極４２に電気的に接続されている。これにより、第１の電極層２４１および第２の電極層
２２３、２３３は、接続電極４２に電気的に接続されている。
【００５０】
また、接続電極４１、４２および配線４３等は、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、
アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロ
ム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデンン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄
（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等
の金属材料により形成することができる。また、これらは、第１の電極層２２１、２３１
、２４１または第２の電極層２２３、２３３、２４３と同時に一括形成することができる
。
【００５１】
このような構成の振動片２においては、接続電極４１と接続電極４２との間に電圧（各
振動腕２８、２９、３０を振動させるための電圧）が印加されると、第１の電極層２２１
、２３１および第２の電極層２４３と、第１の電極層２４１および第２の電極層２２３、
２３３とが逆極性となるようにして、前述した圧電体層２２２、２３２、２４２にそれぞ
れＺ軸方向の電圧が印加される。これにより、圧電体材料の逆圧電効果により、ある一定
の周波数（共鳴周波数）で各振動腕２８、２９、３０を屈曲振動させることができる。こ
のとき、図５に示すように、振動腕２８、２９は、互いに同方向に屈曲振動し、振動腕３
０は、振動腕２８、２９とは反対方向に屈曲振動する。
【００５２】
このように、隣り合う２つの振動腕を互いに反対方向に屈曲振動させることにより、隣
り合う２つの振動腕２８、３０および２９、３０により生じる漏れ振動を互いに相殺する
ことができる。その結果、振動漏れを防止することができる。
また、各振動腕２８、２９、３０が屈曲振動すると、接続電極４１、４２間には、圧電
体材料の圧電効果により、ある一定の周波数で電圧が発生する。これらの性質を利用して
、振動片２は、共鳴周波数で振動する電気信号を発生させることができる。
【００５３】
（第１の質量部および第２の質量部）
ここで、振動腕２８上に設けられた第１の質量部５１および第２の質量部５４について
詳述する。なお、振動腕２９上に設けられた第１の質量部５２および第２の質量部５５、
および、振動腕３０上に設けられた第１の質量部５３および第２の質量部５６は、第１の
質量部５１および第２の質量部５４と同様であるため、その説明を省略する。
【００５４】
前述したように、第１の質量部５１は、振動腕２８の上面２８１上に設けられ、第２の
質量部５４は、振動腕２８の下面２８２上に設けられている。ここで、振動腕２８の上面
２８１および下面２８２は、Ｚ軸方向（すなわち振動腕２８の屈曲振動する方向）を法線
とする面であって、互いに対向している。本実施形態では、振動腕２８は、板状をなして
おり、その１対の板面が上面２８１（第１の面）および下面２８２（第２の面）を構成し
ている。また、上面２８１は、振動腕２８のＺ軸方向での屈曲振動により圧縮または伸長
し、下面２８２は、上面２８１が圧縮したときに伸長し上面２８１が伸長したときに圧縮
する。
【００５５】
特に、第１の質量部５１および第２の質量部５４は、Ｚ軸方向から見たときに（すなわ
ち平面視したときに）、互いに重ならない部分を有する。即ち、第１の面（上面２８１）
に第１の質量部５１が設けられると共に、第２の面（下面２８２）に第２の質量部５４が
設けられ、第１の質量部５１および第２の質量部５４は、上面２８１または下面２８２の
法線方向（すなわちＺ軸方向）から平面視で見たときに、互いに非対向な部分を有すると
も言える。
これにより、例えば、エネルギー線の照射位置に応じて、第１の質量部５１と第２の質
量部５４とを別々に（選択的に）除去することができる。そのため、第１の質量部５１お
よび第２の質量部５４の除去量を高精度に調整することができる。このようなことから、
周波数（共振周波数）調整を簡単かつ高精度に行うことができる。
【００５６】
より具体的に説明すると、第１の質量部５１は、質量部５１１と、質量部５１１よりも
振動腕２８の基端側に並んで設けられた質量部５１２とで構成されている。
この質量部５１１および質量部５１２は、それぞれ、振動腕２８の上面２８１上におい
て、Ｘ軸方向での中央部に設けられている。
本実施形態では、質量部５１１、５１２は、それぞれ、Ｙ軸方向を長手とする帯状（長
方形）をなしている。また、質量部５１１、５１２は、互いに幅が同じになっている。ま
た、質量部５１１のＹ軸方向での長さは、質量部５１２のＹ軸方向での長さよりも長くな
っている。
また、質量部５１１と質量部５１２とはＹ軸方向に互いに離間している。この離間距離
は、特に限定されないが、後述する周波数調整に用いるエネルギー線の照射領域（特にレ
ーザー光のスポット径）の１／２以上（特に１以上）であるのが好ましい。
【００５７】
一方、第２の質量部５４は、質量部５４１、５４２と、質量部５４１、５４２よりも振
動腕２８の基端側に並んで設けられた質量部５４３、５４４とで構成されている。
この質量部５４１および質量部５４３は、それぞれ、振動腕２８の上面２８１上におい
て、Ｘ軸方向での一端部（図５中左側の端部）に設けられ、一方、質量部５４２および質
量部５４４は、それぞれ、振動腕２８の上面２８１上において、Ｘ軸方向での他端部（図
５中右側の端部）に設けられている。
【００５８】
本実施形態では、質量部５４１、５４２、５４３、５４４は、それぞれ、Ｙ軸方向を長
手とする帯状（長方形）をなしている。また、質量部５４１、５４２、５４３、５４４は
、互いに幅が同じになっている。また、質量部５４１、５４２のＹ軸方向での長さは、前
述した第１の質量部５１の質量部５１１のＹ軸方向での長さと等しくなっている。また、
質量部５４３、５４４のＹ軸方向での長さは、前述した第１の質量部５１の質量部５１２
のＹ軸方向での長さと等しくなっている。
【００５９】
また、質量部５４１と質量部５４３とはＹ軸方向に互いに離間している。また、質量部
５４２と質量部５４４とはＹ軸方向に互いに離間している。これらの離間距離は、それぞ
れ、特に限定されないが、後述する周波数調整に用いるエネルギー線の照射領域（特にレ
ーザー光のスポット径）の１／２以上（特に１以上）であるのが好ましい。
また、質量部５４１と質量部５４２は、Ｘ軸方向に離間している。また、質量部５４３
と質量部５４４は、Ｘ軸方向に離間している。これらの離間距離は、それぞれ、前述した
第１の質量部５１の質量部５１１、５１２のＸ軸方向での長さよりも長くなっている。
【００６０】
このような第１の質量部５１および第２の質量部５４は、Ｚ軸方向から見たときに、Ｘ
軸方向に重ならないように設けられている。即ち、第１の質量部５１および第２の質量部
５４は、Ｚ軸方向（上面２８１または下面２８２の法線方向）から平面視で見たときに、
Ｘ軸方向（第２の方向）に互いに隣り合って形成された部分を有するとも言える。これに
より、第１の質量部５１および第２の質量部５４のＹ軸方向における範囲を一致または重
複させることができる。そのため、第１の質量部５１および第２の質量部５４が振動腕２
８の長手方向（Ｙ軸方向）に占める長さを抑えることができる。なお、第１の質量部５１
および第２の質量部５４は、Ｚ軸方向から見たときに第１の質量部５１および第２の質量
部５４の境界付近において、質量部の一部（例えば質量部の縁部同士）が重なっても良い
。
【００６１】
また、Ｚ軸方向から見たときに、第１の質量部５１の質量部５１１、５１２と第２の質
量部５４の質量部５４１、５４３とは、Ｘ軸方向に間隔を隔てて設けられ、同様に、第１
の質量部５１の質量部５１１、５１２と第２の質量部５４の質量部５４２、５４４とは、
Ｘ軸方向に間隔を隔てて設けられている。これにより、後述するようにエネルギー線を照
射したときに、各質量部毎に除去することができる。ここで、これらの間隔は、それぞれ
、後述する周波数調整に用いるエネルギー線の照射領域（特にレーザー光のスポット径）
の１／２以上（特に１以上）であるのが好ましい。
【００６２】
また、第１の質量部５１および第２の質量部５４は、それぞれ、振動腕２８の先端部側
（先端付近）に設けられている。これにより、第１の質量部５１および第２の質量部５４
の除去量に対する振動腕２８の周波数（共振周波数）の変化量を大きくすることができる
。そのため、周波数調整を効率的に行うことができる。また、振動腕２８の先端部は、前
述したような圧電体素子２２が設けられていないため、第１の質量部５１および第２の質
量部５４の設置に有効利用することができる。そのため、振動腕２８の短尺化、ひいては
、振動片２の小型化を図ることができる。
【００６３】
また、第１の質量部５１および第２の質量部５４は、互いにＹ軸方向における範囲が一
致している。これにより、振動腕２８の短尺化、ひいては、振動片２の小型化を図ること
ができる。
このような第１の質量部５１および第２の質量部５４の構成材料としては、それぞれ、
特に限定されず、振動腕２８上に成膜可能なものであれば、特に限定されず、樹脂材料、
金属材料、セラミックス材料等を用いることができる。また、第１の質量部５１および第
２の質量部５４の構成材料として、前述した圧電体層２２２の構成材料と同様のものを用
いることもできる。
【００６４】
特に、このような第１の質量部５１および第２の質量部５４の構成材料としては、金属
材料またはセラミックス材料が好ましい。すなわち、第１の質量部５１および第２の質量
部５４は、それぞれ、金属またはセラミックスを成膜することにより形成されているのが
好ましい。
金属またはセラミックス（絶縁材料）は、気相成膜法により簡単かつ高精度に成膜する
ことができる。また、金属またはセラミックスで構成された膜（錘膜）は、エネルギー線
（特にレーザー）の照射により簡単かつ高精度に除去することができる。このようなこと
から、第１の質量部５１および第２の質量部５４をそれぞれ金属またはセラミックスを成
膜することにより形成することで、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
【００６５】
かかる金属材料としては、前述した第１の電極層２２１および第２の電極層２２３の構
成材料と同様、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウ
ム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデンン
（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバル
ト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等挙げられ、これらのうち１種または
２種以上を組み合わせて用いることができる。中でも、かかる金属材料としては、Ａｌ、
Ｃｒ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｐｔまたはこれらのうちの少なくとも１種を含む
合金を用いるのが好ましい。
【００６６】
また、第１の質量部５１および第２の質量部５４の構成材料に用いるセラミックスとし
ては、各種ガラス、アルミナ（酸化アルミニウム）、シリカ（酸化シリコン）、チタニア
（酸化チタン）、ジルコニア、イットリア、リン酸カルシウム等の酸化物セラミックス、
窒化珪素、窒化アルミ、窒化チタン、窒化ボロン等の窒化物セラミックス、グラファイト
、タングステンカーバイト等の炭化物系セラミックス、その他、例えばチタン酸バリウム
、チタン酸ストロンチウム、ＰＺＴ、ＰＬＺＴ、ＰＬＬＺＴ等の強誘電体材料などが挙げ
られる。中でも、かかるセラミックスとしては、酸化シリコン（ＳｉＯ２）、酸化チタン
（ＴｉＯ２）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）等の絶縁材料を用いるのが好ましい。
【００６７】
また、第１の質量部５１の構成材料と第２の質量部５４の構成材料は、互いに異なるも
のを用いるのが好ましい。これにより、第１の質量部５１の構成材料の比重と第２の質量
部５４の構成材料の比重とを異ならせることができる。その結果、第１の質量部５１の除
去量に対する振動腕２８の周波数（共振周波数）の変化量と、第２の質量部５４の除去量
に対する振動腕２８の周波数（共振周波数）の変化量とを異ならせることができる。その
ため、第１の質量部５１および第２の質量部５４の一方の質量部を粗調整用、他方の質量
部を微調整用として用いることにより、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
【００６８】
また、第１の質量部５１は、第２の質量部５４の構成材料よりも比重の大きい材料で構
成されているのが好ましい。言い換えると、第２の質量部５４は、第１の質量部５１の構
成材料よりも比重の小さい材料で構成されているのが好ましい。より具体的には、第１の
質量部５１および第２の質量部５４をそれぞれ金属材料で構成する場合、第１の質量部５
１をＡｕ、Ｐｔ、Ａｇまたはこれらの合金等で構成し、第２の質量部５４をＡｌ、Ａｌ合
金等で構成するのが好ましい。
【００６９】
これにより、第１の質量部５１の除去量に対する振動腕２８の周波数（共振周波数）の
変化量（上昇量）を、第２の質量部５４の除去量に対する振動腕２８の周波数（共振周波
数）の変化量（上昇量）よりも大きくすることができる。そのため、第１の質量部５１を
粗調整用、第２の質量部５４を微調整用として用いることにより、周波数調整がより簡単
かつ高精度なものとなる。
【００７０】
また、本実施形態では、第２の質量部５４は、振動腕２８のＸ軸方向での両端部に位置
しているので、第２の質量部５４を微調整用として用いることにより、振動腕２８の振動
特性がＸ軸方向の両端部でアンバランスになるのを防止することができる。
また、上述した比重と同様の観点から、第１の質量部５１の密度は、第２の質量部５４
の密度よりも大きいのが好ましい。言い換えると、第２の質量部５４の密度は、第１の質
量部５１の密度よりも小さいのが好ましい。例えば、第２の質量部５４を多孔質体で構成
することにより、第１の質量部５１および第２の質量部５４が互いに同じ構成材料を用い
ていても、第２の質量部５４の密度を第１の質量部５１の密度よりも小さくすることがで
きる。
【００７１】
また、第１の質量部５１の厚さ（平均厚さ）は、第２の質量部５４の厚さ（平均厚さ）
よりも厚いのが好ましい。言い換えると、第２の質量部５４の厚さ（平均厚さ）は、第１
の質量部５１の厚さ（平均厚さ）よりも薄いのが好ましい。
これにより、第１の質量部５１の除去量に対する振動腕２８の周波数（共振周波数）の
変化量（上昇量）を、第２の質量部５４の除去量に対する振動腕２８の周波数（共振周波
数）の変化量（上昇量）よりも大きくすることができる。そのため、第１の質量部５１を
粗調整用、第２の質量部５４を微調整用として用いることにより、周波数調整がより簡単
かつ高精度なものとなる。
【００７２】
また、本実施形態では、第２の質量部５４は、振動腕２８のＸ軸方向での両端部に位置
しているので、第２の質量部５４を微調整用として用いることにより、振動腕２８の振動
特性がＸ軸方向の両端部でアンバランスになるのを防止することができる。
また、第１の質量部５１の厚さ（平均厚さ）は、第２の質量部５４の厚さ（平均厚さ）
の１倍以上１０倍以下であるのが好ましく、１倍以上８倍以下であるのがより好ましい。
また、第１の質量部５１および第２の質量部５４の厚さ（平均厚さ）は、それぞれ、特
に限定されないが、１〜１０００ｎｍ程度であるのが好ましい。これにより、高精度に厚
さを規定した第１の質量部５１および第２の質量部５４を容易に得ることができる。
【００７３】
（周波数の調整方法）
次に、図７に基づいて、前述したように構成された振動片２の周波数調整方法について
説明する。なお、以下では、第１の質量部５１を粗調整用、第２の質量部５４を微調整用
として用いる場合を例に説明する。また、以下では、振動腕２８の周波数調整を代表的に
説明するが、振動腕２９、３０の周波数調整も振動腕２８の周波数調整と同様である。
振動片２の周波数調整方法は、［１］振動片２（周波数調整前）を用意する工程と、［
２］第１の質量部５１および第２の質量部５４のうちの少なくとも一方の質量部の一部ま
たは全部をエネルギー線の照射により除去することにより、当該質量部の質量を減少させ
て、振動腕２８の共振周波数を調整する工程とを有する。
【００７４】
以下、各工程［１］、［２］を順次説明する。
［１］
まず、周波数調整前（未調整）の振動片２を用意する。
このとき、図７（ａ）に示すように、振動腕２８上には、前述したような質量部５１１
、５１２で構成された第１の質量部５１と、質量部５４１、５４２、５４３、５４４で構
成された第２の質量部５４とが設けられている。
また、このとき、振動腕２８の周波数（共振周波数）は、目標とする周波数（共振周波
数）に対して低くなるように設定されている。
【００７５】
［２］
（粗調整）
そして、まず、周波数の粗調整を行う。
具体的には、図７（ｂ）に示すように、エネルギー線の照射により、第１の質量部５１
の一部または全部を必要に応じて除去する。
【００７６】
図７（ｂ）では、第１の質量部５１の質量部５１１の全部を除去した場合を一例として
図示している。そのため、上記エネルギー線の照射後の振動腕２８上には、質量部５１２
で構成された粗調整後の第１の質量部１５１が設けられている。なお、この粗調整におい
て除去される第１の質量部５１の形状、部位およびその除去量は、必要に応じて適宜設定
されるものであり、図示のものに限定されない。例えば、質量部５１１の一部をレーザー
光の照射により除去した場合、第１の質量部５１の除去された部分は、ライン状、ドット
状等の形状をなす。
【００７７】
このような粗調整により、第１の質量部５１は、その質量が減少して第１の質量部１５
