【課題】 高分解能であり、経時的に変化する試料の観察が可能な産業用Ｘ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】 スキャンテーブル６とスキャン機構部７とを備えて産業用Ｘ線ＣＴ装置１を構成する。スキャンテーブル６は、鉛直方向となる回転中心軸１７を有し、試料３を配置するための中空部１６を回転中心軸１７周りに有し、Ｘ線管装置４及びＸ線検出器５を載置するための載置面１５を水平方向に平行に有する。スキャン機構部７は、スキャンテーブル６を回転させるための、駆動モータ、駆動モータの駆動力を伝達する駆動力伝達部材、及び駆動力伝達部材に結合する複合ころ軸受け１９を有する。スキャン機構部７の動作は、計測制御装置１０により制御する。 （もっと読む）

【課題】
フィルタによって生じる不均一性を補正し、良好な３次元像を得ることが可能なＸ線計測装置を提供する。
【解決手段】
検査対象１０８に照射するＸ線を発生するＸ線源１０１と、検査対象１０８に関する計測データを検出するＸ線検出器１０２と、Ｘ線源１０１とＸ線検出器１０２を対向させて保持する保持装置１０３と、検査対象１０８に対するＸ線源１０１およびＸ線検出器１０２の相対位置を変化させる回転装置１０４と、計測データの演算処理を行う制御処理装置１０６とを有し、凹型の円弧と凸型の円弧と直線を組み合わせた断面形状を持つフィルタ１１０をＸ線源１０１と検査対象１０８との間に設置し、回転装置１０４が回転を行う間にＸ線源１０１がＸ線を発生すると共にＸ線検出器１０２が計測データを収集することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】容積測定型Ｘ線ＣＴ等において、隣接する検出器列に跨がる補間による再構成画像のスライス厚の増大及び空間分解能の低下を回避する。
【解決手段】画像の三次元再構成の方法（１００）及びシステムを提供する。この方法は、対象を走査する撮像装置から投影データを受け取るステップと、投影射線の共役対に対応する投影データを識別するステップ（１０２）と、投影射線の共役対に対応する投影データを補間して走査対象の画像を再構成するステップ（１０４、１０６、１０８）とを含んでいる。 （もっと読む）

小型化された手荷物検査用ＣＴスキャナであって、広角のＸ線源および当該Ｘ線源から異なる距離にある複数組の検出器を有している。各組の検出器は、すべての検出器について一定のピッチおよび線束レベルが保たれるような寸法および配置とされている。ＣＴスキャナからのデータを処理するために、従来からの再現方法を使用することができる。このスキャナを、スキャナのネットワークとしてチェックイン・デスクに組み込んでもよい。
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【課題】 ＣＴ計測において使用するためのＣＴ再構成の技法が提供される。
【解決手段】 境界単位ＣＴ再構成方法は、推定境界（５０）を獲得するために、被検体の境界を初期設定する過程（４８）と、推定境界（５０）に基づいて、フォワードモデルを定義する過程と、システム行列（５４）を獲得するために、フォワードモデルを線形化する過程と、推定境界（５０）を更新するために、システム行列（５４）を使用して、反復画像再構成プロセスを実現する過程とを含む。そして、境界は、ほぼ一様な減衰を有する１つの領域の１つの稜線に対応する。 （もっと読む）

【課題】電源を落とすことなく容易にバッテリ交換が可能な非破壊検査装置を実現する。
【解決手段】被検体内部の状態を検査する非破壊検査装置である超音波非破壊検査装置１は、複数のバッテリとしてＡ，Ｂバッテリ２１，２３の２個のバッテリを収納するバッテリ収納部であるＡ，Ｂバッテリコンパートメント２２，２４と、これらＡ，Ｂバッテリコンパートメント２２，２４に収納されたＡ，Ｂバッテリ２１，２３の残量状態を個別に検知するバッテリ残量検知手段としてのバッテリ用ＣＰＵと、電源オンしている際にバッテリ交換モードに移行し、バッテリ用ＣＰＵにより検知したＡ，Ｂバッテリ２１，２３の個別の残量状態に応じて交換すべきバッテリを指示するバッテリ交換指示手段としての装置本体３のＣＰＵ３１とを具備して構成されている。 （もっと読む）

