【課題】密閉空間内に形成されるゲッター膜が形成されたＭＥＭＳデバイスにおいて、ゲッター膜を電気的に安定化させることによりＭＥＭＳデバイスの性能劣化を防止する。
【解決手段】
密閉空間内に形成された可動部と固定部を備えたＭＥＭＳデバイス１００であって、その密閉空間が、凹部３４，３６ａ，・・・，３６ｆが形成されたガラス基板３０，３２とそのＭＥＭＳデバイス１００の母材（振動子）１０によって形成されている。さらに、その密閉空間内に形成された任意の連続するゲッター膜４０の一部４０ｃが、ＭＥＭＳデバイス１００の母材１０を介して固定部の任意の１つ又は複数の一定電位のみに、又はグラウンド電位のみに接続している。 （もっと読む）

【課題】 簡単な製造プロセスで製造できながらも、基板垂直方向のいずれの向きに物理量が作用したかを検知すること。
【解決手段】 可動電極１４８ａは、ｚ軸方向（基板垂直方向）に変位可能である。可動電極１４８ａと固定電極１３２の基板対向面１４７ａ、（１３１ａ、１３１ｂ）は基板１２０に平行な平坦状である。これらの基板対向面はｚ軸方向の位置が等しい。両電極１４８ａ、１３２の検出面はｚ軸方向に伸びている。可動電極１４８ａの検出面１４９ａ−１は全体が平坦である。固定電極１３２の検出面は、基板１２０と離反する側に位置するとともに可動電極１４８ａの検出面１４９ａ−１との距離が長い第１平面部１３３ａと、基板１２０側に位置するとともに上記距離が短い第２平面部１３３ｂで構成されている。 （もっと読む）

【課題】センサ並びに慣性測定系又はこれに類するシステムの複雑さ及びコストを低減する。
【解決手段】２軸速度感知ＭＥＭＳシステムが提供される。当該システムは、２つのプルーフマス、２つの駆動要素、２つの駆動感知要素、２つの直交する基板電極の組及び処理装置を含む。処理装置は、２つのプルーフマス、２つの駆動感知要素又は2組の基板電極と信号を通信する。処理装置は、２つのプルーフマス、２つの感知要素又は２つの基板電極から受信した信号に基いて、２つの直交軸周りの回転速度を決定する。１つの軸の周りの回転は基板の面内におけるプルーフマス動作を引き起こす。直交する軸の周りの回転はプルーフマスについての面外のプルーフマス動作を引き起こす。感知方式は、これらプルーフマス動作を個別に検出して、回転速度を推測することができる。 （もっと読む）

【課題】最低１個の単振動体の１軸単振動の簡単な構造で、３軸の角速度検出もしくは加速度検出を実現する。
【解決手段】基部に対して浮遊した状態で１軸方向に変位可能に弾性支持体１１５により支持された振動子１１７と、振動子１１７の変位を検出する変位検出部とを備えた慣性センサ１において、振動子１１７の振動がＺ軸方向の単振動であり、振動子１１７の振動座標系の基準軸である直交座標系のＸ軸、Ｙ軸および前記Ｚ軸を、それぞれずらして、新たな基準軸のｘ軸、ｙ軸およびｚ軸を設け、振動子１１７の１周期の中の少なくとも２箇所でｘ軸、ｙ軸およびｚ軸における振動子１１７の位置座標を検出し、ｘ軸、ｙ軸およびｚ軸における検出した２箇所の位置座標に基づいて差分ベクトル（Δｘ，Δｙ，Δｚ）を算出し、差分ベクトルにより角速度もしくは加速度を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ジャイロセンサの構造および回路を複雑にすることなく、振動子に与えられた角速度および振動子の回転方向を検出することができる振動型ジャイロセンサを提供する。
【解決手段】駆動部の駆動信号の位相と検出部の検出信号の位相との位相差に基づいて振動子２０に与えられた角速度を求める振動型ジャイロセンサにおいて、検出部として４つの磁気センサ２２、２４、２６、２８を互いに離間させて２行２列に配列したものを使用し、４つの磁気センサの配列体の対角線に沿って振動子を振動させつつ、４つの磁気センサの差分信号を検出するとともに、４つの磁気センサの中間部における前記差分信号のゼロクロス点の、４つの磁気センサの間の中心時間点に対する正負に基づいて、振動子の回転方向を検出する。 （もっと読む）