１となるので、振動腕２８の周波数が高められる。また、この粗調整後は、振動腕２８の
周波数（共振周波数）が後述する微調整で調整可能な範囲内となるように目標とする周波
数（共振周波数）に対して若干低くなるように行われる。すなわち、振動腕２８の周波数
（共振周波数）が目標とする周波数（共振周波数）に対して若干低い状態となるまで、エ
ネルギー線の照射により第１の質量部５１を除去していく。
【００７８】
また、このような粗調整に用いるエネルギー線は、振動腕２８の悪影響を与えずに、第
１の質量部５１の必要部位を除去することができるものであれば、特に限定されず、放射
線、電子線、レーザー、イオンビーム等が挙げられるが、炭酸ガスレーザー、エキシマー
レーザー、ＹＡＧレーザー等のレーザーを用いるのが好ましい。これにより、簡単かつ確
実に、第１の質量部５１の一部または全部を所望量だけ除去することができる。
【００７９】
（微調整）
その後、周波数の微調整を行う。
具体的には、図７（ｃ）に示すように、エネルギー線の照射により、第２の質量部５４
の一部または全部を必要に応じて除去する。
図７（ｃ）では、第２の質量部５４の質量部５４１、５４２の全部をそれぞれ除去した
場合を一例として図示している。そのため、上記エネルギー線の照射後の振動腕２８上に
は、質量部５４３、５４４で構成された微調整後の第２の質量部１５４が設けられている
。なお、この微調整において除去される第２の質量部５４の形状、部位およびその除去量
は、必要に応じて適宜設定されるものであり、図示のものに限定されない。例えば、質量
部５４１の一部をレーザー光の照射により除去した場合、第２の質量部５４の除去された
部分は、ライン状、ドット状等の形状をなす。
【００８０】
このような微調整により、第２の質量部５４は、その質量が減少して第２の質量部１５
４となるので、振動腕２８の周波数が高められる。また、この微調整後は、振動腕２８の
周波数（共振周波数）が目標とする周波数（共振周波数）に一致するように行われる。す
なわち、振動腕２８の周波数（共振周波数）が目標とする周波数（共振周波数）に一致す
るまで、エネルギー線の照射により第２の質量部５４を除去していく。
【００８１】
また、このような微調整に用いるエネルギー線は、前述した粗調整に用いるエネルギー
線と同様のものを用いることができ、炭酸ガスレーザー、エキシマーレーザー、ＹＡＧレ
ーザー等のレーザーを用いるのが好ましい。これにより、簡単かつ確実に、第２の質量部
５４の一部または全部を所望量だけ除去することができる。
以上のようにして振動腕２８の周波数を目標周波数に一致するように調整することがで
きる。特に、上述した周波数調整方法では、エネルギー線の照射位置に応じて、第１の質
量部５１と第２の質量部５４とを別々に（選択的に）除去することができる。そのため、
周波数（共振周波数）調整を簡単かつ高精度に行うことができる。
【００８２】
（振動片の製造方法）
ここで、前述した振動片２の製造方法の一例について簡単に説明する。
前述した振動片２の製造方法は、［Ａ］振動腕２８、２９、３０上に第１の電極層２２
１、２３１、２４１、第１の質量部５１、５２、５３および第２の質量部５４、５５、５
６を形成する工程と、［Ｂ］第１の電極層２２１、２３１、２４１上に圧電体層２２２、
２３２、２４２を形成する工程と、［Ｃ］圧電体層２２２、２３２、２４２上に第２の電
極層２２３、２３３、３４３を形成する工程とを有する。
【００８３】
以下、各工程を簡単に説明する。
［Ａ］
まず、振動基板２１を形成するための基板を用意する。
そして、この基板をエッチングすることにより、振動基板２１を形成する。
より具体的に説明すると、例えば、上記基板が水晶基板である場合、水晶基板の薄肉部
２７１となる部分を、ＢＨＦ（buffer hydrogen fluoride）をエッチング液として用いた
異方性エッチングにより除去して薄肉化する。その後、その薄肉化された部分を、上記と
同様の異方性エッチングにより部分的に除去して、振動腕２８、２９、３０を形成する。
これにより、振動基板２１が形成される。
【００８４】
その後、振動腕２８、２９、３０上に第１の電極層２２１、２３１、２４１、第１の質
量部５１、５２、５３および第２の質量部５４、５５、５６を形成する。その際、必要に
応じて、配線等も同時に形成する。
この第１の電極層２２１、２３１、２４１、第１の質量部５１、５２、５３および第２
の質量部５４、５５、５６の形成方法としては、スパッタリング法、真空蒸着法等の物理
成膜法、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）等の化学蒸着法等の気相成膜法、また、
インクジェット法等の各種塗布法等が挙げられるが、気相成膜法（特にスパッタリング法
もしくは真空蒸着法）を用いるのが好ましい。また、第１の電極層２２１、２３１、２４
１の形成に際しては、フォトリソグラフィ法を用いるのが好ましい。
なお、第１の電極層２２１、２３１、２４１は、同一の成膜工程で一括形成することが
できる。
【００８５】
［Ｂ］
次に、第１の電極層２２１、２３１、２４１上に圧電体層２２２、２３２、２４２を形
成する。
この圧電体層２２２、２３２、２４２の形成方法としては、スパッタリング法、真空蒸
着法等の物理成膜法、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）等の化学蒸着法等の気相成
膜法、また、インクジェット法等の各種塗布法等が挙げられるが、気相成膜法（特に反応
性スパッタリング法）を用いるのが好ましい。また、圧電体層２２２、２３２、２４２の
形成（パターニング）に際しては、フォトリソグラフィ法を用いるのが好ましい。また、
圧電体層２２２、２３２、２４２をパターニングする際に、不要部分の除去にはウェット
エッチングを用いるのが好ましい。
なお、圧電体層２２２、２３２、２４２は、同一の成膜工程で一括形成することができ
る。
【００８６】
［Ｃ］
次に、圧電体層２２２、２３２、２４２に第２の電極層２２３、２３３、３４３を形成
する。その際、接続電極４１、４２等も同時に形成する。
この第２の電極層２２３、２３３、３４３の形成は、前述した第１の電極層２２１、２
３１、２４１と同様にして行うことができる。
【００８７】
その後、必要に応じて、前述したような周波数調整を行う。
なお、この周波数調整は、振動片２をパッケージ３内に収納する前に行ってもよいし、
振動片２をパッケージ３内に収納した後に行ってもよい。また、第１の質量部５１、５２
、５３による周波数調整と第２の質量部５４、５５、５６による周波数調整とのうち、一
方の周波数調整を、振動片２をパッケージ３内に収納する前に行い、他方の周波数調整を
、振動片２をパッケージ３内に収納した後に行ってもよい。
【００８８】
以上説明したようにして振動片２を製造することができる。なお、上述した製造方法の
例では、第１の質量部５１、５２、５３および第２の質量部５４、５５、５６を第１の電
極層２２１、２３１、２４１と一括して形成したが、これに限定されず、例えば、第２の
電極層２２３、２３３、２４３と一括して形成してもよい。また、第１の質量部５１、５
２、５３は、第１の電極層２２１、２３１、２４１での成膜によるものと、第２の電極層
２２３、２３３、２４３での成膜によるものとの積層で構成されていてもよい。
【００８９】
（パッケージ）
次に、振動片２を収容・固定するパッケージ３について説明する。
パッケージ３は、図１に示すように、板状のベース基板３１と、枠状の枠部材３２と、
板状の蓋部材３３とを有している。ベース基板３１、枠部材３２および蓋部材３３は、下
側から上側へこの順で積層されている。ベース基板３１と枠部材３２とは、後述のセラミ
ック材料等で形成されており、互いに一体に焼成されることで接合されている。そして、
枠部材３２と蓋部材３３は、接着剤あるいはろう材等により接合されている。そして、パ
ッケージ３は、ベース基板３１、枠部材３２および蓋部材３３で画成された内部空間３７
に、振動片２を収納している。なお、パッケージ３内には、振動片２の他、振動片２を駆
動する電子部品（発振回路）等を収納することもできる。
【００９０】
ベース基板３１の構成材料としては、絶縁性（非導電性）を有しているものが好ましく
、例えば、各種ガラス、酸化物セラミックス、窒化物セラミックス、炭化物系セラミック
ス等の各種セラミックス材料、ポリイミド等の各種樹脂材料などを用いることができる。
また、枠部材３２および蓋部材３３の構成材料としては、例えば、ベース基板３１と同
様の構成材料、Ａｌ、Ｃｕのような各種金属材料、各種ガラス材料等を用いることができ
る。特に、蓋部材３３の構成材料として、ガラス材料等の光透過性を有するものを用いた
場合、振動片２をパッケージ３内に収容した後であっても、蓋部材３３を介して前述した
質量部にレーザーを照射し、前記金属被覆部を除去して振動片２の質量を減少させること
により（質量削減方式により）、振動片２の周波数調整を行うことができる。
【００９１】
このベース基板３１の上面には、固定材３６を介して、前述した振動片２が固定されて
いる。この固定材３６は、例えば、エポキシ系、ポリイミド系、シリコーン系等の接着剤
で構成されている。このような固定材３６は、未硬化（未固化）の接着剤をベース基板３
１上に塗布し、さらに、この接着剤上に振動片２を載置した後、その接着剤を硬化または
固化させることにより形成される。これにより、振動片２（基部２７）がベース基板３１
に確実に固定される。
【００９２】
なお、この固定は、導電性粒子を含有するエポキシ系、ポリイミド系、シリコーン系等
の導電性接着剤を用いて行ってもよい。
また、ベース基板３１の上面には、一対の電極３５ａ、３５ｂが内部空間Ｓに露出する
ように形成されている。
この電極３５ａは、例えばワイヤーボンディング技術により形成された金属ワイヤー（
ボンディングワイヤー）３８を介して、前述した接続電極４２に電気的に接続されている
。また、電極３５ｂは、例えばワイヤーボンディング技術により形成された金属ワイヤー
（ボンディングワイヤー）３７を介して、前述した接続電極４１に電気的に接続されてい
る。
【００９３】
なお、一対の電極３５ａ、３５ｂと接続電極４１、４２との接続方法は、これに限定さ
れず、例えば、導電性接着剤により行ってもよい。この場合、例えば、振動片２の図示と
は表裏反転するか、振動片２の下面に接続電極４１、４２を形成すればよい。
また、ベース基板３１の下面には、４つの外部端子３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄが
設けられている。
【００９４】
これら４つの外部端子３４ａ〜３４ｄのうち、外部端子３４ａ、３４ｂは、それぞれ、
ベース基板３１に形成されたビアホールに設けられた導体ポスト（図示せず）を介して電
極３５ａ、３５ｂに電気的に接続されたホット端子である。また、他の２つの外部端子３
４ｃ、３４ｄは、それぞれ、パッケージ３を実装用基板に実装するときに、接合強度を高
めたり、パッケージ３と実装用基板との間の距離を均一化するためのダミー端子である。
【００９５】
このような電極３５ａ、３５ｂおよび外部端子３４ａ〜３４ｄは、それぞれ、例えば、
タングステンおよびニッケルメッキの下地層に、金メッキを施すことで形成することがで
きる。
なお、パッケージ３内部に電子部品を収納した場合、ベース基板３１の下面には、必要
に応じて、電子部品の特性検査や、電子部品内の各種情報（例えば、振動子の温度補償情
報）の書き換え（調整）を行うための書込端子が形成されていてもよい。
【００９６】
以上説明したような第１実施形態によれば、第１の質量部５１および第２の質量部５４
は、Ｚ軸方向から見たときに（すなわち平面視したときに）、互いに重ならない部分を有
するので、エネルギー線の照射位置に応じて、第１の質量部５１と第２の質量部５４とを
別々に（選択的に）除去することができる。そのため、エネルギー線の照射による第１の
質量部５１および第２の質量部５４の除去量を高精度に調整することができる。このよう
なことから、周波数（共振周波数）調整を簡単かつ高精度に行うことができる。
また、このような振動片２を備える振動子１は、信頼性に優れたものとなる。
【００９７】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
図８は、本発明の第２実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するため
の部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＤ−Ｄ線断面図）である。
以下、第２実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事
項については、その説明を省略する。
【００９８】
第２実施形態は、第１の質量部および第２の質量部の構成が異なる以外は、第１実施形
態とほぼ同様である。なお、図８では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を
付してある。また、本実施形態では、振動腕２８上に設けられた第１の質量部および第２
の質量部について代表的に説明するが、振動腕２９、３０上に設けられた第１の質量部お
よび第２の質量部についても同様である。
【００９９】
図８に示すように、振動腕２８の上面２８１上には、第１の質量部５１Ａが設けられ、
また、振動腕２８の下面２８２上には、第２の質量部５４Ａが設けられている。
この第１の質量部５１Ａおよび第２の質量部５４Ａは、それぞれ、例えば、エネルギー
線の照射により一部または全部が除去されることにより質量を減少させて、振動腕２８の
共振周波数を調整するためのものである。
【０１００】
より具体的に説明すると、第１の質量部５１Ａは、複数の質量部５１３と、この複数の
質量部５１３よりも振動腕２８の基端側に並んで設けられた複数の質量部５１４とで構成
されている。
ここで、複数の質量部５１３は、Ｙ軸方向およびＸ軸方向に行列状に配列された複数の
ブロック部を構成する。同様に、複数の質量部５１４は、Ｙ軸方向およびＸ軸方向に行列
状に配列された複数のブロック部を構成する。
本実施形態では、各質量部５１３、５１４は、それぞれ、Ｙ軸方向を長手とする帯状（
長方形）をなしている。また、各質量部５１３、５１４は、互いに同じ形状および大きさ
となっている。
【０１０１】
一方、第２の質量部５４Ａは、複数の質量部５４５と、複数の質量部５４５よりも振動
腕２８の基端側に並んで設けられた複数の質量部５４６とで構成されている。
ここで、複数の質量部５４５は、Ｙ軸方向およびＸ軸方向に行列状に配列された複数の
ブロック部を構成する。同様に、複数の質量部５４６は、Ｙ軸方向およびＸ軸方向に行列
状に配列された複数のブロック部を構成する。
【０１０２】
本実施形態では、各質量部５４５、５４６は、それぞれ、Ｙ軸方向を長手とする帯状（
長方形）をなしている。また、各質量部５４５、５４６は、互いに同じ形状および大きさ
となっている。
このような第１の質量部５１Ａおよび第２の質量部５４Ａにおいては、Ｚ軸方向から見
たときに、Ｙ軸方向に並ぶ質量部５１３の列と、Ｙ軸方向に並ぶ質量部５４５の列とがＸ
軸方向に交互に重ならないように並んでいる。
【０１０３】
同様に、Ｚ軸方向から見たときに、Ｙ軸方向に並ぶ質量部５１４の列と、Ｙ軸方向に並
ぶ質量部５４６の列とがＸ軸方向に交互に重ならないように並んでいる。
このように第１の質量部５１Ａおよび第２の質量部５４Ａがそれぞれ行列状に配列され
た複数のブロック部を有するので、エネルギー線の照射により、各ブロック部毎（すなわ
ち各質量部５１３、５１４、５４５、５４６毎）に、第１の質量部５１Ａおよび第２の質
量部５４Ａを除去することができる。そのため、第１の質量部５１Ａおよび第２の質量部
５４Ａを所望量だけ迅速（簡単）に除去することができる。また、第１の質量部５１Ａお
よび第２の質量部５４Ａの除去量に対する振動腕２８の周波数の変化量を予測するのが容
易となる。その結果、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
また、以上説明したような第２実施形態によれば、前述した第１実施形態と同様の効果
を奏することができる。
【０１０４】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
図９は、本発明の第３実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するため
の部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＥ−Ｅ線断面図）である。
以下、第３実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事
項については、その説明を省略する。
【０１０５】
第３実施形態は、第１の質量部および第２の質量部の構成が異なる以外は、第１実施形
態とほぼ同様である。なお、図９では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を
付してある。また、本実施形態では、振動腕２８上に設けられた第１の質量部および第２
の質量部について代表的に説明するが、振動腕２９、３０上に設けられた第１の質量部お
よび第２の質量部についても同様である。
【０１０６】
図９に示すように、振動腕２８の上面２８１上には、第１の質量部５１Ｂが設けられ、
また、振動腕２８の下面２８２上には、第２の質量部５４Ｂが設けられている。
この第１の質量部５１Ｂおよび第２の質量部５４Ｂは、それぞれ、エネルギー線の照射
により一部または全部が除去されることにより質量を減少させて、振動腕２８の共振周波
数を調整するためのものである。
より具体的に説明すると、第１の質量部５１Ｂは、複数の質量部（線状部）５１５で構
成されている。
各質量部５１５は、Ｘ軸方向を長手とする線状（帯状）をなしている。ここで、複数の
質量部５１５は、Ｙ軸方向に間隔を隔てて設けられた複数の線状部を構成する。
【０１０７】
一方、第２の質量部５４Ｂは、複数の質量部５４７で構成されている。
