【課題】本発明は、信頼性の高い分光モジュールを提供する。
【解決手段】 本発明に係る分光モジュール１では、分光部４に進行する光Ｌ１が光通過孔５０を通過するに際し、分光部４側に向かって先細りとなる光入射側部５１を抜け、光入射側部５１の底面５１ｂと対向するように形成された光出射側部５２に入射した光のみが光出射開口５２ａから出射される。このため、光入射側部５１の側面５１ｃや底面５１ｂに入射した迷光Ｍは、光出射側部５２と反対側に反射されるので、光出射側部５２に迷光が入射することを抑制することができる。従って、分光モジュール１の信頼性を向上させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】空間光を簡易な構成で効率的に光ファイバに入力可能な空間光測定用光ファイバ変換器を提供する。
【解決手段】本発明の空間光測定用光ファイバ変換器は、集光鏡と、集光鏡の焦点にその先端が配置され集光鏡で反射された光が入射される光ファイバプローブと、を備える。集光鏡は、例えば放物面鏡や楕円面鏡である。楕円面鏡の場合、光ファイバプローブは、楕円面鏡の一方の焦点にその先端が配置され、楕円面鏡の他方の焦点に配置された点光源からの光が、楕円面鏡で反射されて前記光ファイバプローブに入射される。 （もっと読む）

【課題】 パッケージに設けられた光入射部に対して、パッケージ内に設けられた光通過部が位置決めされた分光器を提供する。
【解決手段】 分光器１Ａは、光入射部６が設けられたパッケージ２と、パッケージ２のうち光入射部６と対向する支持部４を貫通する複数のリードピン８と、パッケージ２内において支持部４上に支持された分光モジュール３Ａと、を備える。分光モジュール３Ａは、光入射部６から入射した光Ｌ１を通過させる光通過部２２が設けられた光検出ユニット２０と、光検出ユニット２０に対して支持部４側に配置されるように光検出ユニット２０に固定され、光通過部２２を通過した光Ｌ１を分光すると共に光検出部２６に反射する分光部３５を有する分光ユニット３０と、を有する。リードピン８は、光検出ユニット２０に設けられた嵌め部２９に嵌められ、光検出部２６と電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 パッケージに設けられた光入射部に対して、パッケージ内に設けられた光通過部が位置決めされた分光器を提供する。
【解決手段】 分光器１Ａは、光入射部６が設けられたパッケージ２と、パッケージ２のうち光入射部６と対向する支持部４を貫通する複数のリードピン８と、パッケージ２内において支持部４上に支持された光検出ユニット２０と、光検出ユニット２０に対して支持部４側に配置されるように、パッケージ２内において支持部４上に支持された分光ユニット３０と、を備える。光検出ユニット２０は、光入射部６から入射した光Ｌ１を通過させる光通過部２２を有する。分光ユニット３０は、光通過部２２を通過した光Ｌ１を分光すると共に光検出部２６に反射する分光部３５を有する。リードピン８は、光検出ユニット２０に設けられた嵌め部２９に嵌められ、光検出部２６と電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 小型化及び検出精度の向上の両立を図ることができる分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１は、光を透過させる本体部２と、本体部２の所定の面から本体部２に入射した光を分光すると共に所定の面側に反射する分光部と、所定の面に配置され、分光部によって分光されると共に反射された光を検出する光検出素子４と、所定の面に設けられ、分光部に進行する光が通過する第１の光通過孔６ａ、及び分光部から光検出素子４に進行する光が通過する第２の光通過孔６ｂを有する遮光層６と、光検出素子４を所定の面に固定する遮光性の樹脂部材１０と、を備えている。樹脂部材１０は、光の入射方向から見た場合に、光検出素子４の外縁から突出する突出部１５ａを複数有し、第１の光通過孔６ａの少なくとも一部は、光の入射方向から見た場合に、隣り合う突出部１５ａ，１５ａの間に位置している。 （もっと読む）

【課題】最新のダイアモンド機械加工プロセスを用いて全てが作成される、モノリシックオフナー分光器及び、回折格子及びスリットのような、様々なコンポーネントの製造方法を提供する。
【解決手段】モノリシックオフナー分光器はダイアモンド機械加工プロセスを用いて直接作成される。別の実施形態において、モノリシックオフナー分光器はダイアモンド機械加工プロセスで作成された金型を用いて作成される。また別の実施形態において、回折格子はダイアモンド機械加工プロセスを用いて直接作成される。さらにまた別の実施形態において、回折格子はダイアモンド機械加工プロセスで作成された金型を用いて作成される。また別の実施形態において、スリットはダイアモンド機械加工プロセスを用いて直接作成される。 （もっと読む）

【課題】 信頼性を維持しつつ小型化を図ることができる分光器を提供する。
【解決手段】 分光器１は、導光部７が設けられたキャップ４と、ステム５と、を有するパッケージ２と、パッケージ２内においてステム５に支持された支持部材２９と、支持部材２９に支持された基板１１と、基板１１に搭載された光検出素子１２と、基板１１とステム５との間に配置され、導光部７から入射した光を分光すると共に光検出素子１２に反射する分光部１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】測定装置において、反射測定による測光に加え、少なくとも透過測定を含む他の測光を、迅速かつ高精度に行うことができるようにする。
【解決手段】基準光軸Ｏ_０に沿ってピンホール１５ｂから入射する光束を測光する分光器１５を有し、被測定試料Ｗからの光束を集光して測光を行う分光測定装置１であって、保持台部６ａと、チルトステージ６Ａおよびシフトステージ６Ｂと、集光光学系１３と、平行光束の測定光束を発生する光源ユニット１１、３と、対物光学系１７と、透過測定用偏向部５と、集光光学系１３を透過してピンホール１５ｂに向かう光束の光軸の基準光軸Ｏ_０に対するずれを観察する観察部１６と、を備え、測定光束に応じてチルトステージ６Ａおよびシフトステージ６Ｂまたは透過測定用偏向部５のチルトステージおよびシフトステージにより光軸を調整する構成とする。 （もっと読む）

