【課題】本発明は、振動センサ素子をパッケージ内に配置した振動型センサ装置に関し、振動型センサ装置の小型低背化に伴う検出レベルを安定させることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、パッケージ１内に下蓋５上で振動可能に懸架された振動型センサ素子２と、振動型センサ素子２を制御する制御回路素子３を収納した振動型センサ装置において、振動型センサ素子２の接続部６と支持部７の境界部分、あるいは、この境界部分と対峙する下蓋５部分に拡開部１９を設け、この拡開部１９を接着剤２０の非流入部分とした。 （もっと読む）

【課題】外部からの外乱振動の影響を抑制し、かつ外乱振動によって生じる不要な回転力に起因するオフセットドリフトを低減する角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度検出素子１１を収納するパッケージ１０と、パッケージ１０に接続されたリード端子１７と、を有し、リード端子１７は、パッケージ１０に接続された第１の端部と、外部と接続するための第２の端部１３を有し、第１の端部と第２の端部１３の間に、所定の延在方向に伸びる延在面を有する板状の延長部１６を有し、リード端子１７の延在面は、第１の軸を含み、且つ、基部に対して直交する面に対して、直交している。 （もっと読む）

【課題】振動子の重心と支持部材による支持の中心とを一致させることで、外来振動に起因するノイズの低減と、安定した振動子の支持を実現した振動子デバイスを提供する。
【解決手段】パッケージ４０の内部で弾性材からなる支持部材２０により振動子１０が支持された振動子デバイス１であり、振動子１０と異なる部材で形成した錘５０を振動子１０上に設けることで、支持部材２０による振動子１０の支持の中心位置Ｐ２と、錘５０が設けられた振動子１０の重心調整位置Ｐ３とを一致させる構成とした。これにより、外来振動や衝撃に起因するノイズを低減して、安定した信号を出力する振動子デバイスを提供することが出来る。 （もっと読む）

【課題】角速度などの物理量の検出精度を向上させることが可能な振動片、この振動片を備えたジャイロセンサー及び電子機器の提供。
【解決手段】センサー素子１は、互いに直交するＹ軸方向とＸ軸方向とにより規定される平面に沿った主面１０ａ，１０ｂを有する平板状の基部１０と、基部１０からＹ軸方向に沿って延設された一対の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂと、基部１０を挟んで駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの反対側に、基部１０からＹ軸方向に沿って延設された一対の検出用振動腕１２ａ，１２ｂと、を備え、基部１０のＹ軸方向の長さをＬ１、一対の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂのＹ軸方向の長さをＬ２としたときに、１．２≦Ｌ１／Ｌ２≦４．２、であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】実装基板に実装した際の導電性固定部材同士の接触を防止し、正しい駆動を行うことのできる振動子および振動デバイスを提供すること
【解決手段】振動子２は、振動体４、振動体４を支持する第１、第２支持部５１、５２および第１、第２支持部５１、５２と振動体４を連結する４つの梁６１、６２、６３、６４を有する振動片３と、振動体４に設けられた電極７１０〜７４０と、第１、第２支持部５１、５２に設けられ、梁６１、６２、６３、６４に設けられた配線７１２〜７４２を介して電極７１０〜７４０と電気的に接続された端子７１２〜７４２とを有し、隣り合う一対の端子の間には、所定方向に離間するとともに、所定方向と交わる方向に延在する複数の溝５１２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】角速度などの物理量の検出精度を向上させることが可能な振動片、この振動片を備えたジャイロセンサー及び電子機器の提供。
【解決手段】センサー素子１は、Ｙ軸方向及びＹ軸方向と直交するＸ軸方向に平行な平面（ＸＹ平面）に沿った主面１０ａ，１０ｂを有する平板状の基部１０と、基部１０のプラスＹ側からプラスＹ軸方向に沿って延設された一対の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂと、基部１０を挟んで駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの反対側に、基部１０のマイナスＹ側からマイナスＹ軸方向に沿って延設された一対の検出用振動腕１２ａ，１２ｂと、を備え、基部１０の主面１０ａ，１０ｂには、一対の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂと一対の検出用振動腕１２ａ，１２ｂとを結ぶ仮想線１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄと交差するように溝部１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂが設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、外乱振動を抑制して検出精度を損なわずに小型化した慣性力センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の慣性力センサは、角速度検出素子６１と、この角速度検出素子６１を上面に中空保持する載置部６３とこの載置部６３に配線パターン６４を介して接続された外方部６５とからなる防振手段６２と、角速度検出素子６１からの出力信号を処理するＩＣ６７と、角速度検出素子６１、防振手段６２およびＩＣ６７を収納するパッケージ６８とを備え、パッケージ６８の内底面に加速度検出手段６６を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】外部ケースの底壁部に呼吸穴を形成したものにあって、回路基板への実装時に防湿剤が呼吸穴に侵入することを効果的に防止する。
【解決手段】角速度センサ装置（２１）は、内部ユニットを外部ケース（２３）内に収容して構成され、回路基板上に実装される。外部ケース（２３）の下カバー（３２）に、空気抜き用の４個の呼吸穴（３６）を形成する。下カバー（３２）の下面部に、回路基板上に塗布された防湿剤が、該下カバー（３２）の下面部に付着した際に、その防湿剤を呼吸穴（３６）以外の部位に誘導するための溝部（３７）を、下カバー（３２）の四辺部寄り部位に呼吸穴（３６）形成部分を取囲むように矩形枠状に形成する。 （もっと読む）