各質量部５４７は、Ｘ軸方向を長手とする線状（帯状）をなしている。ここで、複数の
質量部５４７は、Ｙ軸方向に間隔を隔てて設けられた複数の線状部を構成する。
このような第１の質量部５１Ｂおよび第２の質量部５４Ｂにおいては、Ｚ軸方向から見
たときに、各質量部５１５と各質量部５４７とが重ならないようにＹ軸方向に交互に並ん
でいる。
【０１０８】
このように第１の質量部５１Ｂおよび第２の質量部５４Ｂがそれぞれ互いに間隔を隔て
て設けられた複数の線状部を有するので、エネルギー線の照射により、各線状部毎（すな
わち各質量部５１５、５４７毎）に、エネルギー線照射部を掃射させることにより第１の
質量部５１Ｂおよび第２の質量部５４Ｂを一括して除去することができる。そのため、第
１の質量部５１Ｂおよび第２の質量部５４Ｂを所望量だけ簡単に除去することができる。
その結果、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。また、間隔を隔てて質量部（
線状部）が形成されているのでレーザーで金属膜を削った際に発生する削り屑が他の金属
膜に付着するのを防止でき、削り屑による周波数ずれを抑制することができる。
また、以上説明したような第３実施形態によれば、前述した第１実施形態と同様の効果
を奏することができる。
【０１０９】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態について説明する。
図１０は、本発明の第４実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するた
めの部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＦ−Ｆ線断面図）である。
以下、第４実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事
項については、その説明を省略する。
【０１１０】
第４実施形態は、第１の質量部および第２の質量部の構成が異なる以外は、第１実施形
態とほぼ同様である。なお、図１０では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号
を付してある。また、本実施形態では、振動腕２８上に設けられた第１の質量部および第
２の質量部について代表的に説明するが、振動腕２９、３０上に設けられた第１の質量部
および第２の質量部についても同様である。
【０１１１】
図１０に示すように、振動腕２８の上面２８１上には、第１の質量部５１Ｃが設けられ
、また、振動腕２８の下面２８２上には、第２の質量部５４Ｃが設けられている。
この第１の質量部５１Ｃおよび第２の質量部５４Ｃは、それぞれ、エネルギー線の照射
により一部または全部が除去されることにより質量を減少させて、振動腕２８の共振周波
数を調整するためのものである。
より具体的に説明すると、第１の質量部５１Ｃは、複数の質量部（線状部）５１６で構
成されている。
各質量部５１６は、Ｙ軸方向を長手とする線状（帯状）をなしている。ここで、複数の
質量部５１６は、Ｘ軸方向に間隔を隔てて設けられた複数の線状部を構成する。
【０１１２】
一方、第２の質量部５４Ｃは、複数の質量部５４８で構成されている。
各質量部５４８は、Ｙ軸方向を長手とする線状（帯状）をなしている。ここで、複数の
質量部５４８は、Ｘ軸方向に間隔を隔てて設けられた複数の線状部を構成する。
このような第１の質量部５１Ｃおよび第２の質量部５４Ｃにおいては、Ｚ軸方向から見
たときに、各質量部５１６と各質量部５４８とが重ならないようにＸ軸方向に交互に並ん
でいる。
【０１１３】
このように第１の質量部５１Ｃおよび第２の質量部５４Ｃがそれぞれ互いに間隔を隔て
て設けられた複数の線状部を有するので、エネルギー線の照射により、各線状部毎（すな
わち各質量部５１６、５４８毎）に、第１の質量部５１Ｃおよび第２の質量部５４Ｃを除
去することができる。そのため、第１の質量部５１Ｃおよび第２の質量部５４Ｃを所望量
だけ簡単に除去することができる。その結果、周波数調整がより簡単かつ高精度なものと
なる。また、間隔を隔てて質量部（線状部）が形成されているのでレーザーで金属膜を削
った際に発生する削り屑が他の金属膜に付着するのを防止でき、削り屑による周波数ずれ
を抑制することができる。
また、以上説明したような第４実施形態によれば、前述した第１実施形態と同様の効果
を奏することができる。
【０１１４】
＜第５実施形態＞
次に、本発明の第５実施形態について説明する。
図１１は、本発明の第５実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するた
めの部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＧ−Ｇ線断面図、（ｃ）は、
（ａ）中のＨ−Ｈ線断面図）である。
以下、第５実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事
項については、その説明を省略する。
【０１１５】
第５実施形態は、第１の質量部および第２の質量部の構成が異なる以外は、第１実施形
態とほぼ同様である。また、第５実施形態は、第１の質量部の構成が異なる以外は、第３
実施形態とほぼ同様である。また、第５実施形態は、第２の質量部の構成が異なる以外は
、第４実施形態とほぼ同様である。なお、図１１では、前述した実施形態と同様の構成に
は、同一符号を付してある。また、本実施形態では、振動腕２８上に設けられた第１の質
量部および第２の質量部について代表的に説明するが、振動腕２９、３０上に設けられた
第１の質量部および第２の質量部についても同様である。
【０１１６】
図１１に示すように、振動腕２８の上面２８１上には、第１の質量部５１Ｃが設けられ
、また、振動腕２８の下面２８２上には、第２の質量部５４Ｂが設けられている。
本実施形態では、第１の質量部５１Ｃの複数の質量部５１６（線状部）および第２の質
量部５４Ｂの複数の質量部５４７（線状部）は、互いに直交するように設けられている。
これにより、第１の質量部５１Ｃおよび第２の質量部５４Ｂを振動腕２８上に形成する
際に、Ｙ軸方向およびＸ軸方向での位置決めに高精度を要することなく、Ｚ軸方向から見
たときに、第１の質量部５１Ｃおよび第２の質量部５４Ｂが互いに重ならない部分を有す
るものとなる。
また、以上説明したような第５実施形態によれば、前述した第１実施形態と同様の効果
を奏することができる。
以上説明したような各実施形態の振動片は、各種の電子機器に適用することができ、得
られる電子機器は、信頼性の高いものとなる。
【０１１７】
ここで、本発明の振動片を備える電子機器について、図１２〜図１４に基づき、詳細に
説明する。
図１２は、本発明の振動片を備える電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）
のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本
体部１１０４と、表示部１００を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユ
ニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されてい
る。
このようなパーソナルコンピュータ１１００には、フィルタ、共振器、基準クロック等
として機能する振動子１が内蔵されている。
【０１１８】
図１３は、本発明の振動片を備える電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の
構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４
および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部
１００が配置されている。
このような携帯電話機１２００には、フィルタ、共振器等として機能する振動子１が内
蔵されている。
【０１１９】
図１４は、本発明の振動片を備える電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成
を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されて
いる。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、
ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）
などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【０１２０】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表
示部が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部
は、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣ
Ｄなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【０１２１】
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると
、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリ１３０８に転送・格納される。
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビ
デオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。
そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、
デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピュータ１４４０が、それぞれ必
要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリ１３０８に格納された撮像信
号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピュータ１４４０に出力される構成にな
っている。
【０１２２】
このようなディジタルスチルカメラ１３００には、フィルタ、共振器等として機能する
振動子１が内蔵されている。
なお、本発明の振動片を備える電子機器は、図１２のパーソナルコンピュータ（モバイ
ル型パーソナルコンピュータ）、図１３の携帯電話機、図１４のディジタルスチルカメラ
の他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンタ）、ラッ
プトップ型パーソナルコンピュータ、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダ、カ
ーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電
子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニ
タ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計
測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、
車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ等に適用することができる。
【０１２３】
以上、本発明の振動片、周波数調整方法、振動子、振動デバイスおよび電子機器を、図
示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構
成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、上記実施例
においては、第１の質量部または第２の質量部にエネルギー線を照射させて周波数調整を
行う例について説明したが、これに限らず、イオンエッチング、サンドブラスト、ウェッ
トエッチングにより質量部の質量を減少させても良い。また、第１の質量部または第２の
質量部にスパッタリングや蒸着で膜を付けて質量部の質量を増加させることにより周波数
調整しても良い。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、本
発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであ
ってもよい。
【０１２４】
例えば、前述した実施形態では、振動片が３つの振動腕を有する場合を例に説明したが
、振動腕の数は、１つまたは２つであってもよいし、４つ以上であってもよい。
また、本発明の振動デバイスは、振動片に発振回路を接続することにより、水晶発振器
（ＳＰＸＯ）、電圧制御水晶発振器（ＶＣＸＯ）、温度補償水晶発振器（ＴＣＸＯ）、恒
温槽付水晶発振器（ＯＣＸＯ）等の圧電発振器の他、ジャイロセンサー等に適用される。
【符号の説明】
【０１２５】
１‥‥振動子 ２‥‥振動片 ３‥‥パッケージ ２１‥‥振動基板 ２２‥‥圧電体
素子 ２３‥‥圧電体素子 ２４‥‥圧電体素子 ２７‥‥基部 ２８‥‥振動腕 ２９
‥‥振動腕 ３０‥‥振動腕 ３１‥‥ベース基板 ３２‥‥枠部材 ３３‥‥蓋部材
３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄ‥‥外部端子 ３５ａ‥‥電極 ３５ｂ‥‥電極 ３６
‥‥固定材 ３７‥‥内部空間 ３８‥‥金属ワイヤー ４１‥‥接続電極 ４２‥‥接
続電極 ４３‥‥配線 ５１‥‥第１の質量部 ５１Ａ‥‥第１の質量部 ５１Ｂ‥‥第
１の質量部 ５１Ｃ‥‥第１の質量部 ５２‥‥第１の質量部 ５３‥‥第１の質量部
５４‥‥第２の質量部 ５４Ａ‥‥第２の質量部 ５４Ｂ‥‥第２の質量部 ５４Ｃ‥‥
第２の質量部 ５５‥‥第２の質量部 ５６‥‥第２の質量部 １００‥‥表示部 １５
１‥‥調整後の第１の質量部 １５４‥‥調整後の第２の質量部 ２２１‥‥第１の電極
層 ２２２‥‥圧電体層 ２２３‥‥第２の電極層 ２３１‥‥第１の電極層 ２３２‥
‥圧電体層 ２３３‥‥第２の電極層 ２４１‥‥電極層 ２４２‥‥圧電体層 ２４３
‥‥電極層 ２７１‥‥薄肉部 ２７２‥‥厚肉部 ２８１‥‥上面 ２８２‥‥下面
２９１‥‥上面 ２９２‥‥下面 ３０１‥‥上面 ３０２‥‥下面 ５１１‥‥質量部
５１２‥‥質量部 ５１３‥‥質量部 ５１４‥‥質量部 ５１５‥‥質量部 ５１６
‥‥質量部 ５４１‥‥質量部 ５４２‥‥質量部 ５４３‥‥質量部 ５４４‥‥質量
部 ５４５‥‥質量部 ５４６‥‥質量部 ５４７‥‥質量部 ５４８‥‥質量部 １１
００‥‥パーソナルコンピュータ １１０２‥‥キーボード １１０４‥‥本体部 １１
０６‥‥表示ユニット １２００‥‥携帯電話機 １２０２‥‥操作ボタン １２０４‥
‥受話口 １２０６‥‥送話口 １３００‥‥ディジタルスチルカメラ １３０２‥‥ケ
ース １３０４‥‥受光ユニット １３０６‥‥シャッタボタン １３０８‥‥メモリ
１３１２‥‥ビデオ信号出力端子 １３１４‥‥入出力端子 １４３０‥‥テレビモニタ
１４４０‥‥パーソナルコンピュータ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片、周波数調整方法、振動子、振動デバイス、および電子機器に関する
ものである。
【背景技術】
【０００２】
水晶発振器等の振動デバイスとしては、複数の振動腕を備える音叉型の振動片を備える
ものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
例えば、特許文献１に記載の振動片は、基部と、この基部から互いに平行となるように
延出する３つの振動腕と、各振動腕上に下部電極膜、圧電体膜および上部電極膜がこの順
で成膜されて構成された圧電体素子とを有する。このような振動片において、各圧電体素
子は、下部電極膜と上部電極膜との間に電界が印加されることにより、圧電層を伸縮させ
、振動腕を基部の厚さ方向（いわゆる面外方向）に屈曲振動させる。
【０００３】
このような振動片においては、一般に、振動腕の先端部上に金属膜を設け、この金属膜
の一部をレーザー光の照射により除去して、振動腕の屈曲振動の周波数（共振周波数）の
調整が行われる（例えば、特許文献２参照）。
例えば、特許文献２に記載の周波数調整方法では、板状をなす振動腕の両板面上にそれ
ぞれ同じパターンで周波数調整用の金属膜が成膜されている。そして、レーザー光の照射
により、振動腕の一方の板面上の金属膜の一部と他方の板面上の金属膜の一部とを同時に
除去して粗調整を行い、その後、アルゴンイオンビームの照射により、金属腕の一方の板
面上の金属膜の一部をさらに除去して微調整を行う。
【０００４】
しかしながら、特許文献２に記載の周波数調整方法では、振動腕の一方の板面上の金属
膜と他方の板面上の金属膜とが互いに同じパターンであるため、レーザー光の照射により
、振動腕の一方の板面上の金属膜と他方の板面上の金属膜とが同時に除去されてしまう。
そのため、レーザー光の照射により、振動腕の一方の板面上の金属膜の一部と他方の板面
上の金属膜の一部とを別々に除去することが難しく、周波数の微調整が難しいという問題
がある。
【０００５】
ところで、屈曲振動子の周波数ｆはｆ≒ｔ／Ｌ２（ｔは振動腕の振動方向の厚み、Ｌは
振動腕の伸長方向の全長）で与えれ、前述した特許文献１に記載されたような面外方向に
振動腕を屈曲振動させる振動片において小型化を図る場合、振動腕の長さＬを短くすると
、Ｌを小さくした分、振動腕の振動方向（振動腕の厚み方向）の厚さｔを薄くする必要が
ある。具体的には振動腕の振動方向の厚さは数μｍとかなり薄くなるので、振動腕の一方
側から照射したレーザー光が振動腕の他方の面側に到達しやすい。また、振動腕の厚さが
薄いほど、除去される金属膜の質量（減少する質量）に対する周波数の変化量（上昇量）