【課題】動作不良を起こさず、応答性の低下がない、高出力、広ダイナミックレンジの慣性センサを提供することを可能とする。
【解決手段】支持部１０３−１〜１０３−４に一端が支持された弾性支持体１０２−１〜１０２−４と、前記弾性支持体１０２−１〜１０２−４の他端側に支持された振動子１０１−１、１０１−２とを有する慣性センサ素子１１を複数備え、前記各慣性センサ素子１１で検出された出力値が加算されて出力されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動子の重心が平面内を安定して振動するように面外振動を抑制し、面内の安定した並進運動を可能とする。
【解決手段】第１基板１１と、第１基板１１に形成された構造体形成層１３と、構造体形成層１３に形成された第２基板１５とで形成されたもので、構造体形成層１３の一部で形成された複数の支持部１０３−１〜４と、各支持部１０３−１〜４のそれぞれに一端側が支持されるように構造体形成層１３の一部で形成された支持弾性体１０２−１〜４と、各支持弾性体１０２−１〜４の他端側に支持されるように第１基板１１から第２基板１５までの一部で形成された第１、第２振動子１０１−１、２と、振動子の変位を検出して信号を出力する変位検出部とを備え、第１、第２振動子１０１−１、２の重心Ｇ１、Ｇ２と、各支持弾性体支持弾性体１０２−１〜４の支持部側および振動子側の支持点とが同一平面上に配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

振動センサによってヨーレートを測定するための装置であって、振動センサの振動は容量性駆動部材によって励起され、ある軸における振動センサの回転は、別の軸においてコリオリ力によって励起され、容量性測定部材によって測定され、駆動部材の固定電極には励磁電圧が供給され、この励磁電圧の周波数は、振動センサの共振周波数または低調波に相当し、励起された振動を測定するために用いられる容量性部材に第１の測定周波数を有する交流電圧が供給され、この第１の測定周波数は励磁電圧よりも高く、測定部材の固定電極には、第２の測定周波数を有する交流電圧が供給され、この第２の測定周波数は第１の測定周波数とは異なっており、かつ励磁電圧よりも高い、および／または励磁電圧に基づいて振動励起をある方向において引き起こす駆動部材に、別の方向において励起を引き起こす別の駆動部材に供給される励磁電圧に対して逆位相である励磁電圧が供給される。
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【課題】慣性センサのＳＮ比を高めるとともに小型化を可能とする。
【解決手段】ＸＹ面内で一つの基準振動をする駆動構造体１１と、前記駆動構造体１１のＸ軸上およびＹ軸上のそれぞれの原点に対して対称な位置に一組ずつ配置された複数の検出軸を持つ力検出構造体１２（１２−１〜１２−４）とを備え、前記力検出構造体１２が少なくとも一つの基準振動に直交する方向の検出軸を含む複数の検出軸を有することで３軸の角速度および３軸の加速度を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 構造が単純な多軸角速度センサを実現する。
【解決手段】 磁石２６０上に支持部材２５０、台座２４０、板状構造体２３０を配置する。板状構造体２３０は、中央部２３１、可撓部２３２、周囲部２３３からなり、周囲部２３３は台座２４０上に固定される。可撓部２３２は可撓性を有し、中央部２３１はＸＹＺ軸方向に移動可能な状態で懸架される。磁気ヘッド２５１，２２１間に、Ｚ軸方向を向いた磁束が形成される。中央部２３１の上面（ＸＹ平面）には、Ｘ方向およびＹ方向を向いた導電路が形成される。Ｘ方向導電路に電流を流すと、Ｙ方向にローレンツ力が作用し、中央部２３１がＹ軸方向に運動する。このとき、Ｚ軸まわりの角速度ωｚが作用すると、Ｘ軸方向にコリオリ力Ｆｘが作用し、中央部２３１はＸ軸方向に変位し、Ｙ方向導電路にωｚに応じた起電力が発生する。 （もっと読む）