【課題】検出質量体が駆動質量体と弾性的に分離されており、駆動質量体の駆動振動によって検出質量体が駆動変位相当の変位を伴わない構造を有し、かつ、製造ばらつきに起因する構造的非対称性により発生する検出質量体の変位を相殺する手段を有する振動型ジャイロの提供。
【解決手段】Ｘ−Ｙ平面の第３象限内及び第４象限内には、それぞれ、検出質量体１４の櫛歯電極４４に対向する第１の補正用櫛歯電極５０及び第２の補正用櫛歯電極５２が基板２に固定配置される。第１の補正用櫛歯電極５０及び第２の補正用櫛歯電極５２にＡＣ電圧を印加して静電引力を発生させることにより、角速度入力がゼロのときに発生する漏れ回転変位を相殺することができる。 （もっと読む）

【課題】複数の振動腕を音響結合させて、１つの発振回路でそれぞれの振動腕の振動を励起でき、物理量検出の感度向上が図れる物理量検出素子を提供する。
【解決手段】ジャイロ素子（物理量検出素子）１は、基部２からＸ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した連結部３１と、連結部３１の付け根６からＹ軸に沿った方向またはＸ軸に対して斜め方向へ延出し駆動信号電極７を有して駆動振動をする第１駆動振動腕４１乃至第８駆動振動腕４８と、基部２からＸ軸に対して斜め方向へ延出し検出信号電極８を有する第１検出振動腕５１乃至第４検出振動腕５４と、を備え、第５駆動振動腕４５と第１駆動振動腕４１とが逆位相で振動し、第６駆動振動腕４６と第２駆動振動腕４２、第７駆動振動腕４７と第３駆動振動腕４３、および第８駆動振動腕４８と第４駆動振動腕４４、のそれぞれも逆位相で振動し、Ｓ字振動が可能である、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の振動腕を音響結合させて、１つの発振回路でそれぞれの振動腕の振動を励起でき、物理量検出の感度向上が図れる物理量検出素子を提供する。
【解決手段】ジャイロ素子（物理量検出素子）１は、基部２からＸ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した連結部３１と、連結部３１の付け根６からＹ軸に沿った方向またはＸ軸に対して斜め方向へ延出し駆動信号電極７を有して駆動振動をする第１駆動振動腕４１乃至第８駆動振動腕４８と、基部２からＸ軸に対して斜め方向へ延出し検出信号電極８を有する第１検出振動腕５１乃至第４検出振動腕５４と、を有し、第１駆動振動腕乃至第４駆動振動腕におけるＺ軸方向の第１面外振動の周波数と、第５駆動振動腕乃至第８駆動振動腕におけるＺ軸方向の第２面外振動の周波数と、の差が、駆動振動の周波数と第２面外振動の周波数との差である第２離調周波数よりも大きい、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動型センサ素子をパッケージ内に配置した振動型センサ装置に関し、振動型センサ装置の小型低背化に伴う検出精度の劣化を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、パッケージ１の開口部１ａに振動型センサ素子２及びこれを制御する制御回路素子３を配置して上蓋４で封口する振動型センサ装置において、上蓋４を金属で成形し、この上蓋４に自己共振周波数を調節する自己共振周波数調整手段１２を設けた。 （もっと読む）