が大きくなるため、周波数の微調整が難しくなる。一方、振動腕を基部の厚さ方向を法線
とする面内で屈曲振動させる一般的な振動片においては、振動腕の振動方向の厚さｔは振
動腕の幅方向となり、振動腕を薄板化する必要がないので前述のような問題は発生しない
。このようなことから、面外方向に振動腕を屈曲振動させる振動片において上述したよう
な周波数調整方法を用いると、周波数調整時にレーザーが貫通し表裏面の金属膜が削れて
しまい、狙いの周波数よりずれてしまうという問題が顕著となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−５０２２号公報
【特許文献２】特開２００８−１６０８２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、周波数調整を簡単かつ高精度に行うことができる振動片、周波数調整
方法を提供すること、また、この振動片を備える信頼性に優れた振動子、振動デバイスお
よび電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の
形態または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の振動片は、第１の方向と該第１の方向に直交する第２の方向とを含む平面上に
形成される基部と、
前記基部から前記第１の方向に延出する振動腕と、を有し、
前記振動腕は、前記平面の法線方向に屈曲振動し、前記屈曲振動により圧縮または伸長
する第１の面と、前記第１の面が圧縮したときに伸長し前記第１の面が伸長したときに圧
縮する第２の面と、を有し、
前記第１の面に第１の質量部が設けられると共に、前記第２の面に第２の質量部が設け
られ、
前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、前記法線方向からの平
面視で、他方に対し非対向な部分を有することを特徴とする。
これにより、例えば、エネルギー線の照射位置に応じて、第１の質量部と第２の質量部
の少なくとも一方を（選択的に）除去することができる。そのため、エネルギー線の照射
による第１の質量部および第２の質量部の除去量を高精度に調整することができる。この
ようなことから、周波数（共振周波数）調整を簡単かつ高精度に行うことができる。
【０００９】
［適用例２］
本発明の振動片では、前記第１の質量部および前記第２の質量部は、前記法線方向から
の平面視で前記第２の方向に互いに隣り合って形成された部分を有することが好ましい。
これにより、第１の質量部および第２の質量部の第１の方向（振動腕の長手方向）にお
ける範囲を一致または重複させることができる。そのため、第１の質量部および第２の質
量部が振動腕の長手方向（第１の方向）に占める長さを抑えることができる。
【００１０】
［適用例３］
本発明の振動片では、前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、
帯状に形成されたことが好ましい。
これにより、例えば、エネルギー線を第１の質量部または第２の質量部に対し一列に連
続的に照射することが可能になり、第１の質量部または第２の質量部を一括して除去する
ことができる。そのため、第１の質量部または第２の質量部を所望量だけ迅速に除去する
ことができる。その結果、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
【００１１】
［適用例４］
本発明の振動片では、前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、
間隔を隔てて設けられた複数のブロック部を有することが好ましい。
これにより、第１の質量部または第２の質量部に形成されたブロック部の除去量に対す
る振動腕の周波数の変化量を予測するのが容易となる。その結果、周波数調整がより簡単
かつ高精度なものとなる。
【００１２】
［適用例５］
本発明の振動片では、前記第１の質量部および前記第２の質量部は、帯状に形成され、
且つ、前記法線方向からの平面視で互いに交差する部分を有することが好ましい。
これにより、第１の質量部および第２の質量部を振動腕に形成する際に、第１の方向お
よび第２の方向での位置決めに高精度を要することなく、第１の方向および第２の方向を
含む平面の法線方向から見たときに、第１の質量部および第２の質量部が互いに重ならな
い部分を有するものとなる。
【００１３】
［適用例６］
本発明の振動片では、前記第２の質量部は、前記第１の質量部の構成材料よりも比重の
小さい材料で構成されたことが好ましい。
これにより、第１の質量部の除去量に対する振動腕の周波数（共振周波数）の変化量を
、第２の質量部の除去量に対する振動腕の周波数（共振周波数）の変化量よりも大きくす
ることができる。そのため、第１の質量部を粗調整用、第２の質量部を微調整用として用
いることにより、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
【００１４】
［適用例７］
本発明の振動片では、前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、
ＳｉＯ２、Ａｌ、Ａｌ２Ｏ３、ＴｉＯ２、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、および
Ｐｔのいずれかを用いて構成されたことが好ましい。
金属もしくは絶縁材料（例えばセラミックス）は、気相成膜法により簡単かつ高精度に
成膜することができる。また、金属もしくは絶縁材料で構成された膜（錘膜）は、エネル
ギー線（特にレーザー）の照射により簡単かつ高精度に除去することができる。このよう
なことから、第１の質量部および第２の質量部をそれぞれ金属もしくは絶縁材料を成膜す
ることにより形成することで、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
【００１５】
［適用例８］
本発明の振動片では、前記第１の質量部の厚さは、前記第２の質量部の厚さよりも厚い
ことが好ましい。
これにより、第１の質量部の除去量に対する振動腕の周波数（共振周波数）の変化量を
、第２の質量部の除去量に対する振動腕の周波数（共振周波数）の変化量よりも大きくす
ることができる。そのため、第１の質量部を粗調整用、第２の質量部を微調整用として用
いることにより、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
【００１６】
［適用例９］
本発明の振動片では、前記第１の質量部および前記第２の質量部は、前記振動腕の先端
付近に設けられたことが好ましい。
これにより、第１の質量部および第２の質量部の除去量に対する振動腕の周波数（共振
周波数）の変化量を大きくすることができる。そのため、周波数調整を効率的に行うこと
ができる。また、励振電極や圧電体素子は振動腕の基端部から中央付近まで形成し、振動
腕の先端付近の空いたスペースを使って、第１の質量部および第２の質量部の設置に有効
利用することができる。そのため、振動腕の短尺化、ひいては、振動片の小型化を図るこ
とができる。
【００１７】
［適用例１０］
本発明の振動片では、前記振動腕には、第１の電極層と第２の電極層との間に配置され
た圧電体層が形成されたことが好ましい。
これにより、振動腕自体が圧電性を有していなかったり、振動腕が圧電性を有していて
も、その分極軸や結晶軸の方向が所定方向での屈曲振動に適していなかったりする場合で
も、振動腕を所定方向に効率的に屈曲振動させることができる。また、振動腕の圧電性の
有無、分極軸や結晶軸の方向を問わないので、振動腕を構成する材料の選択の幅が拡がり
、その結果、振動腕の寸法精度を簡単に高精度なものとすることができる。その結果、振
動腕の振動特性を良好なものとすることができる。
【００１８】
［適用例１１］
本発明の振動片では、前記振動腕は、前記第２の方向に複数並んで設けられ、隣り合う
２つの前記振動腕が互いに反対方向に屈曲振動することが好ましい。
これにより、互いに隣り合う２つの振動腕の漏れ振動を互いに相殺させることができる
。その結果、振動漏れの少ない振動片を実現することができる。
【００１９】
［適用例１２］
本発明の周波数調整方法は、本発明の振動片を用意する工程と、
前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方の質量を増減させて、前記
振動腕の共振周波数を調整する工程と、を有することを特徴とする。
これにより、例えば、エネルギー線の照射位置に応じて、第１の質量部と第２の質量部
とを別々に（選択的に）除去することができる。そのため、周波数（共振周波数）調整を
簡単かつ高精度に行うことができる。
［適用例１３］
本発明の振動子は、本発明の振動片と、
前記振動片を収納したパッケージと、を備えたことを特徴とする。
これにより、信頼性に優れた振動子を提供することができる。
【００２０】
［適用例１４］
本発明の振動デバイスは、本発明の振動片と、
前記振動片に接続された発振回路と、を備えたことを特徴とする。
これにより、信頼性に優れた発振器等の振動デバイスを提供することができる。
［適用例１５］
本発明の電子機器は、本発明の振動片を備えたことを特徴とする。
これにより、信頼性に優れた携帯電話、パーソナルコンピュータ、デジタルカメラ等の
電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る振動子を示す断面図である。
【図２】図１に示す振動子を示す上面図である。
【図３】図１に示す振動子に備えられた振動片を示す下面図である。
【図４】（ａ）は、図２中のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は、図２中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】図４（ａ）に示す第１の質量部および第２の質量部を説明するための部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＣ−Ｃ線断面図）である。
【図６】図２に示す振動片の動作を説明するための斜視図である。
【図７】図６に示す振動片の周波数の調整方法を説明するための図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するための部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＤ−Ｄ線断面図）である。
【図９】本発明の第３実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するための部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＥ−Ｅ線断面図）である。
【図１０】本発明の第４実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するための部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＦ−Ｆ線断面図）である。
【図１１】本発明の第５実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するための部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＧ−Ｇ線断面図、（ｃ）は、（ａ）中のＨ−Ｈ線断面図）である。
【図１２】本発明の振動片を備える電子機器（ノート型パーソナルコンピュータ）である。
【図１３】本発明の振動片を備える電子機器（携帯電話機）である。
【図１４】本発明の振動片を備える電子機器（ディジタルスチルカメラ）である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の振動片、周波数調整方法、振動子、振動デバイスおよび電子機器を添付
図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る振動子を示す断面図、図２は、図１に示す振動子
を示す上面図、図３は、図１に示す振動子に備えられた振動片を示す下面図、図４は、（
ａ）は、図２中のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は、図２中のＢ−Ｂ線断面図、図５は、図４（
ａ）に示す第１の質量部および第２の質量部を説明するための部分拡大図（（ａ）は、上
面図、（ｂ）は、（ａ）中のＣ−Ｃ線断面図）、図６は、図２に示す振動片の動作を説明
するための斜視図、図７は、図６に示す振動片の周波数の調整方法を説明するための図で
ある。なお、各図では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およ
びＺ軸を図示している。また、以下では、Ｙ軸に平行な方向（第１の方向）をＹ軸方向、
Ｘ軸に平行な方向（第２の方向）を「Ｘ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向（第１の方向と第２
の方向とを含む平面の法線方向）をＺ軸方向と言う。また、以下の説明では、説明の便宜
上、図１中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
図１に示す振動子１は、振動片２と、この振動片２を収納するパッケージ３とを有する
。
以下、振動子１を構成する各部を順次詳細に説明する。
【００２３】
（振動片）
まず、振動片２について説明する。
振動片２は、図２に示すような３脚音叉型の振動片である。この振動片２は、振動基板
２１と、この振動基板２１上に設けられた圧電体素子２２、２３、２４および接続電極４
１、４２と、第１の質量部５１、５２、５３および第２の質量部５４、５５、５６とを有
している。
振動基板２１は、基部２７と、３つの振動腕２８、２９、３０とを有している。
振動基板２１の構成材料としては、所望の振動特性を発揮することができるものであれ
ば、特に限定されず、各種圧電体材料および各種非圧電体材料を用いることができる。
【００２４】
例えば、かかる圧電体材料としては、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、
ホウ酸リチウム、チタン酸バリウム等が挙げられる。特に、振動基板２１を構成する圧電
体材料としては水晶（Ｘカット板、ＡＴカット板、Ｚカット板等）が好ましい。水晶で振
動基板２１を構成すると（すなわち基部２７および振動腕２８、２９、３０を水晶で構成
すると）、振動基板２１の振動特性（特に周波数温度特性）を優れたものとすることがで
きる。また、エッチングにより高い寸法精度で振動基板２１を形成することができる。
【００２５】
また、かかる非圧電体材料としては、例えば、シリコン、石英等が挙げられる。特に、
振動基板２１を構成する非圧電体材料としてはシリコンが好ましい。シリコンで振動基板
２１を構成すると、振動基板２１の振動特性を優れたものを比較的安価に実現することが
できる。また、基部２７に集積回路を形成するなどして、振動片２と他の回路素子との一
体化も容易である。また、エッチングにより高い寸法精度で振動基板２１を形成すること
ができる。
このような振動基板２１において、基部２７は、Ｚ軸方向を厚さ方向とする略板状をな
している。また、図１および図３に示すように、基部２７は、薄肉に形成された薄肉部２
７１と、この薄肉部２７１よりも厚肉に形成された厚肉部２７２とを有し、これらがＹ軸
方向に並んで設けられている。
【００２６】
また、薄肉部２７１は、後述する各振動腕２８、２９、３０と等しい厚さとなるように
形成されている。したがって、厚肉部２７２は、そのＺ軸方向での厚さが各振動腕２８、
２９、３０のＺ軸方向での厚さよりも大きい部分である。
【００２７】
このような薄肉部２７１および厚肉部２７２を形成することにより、振動腕２８、２９
、３０の厚さを薄くして振動腕２８、２９、３０の振動特性を向上させるとともに、振動
片２を製造する際のハンドリング性を優れたものとすることができる。
そして、基部２７の薄肉部２７１の厚肉部２７２とは反対側には、３つの振動腕２８、
２９、３０が接続されている。
【００２８】
振動腕２８、２９は、基部２７（薄肉部２７１）のＸ軸方向での両端部に接続され、振
動腕３０は、基部２７（薄肉部２７１）のＸ軸方向での中央部に接続されている。
３つの振動腕２８、２９、３０は、互いに平行となるように基部２７からそれぞれ延出
して設けられている。より具体的には、３つの振動腕２８、２９、３０は、基部２７から
それぞれＹ軸方向（Ｙ軸の矢印方向）に延出するとともに、Ｘ軸方向に並んで設けられて
いる。
この振動腕２８、２９、３０は、それぞれ、長手形状をなし、その基部２７側の端部（
基端部）が固定端となり、基部２７と反対側の端部（先端部）が自由端となる。
【００２９】
また、各振動腕２８、２９、３０は、長手方向での全域に亘って幅が一定となっている
。なお、各振動腕２８、２９、３０は、幅の異なる部分を有していてもよい。
また、振動腕２８、２９、３０は、互いに同じ長さとなるように形成されている。なお
、振動腕２８、２９、３０の長さは、各振動腕２８、２９、３０の幅、厚さ等に応じて設
定されるものであり、互いに異なっていてもよい。
なお、振動腕２８、２９、３０の各先端部には、必要に応じて、基端部よりも横断面積
が大きい質量部（ハンマーヘッド）を設けてもよい。この場合、振動片２をより小型なも
のとしたり、振動腕２８、２９、３０の屈曲振動の周波数をより低めたりすることができ
る。
【００３０】
図４（ａ）に示すように、このような振動腕２８の上面２８１上には、第１の質量部５
１が設けられ、また、振動腕２８の下面２８２上には、第２の質量部５４が設けられてい
る。この第１の質量部５１および第２の質量部５４は、それぞれ、例えば、エネルギー線
の照射により一部または全部が除去されることにより質量を減少させて、振動腕２８の共
振周波数を調整するためのものである。同様に、振動腕２９の上面２９１上には、第１の