【課題】原子番号の低い結晶材料或いはワークに用いられる短波長Ｘ線回折測定装置及びその方法を提供する。
【解決手段】その装置はＸ線管１と、入射絞り２と、テーブル４と、サンプルまたはワーク３の位置制限部分に用いられる位置制限受光スリット５、測角器７と、検出器６と、エネルギー分析器９とを備えており、Ｘ線管１と検出器６はサンプルまたはワーク３が置かれるテーブル４の両側に位置し、検出器６は回折透過Ｘ線の受光に用いられる。本発明の短波長Ｘ線回折透過方法によれば、サンプルまたはワーク３を破壊せずに、より厚い結晶材料サンプルまたはワーク３の異なる深さと異なる箇所のＸ線回折スペクトルを測定し、コンピュータ１０でデータ処理を行い、サンプル又はワーク３における各点の位相、残留応力等のパラメーター及びその分布を得ることができる。本発明は、操作が簡単で、測定時間が短いという利点を有し、正確で、かつ信頼できるＸ線回折スペクトルを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線の透過率が部分的に大きく異なる被検査物であっても十分な異物検査能力を具えたＸ線異物検査装置を提供する。
【解決手段】検査物に応じてＸ線発生器の取付角度等を調整可能にすることにより、Ｘ線発生器から被検査物に照射されるＸ線の照射角度を適宜設定できるようにしたので、端部に密度の高い部分を有した被検査物を検査する場合でも、被検査物の当該部分を透過するＸ線の透過量が著しく低下しないようにＸ線の照射角度を適宜設定することができるから、Ｘ線の透過率が部分的に大きく異なる被検査物を検査対象とする場合であっても高精度の異物検査を実施できる。 （もっと読む）

【課題】 検出用パイプを筐体に対して容易に着脱でき、この検出用パイプを容易且つ確実に清掃することができる。
【解決手段】 パイプライン６内を搬送される被検体に検出位置ＰにてＸ線を照射し、被検体を透過してくるＸ線を検出し、その透過量に基づいて被検体内の異物の有無を検出するＸ線異物検出装置１において、筐体２は、両側面にパイプライン６が貫通されるとともに前面に扉５を備える開口４が設けられ、パイプライン６の一部をなしこのパイプライン６と着脱可能に設けられ開口４内に配設される検出用パイプ６ｃと、検出用パイプ６ｃを保持する保持部材２１と、検出用パイプ６ｃと保持部材２１とを移動させる移動機構２０とを備え、移動機構２０が、保持部材２１を着脱自在に支持する支持部材５０と、支持部材５０を搬送方向と直交する方向Ｚへと移動させるガイド部材５５とを具備する。 （もっと読む）

本発明は、広範囲にわたる高エネルギーＸ線を利用してＸ線透過像を測定する装置の空間分解能を測定するために用いる素子、前記素子の製造方法および前記素子を用いた空間分解能の評価方法を提供する。本発明は、Ｘ線透過像を測定する装置の空間分解能を評価する素子であって、角柱状基材上または細線状基材上にＸ線遮断層とＸ線透過層とを交互に積層した多層膜を有し、且つＸ線遮断層の吸光係数が、使用するＸ線の波長において、Ｘ線透過層の吸光係数の３倍以上である素子、前記素子の製造方法および前記素子を用いた空間分解能評価方法に関する。
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【課題】 薄膜の表面状態および表面と平行な面内における状態の解析に適した試料を、容易に作製することの可能な方法を提供する。
【解決手段】 積層膜１０Ｚに対してＦＩＢ１５Ａ，１５Ｂを照射することにより、可溶膜１２に達するエッチング溝１６を、解析対象領域１０Ｒを取り囲むように形成したのち、ウェハ１１、可溶膜１２および中間膜１３Ｚのうち、可溶膜１２のみを溶解可能な酸性溶液を用いて中間膜パターン１３と接する部分である底部１２Ｂを溶解除去することにより、解析用試料１０を形成する。得られた解析用試料１０を、その側面１０Ｗを把持することにより取り出す。これにより解析対象膜パターン１４の表面を汚すことなく、ＳＥＭやＴＥＭなどを用いた表面状態および表面と平行な面内における状態の解析に好適な解析用試料１０を、高精度かつ容易に形成することができる。 （もっと読む）

【課題】パイプ内を搬送される被検査物にＸ線を照射して異物を検出するＸ線異物検出装置において、装置内のパイプを外部の配管からＸ線漏洩の危険なく着脱自在とする。
【解決手段】Ｘ線照射装置１の筐体４に対し、検査パイプ６を備えたユニット７を使用位置から非使用位置に外す方向に移動する。ユニットの作動板１０が操作部材９を揺動し、操作板３５が強制解離スイッチ８を開いてＸ線作動回路を遮断するとともに、ユニット７の作動ピン１２が固定部材１１を回動して操作部材９の係合部に係合し、操作部材９によるスイッチ８の操作状態をロックする。ユニットを筐体から外して検査パイプ６を洗浄する間、Ｘ線は照射不能の状態にロックされる。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線検出器の交換回数を減らして長寿命化を図る。
【解決手段】 Ｘ線検出センサ５ｂは、検出面５ｂａがＸ線の照射領域平面上で被検査体の搬送方向と直交する方向に検出用パイプ３ｂの外径よりも２倍以上長くライン状に形成される。現在運用しているＸ線検出センサ５ｂの検出面５ｂａのＸ線検出感度が低下して寿命がきた場合に、検出用パイプ３ｂと異物検出部５を含む筐体２とを予め設定により分割された検出面５ｂａの幅ａ分だけＹ方向に相対移動させ、Ｘ線検出センサ５ｂの検出位置を変更する。Ｘ線検出センサ５ｂの検出位置変更前後では、Ｘ線検出センサ５ｂの検出面５ｂａの未使用領域が遮蔽部材６によって遮蔽される。 （もっと読む）