【課題】複数の振動腕を音響結合させて、１つの発振回路でそれぞれの振動腕の振動を励起でき、物理量検出の感度向上が図れる物理量検出素子を提供する。
【解決手段】ジャイロ素子（物理量検出素子）１は、基部２と、基部２からＸ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した第１連結部３１および第２連結部３２と、駆動信号電極７を有する駆動振動腕４と、検出信号電極８を有する検出振動腕５と、を備え、駆動振動腕４は、第１連結部３１の付け根６ａまたは第２連結部３２の付け根６ｂからＹ軸に沿った方向またはＸ軸に対して斜め方向へ延出した、第１駆動振動腕４１乃至第８駆動振動腕４８を有し、検出振動腕５は、基部２からＹ軸に沿った方向またはＸ軸に対して斜め方向へ延出した、第１検出振動腕５１乃至第８検出振動腕５８を有している、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】慣性センサを提供する。
【解決手段】慣性センサは、クロスした４個の構成の４つの相互接続されたセンサ素子５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃ、５０Ｄを含んでいる。各センサ素子は、フレーム、５２Ａ，５２Ｂ、５２Ｃ、５２Ｄおよびフレーム内にサスペンドされている共振器５４Ａ、５４Ｂ、５４Ｃ、５４Ｄを含んでいる。隣接するセンサ素子のフレームが、互いに逆位相で動くことを可能にするが、互いに同位相で動くことを実質的に防止するように、センサ素子は配置されている。センサ素子は、横方向に連結された配置、縦方向に連結された配置、または完全に連結された配置で構成されている。一組の対のセンサ素子は、縦方向に連結され得る。 （もっと読む）

【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサ及びこれに用いられる角速度センサ素子に関し、検出レベルの向上を目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明は、一端が固定部９に接続され他端が錘部１０に接続された駆動アーム１１からなる角速度センサにおいて、駆動アーム１１の形状を固定部９と錘部１０を結ぶ方向と直交する方向に延びるアーム辺１１ａ，１１ｂの折り返し構造としたものである。 （もっと読む）

【課題】接着剤同士の凝集の問題を解消してパッケージ内の複数の電子部品の位置ずれによる問題を無くしたパッケージ部品を構成する。
【解決手段】パッケージ部品１０１は、パッケージ本体２２と、その内部に収納されたセンサチップ３０及びＩＣチップ３１を備えている。パッケージ本体２２は、内底面と内側壁とにより構成される中空部２３を備えている。パッケージ本体２２の内底面には凹部２４が形成されている。センサチップ３０は凹部２４に第１の接着剤３３で接着固定されている。ＩＣチップ３１は、凹部２４以外の領域に、第２の接着剤３４で接着固定されている。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができるセンサー素子、センサー素子の製造方法およびセンサーデバイスを提供すること、また、かかるセンサーデバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー素子は、基部と、前記基部から延出され、通電により駆動振動する駆動用振動腕と、基部から延出され、駆動用振動腕の駆動振動に伴って振動する調整用振動腕２４１と、駆動用振動腕に加えられた物理量に応じて信号を出力する検出用電極と、調整用振動腕２４１に設けられ、検出用電極に電気的に接続され、振動腕２４１の振動に伴って検出用電極とは逆極性の電荷を出力する調整用電極５５１、５５３とを有し、調整用電極５５１は、検出用電極に電気的に接続された共通部６０と、共通部６０から分岐するとともに調整用振動腕２４１の延出方向に沿って並んで設けられた複数の分岐部６１とを備える。 （もっと読む）

【課題】別部品を用意することなく、検出精度が低下することを抑制することができる角速度センサ装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】隣接するリード３０がケース２１から突出している部分において固定タイバー３１によって連結されているものを備えるケース２１を用意し、ケース２１に接合部材４０を介してセンサ部１０を搭載する。その後、固定タイバー３１の一部をリード３０に残しつつカットしてリード３０を分離することにより、センサ部１０をリード３０のうちケース２１から突出する部分および固定タイバー３１の残部にて構成されるリード部３２の共振周波数に対する振動を吸収する動吸振器として作用させるカット工程を行う。 （もっと読む）