質量部５２が設けられ、また、振動腕２９の下面２９２上には、第２の質量部５５が設け
られている。また、振動腕３０の上面３０１上には、第１の質量部５３が設けられ、また
、振動腕３０の下面３０２上には、第２の質量部５６が設けられている。
【００３１】
なお、第１の質量部５１、５２、５３および第２の質量部５４、５５、５６については
、後に詳述する。
また、図４（ｂ）に示すように、このような振動腕２８上には、圧電体素子２２が設け
られ、また、振動腕２９上には、圧電体素子２３が設けられ、さらに、振動腕３０上には
、圧電体素子２４が設けられている。これにより、振動腕２８、２９、３０自体が圧電性
を有していなかったり、振動腕２８、２９、３０が圧電性を有していても、その分極軸や
結晶軸の方向がＺ軸方向での屈曲振動に適していなかったりする場合でも、比較的簡単か
つ効率的に、各振動腕２８、２９、３０をＺ軸方向に屈曲振動させることができる。また
、振動腕２８、２９、３０の圧電性の有無、分極軸や結晶軸の方向を問わないので、各振
動腕２８、２９、３０の材料の選択の幅が広がる。そのため、所望の振動特性を有する振
動片２を比較的簡単に実現することができる。
【００３２】
圧電体素子２２は、通電により伸縮して振動腕２８をＺ軸方向に屈曲振動させる機能を
有する。また、圧電体素子２３は、通電により伸縮して振動腕２９をＺ軸方向に屈曲振動
させる機能を有する。また、圧電体素子２４は、通電により伸縮して振動腕３０をＺ軸方
向に屈曲振動させる機能を有する。
このような圧電体素子２２は、図４（ｂ）に示すように、振動腕２８上に、第１の電極
層２２１、圧電体層（圧電薄膜）２２２、第２の電極層２２３がこの順で積層されて構成
されている。
同様に、圧電体素子２３は、振動腕２９上に、第１の電極層２３１、圧電体層（圧電薄
膜）２３２、第２の電極層２３３がこの順で積層されて構成されている。また、圧電体素
子２４は、振動腕３０上に、第１の電極層２４１、圧電体層（圧電薄膜）２４２、第２の
電極層２４３がこの順で積層されて構成されている。
【００３３】
以下、圧電体素子２２を構成する各層を順次詳細に説明する。なお、圧電体素子２３、
２４の各層の構成については、圧電体素子２２と同様であるため、その説明を省略する。
［第１の電極層］
第１の電極層２２１は、基部２７上から振動腕２８上にその延出方向（Ｙ軸方向）に沿
って設けられている。
【００３４】
本実施形態では、振動腕２８上において、第１の電極層２２１の長さは、振動腕２８の
長さよりも短くなっている。
また、本実施形態では、第１の電極層２２１の長さは、振動腕２８の長さの２／３程度
に設定されている。なお、第１の電極層２２１の長さは、振動腕２８の長さの１／３〜１
程度に設定することができる。
【００３５】
このような第１の電極層２２１は、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム
（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（
Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタ
ン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料によ
り形成することができる。
【００３６】
中でも、第１の電極層２２１の構成材料としては、金を主材料とする金属（金、金合金
）、白金を用いるのが好ましく、金を主材料とする金属（特に金）を用いるのがより好ま
しい。
Ａｕは、導電性に優れ（電気抵抗が小さく）、酸化に対する耐性に優れているため、電
極材料として好適である。また、ＡｕはＰｔに比しエッチングにより容易にパターニング
することができる。さらに、第１の電極層２２１を金または金合金で構成することにより
、圧電体層２２２の配向性を高めることもできる。
【００３７】
また、第１の電極層２２１の平均厚さは、特に限定されないが、例えば、１〜３００ｎ
ｍ程度であるのが好ましく、１０〜２００ｎｍであるのがより好ましい。これにより、第
１の電極層２２１が圧電体素子２２の駆動特性や振動腕２８の振動特性に悪影響を与える
のを防止しつつ、前述したような第１の電極層２２１の導電性を優れたものとすることが
できる。
【００３８】
なお、例えば第１の電極層２２１を金で構成し、振動基板２１を水晶で構成した場合、
これらの密着性が低い。そのため、このような場合、第１の電極層２２１と振動基板２１
との間には、Ｔｉ、Ｃｒ等で構成された下地層を設けるのが好ましい。これにより、下地
層と振動腕２８との密着性、および、下地層と第１の電極層２２１との密着性をそれぞれ
優れたものとすることができる。その結果、第１の電極層２２１が振動腕から剥離するの
を防止し、振動片２の信頼性を優れたものとすることができる。
この下地層の平均厚さは、下地層が圧電体素子２２の駆動特性や振動腕２８の振動特性
に悪影響を与えるのを防止しつつ、前述したような密着性を高める効果を発揮することが
できれば、特に限定されないが、例えば、１〜３００ｎｍ程度であるのが好ましい。
【００３９】
［圧電体層］
圧電体層２２２は、第１の電極層２２１上に振動腕２８の延出方向（Ｙ軸方向）に沿っ
て設けられている。
また、振動腕２８の延出方向（Ｙ軸方向）における圧電体層２２２の長さは、同方向（
Ｙ軸方向）における第１の電極層２２１の長さに略等しい。
【００４０】
これにより、圧電体層２２２のＹ軸方向の全域に亘って前述したように第１の電極層２
２１の表面状態により圧電体層２２２の配向性を高めることができる。そのため、振動腕
２８の長手方向（Ｙ軸方向）において圧電体層２２２を均質化することができる。
また、圧電体層２２２の基部２７側の端部（すなわち圧電体層２２２の基端部）は、振
動腕２８と基部２７との境界部を跨ぐように設けられている。これにより、圧電体素子２
２の駆動力を振動腕２８に効率的に伝達させることができる。また、振動腕２８と基部２
７との境界部における剛性の急激な変化を緩和することができる。そのため、振動片２の
Ｑ値を高めることができる。
【００４１】
このような圧電体層２２２の構成材料（圧電体材料）としては、例えば、酸化亜鉛（Ｚ
ｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）、ニオブ酸
リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、ニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ３）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ
２Ｂ４Ｏ７）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等
が挙げられるが、ＡＩＮ、ＺｎＯを用いるのが好ましい。
【００４２】
中でも、圧電体層２２２の構成材料としては、ＺｎＯ、ＡｌＮを用いるのが好ましい。
ＺｎＯ（酸化亜鉛）や窒化アルミニウム（ＡｌＮ）は、ｃ軸配向性に優れている。そのた
め、圧電体層２２２をＺｎＯを主材料として構成することにより、振動片２のＣＩ値を低
減することができる。また、これらの材料は、反応性スパッタリング法により成膜するこ
とができる。
また、圧電体層２２２の平均厚さは、５０〜３０００［ｎｍ］であるのが好ましく、２
００〜２０００［ｎｍ］であるのがより好ましい。これにより、圧電体層２２２が振動腕
２８の振動特性に悪影響を与えるのを防止しつつ、圧電体素子２２の駆動特性を優れたも
のとすることができる。
【００４３】
［第２の電極層］
第２の電極層２２３は、圧電体層２２２上に振動腕２８の延出方向（Ｙ軸方向）に沿っ
て設けられている。
また、振動腕２８の延出方向（Ｙ軸方向）における第２の電極層２２３の長さは、圧電
体層２２２の長さに略等しい。これにより、第２の電極層２２３と前述した第１の電極層
２２１との間に生じる電界により、振動腕２８の延出方向（Ｙ軸方向）において圧電体層
２２２の全域を伸縮させることができる。そのため、振動効率を高めることができる。
【００４４】
このような第２の電極層２２３は、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム
（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（
Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタ
ン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料によ
り形成することができる。特に、第２の電極層２２３の構成材料は、第１の電極層２２１
と同様、金を主材料とする金属（金、金合金）、白金を用いるのが好ましく、金を主材料
とする金属（特に金）を用いるのがより好ましい。
【００４５】
また、第２の電極層２２３の平均厚さは、特に限定されないが、例えば、１〜３００ｎ
ｍ程度であるのが好ましく、１０〜２００ｎｍであるのがより好ましい。これにより、第
２の電極層２２３が圧電体素子２２の駆動特性や振動腕２８の振動特性に悪影響を与える
のを防止しつつ、第２の電極層２２３の導電性を優れたものとすることができる。
なお、圧電体層２２２と第２の電極層２２３との間には、必要に応じて、ＳｉＯ２（酸
化ケイ素）、ＡｌＮ（窒化アルミ）等の絶縁体層を設けてもよい。この絶縁体層は、圧電
体層２２２を保護するとともに、第１の電極層２２１と第２の電極層２２３との間の短絡
を防止する機能を有する。また、この絶縁体層は、圧電体層２２２の上面のみを覆うよう
に形成してもよいし、圧電体層２２２の上面および圧電体層２２２の側面（第１の電極層
２２１に接する面以外の面）も覆うように形成してもよい。
【００４６】
この絶縁体層の平均厚さは、特に限定されないが、５０〜５００ｎｍであるのが好まし
い。かかる厚さが前記下限値未満であると、前述したような短絡を防止する効果が小さく
なる傾向となり、一方、かかる厚さが前記上限値を超えると、圧電体素子２２の特性に悪
影響を与えるおそれがある。
このような圧電体素子２２においては、第１の電極層２２１と第２の電極層２２３との
間に電圧が印加されると、圧電体層２２２にＺ軸方向の電界が生じる。この電界により、
圧電体層２２２は、Ｙ軸方向に伸張または収縮し、振動腕２８をＺ軸方向に屈曲振動させ
る。
【００４７】
同様に、圧電体素子２３においては、第１の電極層２３１と第２の電極層２３３との間
に電圧が印加されると、圧電体層２３２は、Ｙ軸方向に伸張または収縮し、振動腕２９を
Ｚ軸方向に屈曲振動させる。また、圧電体素子２４においては、第１の電極層２４１と第
２の電極層２４３との間に電圧が印加されると、圧電体層２４２は、Ｙ軸方向に伸張また
は収縮し、振動腕３０をＺ軸方向に屈曲振動させる。
【００４８】
このような圧電体素子２２、２３、２４において、前述した第１の電極層２２１、２３
１は、図示しない貫通電極および配線からなる導通部を介して、第２の電極層２４３に電
気的に接続されている。そして、第２の電極層２４３は、図２に示すように、基部２７の
上面に設けられた接続電極４１に電気的に接続されている。これにより、第１の電極層２
２１、２３１および第２の電極層２４３は、それぞれ、接続電極４１に電気的に接続され
ている。
【００４９】
また、第１の電極層２４１は、図示しない貫通電極および配線からなる導通部を介して
、第２の電極層２２３、２３３に電気的に接続されている。そして、第２の電極層２２３
、２３３は、図２に示すように、配線４３を介して、基部２７の上面に設けられた接続電
極４２に電気的に接続されている。これにより、第１の電極層２４１および第２の電極層
２２３、２３３は、接続電極４２に電気的に接続されている。
【００５０】
また、接続電極４１、４２および配線４３等は、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、
アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロ
ム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデンン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄
（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等
の金属材料により形成することができる。また、これらは、第１の電極層２２１、２３１
、２４１または第２の電極層２２３、２３３、２４３と同時に一括形成することができる
。
【００５１】
このような構成の振動片２においては、接続電極４１と接続電極４２との間に電圧（各
振動腕２８、２９、３０を振動させるための電圧）が印加されると、第１の電極層２２１
、２３１および第２の電極層２４３と、第１の電極層２４１および第２の電極層２２３、
２３３とが逆極性となるようにして、前述した圧電体層２２２、２３２、２４２にそれぞ
れＺ軸方向の電圧が印加される。これにより、圧電体材料の逆圧電効果により、ある一定
の周波数（共鳴周波数）で各振動腕２８、２９、３０を屈曲振動させることができる。こ
のとき、図５に示すように、振動腕２８、２９は、互いに同方向に屈曲振動し、振動腕３
０は、振動腕２８、２９とは反対方向に屈曲振動する。
【００５２】
このように、隣り合う２つの振動腕を互いに反対方向に屈曲振動させることにより、隣
り合う２つの振動腕２８、３０および２９、３０により生じる漏れ振動を互いに相殺する
ことができる。その結果、振動漏れを防止することができる。
また、各振動腕２８、２９、３０が屈曲振動すると、接続電極４１、４２間には、圧電
体材料の圧電効果により、ある一定の周波数で電圧が発生する。これらの性質を利用して
、振動片２は、共鳴周波数で振動する電気信号を発生させることができる。
【００５３】
（第１の質量部および第２の質量部）
ここで、振動腕２８上に設けられた第１の質量部５１および第２の質量部５４について
詳述する。なお、振動腕２９上に設けられた第１の質量部５２および第２の質量部５５、
および、振動腕３０上に設けられた第１の質量部５３および第２の質量部５６は、第１の
質量部５１および第２の質量部５４と同様であるため、その説明を省略する。
【００５４】
前述したように、第１の質量部５１は、振動腕２８の上面２８１上に設けられ、第２の
質量部５４は、振動腕２８の下面２８２上に設けられている。ここで、振動腕２８の上面
２８１および下面２８２は、Ｚ軸方向（すなわち振動腕２８の屈曲振動する方向）を法線
とする面であって、互いに対向している。本実施形態では、振動腕２８は、板状をなして
おり、その１対の板面が上面２８１（第１の面）および下面２８２（第２の面）を構成し
ている。また、上面２８１は、振動腕２８のＺ軸方向での屈曲振動により圧縮または伸長
し、下面２８２は、上面２８１が圧縮したときに伸長し上面２８１が伸長したときに圧縮
する。
【００５５】
特に、第１の質量部５１および第２の質量部５４は、Ｚ軸方向から見たときに（すなわ
ち平面視したときに）、互いに重ならない部分を有する。即ち、第１の面（上面２８１）
に第１の質量部５１が設けられると共に、第２の面（下面２８２）に第２の質量部５４が
設けられ、第１の質量部５１および第２の質量部５４は、上面２８１または下面２８２の
法線方向（すなわちＺ軸方向）から平面視で見たときに、互いに非対向な部分を有すると
も言える。
これにより、例えば、エネルギー線の照射位置に応じて、第１の質量部５１と第２の質
量部５４とを別々に（選択的に）除去することができる。そのため、第１の質量部５１お
よび第２の質量部５４の除去量を高精度に調整することができる。このようなことから、
周波数（共振周波数）調整を簡単かつ高精度に行うことができる。
【００５６】
より具体的に説明すると、第１の質量部５１は、質量部５１１と、質量部５１１よりも
振動腕２８の基端側に並んで設けられた質量部５１２とで構成されている。
この質量部５１１および質量部５１２は、それぞれ、振動腕２８の上面２８１上におい
て、Ｘ軸方向での中央部に設けられている。
本実施形態では、質量部５１１、５１２は、それぞれ、Ｙ軸方向を長手とする帯状（長
方形）をなしている。また、質量部５１１、５１２は、互いに幅が同じになっている。ま
た、質量部５１１のＹ軸方向での長さは、質量部５１２のＹ軸方向での長さよりも長くな
っている。
また、質量部５１１と質量部５１２とはＹ軸方向に互いに離間している。この離間距離
は、特に限定されないが、後述する周波数調整に用いるエネルギー線の照射領域（特にレ
ーザー光のスポット径）の１／２以上（特に１以上）であるのが好ましい。
【００５７】
一方、第２の質量部５４は、質量部５４１、５４２と、質量部５４１、５４２よりも振
動腕２８の基端側に並んで設けられた質量部５４３、５４４とで構成されている。
この質量部５４１および質量部５４３は、それぞれ、振動腕２８の上面２８１上におい
て、Ｘ軸方向での一端部（図５中左側の端部）に設けられ、一方、質量部５４２および質
量部５４４は、それぞれ、振動腕２８の上面２８１上において、Ｘ軸方向での他端部（図
５中右側の端部）に設けられている。
【００５８】
本実施形態では、質量部５４１、５４２、５４３、５４４は、それぞれ、Ｙ軸方向を長
手とする帯状（長方形）をなしている。また、質量部５４１、５４２、５４３、５４４は
、互いに幅が同じになっている。また、質量部５４１、５４２のＹ軸方向での長さは、前
述した第１の質量部５１の質量部５１１のＹ軸方向での長さと等しくなっている。また、
質量部５４３、５４４のＹ軸方向での長さは、前述した第１の質量部５１の質量部５１２
のＹ軸方向での長さと等しくなっている。
【００５９】
また、質量部５４１と質量部５４３とはＹ軸方向に互いに離間している。また、質量部
５４２と質量部５４４とはＹ軸方向に互いに離間している。これらの離間距離は、それぞ
れ、特に限定されないが、後述する周波数調整に用いるエネルギー線の照射領域（特にレ
ーザー光のスポット径）の１／２以上（特に１以上）であるのが好ましい。
