【課題】波長分解能と回折効率をともに向上し、しかも反射損失を低減できる透過型回折格子を用いた分光装置、検出装置及び分光装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】入射光を透過する透過型回折格子を含む分光装置であって、透過型回折格子は、基材１００より第１方向Ｘに沿って周期的に突出する複数の突起１１０を有し、複数の突起が傾斜面１４０を有し、傾斜面は、基材に垂直な基準線に対して傾斜し、透過型回折格子への入射光の入射角度を基準線に対して角度αとし、回折光の回折角度を基準線に対して角度βとする場合に、入射角度αは、傾斜面に対するブラッグ角度θよりも小さい角度であり、回折角度βは、ブラッグ角度θよりも大きい角度であり、複数の突起の各々は、傾斜面からの第１方向での距離が異なるに従い、複数の突起の各々と空気との界面に至る基材からの突出高さが異なる第１反射防止構造１５０（１６０）を有する。 （もっと読む）

【課題】 小型化を図り、ウェハプロセスによって容易に大量生産することのできる分光モジュールの製造方法を提供する。
【解決手段】 表面２ａから入射した光を透過させる光透過部２，３と、光透過部２，３の凸曲面３ａ上に設けられ、光透過部２，３を透過した光を分光して表面２ａ側に反射する分光部と、表面２ａ側に設けられ、分光部によって分光されて反射された光を検出する光検出素子７と、を備える分光モジュール１の製造方法は、凸曲面３ａに、回折層４を形成するための材料を配置し、材料にモールドを当接させ、材料を硬化させることにより、凸曲面３ａに沿って回折層４を形成する工程と、回折層４の表面に反射層６を形成することにより、分光部を形成する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】固有のＣＣＤ空間的分解能を保有でき、ＣＣＤアレイ直線ジオメトリーに合致する分解能を有し、歪みのない所望のスペクトルを光学的にイメージすることができる分光計を提供する。
【解決手段】高分解能の収差補正同心分光計１１０は、非平行の複数の溝を有する凸面回折格子１００を含む。この凸面格子１００の複数の溝がフィールド収差を補正する。凸面回折格子１００の使用により本発明の分光計１１０を著しく分解能が向上した高精度スペクトルイメージングのものにすることが可能になる。平行でない複数の溝をもつ前記凸面回折格子１００を使用することにより、分光計１１０は、多用途に適した機能のものになる。 （もっと読む）

【課題】容易に作製でき、特性の劣化を抑えることのできる透過型回折格子を提供する。
【解決手段】基板10と、基板10上に互いに平行に一定の周期ｐで設けられた複数のリッジ20とを備えた透過型回折格子100である。リッジ20は、屈折率が不連続な第１層11、第２層12（屈折率ｎ₂ ：2.0〜2.5）及び第３層13を含む。基板10に隣接する第１層11は、基板10との屈折率差が0.1以下である。第２層12は、第１層11及び第３層13よりも屈折率が高く、次の条件を満たす。第２層12の、１つのリッジ20当たりの、当該リッジ20の長さ方向に垂直な断面の断面積Ｓが、0.75ｐ² ｋ₁ θ² ／（ｎ₂ −１）＜Ｓ＜1.20ｐ² ｋ₁ θ² ／（ｎ₂ −１）の範囲にある。但し、θは回折格子面への入射角(単位はラジアン)、定数ｋ₁ は1.1である。第２層１２の厚さｄ₂ が、0.70ｐｋ₂ θｎ₂ ／（ｎ₂ −１）＜ｄ₂ ＜1.30ｐｋ₂ θｎ₂ ／（ｎ₂ −１）の範囲にある。但し、定数ｋ₂ は0.69である。 （もっと読む）

【課題】比較的簡易な装置構成で、かつ比較的短時間で表示装置の色調の検査を行う。
【解決手段】集光光学系９と、走査光学系３と、回折格子型光制御素子５と、光学レンズ６と、光検出素子７とを有して成り、表示装置１０からの画像光を集光光学系９及び走査光学系３により選択的に回折格子型光制御素子５に入射させ、この回折格子型光制御素子５において選択的に入射された画像光の一部を回折し、その回折光を、光学レンズ６を介して光検出素子７により検出して画像光を分光する。回折角度の波長依存性を利用して、画素毎の分光を可能とする。 （もっと読む）

複数の波長成分を含んでいてガウシアンビームで近似される光束を出射する入射側光導波路と、入射側光導波路の出射側に設置され、入射側光導波路から出射されたガウシアンビームで近似される光束を、略平行光束に変換するコリメートレンズとを有する光入射部と、コリメートレンズにより略平行光束に変換された光束が入射され、波長ごとに出射方向の異なる光束を出射することで光束を分光する、表面に溝を有する回折格子と、回折格子によって分光された各光束をそれぞれ集光する、複数の集光レンズを有する光出射部とを備えている。
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本発明は、共鳴領域でも有効な新しいブレージングの原理を提案する。本発明では、例えば２連球１１ａ，２１ａ；１２ａ，２２ａからなる２以上の光散乱ユニットにおいて鏡面共鳴が生じるように、回折格子に光５１を入射させ、鏡面共鳴により、第１の層１および第２の層２により回折される回折光５２の一部を選択的に増強する。本発明によれば、外部からの制御信号によりブレージング条件をチューニングすることも可能になる。 （もっと読む）