【課題】画像のエッジ鮮明度をシャープにできるＸ線検査装置のためのフレームの提供。
【解決手段】Ｘ線検査装置のためのフレーム（１０）が、弧状フレーム（２１）が枢着された構造部材（１６）を有する。Ｘ線源（１２）が、使用にあたり、構造部材（１６）に直接取り付けられ、Ｘ線検出器（１３）が、フレーム（２１）回りに動くことができる。画像化されるべき物品のための３軸サンプル支持体が、Ｘ線源（１２）とＸ線検出器（１３）との間に配置されている。本発明のフレームは、剛性が特に高い。 （もっと読む）

【課題】 実際に液面検査を行っているときに、無検査状態を検知することができるＸ線液面検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線液面検査装置では、制御部において、Ｘ線検出・判定用位置検出器からの被検査容器検出信号とＸ線センサからのＸ線センサ出力信号とを対比し、前記Ｘ線センサ出力信号が減弱した場合に（ステップＳ１）、前記Ｘ線検出・判定用位置検出器で前記被検査容器が検出されていないと判断した場合（ステップＳ２）、前記Ｘ線検出・判定用位置検出器が異常であると判断する（ステップＳ３）。 （もっと読む）

【課題】 パイプライン内を流動搬送される被検体に向けて照射されるＸ線の透過距離を均等に、且つ短くすることができ、被検体に混入している異物を確実に検出する。
【解決手段】 パイプライン１０内を流動搬送される被検体に所定の検出位置ＰにてＸ線を照射し、このＸ線の照射に伴って被検体を透過してくるＸ線を検出し、検出したＸ線の透過量に基づいて被検体における異物混入の有無を検出するＸ線異物検出装置１において、パイプライン１０は、少なくとも検出位置Ｐでパイプライン１０の断面形状が被検体を流動可能とする程度の扁平形状に押し潰されている。 （もっと読む）

【課題】ＣＴシステムで典型的に見受けられるＸ線フォトン線束量で飽和することのない直接変換型エネルギ識別ＣＴ検出器を提供する。
【解決手段】エネルギ識別及び直接変換が可能なＣＴ検出器２０ａは、半導体層厚が異なる第一の半導体層６２、第二の半導体層６４を含む。各々の半導体層６２，６４は検出素子６５を二次元的に画定するようピクセル化された構造に構築され、連続した高電圧電極６６、６８を含む。高電圧電極層はＸ線吸収特性を低減するような厚さの金属化層とされるので、検出器２０ａは、計数速度性能を最適化すると共に飽和を回避するようにＸ線入射方向にセグメント分割されて構築されている。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、Ｘ線検出の測定感度を向上しつつ、Ｘ線ＣＴ装置による撮影画像の品質向上が可能なＸ線ＣＴ装置及びＸ線ＣＴ装置による検出方法を提供することにある。
【解決手段】
被試験体を透過したＸ線を検出するＸ線センサと、前記Ｘ線センサの出力信号を処理するＸ線センサ信号処理回路とを備え、
前記Ｘ線センサを、分極効果を有する半導体センサとし、
前記Ｘ線センサに順方向のバイアス電圧をかける順方向バイアス手段を設けたことを特徴とするＸ線ＣＴ装置。 （もっと読む）

【課題】 水に分散した状態のままの合成高分子エマルションについて、その粒子の内部構造を観察する方法を提供する。
【解決手段】
（１）合成高分子エマルションに保護コロイドを混合させゲル化によって合成高分子エマルションを固定化するステップと、
（２）固定化されたエマルション中の水のほとんどを、水と親和性がある有機溶媒で置換するステップと、
（３）水が置換された固定化エマルションを硬化樹脂で硬化させるステップと、
（４）硬化されたエマルションを薄片化するステップと、
（５）薄片化されたサンプルを透過型電子顕微鏡で観察するステップと、
を含む合成高分子エマルションの観察方法。 （もっと読む）

【目的】 被検体の搬送中でも容易に感度補正が行えるＸ線異物検出装置を提供する。
【構成】 Ｘ線異物検出装置１は、被検査体が搬送される検出用パイプ３ｂにＸ線を照射するＸ線発生器５ａと、Ｘ線発生器５ａに対し検出用パイプ３ｂを挟むように対向配置され、Ｘ線発生器５ａからのＸ線の照射に伴って検出用パイプ３ｂを透過してくるＸ線を検出するＸ線検出センサ５ｂと、Ｘ線検出センサ５ｂに含まれる複数のＸ線検出素子毎の感度ばらつきを補正するための補正値を求める感度補正手段１２ａとを備える。Ｘ線検出センサ５ｂの各素子の感度補正するときは、移動機構６を用いて検出用パイプ３ｂと異物検出部５を含む筐体２とを相対移動させ、Ｘ線検出センサ５ｂ上に検出用パイプ３ｂが無い状態でＸ線検出センサ５ｂに直接Ｘ線を照射し、感度補正手段１２ａにより補正値（感度係数）を求める。 （もっと読む）