また、質量部５４１と質量部５４２は、Ｘ軸方向に離間している。また、質量部５４３
と質量部５４４は、Ｘ軸方向に離間している。これらの離間距離は、それぞれ、前述した
第１の質量部５１の質量部５１１、５１２のＸ軸方向での長さよりも長くなっている。
【００６０】
このような第１の質量部５１および第２の質量部５４は、Ｚ軸方向から見たときに、Ｘ
軸方向に重ならないように設けられている。即ち、第１の質量部５１および第２の質量部
５４は、Ｚ軸方向（上面２８１または下面２８２の法線方向）から平面視で見たときに、
Ｘ軸方向（第２の方向）に互いに隣り合って形成された部分を有するとも言える。これに
より、第１の質量部５１および第２の質量部５４のＹ軸方向における範囲を一致または重
複させることができる。そのため、第１の質量部５１および第２の質量部５４が振動腕２
８の長手方向（Ｙ軸方向）に占める長さを抑えることができる。なお、第１の質量部５１
および第２の質量部５４は、Ｚ軸方向から見たときに第１の質量部５１および第２の質量
部５４の境界付近において、質量部の一部（例えば質量部の縁部同士）が重なっても良い
。
【００６１】
また、Ｚ軸方向から見たときに、第１の質量部５１の質量部５１１、５１２と第２の質
量部５４の質量部５４１、５４３とは、Ｘ軸方向に間隔を隔てて設けられ、同様に、第１
の質量部５１の質量部５１１、５１２と第２の質量部５４の質量部５４２、５４４とは、
Ｘ軸方向に間隔を隔てて設けられている。これにより、後述するようにエネルギー線を照
射したときに、各質量部毎に除去することができる。ここで、これらの間隔は、それぞれ
、後述する周波数調整に用いるエネルギー線の照射領域（特にレーザー光のスポット径）
の１／２以上（特に１以上）であるのが好ましい。
【００６２】
また、第１の質量部５１および第２の質量部５４は、それぞれ、振動腕２８の先端部側
（先端付近）に設けられている。これにより、第１の質量部５１および第２の質量部５４
の除去量に対する振動腕２８の周波数（共振周波数）の変化量を大きくすることができる
。そのため、周波数調整を効率的に行うことができる。また、振動腕２８の先端部は、前
述したような圧電体素子２２が設けられていないため、第１の質量部５１および第２の質
量部５４の設置に有効利用することができる。そのため、振動腕２８の短尺化、ひいては
、振動片２の小型化を図ることができる。
【００６３】
また、第１の質量部５１および第２の質量部５４は、互いにＹ軸方向における範囲が一
致している。これにより、振動腕２８の短尺化、ひいては、振動片２の小型化を図ること
ができる。
このような第１の質量部５１および第２の質量部５４の構成材料としては、それぞれ、
特に限定されず、振動腕２８上に成膜可能なものであれば、特に限定されず、樹脂材料、
金属材料、セラミックス材料等を用いることができる。また、第１の質量部５１および第
２の質量部５４の構成材料として、前述した圧電体層２２２の構成材料と同様のものを用
いることもできる。
【００６４】
特に、このような第１の質量部５１および第２の質量部５４の構成材料としては、金属
材料またはセラミックス材料が好ましい。すなわち、第１の質量部５１および第２の質量
部５４は、それぞれ、金属またはセラミックスを成膜することにより形成されているのが
好ましい。
金属またはセラミックス（絶縁材料）は、気相成膜法により簡単かつ高精度に成膜する
ことができる。また、金属またはセラミックスで構成された膜（錘膜）は、エネルギー線
（特にレーザー）の照射により簡単かつ高精度に除去することができる。このようなこと
から、第１の質量部５１および第２の質量部５４をそれぞれ金属またはセラミックスを成
膜することにより形成することで、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
【００６５】
かかる金属材料としては、前述した第１の電極層２２１および第２の電極層２２３の構
成材料と同様、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウ
ム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデンン
（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバル
ト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等挙げられ、これらのうち１種または
２種以上を組み合わせて用いることができる。中でも、かかる金属材料としては、Ａｌ、
Ｃｒ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｐｔまたはこれらのうちの少なくとも１種を含む
合金を用いるのが好ましい。
【００６６】
また、第１の質量部５１および第２の質量部５４の構成材料に用いるセラミックスとし
ては、各種ガラス、アルミナ（酸化アルミニウム）、シリカ（酸化シリコン）、チタニア
（酸化チタン）、ジルコニア、イットリア、リン酸カルシウム等の酸化物セラミックス、
窒化珪素、窒化アルミ、窒化チタン、窒化ボロン等の窒化物セラミックス、グラファイト
、タングステンカーバイト等の炭化物系セラミックス、その他、例えばチタン酸バリウム
、チタン酸ストロンチウム、ＰＺＴ、ＰＬＺＴ、ＰＬＬＺＴ等の強誘電体材料などが挙げ
られる。中でも、かかるセラミックスとしては、酸化シリコン（ＳｉＯ２）、酸化チタン
（ＴｉＯ２）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）等の絶縁材料を用いるのが好ましい。
【００６７】
また、第１の質量部５１の構成材料と第２の質量部５４の構成材料は、互いに異なるも
のを用いるのが好ましい。これにより、第１の質量部５１の構成材料の比重と第２の質量
部５４の構成材料の比重とを異ならせることができる。その結果、第１の質量部５１の除
去量に対する振動腕２８の周波数（共振周波数）の変化量と、第２の質量部５４の除去量
に対する振動腕２８の周波数（共振周波数）の変化量とを異ならせることができる。その
ため、第１の質量部５１および第２の質量部５４の一方の質量部を粗調整用、他方の質量
部を微調整用として用いることにより、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
【００６８】
また、第１の質量部５１は、第２の質量部５４の構成材料よりも比重の大きい材料で構
成されているのが好ましい。言い換えると、第２の質量部５４は、第１の質量部５１の構
成材料よりも比重の小さい材料で構成されているのが好ましい。より具体的には、第１の
質量部５１および第２の質量部５４をそれぞれ金属材料で構成する場合、第１の質量部５
１をＡｕ、Ｐｔ、Ａｇまたはこれらの合金等で構成し、第２の質量部５４をＡｌ、Ａｌ合
金等で構成するのが好ましい。
【００６９】
これにより、第１の質量部５１の除去量に対する振動腕２８の周波数（共振周波数）の
変化量（上昇量）を、第２の質量部５４の除去量に対する振動腕２８の周波数（共振周波
数）の変化量（上昇量）よりも大きくすることができる。そのため、第１の質量部５１を
粗調整用、第２の質量部５４を微調整用として用いることにより、周波数調整がより簡単
かつ高精度なものとなる。
【００７０】
また、本実施形態では、第２の質量部５４は、振動腕２８のＸ軸方向での両端部に位置
しているので、第２の質量部５４を微調整用として用いることにより、振動腕２８の振動
特性がＸ軸方向の両端部でアンバランスになるのを防止することができる。
また、上述した比重と同様の観点から、第１の質量部５１の密度は、第２の質量部５４
の密度よりも大きいのが好ましい。言い換えると、第２の質量部５４の密度は、第１の質
量部５１の密度よりも小さいのが好ましい。例えば、第２の質量部５４を多孔質体で構成
することにより、第１の質量部５１および第２の質量部５４が互いに同じ構成材料を用い
ていても、第２の質量部５４の密度を第１の質量部５１の密度よりも小さくすることがで
きる。
【００７１】
また、第１の質量部５１の厚さ（平均厚さ）は、第２の質量部５４の厚さ（平均厚さ）
よりも厚いのが好ましい。言い換えると、第２の質量部５４の厚さ（平均厚さ）は、第１
の質量部５１の厚さ（平均厚さ）よりも薄いのが好ましい。
これにより、第１の質量部５１の除去量に対する振動腕２８の周波数（共振周波数）の
変化量（上昇量）を、第２の質量部５４の除去量に対する振動腕２８の周波数（共振周波
数）の変化量（上昇量）よりも大きくすることができる。そのため、第１の質量部５１を
粗調整用、第２の質量部５４を微調整用として用いることにより、周波数調整がより簡単
かつ高精度なものとなる。
【００７２】
また、本実施形態では、第２の質量部５４は、振動腕２８のＸ軸方向での両端部に位置
しているので、第２の質量部５４を微調整用として用いることにより、振動腕２８の振動
特性がＸ軸方向の両端部でアンバランスになるのを防止することができる。
また、第１の質量部５１の厚さ（平均厚さ）は、第２の質量部５４の厚さ（平均厚さ）
の１倍以上１０倍以下であるのが好ましく、１倍以上８倍以下であるのがより好ましい。
また、第１の質量部５１および第２の質量部５４の厚さ（平均厚さ）は、それぞれ、特
に限定されないが、１〜１０００ｎｍ程度であるのが好ましい。これにより、高精度に厚
さを規定した第１の質量部５１および第２の質量部５４を容易に得ることができる。
【００７３】
（周波数の調整方法）
次に、図７に基づいて、前述したように構成された振動片２の周波数調整方法について
説明する。なお、以下では、第１の質量部５１を粗調整用、第２の質量部５４を微調整用
として用いる場合を例に説明する。また、以下では、振動腕２８の周波数調整を代表的に
説明するが、振動腕２９、３０の周波数調整も振動腕２８の周波数調整と同様である。
振動片２の周波数調整方法は、［１］振動片２（周波数調整前）を用意する工程と、［
２］第１の質量部５１および第２の質量部５４のうちの少なくとも一方の質量部の一部ま
たは全部をエネルギー線の照射により除去することにより、当該質量部の質量を減少させ
て、振動腕２８の共振周波数を調整する工程とを有する。
【００７４】
以下、各工程［１］、［２］を順次説明する。
［１］
まず、周波数調整前（未調整）の振動片２を用意する。
このとき、図７（ａ）に示すように、振動腕２８上には、前述したような質量部５１１
、５１２で構成された第１の質量部５１と、質量部５４１、５４２、５４３、５４４で構
成された第２の質量部５４とが設けられている。
また、このとき、振動腕２８の周波数（共振周波数）は、目標とする周波数（共振周波
数）に対して低くなるように設定されている。
【００７５】
［２］
（粗調整）
そして、まず、周波数の粗調整を行う。
具体的には、図７（ｂ）に示すように、エネルギー線の照射により、第１の質量部５１
の一部または全部を必要に応じて除去する。
【００７６】
図７（ｂ）では、第１の質量部５１の質量部５１１の全部を除去した場合を一例として
図示している。そのため、上記エネルギー線の照射後の振動腕２８上には、質量部５１２
で構成された粗調整後の第１の質量部１５１が設けられている。なお、この粗調整におい
て除去される第１の質量部５１の形状、部位およびその除去量は、必要に応じて適宜設定
されるものであり、図示のものに限定されない。例えば、質量部５１１の一部をレーザー
光の照射により除去した場合、第１の質量部５１の除去された部分は、ライン状、ドット
状等の形状をなす。
【００７７】
このような粗調整により、第１の質量部５１は、その質量が減少して第１の質量部１５
１となるので、振動腕２８の周波数が高められる。また、この粗調整後は、振動腕２８の
周波数（共振周波数）が後述する微調整で調整可能な範囲内となるように目標とする周波
数（共振周波数）に対して若干低くなるように行われる。すなわち、振動腕２８の周波数
（共振周波数）が目標とする周波数（共振周波数）に対して若干低い状態となるまで、エ
ネルギー線の照射により第１の質量部５１を除去していく。
【００７８】
また、このような粗調整に用いるエネルギー線は、振動腕２８の悪影響を与えずに、第
１の質量部５１の必要部位を除去することができるものであれば、特に限定されず、放射
線、電子線、レーザー、イオンビーム等が挙げられるが、炭酸ガスレーザー、エキシマー
レーザー、ＹＡＧレーザー等のレーザーを用いるのが好ましい。これにより、簡単かつ確
実に、第１の質量部５１の一部または全部を所望量だけ除去することができる。
【００７９】
（微調整）
その後、周波数の微調整を行う。
具体的には、図７（ｃ）に示すように、エネルギー線の照射により、第２の質量部５４
の一部または全部を必要に応じて除去する。
図７（ｃ）では、第２の質量部５４の質量部５４１、５４２の全部をそれぞれ除去した
場合を一例として図示している。そのため、上記エネルギー線の照射後の振動腕２８上に
は、質量部５４３、５４４で構成された微調整後の第２の質量部１５４が設けられている
。なお、この微調整において除去される第２の質量部５４の形状、部位およびその除去量
は、必要に応じて適宜設定されるものであり、図示のものに限定されない。例えば、質量
部５４１の一部をレーザー光の照射により除去した場合、第２の質量部５４の除去された
部分は、ライン状、ドット状等の形状をなす。
【００８０】
このような微調整により、第２の質量部５４は、その質量が減少して第２の質量部１５
４となるので、振動腕２８の周波数が高められる。また、この微調整後は、振動腕２８の
周波数（共振周波数）が目標とする周波数（共振周波数）に一致するように行われる。す
なわち、振動腕２８の周波数（共振周波数）が目標とする周波数（共振周波数）に一致す
るまで、エネルギー線の照射により第２の質量部５４を除去していく。
【００８１】
また、このような微調整に用いるエネルギー線は、前述した粗調整に用いるエネルギー
線と同様のものを用いることができ、炭酸ガスレーザー、エキシマーレーザー、ＹＡＧレ
ーザー等のレーザーを用いるのが好ましい。これにより、簡単かつ確実に、第２の質量部
５４の一部または全部を所望量だけ除去することができる。
以上のようにして振動腕２８の周波数を目標周波数に一致するように調整することがで
きる。特に、上述した周波数調整方法では、エネルギー線の照射位置に応じて、第１の質
量部５１と第２の質量部５４とを別々に（選択的に）除去することができる。そのため、
周波数（共振周波数）調整を簡単かつ高精度に行うことができる。
【００８２】
（振動片の製造方法）
ここで、前述した振動片２の製造方法の一例について簡単に説明する。
前述した振動片２の製造方法は、［Ａ］振動腕２８、２９、３０上に第１の電極層２２
１、２３１、２４１、第１の質量部５１、５２、５３および第２の質量部５４、５５、５
６を形成する工程と、［Ｂ］第１の電極層２２１、２３１、２４１上に圧電体層２２２、
２３２、２４２を形成する工程と、［Ｃ］圧電体層２２２、２３２、２４２上に第２の電
極層２２３、２３３、３４３を形成する工程とを有する。
【００８３】
以下、各工程を簡単に説明する。
［Ａ］
まず、振動基板２１を形成するための基板を用意する。
そして、この基板をエッチングすることにより、振動基板２１を形成する。
より具体的に説明すると、例えば、上記基板が水晶基板である場合、水晶基板の薄肉部
２７１となる部分を、ＢＨＦ（buffer hydrogen fluoride）をエッチング液として用いた
異方性エッチングにより除去して薄肉化する。その後、その薄肉化された部分を、上記と
同様の異方性エッチングにより部分的に除去して、振動腕２８、２９、３０を形成する。
これにより、振動基板２１が形成される。
【００８４】
その後、振動腕２８、２９、３０上に第１の電極層２２１、２３１、２４１、第１の質
量部５１、５２、５３および第２の質量部５４、５５、５６を形成する。その際、必要に
応じて、配線等も同時に形成する。
この第１の電極層２２１、２３１、２４１、第１の質量部５１、５２、５３および第２
の質量部５４、５５、５６の形成方法としては、スパッタリング法、真空蒸着法等の物理
成膜法、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）等の化学蒸着法等の気相成膜法、また、
インクジェット法等の各種塗布法等が挙げられるが、気相成膜法（特にスパッタリング法
もしくは真空蒸着法）を用いるのが好ましい。また、第１の電極層２２１、２３１、２４
１の形成に際しては、フォトリソグラフィ法を用いるのが好ましい。
なお、第１の電極層２２１、２３１、２４１は、同一の成膜工程で一括形成することが
できる。
【００８５】
［Ｂ］
次に、第１の電極層２２１、２３１、２４１上に圧電体層２２２、２３２、２４２を形
成する。
この圧電体層２２２、２３２、２４２の形成方法としては、スパッタリング法、真空蒸
着法等の物理成膜法、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）等の化学蒸着法等の気相成
膜法、また、インクジェット法等の各種塗布法等が挙げられるが、気相成膜法（特に反応
性スパッタリング法）を用いるのが好ましい。また、圧電体層２２２、２３２、２４２の
形成（パターニング）に際しては、フォトリソグラフィ法を用いるのが好ましい。また、
圧電体層２２２、２３２、２４２をパターニングする際に、不要部分の除去にはウェット
エッチングを用いるのが好ましい。
なお、圧電体層２２２、２３２、２４２は、同一の成膜工程で一括形成することができ
る。
【００８６】
［Ｃ］
次に、圧電体層２２２、２３２、２４２に第２の電極層２２３、２３３、３４３を形成
する。その際、接続電極４１、４２等も同時に形成する。
この第２の電極層２２３、２３３、３４３の形成は、前述した第１の電極層２２１、２
３１、２４１と同様にして行うことができる。
【００８７】
その後、必要に応じて、前述したような周波数調整を行う。
なお、この周波数調整は、振動片２をパッケージ３内に収納する前に行ってもよいし、
振動片２をパッケージ３内に収納した後に行ってもよい。また、第１の質量部５１、５２
、５３による周波数調整と第２の質量部５４、５５、５６による周波数調整とのうち、一
