【課題】水素吸蔵材料の中性子回折に使用することができる中性子による散乱が無い、若しくは散乱が少ない耐水素性及び耐圧性の中性子回折測定用セル及びその製造方法を提供する。
【解決手段】水素吸蔵材料を中性子回折測定する際の試料として保持するセルであって、中性子散乱の無い金属若しくは中性子散乱の少ない金属の内面に、水素吸蔵性の無い材料又は水素吸蔵性の小さい材料からなる耐水素性の層を設けたことを特徴とする。この耐水素性の層の厚さは、０．１μ〜１００μｍがより好ましい。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検出器を冷却するペルチエ素子の放熱面からの放熱の異常を、大きなコスト増加をもたらすことなく検知する。
【解決手段】温度制御が開始されてから時間ｔ１が経過した時点において、ペルチエ素子への印加電圧とペルチエ素子の駆動電流との関係からペルチエ素子の異常を検知する（Ｓ１〜Ｓ８）。その後、時間ｔ２が経過した時点で、ｔ１→ｔ２までの期間中の温度低下量（温度差）ΔＴを求め、ΔＴから冷却速度Θを計算する（Ｓ９〜Ｓ１２）。そして、冷却速度Θが最高使用温度条件の下で予め求めておいた閾値Θ１未満であれば（Ｓ１３でＮｏ）、放熱の異常であると判断して異常報知を行う（Ｓ１５）。 （もっと読む）

【課題】作業性の極めて優れたＸ線分析装置を提供することである。
【解決手段】Ｘ線照射室３１を形成する本体ブロック３と、前記本体ブロック３の試料側端部に設けられ、一次Ｘ線及び二次Ｘ線を通過させるＸ線通過孔４１２を有する通過孔部材４と、隔膜Ｆを保持するとともに、前記通過孔部材４に取り付けられて、前記Ｘ線通過孔４１２の試料側に前記隔膜Ｆを固定する膜固定部材５と、を備え、前記通過孔部材４が本体ブロック３に取り付けられている状態において、前記通過孔部材４と前記膜固定部材５とを弾性固定部材６により着脱可能に構成していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバー内にガスを導入し、試料表面でのガス反応を観察する光電子顕微鏡装置において、ガス導入に伴う鏡筒内の真空度の低下を抑制し、高分解能の観測を行えるようにする。
【解決手段】紫外光またはＸ線を試料（４）表面に照射することにより発生する光電子を鏡筒（７）内に配置した電子レンズ系（８、９）により結像して試料（４）の表面を観察する光電子顕微鏡装置において、鏡筒（７）の光電子の取り込み部（７ａ）外側に筒状のオープンチャンバー（１３）を取り付け、このオープンチャンバー（１３）の側面に真空引き用の細孔（１４）を設ける。 （もっと読む）

【課題】大面積基板上に形成された複数の電子デバイスを検査するための方法及び装置が開示されている。
【解決手段】一実施例において、本装置は検査されるべき基板の大きさよりもちょっと幅広い少なくとも１つのチャンバ内で、一線形軸において前記基板上において検査を行なう。クリーンルームのスペース及びプロセスの時間は、システムのより小さいサイズ及び容量によって最小化される。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、分析器の真空系と分析室の真空系を隔壁を用いて遮断した場合、低エネルギーのＸ線の検出が困難であったという点である。
【解決手段】試料を収容する真空に保持された分析室と、１次ビームを前記試料に照射する１次ビーム照射手段と、前記１次ビームにより前記試料から発生するＸ線を集束する集光手段と、前記Ｘ線の集束点に位置し、前記集束したＸ線を通過させるアパーチャと、前記アパーチャを通過したＸ線を分光・検出する真空に保持された分光手段と、を備える表面分析装置であって、前記分析室と前記分光手段を仕切る前記アパーチャにより前記分光手段内の真空度と異なる分析室内の真空度を保持することを特徴とする表面分析装置。 （もっと読む）