【課題】 多層プリント配線板の内層の各導体層の変形量を観測、記録する。
【解決手段】 多層プリント配線板６０の内層用の両面配線板６１の表裏の導体層に中実ガイドマーク２２と中空ガイドマーク２３が形成され、例えば、中実ガイドマーク２２−１ｂに、隣接した導体層に設けられた中空ガイドマーク２３−２ａが同心に配置され、隣接した導体層毎に同心に配置された中実、中空ガイドマーク２２、２３を形成する。Ｘ線カメラの視野内に納まる外形のガイドマーク枠２１内に、例えば３行３列に、同心の中実、中空ガイドマーク２２（１ａ〜５ａ）、２３（１ｂ〜５ｂ）の組が配されている。ガイドマーク群２０は多層プリント配線板の、たとえば４隅に配置され、１個のガイドマーク群は１回のＸ線照射で枠内のガイドマーク全ての像を取り込み、それらの座標値が計算される。４個のガイドマーク群内のガイドマークの座標値から、各導体層に形成された配線用パターンの変形量が計算され、結果を記録できる。 （もっと読む）

【課題】 従来に比してＸ線ラインセンサの有効長を短くしても、従来と同等もしくはそれ以上の視野を得ることのできるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】 複数のＸ線ラインセンサ２ａ，２ｂを、Ｘ線照射方向中心線Ｃを挟んで両側に間隙Ｇを開けて、中心線Ｃからの距離Ｌ／２内に配置し、トータルの有効長をＬ／２以上とする。また、各Ｘ線ラインセンサ２ａ，２ｂは、中心線Ｃで片側の領域を他側に折り返して重畳させたとき、長さＬ／２の領域の全てがいずれか一方側のＸ線ラインセンサ２ａまたは２ｂでカバーするように配置することにより、ｚ軸の回りに試料Ｗが３６０°回動することで、断層像を再構成するために必要なデータを採取可能とし、短い有効長のＸ線ラインセンサを複数個用いて、そのトータルの有効長のラインセンサを用いた場合と同等の視野を得ることを可能とする。 （もっと読む）