方の周波数調整を、振動片２をパッケージ３内に収納する前に行い、他方の周波数調整を
、振動片２をパッケージ３内に収納した後に行ってもよい。
【００８８】
以上説明したようにして振動片２を製造することができる。なお、上述した製造方法の
例では、第１の質量部５１、５２、５３および第２の質量部５４、５５、５６を第１の電
極層２２１、２３１、２４１と一括して形成したが、これに限定されず、例えば、第２の
電極層２２３、２３３、２４３と一括して形成してもよい。また、第１の質量部５１、５
２、５３は、第１の電極層２２１、２３１、２４１での成膜によるものと、第２の電極層
２２３、２３３、２４３での成膜によるものとの積層で構成されていてもよい。
【００８９】
（パッケージ）
次に、振動片２を収容・固定するパッケージ３について説明する。
パッケージ３は、図１に示すように、板状のベース基板３１と、枠状の枠部材３２と、
板状の蓋部材３３とを有している。ベース基板３１、枠部材３２および蓋部材３３は、下
側から上側へこの順で積層されている。ベース基板３１と枠部材３２とは、後述のセラミ
ック材料等で形成されており、互いに一体に焼成されることで接合されている。そして、
枠部材３２と蓋部材３３は、接着剤あるいはろう材等により接合されている。そして、パ
ッケージ３は、ベース基板３１、枠部材３２および蓋部材３３で画成された内部空間３７
に、振動片２を収納している。なお、パッケージ３内には、振動片２の他、振動片２を駆
動する電子部品（発振回路）等を収納することもできる。
【００９０】
ベース基板３１の構成材料としては、絶縁性（非導電性）を有しているものが好ましく
、例えば、各種ガラス、酸化物セラミックス、窒化物セラミックス、炭化物系セラミック
ス等の各種セラミックス材料、ポリイミド等の各種樹脂材料などを用いることができる。
また、枠部材３２および蓋部材３３の構成材料としては、例えば、ベース基板３１と同
様の構成材料、Ａｌ、Ｃｕのような各種金属材料、各種ガラス材料等を用いることができ
る。特に、蓋部材３３の構成材料として、ガラス材料等の光透過性を有するものを用いた
場合、振動片２をパッケージ３内に収容した後であっても、蓋部材３３を介して前述した
質量部にレーザーを照射し、前記金属被覆部を除去して振動片２の質量を減少させること
により（質量削減方式により）、振動片２の周波数調整を行うことができる。
【００９１】
このベース基板３１の上面には、固定材３６を介して、前述した振動片２が固定されて
いる。この固定材３６は、例えば、エポキシ系、ポリイミド系、シリコーン系等の接着剤
で構成されている。このような固定材３６は、未硬化（未固化）の接着剤をベース基板３
１上に塗布し、さらに、この接着剤上に振動片２を載置した後、その接着剤を硬化または
固化させることにより形成される。これにより、振動片２（基部２７）がベース基板３１
に確実に固定される。
【００９２】
なお、この固定は、導電性粒子を含有するエポキシ系、ポリイミド系、シリコーン系等
の導電性接着剤を用いて行ってもよい。
また、ベース基板３１の上面には、一対の電極３５ａ、３５ｂが内部空間Ｓに露出する
ように形成されている。
この電極３５ａは、例えばワイヤーボンディング技術により形成された金属ワイヤー（
ボンディングワイヤー）３８を介して、前述した接続電極４２に電気的に接続されている
。また、電極３５ｂは、例えばワイヤーボンディング技術により形成された金属ワイヤー
（ボンディングワイヤー）３７を介して、前述した接続電極４１に電気的に接続されてい
る。
【００９３】
なお、一対の電極３５ａ、３５ｂと接続電極４１、４２との接続方法は、これに限定さ
れず、例えば、導電性接着剤により行ってもよい。この場合、例えば、振動片２の図示と
は表裏反転するか、振動片２の下面に接続電極４１、４２を形成すればよい。
また、ベース基板３１の下面には、４つの外部端子３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄが
設けられている。
【００９４】
これら４つの外部端子３４ａ〜３４ｄのうち、外部端子３４ａ、３４ｂは、それぞれ、
ベース基板３１に形成されたビアホールに設けられた導体ポスト（図示せず）を介して電
極３５ａ、３５ｂに電気的に接続されたホット端子である。また、他の２つの外部端子３
４ｃ、３４ｄは、それぞれ、パッケージ３を実装用基板に実装するときに、接合強度を高
めたり、パッケージ３と実装用基板との間の距離を均一化するためのダミー端子である。
【００９５】
このような電極３５ａ、３５ｂおよび外部端子３４ａ〜３４ｄは、それぞれ、例えば、
タングステンおよびニッケルメッキの下地層に、金メッキを施すことで形成することがで
きる。
なお、パッケージ３内部に電子部品を収納した場合、ベース基板３１の下面には、必要
に応じて、電子部品の特性検査や、電子部品内の各種情報（例えば、振動子の温度補償情
報）の書き換え（調整）を行うための書込端子が形成されていてもよい。
【００９６】
以上説明したような第１実施形態によれば、第１の質量部５１および第２の質量部５４
は、Ｚ軸方向から見たときに（すなわち平面視したときに）、互いに重ならない部分を有
するので、エネルギー線の照射位置に応じて、第１の質量部５１と第２の質量部５４とを
別々に（選択的に）除去することができる。そのため、エネルギー線の照射による第１の
質量部５１および第２の質量部５４の除去量を高精度に調整することができる。このよう
なことから、周波数（共振周波数）調整を簡単かつ高精度に行うことができる。
また、このような振動片２を備える振動子１は、信頼性に優れたものとなる。
【００９７】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
図８は、本発明の第２実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するため
の部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＤ−Ｄ線断面図）である。
以下、第２実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事
項については、その説明を省略する。
【００９８】
第２実施形態は、第１の質量部および第２の質量部の構成が異なる以外は、第１実施形
態とほぼ同様である。なお、図８では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を
付してある。また、本実施形態では、振動腕２８上に設けられた第１の質量部および第２
の質量部について代表的に説明するが、振動腕２９、３０上に設けられた第１の質量部お
よび第２の質量部についても同様である。
【００９９】
図８に示すように、振動腕２８の上面２８１上には、第１の質量部５１Ａが設けられ、
また、振動腕２８の下面２８２上には、第２の質量部５４Ａが設けられている。
この第１の質量部５１Ａおよび第２の質量部５４Ａは、それぞれ、例えば、エネルギー
線の照射により一部または全部が除去されることにより質量を減少させて、振動腕２８の
共振周波数を調整するためのものである。
【０１００】
より具体的に説明すると、第１の質量部５１Ａは、複数の質量部５１３と、この複数の
質量部５１３よりも振動腕２８の基端側に並んで設けられた複数の質量部５１４とで構成
されている。
ここで、複数の質量部５１３は、Ｙ軸方向およびＸ軸方向に行列状に配列された複数の
ブロック部を構成する。同様に、複数の質量部５１４は、Ｙ軸方向およびＸ軸方向に行列
状に配列された複数のブロック部を構成する。
本実施形態では、各質量部５１３、５１４は、それぞれ、Ｙ軸方向を長手とする帯状（
長方形）をなしている。また、各質量部５１３、５１４は、互いに同じ形状および大きさ
となっている。
【０１０１】
一方、第２の質量部５４Ａは、複数の質量部５４５と、複数の質量部５４５よりも振動
腕２８の基端側に並んで設けられた複数の質量部５４６とで構成されている。
ここで、複数の質量部５４５は、Ｙ軸方向およびＸ軸方向に行列状に配列された複数の
ブロック部を構成する。同様に、複数の質量部５４６は、Ｙ軸方向およびＸ軸方向に行列
状に配列された複数のブロック部を構成する。
【０１０２】
本実施形態では、各質量部５４５、５４６は、それぞれ、Ｙ軸方向を長手とする帯状（
長方形）をなしている。また、各質量部５４５、５４６は、互いに同じ形状および大きさ
となっている。
このような第１の質量部５１Ａおよび第２の質量部５４Ａにおいては、Ｚ軸方向から見
たときに、Ｙ軸方向に並ぶ質量部５１３の列と、Ｙ軸方向に並ぶ質量部５４５の列とがＸ
軸方向に交互に重ならないように並んでいる。
【０１０３】
同様に、Ｚ軸方向から見たときに、Ｙ軸方向に並ぶ質量部５１４の列と、Ｙ軸方向に並
ぶ質量部５４６の列とがＸ軸方向に交互に重ならないように並んでいる。
このように第１の質量部５１Ａおよび第２の質量部５４Ａがそれぞれ行列状に配列され
た複数のブロック部を有するので、エネルギー線の照射により、各ブロック部毎（すなわ
ち各質量部５１３、５１４、５４５、５４６毎）に、第１の質量部５１Ａおよび第２の質
量部５４Ａを除去することができる。そのため、第１の質量部５１Ａおよび第２の質量部
５４Ａを所望量だけ迅速（簡単）に除去することができる。また、第１の質量部５１Ａお
よび第２の質量部５４Ａの除去量に対する振動腕２８の周波数の変化量を予測するのが容
易となる。その結果、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
また、以上説明したような第２実施形態によれば、前述した第１実施形態と同様の効果
を奏することができる。
【０１０４】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
図９は、本発明の第３実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するため
の部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＥ−Ｅ線断面図）である。
以下、第３実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事
項については、その説明を省略する。
【０１０５】
第３実施形態は、第１の質量部および第２の質量部の構成が異なる以外は、第１実施形
態とほぼ同様である。なお、図９では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を
付してある。また、本実施形態では、振動腕２８上に設けられた第１の質量部および第２
の質量部について代表的に説明するが、振動腕２９、３０上に設けられた第１の質量部お
よび第２の質量部についても同様である。
【０１０６】
図９に示すように、振動腕２８の上面２８１上には、第１の質量部５１Ｂが設けられ、
また、振動腕２８の下面２８２上には、第２の質量部５４Ｂが設けられている。
この第１の質量部５１Ｂおよび第２の質量部５４Ｂは、それぞれ、エネルギー線の照射
により一部または全部が除去されることにより質量を減少させて、振動腕２８の共振周波
数を調整するためのものである。
より具体的に説明すると、第１の質量部５１Ｂは、複数の質量部（線状部）５１５で構
成されている。
各質量部５１５は、Ｘ軸方向を長手とする線状（帯状）をなしている。ここで、複数の
質量部５１５は、Ｙ軸方向に間隔を隔てて設けられた複数の線状部を構成する。
【０１０７】
一方、第２の質量部５４Ｂは、複数の質量部５４７で構成されている。
各質量部５４７は、Ｘ軸方向を長手とする線状（帯状）をなしている。ここで、複数の
質量部５４７は、Ｙ軸方向に間隔を隔てて設けられた複数の線状部を構成する。
このような第１の質量部５１Ｂおよび第２の質量部５４Ｂにおいては、Ｚ軸方向から見
たときに、各質量部５１５と各質量部５４７とが重ならないようにＹ軸方向に交互に並ん
でいる。
【０１０８】
このように第１の質量部５１Ｂおよび第２の質量部５４Ｂがそれぞれ互いに間隔を隔て
て設けられた複数の線状部を有するので、エネルギー線の照射により、各線状部毎（すな
わち各質量部５１５、５４７毎）に、エネルギー線照射部を掃射させることにより第１の
質量部５１Ｂおよび第２の質量部５４Ｂを一括して除去することができる。そのため、第
１の質量部５１Ｂおよび第２の質量部５４Ｂを所望量だけ簡単に除去することができる。
その結果、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。また、間隔を隔てて質量部（
線状部）が形成されているのでレーザーで金属膜を削った際に発生する削り屑が他の金属
膜に付着するのを防止でき、削り屑による周波数ずれを抑制することができる。
また、以上説明したような第３実施形態によれば、前述した第１実施形態と同様の効果
を奏することができる。
【０１０９】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態について説明する。
図１０は、本発明の第４実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するた
めの部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＦ−Ｆ線断面図）である。
以下、第４実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事
項については、その説明を省略する。
【０１１０】
第４実施形態は、第１の質量部および第２の質量部の構成が異なる以外は、第１実施形
態とほぼ同様である。なお、図１０では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号
を付してある。また、本実施形態では、振動腕２８上に設けられた第１の質量部および第
２の質量部について代表的に説明するが、振動腕２９、３０上に設けられた第１の質量部
および第２の質量部についても同様である。
【０１１１】
図１０に示すように、振動腕２８の上面２８１上には、第１の質量部５１Ｃが設けられ
、また、振動腕２８の下面２８２上には、第２の質量部５４Ｃが設けられている。
この第１の質量部５１Ｃおよび第２の質量部５４Ｃは、それぞれ、エネルギー線の照射
により一部または全部が除去されることにより質量を減少させて、振動腕２８の共振周波
数を調整するためのものである。
より具体的に説明すると、第１の質量部５１Ｃは、複数の質量部（線状部）５１６で構
成されている。
各質量部５１６は、Ｙ軸方向を長手とする線状（帯状）をなしている。ここで、複数の
質量部５１６は、Ｘ軸方向に間隔を隔てて設けられた複数の線状部を構成する。
【０１１２】
一方、第２の質量部５４Ｃは、複数の質量部５４８で構成されている。
各質量部５４８は、Ｙ軸方向を長手とする線状（帯状）をなしている。ここで、複数の
質量部５４８は、Ｘ軸方向に間隔を隔てて設けられた複数の線状部を構成する。
このような第１の質量部５１Ｃおよび第２の質量部５４Ｃにおいては、Ｚ軸方向から見
たときに、各質量部５１６と各質量部５４８とが重ならないようにＸ軸方向に交互に並ん
でいる。
【０１１３】
このように第１の質量部５１Ｃおよび第２の質量部５４Ｃがそれぞれ互いに間隔を隔て
て設けられた複数の線状部を有するので、エネルギー線の照射により、各線状部毎（すな
わち各質量部５１６、５４８毎）に、第１の質量部５１Ｃおよび第２の質量部５４Ｃを除
去することができる。そのため、第１の質量部５１Ｃおよび第２の質量部５４Ｃを所望量
だけ簡単に除去することができる。その結果、周波数調整がより簡単かつ高精度なものと
なる。また、間隔を隔てて質量部（線状部）が形成されているのでレーザーで金属膜を削
った際に発生する削り屑が他の金属膜に付着するのを防止でき、削り屑による周波数ずれ
を抑制することができる。
また、以上説明したような第４実施形態によれば、前述した第１実施形態と同様の効果
を奏することができる。
【０１１４】
＜第５実施形態＞
次に、本発明の第５実施形態について説明する。
図１１は、本発明の第５実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するた
めの部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＧ−Ｇ線断面図、（ｃ）は、
（ａ）中のＨ−Ｈ線断面図）である。
以下、第５実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事
項については、その説明を省略する。
【０１１５】
第５実施形態は、第１の質量部および第２の質量部の構成が異なる以外は、第１実施形
態とほぼ同様である。また、第５実施形態は、第１の質量部の構成が異なる以外は、第３
実施形態とほぼ同様である。また、第５実施形態は、第２の質量部の構成が異なる以外は
、第４実施形態とほぼ同様である。なお、図１１では、前述した実施形態と同様の構成に
は、同一符号を付してある。また、本実施形態では、振動腕２８上に設けられた第１の質
量部および第２の質量部について代表的に説明するが、振動腕２９、３０上に設けられた
第１の質量部および第２の質量部についても同様である。
【０１１６】
図１１に示すように、振動腕２８の上面２８１上には、第１の質量部５１Ｃが設けられ
、また、振動腕２８の下面２８２上には、第２の質量部５４Ｂが設けられている。
本実施形態では、第１の質量部５１Ｃの複数の質量部５１６（線状部）および第２の質
量部５４Ｂの複数の質量部５４７（線状部）は、互いに直交するように設けられている。
これにより、第１の質量部５１Ｃおよび第２の質量部５４Ｂを振動腕２８上に形成する
際に、Ｙ軸方向およびＸ軸方向での位置決めに高精度を要することなく、Ｚ軸方向から見
たときに、第１の質量部５１Ｃおよび第２の質量部５４Ｂが互いに重ならない部分を有す
るものとなる。
また、以上説明したような第５実施形態によれば、前述した第１実施形態と同様の効果
を奏することができる。
以上説明したような各実施形態の振動片は、各種の電子機器に適用することができ、得
