【課題】高速回転の際にも低速回転の際にも回転角度を精確に計測することができる磁気式ジャイロを提供すること。
【解決手段】３軸磁気センサ２１と、３軸加速度センサ２２と、メモリ３と、第１回転軸決定手段４１と、第２回転軸決定手段４２と、被測定体の回転角度を磁気ベクトルのデータを基に算出する第１回転角度算出手段５１と、被測定体の回転角度を磁気ベクトルのデータ及び加速度ベクトルのデータを基に算出する第２回転角度算出手段５２と、回転速度判別手段６と、高速モードのとき第１回転角度算出手段による算出結果を出力し、低速モードのとき第２回転角度算出手段による算出結果を出力する出力手段８とを有する磁気式ジャイロ１。 （もっと読む）

【課題】単独で３軸の角速度を測定できる簡易な構成のレートジャイロを提供する。
【解決手段】流体レートジャイロ１０は、機能性流体が循環する流路１４が形成された筐体１２と、流路に設けられ、機能性流体に流れを発生させるべく電圧が印加される電極部２４と、流路に設けられ、第１の軸まわりの筐体の回転運動に伴って生じる、機能性流体の流れの偏りに応じて出力が変化するように構成されている第１の角速度検出部２６と、流路に設けられ、第１の軸とは異なる第２の軸まわりの筐体の回転運動に伴って生じる、機能性流体の流れの偏りに応じて出力が変化するように構成されている第２の角速度検出部２８と、流路に設けられ、第１の軸および前記第２の軸と異なる第３の軸まわりの筐体の回転運動に伴って生じる、機能性流体の流れの偏りに応じて出力が変化するように構成されている第３の角速度検出部３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】角速度を検出することが可能な回転センサを提供する。
【解決手段】回転センサ３００は、センサ素子２０１〜２０８を含む。センサ素子２０１〜２０８は、カンチレバーＣＬ１〜ＣＬ８をそれぞれ含む。センサ素子２０１〜２０４は、基板１０１の表面の中央部近傍に配置される。センサ素子２０１〜２０４の外側にセンサ素子２０５〜２０８がそれぞれ配置される。センサ素子２０５のカンチレバーＣＬ５はセンサ素子２０１のカンチレバーＣＬ１と同じ方向を向き、センサ素子２０６のカンチレバーＣＬ６はセンサ素子２０２のカンチレバーＣＬ２と同じ方向を向き、センサ素子２０７のカンチレバーＣＬ７はセンサ素子２０３のカンチレバーＣＬ３と同じ方向を向き、センサ素子２０８のカンチレバーＣＬ８はセンサ素子２０４のカンチレバーＣＬ４と同じ方向を向く。 （もっと読む）

【課題】分解能が高い光ファイバジャイロを提供する。
【解決手段】本発明の光ファイバジャイロは、周回光路１０を構成する光ファイバであって励起光の入力によって周回光路１０を互いに逆方向に進行するレーザ光Ｌ１およびＬ２を発振させる光アンプ部１１ａを少なくとも一部に含む光ファイバ１１と、励起光を出射する半導体レーザ素子１４と、周回光路１０に配置され励起光を光ファイバ１１に伝播するＷＤＭカプラ１２と、周回光路１０に配置されレーザ光Ｌ１およびＬ２の一部を周回光路１０から取り出す光カプラ１３と、周回光路１０から取り出されたレーザ光Ｌ１およびＬ２の周波数差を検出するためのフォトダイオード１８とを備える。レーザ光Ｌ１およびＬ２の波長λにおけるＷＤＭ１２カプラの挿入損失Ｐ₁（ｄＢ）、および、波長λにおける光カプラ１３の挿入損失Ｐ₂（ｄＢ）のいずれか一方が他方の０．５倍以上で２倍以下である。 （もっと読む）

【課題】従来のガスレートジャイロは、１軸又は２軸の角速度を検出する構成であるので、３軸の角速度を検出するためには複数個必要となり、設置スペースが狭い対象には適用できないこともある。
【解決手段】本発明によるガスレートジャイロは、ケーシング１の中心にリング部２を設け、このリング部２に気体ポンプ３を取り付けるとともに、前記リング部２の外周側に前記リング部２の周方向に互いに９０°ずらして第１〜第４検出ブロックＤＢ１〜ＤＢ４を配置し、前記リング部２の吸排気孔２ａから排出されノズル孔５を通して流入するガス流９の偏向を前記第１〜第４検出ブロックＤＢ１〜ＤＢ４内の空間部６に設けた検出手段８により検出し、前記ケーシング１に加わった互いに直交する３軸の角速度を検出するようにした構成である。 （もっと読む）

【課題】従来の流体レートジャイロは、電極部と検出部とをセンシング流路内に配置しているので、これら電極部と検出部との間の電位差に伴う非一様な電界分布によって流体ジェットに偏流が生じてしまい、この偏流が角速度の検出に影響を及ぼしてしまう。
【解決手段】本発明による流体レートジャイロは、第１及び第２壁部５ａ，５ｂを有する流路壁５を空間部１ａ内に設けることで、空間部１ａ内にセンシング流路６と戻り流路７とを形成し、前記戻り流路７に電極部８を配置するとともに、前記センシング流路６に検出部１０を配置する。 （もっと読む）

【課題】 金属薄膜を発熱抵抗体および測温抵抗体に用い検出感度の向上した熱式流体流量センサを提供する。
【解決手段】 シリコン基板２上に発熱抵抗体３と発熱抵抗体３の温度を測定する発熱抵抗体用測温抵抗体４と、上流測温抵抗体５ａ、下流測温抵抗体５ｂと空気測温抵抗体６とが形成された構造となっており、上記発熱抵抗体３およびその引出配線内に浮島状の絶縁部が複数配置されている。 （もっと読む）

【課題】高い検出精度で生産性及び信頼性を向上させることが可能な熱線流速センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】熱線流速センサ５０は、中空部５６を有する絶縁基板５２と、絶縁基板５２上に形成された導電層５４からなり互いに絶縁されている第１及び第２の電極部６０、６２と、絶縁基板５２上に形成された導電層５４からなり中空部５６の開口領域の周囲の一部に沿って配置されると共に第１及び第２の電極部６０、６２を電気的に接続するワイヤ部５８とを含む。 （もっと読む）

【課題】従来の流体レートジャイロは、ガス流３を用いて角速度の検出を行う構造であるので、大口径のバイモルフ構造が必要となり、設置スペースに制限がある場合等に適用が難しかった。
【解決手段】本発明による流体レートジャイロは、空間部１ａ内に電界共役流体３１を封入し、センシング流路２５内の電極部２７により電界共役流体３１に電圧が印加されることで流体ジェット４０を発生させる。センシング流路２５の下流に検出部を配置し、ケーシングに角速度が加えられた際の流体ジェット４０の偏向により発生する検出部の出力変化に基づいて、角速度を求めるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 解決しようとする問題は、センサへガス流を供給するマイクロポンプが、センサの小型、簡素化の妨げになっているということである。
【解決手段】 本発明は、ガス流発生手段として磁気風現象を利用することを特徴としている。磁気風とは、常磁性のある気体に磁場を与えると、磁場に気体が引き寄せられるが、気体を加熱することによって常磁性が失われ、磁場の弱い方向への流れが生じることをいう。本発明は、この磁気風現象により生じたガス流を利用して、ガス流に対して角速度が作用したときに生じるガス流の偏向をヒートワイヤによって検出するものである。 （もっと読む）