【課題】本発明の目的は、支持基板の破損を防止するとともに、支持基板とプローブヘッドが有するプローブピンとを確実に接触させ、信頼性に優れる検査を行うことのできる検査方法および検査装置を提供すること。
【解決手段】複数の振動子９を支持する支持基板２００にプローブピン１７２を押し当て、振動子９の特性を検査する検査方法であって、支持基板２００の撓みの度合いを検出する検出工程と、検出工程で検出した支持基板２００の撓みの度合いに応じて、複数のプローブピン１７２によって支持基板２００に加えられる荷重の分布を設定する荷重設定工程と、複数のプローブピン１７２を備えているプローブヘッド１７０を準備する準備工程と、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】 脚の先端の斜面によって、共振周波数を調整するためのレーザーが、反射され安定した周波数調整が行えない。
【解決手段】 基部と、基部より延出する脚とを有する圧電振動片であり、脚は、表面と裏面と第一の側面と第二の側面とを有する角柱状で、表面側の長さが裏面側の長さよりも短く、先端に斜面を有しており、脚の表面、裏面、第一の側面、第二の側面に脚を振動させる励振電極が形成され、脚の裏面と第一の側面と第二の側面に共振周波数を調製する調整膜が形成された圧電振動子の製造方法であって、脚の表面側からレーザーを照射し、調整膜を除去することで圧電振動片の共振周波数を調整する圧電振動子の製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】 脚を有する圧電振動子において、脚の先端付近に調整膜を成膜して、その一部を除去することで周波数を調整することができるが、調整膜の成膜においての製造工程のばらつきがあり、調整膜の成膜される長さがばらつき、その長さのばらつきが、温度特性曲線をいちじるしく変化させてしまう。
【解決手段】 脚に脚を振動させる励振電極を形成する工程と、脚に共振周波数を調製する調整膜を形成する工程と、調整膜の少なくとも一部を除去し所定の形状とする工程と、調整膜の一部を除去することで圧電振動子の共振周波数を調整する工程とを有する圧電振動子の製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜の中心部と外縁部との間で周方向に亘って膨張収縮する輪郭振動が互いに同相で起こるように各々構成された２つの振動体を連結部により連結した振動子において、前記輪郭振動が連結部によって阻害されることを抑制すること。
【解決手段】互いに同相で輪郭振動を起こすディスクレゾネータ３１、１３の間に音叉型振動体１１を介在させ、この音叉型振動体１１の振動腕部１４、１４の夫々にディスクレゾネータ３１、３１を接続する。そして、音叉型振動体１１について、ディスクレゾネータ３１、３１の膨張収縮を吸収するように、これらディスクレゾネータ３１、３１に対して逆相で振動させる。 （もっと読む）

【課題】シャッターを開状態から閉状態とするのにかかる時間をほぼ一定に保つことができるシャッターおよび当該シャッターを用いた周波数調整方法を提供すること。
【解決手段】開閉自在なシャッター装置１は、ベース２とシャッター部３とを連結する形状記憶合金４１と、形状記憶合金４１に電圧を印加する電圧印加手段４２と、形状記憶合金４１を冷却する冷却手段４３と、形状記憶合金４１の温度を検知する温度検知手段４４と、電圧印加手段４２および冷却手段４３の駆動を制御する制御手段４５と、ベース２に対してシャッター部３を付勢する付勢手段４６とを有している。また、制御手段４５は、開状態における形状記憶合金４１の温度が所定温度となるように、温度検知手段４４の検知結果に基づいて電圧印加手段４２および前記冷却手段４３の少なくとも一方の駆動を制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、小型化を図ることのできるシャッターおよびシャッター集合体を提供すること。
【解決手段】シャッター装置１は、開状態と閉状態とを切り替えることができる。このようなシャッター装置１は、磁性体材料で構成された芯材３１１、３２１および芯材３１１、３２１に巻き付けられたコイル３１２、３２２を備える電磁石３１、３２と、コイル３１２、３２２の外側であって芯材３１１、３２１の一端部と対向するように配置され、電磁石３１、３２から発生する磁力の作用によって、電磁石３１、３２へ接近する方向または電磁石３１、３２から離間する方向へ移動する移動体２と、移動体２に支持され、移動体２の移動方向に延在するシャッター部４とを有し、芯材３１１、３２１の横断面は、シャッター部４の幅方向に短軸を有する扁平形状をなしている。 （もっと読む）