られる電子機器は、信頼性の高いものとなる。
【０１１７】
ここで、本発明の振動片を備える電子機器について、図１２〜図１４に基づき、詳細に
説明する。
図１２は、本発明の振動片を備える電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）
のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本
体部１１０４と、表示部１００を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユ
ニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されてい
る。
このようなパーソナルコンピュータ１１００には、フィルタ、共振器、基準クロック等
として機能する振動子１が内蔵されている。
【０１１８】
図１３は、本発明の振動片を備える電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の
構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４
および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部
１００が配置されている。
このような携帯電話機１２００には、フィルタ、共振器等として機能する振動子１が内
蔵されている。
【０１１９】
図１４は、本発明の振動片を備える電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成
を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されて
いる。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、
ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）
などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【０１２０】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表
示部が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部
は、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣ
Ｄなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【０１２１】
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると
、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリ１３０８に転送・格納される。
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビ
デオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。
そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、
デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピュータ１４４０が、それぞれ必
要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリ１３０８に格納された撮像信
号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピュータ１４４０に出力される構成にな
っている。
【０１２２】
このようなディジタルスチルカメラ１３００には、フィルタ、共振器等として機能する
振動子１が内蔵されている。
なお、本発明の振動片を備える電子機器は、図１２のパーソナルコンピュータ（モバイ
ル型パーソナルコンピュータ）、図１３の携帯電話機、図１４のディジタルスチルカメラ
の他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンタ）、ラッ
プトップ型パーソナルコンピュータ、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダ、カ
ーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電
子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニ
タ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計
測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、
車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ等に適用することができる。
【０１２３】
以上、本発明の振動片、周波数調整方法、振動子、振動デバイスおよび電子機器を、図
示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構
成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、上記実施例
においては、第１の質量部または第２の質量部にエネルギー線を照射させて周波数調整を
行う例について説明したが、これに限らず、イオンエッチング、サンドブラスト、ウェッ
トエッチングにより質量部の質量を減少させても良い。また、第１の質量部または第２の
質量部にスパッタリングや蒸着で膜を付けて質量部の質量を増加させることにより周波数
調整しても良い。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、本
発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであ
ってもよい。
【０１２４】
例えば、前述した実施形態では、振動片が３つの振動腕を有する場合を例に説明したが
、振動腕の数は、１つまたは２つであってもよいし、４つ以上であってもよい。
また、本発明の振動デバイスは、振動片に発振回路を接続することにより、水晶発振器
（ＳＰＸＯ）、電圧制御水晶発振器（ＶＣＸＯ）、温度補償水晶発振器（ＴＣＸＯ）、恒
温槽付水晶発振器（ＯＣＸＯ）等の圧電発振器の他、ジャイロセンサー等に適用される。
【符号の説明】
【０１２５】
１‥‥振動子 ２‥‥振動片 ３‥‥パッケージ ２１‥‥振動基板 ２２‥‥圧電体
素子 ２３‥‥圧電体素子 ２４‥‥圧電体素子 ２７‥‥基部 ２８‥‥振動腕 ２９
‥‥振動腕 ３０‥‥振動腕 ３１‥‥ベース基板 ３２‥‥枠部材 ３３‥‥蓋部材
３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄ‥‥外部端子 ３５ａ‥‥電極 ３５ｂ‥‥電極 ３６
‥‥固定材 ３７‥‥内部空間 ３８‥‥金属ワイヤー ４１‥‥接続電極 ４２‥‥接
続電極 ４３‥‥配線 ５１‥‥第１の質量部 ５１Ａ‥‥第１の質量部 ５１Ｂ‥‥第
１の質量部 ５１Ｃ‥‥第１の質量部 ５２‥‥第１の質量部 ５３‥‥第１の質量部
５４‥‥第２の質量部 ５４Ａ‥‥第２の質量部 ５４Ｂ‥‥第２の質量部 ５４Ｃ‥‥
第２の質量部 ５５‥‥第２の質量部 ５６‥‥第２の質量部 １００‥‥表示部 １５
１‥‥調整後の第１の質量部 １５４‥‥調整後の第２の質量部 ２２１‥‥第１の電極
層 ２２２‥‥圧電体層 ２２３‥‥第２の電極層 ２３１‥‥第１の電極層 ２３２‥
‥圧電体層 ２３３‥‥第２の電極層 ２４１‥‥電極層 ２４２‥‥圧電体層 ２４３
‥‥電極層 ２７１‥‥薄肉部 ２７２‥‥厚肉部 ２８１‥‥上面 ２８２‥‥下面
２９１‥‥上面 ２９２‥‥下面 ３０１‥‥上面 ３０２‥‥下面 ５１１‥‥質量部
５１２‥‥質量部 ５１３‥‥質量部 ５１４‥‥質量部 ５１５‥‥質量部 ５１６
‥‥質量部 ５４１‥‥質量部 ５４２‥‥質量部 ５４３‥‥質量部 ５４４‥‥質量
部 ５４５‥‥質量部 ５４６‥‥質量部 ５４７‥‥質量部 ５４８‥‥質量部 １１
００‥‥パーソナルコンピュータ １１０２‥‥キーボード １１０４‥‥本体部 １１
０６‥‥表示ユニット １２００‥‥携帯電話機 １２０２‥‥操作ボタン １２０４‥
‥受話口 １２０６‥‥送話口 １３００‥‥ディジタルスチルカメラ １３０２‥‥ケ
ース １３０４‥‥受光ユニット １３０６‥‥シャッタボタン １３０８‥‥メモリ
１３１２‥‥ビデオ信号出力端子 １３１４‥‥入出力端子 １４３０‥‥テレビモニタ
１４４０‥‥パーソナルコンピュータ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の方向と該第１の方向に直交する第２の方向とを含む平面上に形成される基部と、
前記基部から前記第１の方向に延出する振動腕と、を有し、
前記振動腕は、前記平面の法線方向に屈曲振動し、前記屈曲振動により圧縮または伸長
する第１の面と、前記第１の面が圧縮したときに伸長し前記第１の面が伸長したときに圧
縮する第２の面と、を有し、
前記第１の面に第１の質量部が設けられると共に、前記第２の面に第２の質量部が設け
られ、
前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、前記法線方向からの平
面視で、他方に対し非対向な部分を有することを特徴とする振動片。
【請求項２】
前記第１の質量部および前記第２の質量部は、前記法線方向からの平面視で前記第２の
方向に互いに隣り合って形成された部分を有することを特徴とする請求項１に記載の振動
片。
【請求項３】
前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、帯状に形成されたこと
を特徴とする請求項１または２に記載の振動片。
【請求項４】
前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、間隔を隔てて設けられ
た複数のブロック部を有することを特徴とする請求項１または２に記載の振動片。
【請求項５】
前記第１の質量部および前記第２の質量部は、帯状に形成され、且つ、前記法線方向か
らの平面視で互いに交差する部分を有することを特徴とする請求項１に記載の振動片。
【請求項６】
前記第２の質量部は、前記第１の質量部の構成材料よりも比重の小さい材料で構成され
たことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一項に記載の振動片。
【請求項７】
前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、ＳｉＯ２、Ａｌ、Ａｌ
２Ｏ３、ＴｉＯ２、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、およびＰｔのいずれかを用い
て構成されたことを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一項に記載の振動片。
【請求項８】
前記第１の質量部の厚さは、前記第２の質量部の厚さよりも厚いことを特徴とする請求
項１ないし７のいずれか一項に記載の振動片。
【請求項９】
前記第１の質量部および前記第２の質量部は、前記振動腕の先端付近に設けられたこと
を特徴とする請求項１ないし８のいずれか一項に記載の振動片。
【請求項１０】
前記振動腕には、第１の電極層と第２の電極層との間に配置された圧電体層が形成され
たことを特徴とする請求項１ないし９のいずれか一項に記載の振動片。
【請求項１１】
前記振動腕は、前記第２の方向に複数並んで設けられ、隣り合う２つの前記振動腕が互
いに反対方向に屈曲振動することを特徴とする請求項１ないし１０のいずれか一項に記載
の振動片。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の振動片を用意する工程と、
前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方の質量を増減させて、前記
振動腕の共振周波数を調整する工程と、を有することを特徴とする周波数調整方法。
【請求項１３】
請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片を収納したパッケージと、を備えたことを特徴とする振動子。
【請求項１４】
請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片に接続された発振回路と、を備えたことを特徴とする振動デバイス。
【請求項１５】
請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の振動片を備えたことを特徴とする電子機器
。
【請求項１】
第１の方向と該第１の方向に直交する第２の方向とを含む平面上に形成される基部と、
前記基部から前記第１の方向に延出する振動腕と、を有し、
前記振動腕は、前記平面の法線方向に屈曲振動し、前記屈曲振動により圧縮または伸長
する第１の面と、前記第１の面が圧縮したときに伸長し前記第１の面が伸長したときに圧
縮する第２の面と、を有し、
前記第１の面に第１の質量部が設けられると共に、前記第２の面に第２の質量部が設け
られ、
前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、前記法線方向からの平
面視で、他方に対し非対向な部分を有することを特徴とする振動片。
【請求項２】
前記第１の質量部および前記第２の質量部は、前記法線方向からの平面視で前記第２の
方向に互いに隣り合って形成された部分を有することを特徴とする請求項１に記載の振動
片。
【請求項３】
前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、帯状に形成されたこと
を特徴とする請求項１または２に記載の振動片。
【請求項４】
前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、間隔を隔てて設けられ
た複数のブロック部を有することを特徴とする請求項１または２に記載の振動片。
【請求項５】
前記第１の質量部および前記第２の質量部は、帯状に形成され、且つ、前記法線方向か
らの平面視で互いに交差する部分を有することを特徴とする請求項１に記載の振動片。
【請求項６】
前記第２の質量部は、前記第１の質量部の構成材料よりも比重の小さい材料で構成され
たことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一項に記載の振動片。
【請求項７】
前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、ＳｉＯ２、Ａｌ、Ａｌ
２Ｏ３、ＴｉＯ２、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、およびＰｔのいずれかを用い
て構成されたことを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一項に記載の振動片。
【請求項８】
前記第１の質量部の厚さは、前記第２の質量部の厚さよりも厚いことを特徴とする請求
項１ないし７のいずれか一項に記載の振動片。
【請求項９】
前記第１の質量部および前記第２の質量部は、前記振動腕の先端付近に設けられたこと
を特徴とする請求項１ないし８のいずれか一項に記載の振動片。
【請求項１０】
前記振動腕には、第１の電極層と第２の電極層との間に配置された圧電体層が形成され
たことを特徴とする請求項１ないし９のいずれか一項に記載の振動片。
【請求項１１】
前記振動腕は、前記第２の方向に複数並んで設けられ、隣り合う２つの前記振動腕が互
いに反対方向に屈曲振動することを特徴とする請求項１ないし１０のいずれか一項に記載
の振動片。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の振動片を用意する工程と、
前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方の質量を増減させて、前記
振動腕の共振周波数を調整する工程と、を有することを特徴とする周波数調整方法。
【請求項１３】
請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片を収納したパッケージと、を備えたことを特徴とする振動子。
【請求項１４】
請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片に接続された発振回路と、を備えたことを特徴とする振動デバイス。
【請求項１５】
請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の振動片を備えたことを特徴とする電子機器
。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２０１１−２５９１２０（Ｐ２０１１−２５９１２０Ａ）
【公開日】平成２３年１２月２２日（２０１１．１２．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１３０７３１（Ｐ２０１０−１３０７３１）
【出願日】平成２２年６月８日（２０１０．６．８）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１２月２２日（２０１１．１２．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年６月８日（２０１０．６．８）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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