【課題】角速度センサ同士の相対的な実装ずれを抑えることで、検出感度を向上させることを可能とする。
【解決手段】基板１０上の支持部に一端側が支持された弾性支持体と、弾性支持体の他端側に支持されたもので第１基板１００に対して変位可能な振動子を有し、振動を検出する方向が単軸方向の角速度センサを複数備えたもので、複数の角速度センサは、第１軸に感度を持つ第１角速度センサ１１と、第１軸に直交する第２軸に感度を持つ第２角速度センサ１２と、第１軸と第２軸の両方に直交する第３軸に感度を持つ第３角速度センサ１３とからなり、第１〜第３角速度センサ１１〜１３が基板１０上に同一工程で形成されたものからなる。 （もっと読む）

【課題】振動子が駆動する際の不要な回転方向の運動を低く抑えることで、検出精度と検出感度を高めることを可能とする。
【解決手段】第１基板１００上の支持部１０３に一端側が支持された弾性支持体１０２と、第１基板１００から離間して弾性支持体１０２の他端側に支持された振動子１０１と、振動子１０１の変位を検出して信号を出力する変位検出部（検出電極１０８、１２０）とを備えた慣性センサ１において、振動子１０１上部に発生するローレンツ力をＦｕ、振動子１０１下部に発生するローレンツ力をＦｄとし、振動子１０１の重心から、振動子１０１の支持点までの距離をＬｊ、振動子１０１上部の駆動点までの距離をＬｕ、振動子１０１下部の駆動点までの距離をＬｄとして、（Ｌｕ−Ｌｊ）×Ｆｕ＝（Ｌｄ＋Ｌｊ）×Ｆｄなる関係式を満たすとともに、振動子１０１に薄膜磁性体１１０が形成されているものである。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で効率よく漏れ振動を抑制することができる機構を備えた、電磁駆動方式の角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度センサ９９は、コリオリ力を検出する電磁駆動式角速度センサであって、固定部材４と、固定部材４に対して第１の方向１に変位可能なように固定部材４に支持された振動質量体１０と、振動質量体１０に対して第１の方向１に交差する第２の方向２に変位可能なように振動質量体１０に支持された検出質量体１１と、振動質量体１０に形成され、かつローレンツ力により振動質量体１０を第１の方向１に変位させるための駆動配線１２と、振動質量体１０に形成され、第１の方向１に延在する変位調整配線１３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 ヌル電圧や他軸感度の発生が少なく、感度のばらつきも少ない、駆動回路が１つで構成可能な、小形で低価格の２軸検出型の振動ジャイロ用振動子を提供すること。
【解決手段】 ２軸方向の角速度を検出する振動ジャイロ用振動子１０において、１つの駆動振動と２つの検出振動の共振周波数を各々異ならせ、駆動振動の共振周波数は、２つの検出振動の共振周波数の中間に設定する。 （もっと読む）

【課題】振動子と検出電極との間のギャップ変位を検出する容量検出型センサ素子において、挟ギャップに対応して良好な検出感度を実現しつつ、その場合であっても振動子の貼り付きの発生を回避し得るようにする。
【解決手段】外力で変位するように支持される振動子１１と、前記振動子１１と所定間隔を持って対向する検出電極２１とを備え、これらの間の静電容量変化によって前記振動子１１の変位を検出するように構成された容量検出型センサ素子において、前記振動子１１における前記検出電極２１との対向面または前記検出電極２１の前記振動子１１との対向面の少なくとも一方に絶縁膜１１ａを形成し、これにより振動子１１の変位で当該振動子１１が検出電極２１に接触しても、その接触箇所の貼り付き発生を防止する。 （もっと読む）