【課題】従来技術と比較して電極形成工程の工数の削減および製造装置の簡略化ができ、低コストな圧電振動片、圧電振動片の製造方法、圧電振動子、この圧電振動子を用いた発振器、電子機器および電波時計を提供する。
【解決手段】一対の振動腕部１０，１１に形成された励振電極１３，１４と、外部に電気的に接続されるマウント電極１６，１７と、励振電極１３，１４とマウント電極１６，１７とを接続する引き出し電極１９，２０と、を備えた圧電振動片４であって、振動腕部１０，１１には貫通孔８，９が形成されており、励振電極１３，１４は、貫通孔８，９の内側面８ａ，８ｃ，９ａ，９ｃおよび内側面８ａ，８ｃ，９ａ，９ｃと対向した外側面１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂに形成され、マウント電極１６，１７および引き出し電極１９，２０は、基部１２の一方側の主面Ｆに形成されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】ウエハの接合時にウエハ間で発生するアウトガスを外部に放出しやすくすることができるとともに、接合されたウエハを良好に切り出して、歩留まりを向上できるウエハ、およびそのウエハを用いたパッケージ製品の製造方法を提供する。
【解決手段】リッド基板用ウエハ５０に、このリッド基板用ウエハ５０の径方向中心５０ａを通り、径方向に延びる複数の仮想直線Ｖ１、Ｖ２上に沿ってそれぞれ溝部２２を形成し、これら溝部２２を径方向に分割構成し、各溝部２２が互いに接触しないように配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】第１基板の反りを低減して、歩留まりを向上させるとともに、パッケージの機械的強度を向上させることができるパッケージの製造方法、パッケージ、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。
【解決手段】充填工程と第２研磨工程との間に、矯正治具によりベース基板用ウエハ４０を厚さ方向両側から挟み込んだ状態で、加熱する矯正工程を有し、矯正治具は、ベース基板用ウエハ４０とガラスフリット３８との熱膨張係数差に基づくベース基板用ウエハ４０の反りの向きと、逆向きに反っている。 （もっと読む）

【課題】生産効率の向上及び材料ロスの低減を図ることができるパッケージの製造方法、パッケージ、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。
【解決手段】凹部形成工程では、金属ピン３７が配置される貫通孔２１，２２と、貫通孔２１，２２から第１面４０ａに向けて貫通孔２１，２２に対して漸次拡径する拡径部４１と、をベース基板用ウエハ４０の厚さ方向に沿って形成し、充填工程では、拡径部４１にもガラスフリットを充填する。 （もっと読む）

【課題】 製造コストを低減させ且つ正確な周波数で発振する水晶デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】水晶デバイスの製造方法は、電極と枠体とを含む水晶フレームを複数有する水晶ウエハを用意する工程と、ベースを複数有するベースウエハを用意する工程と、開口部を含む第１リッドを複数有する第１リッドウエハを用意する工程と、開口部を封止する第２リッドウエハを用意する工程と、水晶ウエハ、ベースウエハおよび第１リッドウエハを接合する第１接合工程と、第１接合工程後に水晶振動片の振動周波数を測定しこの測定結果に基づいて第１リッドの開口部を介して電極の厚みを調整する調整工程と、調整工程後に、第２リッドウエハを第１リッドウエハに接合する第２接合工程と、個々の水晶デバイスに分割する工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】小型化を実現しつつ、品質を高め、生産性を向上させることができる表面実装水晶振動子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】矩形のセラミックベース１の角部に形成された貫通孔の壁面にスルー端子５ｘが形成され、セラミックベース１の表面に水晶片２を保持する水晶保持端子４の引出端子４ａが対角のスルー端子５ｘに接続すると共に、セラミックベース１の裏面ではスルー端子５ｘに接続する実装端子が形成されている表面実装水晶振動子である。 （もっと読む）

【課題】キャビティ内の真空度の向上を図ることができるパッケージ及びパッケージの製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器、並びに電波時計を提供する。
【解決手段】キャビティＣ内には、加熱されることで活性化して、活性化するための活性化温度が異なる複数種類のゲッター材２０，２１が配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】シャッタ駆動用ソレノイドに流す駆動電流の変化から、シャッタの開閉動作を検出できるシャッタ機構の動作検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】ソレノイドの駆動時にコイルに流れる駆動電流を連続的に測定し、駆動電流が初期値から上昇した後、一旦低下し、定常値まで上昇する波形のくぼみの有無を判定し、波形のくぼみの有無によってシャッタの開閉動作を検出する。そのため、シャッタの開閉状態を検出するための特別なセンサを設けずとも、ソレノイドの駆動電流からシャッタの位置を検出できる。 （もっと読む）

【課題】多数の素子が密に配置されたウエハを対象として、同時に複数の素子の周波数調整を精度よく行うことが可能な周波数調整装置を提供する。
【解決手段】複数の素子が密に配置されたウエハ１０を、搬送手段により一方向に搬送しながら、ウエハに対してイオンビームを照射し、ねらいのエリアのイオンビーム照射時間をシャッタで調整することにより、ねらいのエリアの周波数を調整する。シャッタ１４ａ，１４ｂとウエハ１０との間に配置したパターンマスク１５のマスク穴１５ａ，１５ｂをエリア毎に独立に設けると共に、マスク穴をウエハ搬送方向と直交する方向に多列にかつウエハ搬送方向に交互にずらして設ける。マスク穴を個別に開閉できるようにシャッタ１４ａ，１４ｂを各マスク穴に対応して設け、ウエハ搬送方向に直交する方向の１列のエリア１０ａの周波数調整を複数段階で行う。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変化の影響を抑えた周波数調整方法により周波数が精緻に調整された圧電振動片を備える圧電デバイス、およびその製造方法に関するものである。
【解決手段】周波数調整装置５０の補正周波数データ生成部７０は、記憶部７１に予め記憶されているワーク２０'近傍の温度の温度変化データと実際のイオンビーム照射時間データとにより、測定周波数データが得られた時のワーク２０'近傍の温度を推定し、その温度と、記憶部７１に予め記憶された圧電振動片の温度特性データとにより、常温時の周波数データを演算部７２によって演算するとともに常温時における目標周波数と比較して周波数補正量を演算する。さらに、その周波数補正量に基づく周波数調整が終るときのワーク２０'近傍の温度を上記温度変化データから推定して、その温度における周波数補正量である補正周波数データを生成し制御部１２０に送信する。 （もっと読む）

【課題】 簡便な構成で生産効率に優れた圧電振動デバイスの周波数調整装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 圧電振動デバイスの周波数調整装置は、真空室１と、真空室内に設けられたイオンガン２と、水晶振動子（圧電振動デバイス）３と、水晶振動子を搭載するパレット４と、パレット４を搬送する搬送機構とを有し、真空室外部には周波数測定部６や真空ポンプ７（図示せず）あるいは不活性ガス供給部２３等を有する構成である。パレットの下方にイオンガン２が配置されており、当該イオンガン２はアクチュエータ２５により、移動可能となっている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、周波数変化を最小にとどめることができる圧電振動子の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】振動腕１６を有し、振動腕１６に金属膜３４及び励振電極膜２４が形成された圧電振動片１０を用意する。金属膜３４にレーザービームで凹凸を形成することで、金属膜３４の表面積を拡大する。その後、圧電振動片１０をパッケージ４０に取り付ける。その後、金属膜３４を、イオンビームによってエッチングする。その後、パッケージ４０の内部空間を気密に封止する。 （もっと読む）

【課題】 効率的で安定したイオンビームを用いた圧電振動子の周波数調整装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 周波数調整装置は、真空室１と、真空室内に設けられた斜めに配置されたイオンガン２と、水晶振動子３と、水晶振動子を搭載するパレット４と、パレット４を搬送する搬送機構と、捕捉体２４を有し、真空室外部には周波数測定部６や真空ポンプ７あるいは不活性ガス供給部２３等を有する構成である。イオンガンの複数のグリッド開口２０ａは全体として略菱形状に配置された構成で、各グリッド開口２０ａはその平面形状が楕円形状となっている。 （もっと読む）

【課題】オフされているグリッドからのビームの漏洩を抑制し、更にニュートラライザが良好な中和効果を有する荷電粒子照射装置、これを用いた周波数調整装置及び荷電粒子制御方法を提供する。
【解決手段】イオンガン１１は、ガス導入部１１４よりＡｒガスを本体１１１内に導入し、フィラメント１１３とアノード１１２との間で直流熱陰極放電をおこし、Ａｒのプラズマを生成する。次に、２つ分割された構成を有する、分割加速グリッド１１６ａ、１１６ｂに、イオンを射出する方向に電圧勾配を与えて、イオンを射出させる。イオンビームをオフする側の分割加速グリッドに正電圧を印加し、更に減速グリッド１１７に負電圧を印加する。これにより、停止している側のグリッドからのイオンビームの漏洩を抑制し、更にニュートラライザの中和効果を良好とすることができる。 （もっと読む）