振動式ジャイロスコープを備えるセンサ装置の監視方法であって、該振動式ジャイロスコープは共振器であり、かつ制御回路の一部であり、該制御回路は前記振動式ジャイロスコープを、固有周波数のエネルギー信号を供給することによって励振し、前記振動式ジャイロスコープからは出力信号が取り出され、該出力信号からフィルタリングと増幅によって励振信号が導出される形式の方法において、固有周波数の目下の値と、前もって調整時に基準温度で測定され、メモリに格納されている固有周波数の値との差、および固有周波数の温度係数から、測定に対する温度変化の第１の値を計算し、目下の温度における温度センサの出力量と、メモリに格納されている基準温度での温度センサの出力量との差、および温度センサの温度係数から、測定に対する温度変化の第２の値を計算し、計算された２つの値を比較し、所定の程度を越える偏差がある場合、エラー信号を形成する方法。
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本発明は振動ジャイロスコープの駆動方法および振動ジャイロスコープを備えたセンサ装置に関する。振動ジャイロスコープは共振器として用いられかつ固有周波数の励振信号を形成する制御回路の一部として動作する。つまり、振動ジャイロスコープは自身の出力信号から自身の励振信号をフィルタリングおよび増幅により導出する。本発明によれば、励振信号の供給前に振動ジャイロスコープを自由振動にいたるまで励振し、自由振動の周波数を測定し、測定された周波数の励振信号を振動ジャイロスコープへ供給することにより、センサ装置のスイッチオン後、励振信号の周波数が調整される。
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振動ジャイロスコープの駆動方法および振動ジャイロスコープを備えたセンサ装置であって、振動ジャイロスコープは共振器として用いられかつ固有周波数の励振信号を供給することによって振動ジャイロスコープを励振させる少なくとも１つの制御回路の一部として動作し、ここで振動ジャイロスコープから出力信号を取り出し、この出力信号をフィルタリングおよび増幅することによって励振信号を導出する形式の振動ジャイロスコープの駆動方法において、振動ジャイロスコープを備えたセンサ装置のスイッチオン後に、事前に測定され、メモリ内に格納された固有周波数の値および、測定以来固有周波数を変化させるパラメータから固有周波数のための開始値を計算し、計算されたこの周波数開始値を有する励振信号を振動ジャイロスコープに供給する。
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【課題】 重りを挟んで配置される一対の磁性体間のギャップのバラツキを抑えることにより、安定した検出特性を得ることのできる電磁駆動型角速度センサを提供する。
【解決手段】 センサチップ１の支持体１１を、重り１３よりも厚くして重り１３から上側ヨーク３側に突出させ、この突出端面を、上側ヨーク３の凸状部３１の平面３３に当接させて固着する。下側ヨーク４の凸状部４１の平面４３と支持体１１との間に、該支持体１１の下面に固着したスペーサ９を介在させる。上下のヨーク３，４の凸状部３１，４１の平面３３，４３間に、センサチップ１の支持体１１およびスペーサ９を介在させて、ヨーク３，４間のギャップを一定以上に確保するとともに、重り１３が上下のヨーク３，４に接触することを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】 検出部と回路基板とにより挟まれる磁性体に形成される導体貫通用の接続用孔に貫通させた導体によって検出信号等を外部に取り出す構造において、接続用孔による磁気効率の損失を抑えて性能の向上が図られる電磁駆動型角速度センサを提供する。
【解決手段】 センサチップ１の電極と回路基板５とを、これらの間に配された上側ヨーク３に形成した接続用孔３４を貫通する導線５２で接続する構造において、接続用孔３４を、センサチップ１の支持梁１２に対する対向領域か、もしくはこの対向領域から重り１３とは反対側に広がる領域か、もしくはこれら双方の領域にわたって位置する領域のうちの、いずれかの領域に形成し、さらに、回路基板５に一体成形された樹脂製ホルダ部５１に複数の導線５２を埋め込み、このホルダ部５１ごと導線５２を接続用孔３４に貫通させた。 （もっと読む）