【課題】被測定光の分光特性をより短時間かつ高精度に測定可能な分光特性測定方法および分光特性測定装置を提供する。
【解決手段】分光特性測定方法は、第１の波長範囲に検出感度を有する分光測定器に対して、その波長範囲が第１の波長範囲の一部である第２の波長範囲となっている光を入射させるステップと、分光測定器で検出された第１のスペクトルのうち第２の波長範囲以外の範囲に対応する部分から迷光成分を示す特性情報を取得するステップと、特性情報を第１の波長範囲のうち第２の波長範囲まで外挿処理することで、分光測定器に生じる迷光成分を示すパターンを取得するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】 小型化を図り、ウェハプロセスによって容易に大量生産することのできる分光モジュールの製造方法を提供する。
【解決手段】 表面２ａから入射した光を透過させる光透過部２，３と、光透過部２，３の凸曲面３ａ上に設けられ、光透過部２，３を透過した光を分光して表面２ａ側に反射する分光部と、表面２ａ側に設けられ、分光部によって分光されて反射された光を検出する光検出素子７と、を備える分光モジュール１の製造方法は、凸曲面３ａに、回折層４を形成するための材料を配置し、材料にモールドを当接させ、材料を硬化させることにより、凸曲面３ａに沿って回折層４を形成する工程と、回折層４の表面に反射層６を形成することにより、分光部を形成する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１は、光Ｌ１，Ｌ２を透過させる本体部２と、本体部２の前面２ａから本体部２に入射した光Ｌ１を分光して前面２ａ側に反射する分光部３と、分光部３によって分光されて反射された光Ｌ２を検出する光検出部４１を有し、本体部２の前面２ａ上に支持された光検出素子４と、を備えている。光検出素子４は、分光部３に進行する光Ｌ１が通過する光通過孔４２を有している。前面２ａには、分光部３に進行する光Ｌ１が通過する第１の光通過開口６ａ、及び光検出部４１に進行する光Ｌ２が通過する第２の光通過開口６ｂを有する光吸収層６が形成されている。光通過孔４２は、第１の光通過開口６ａと対向しており、光検出部４１は、第２の光通過開口６ｂと対向している。 （もっと読む）

【課題】 分光測色装置を小型化すると生産性が低下してしまう。
【解決手段】 凹面回折格子によって分光及び集光された光束を複数の光電変換素子で受光し、対応する電気信号を出力するアレイ型受光部材と、アレイ型受光部材を支持する箱形状の筐体と、を有する、分光測色装置において、筐体の側壁は、分光された光束が通過する開口部と、外側に、凹面回折格子のローランド円のうち複数の光電変換素子が受光する光束の領域内にある部分における接線と平行な調整面と、を備え、調整面は、該ローランド円の接線の法線方向において、アレイ型受光部材とローランド円の中心との距離が一定となるよう、アレイ型受光部材が当接されアレイ型受光部材の位置を決め、且つ、アレイ型受光部材の複数の光電変換素子の配列する方向がローランド円の接線に平行で、複数の光電変換素子が、開口部を通過した光束を受光するようアレイ型受光部材を支持することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュールは、光を透過させる本体部２と、本体部２の前面２ａから本体部２に入射した光Ｌ１を分光して前面２ａ側に反射する分光部３と、前面２ａ上に支持され、分光部３によって分光されて反射された光Ｌ２を検出する光検出素子４と、前面２ａに形成され、光検出素子４の外部端子が電気的に接続された複数のパッド部９ａ、光検出素子４の出力信号を外部に取り出すための複数のパッド部９ｂ、及び対応するパッド部９ａとパッド部９ｂとを接続する複数の接続部９ｃを有する配線９と、接続部９ｃを覆い且つパッド部９ａ，９ｂを露出させるように前面２ａに形成され、分光部３に進行する光Ｌ１が通過する光通過孔６ａ、及び光検出素子４に進行する光Ｌ２が通過する光通過孔６ｂを有する光吸収層６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 小型化を図り、ウェハプロセスによって容易に大量生産することのできる分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１は、本体部２が板状であるため、本体部２の薄型化により小型化を図ることができる。しかも、本体部２が板状であるため、例えば、ウェハプロセスを利用して分光モジュール１を製造することができる。つまり、多数の本体部２となるガラスウェハに対し、マトリックス状にレンズ部３、回折層４、反射層６及び光検出素子７を設け、当該ガラスウェハをダイシングすることで、分光モジュール１を多数製造することができる。このようにして、分光モジュール１を容易に大量生産することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 小型化を図り、ウェハプロセスによって容易に大量生産することのできる分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１は、本体部２が板状であるため、本体部２の薄型化により小型化を図ることができる。しかも、本体部２が板状であるため、例えば、ウェハプロセスを利用して分光モジュール１を製造することができる。つまり、多数の本体部２となるガラスウェハに対し、マトリックス状にレンズ部３、回折層４、反射層６及び光検出素子７を設け、当該ガラスウェハをダイシングすることで、分光モジュール１を多数製造することができる。このようにして、分光モジュール１を容易に大量生産することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】励起光及び蛍光の波長組合せを切り替えながら励起光及び蛍光の検出を繰り返す多波長同時検出において、検出信号のＡ／Ｄ変換処理に割り当てる時間を長くすることでノイズ低減を図る。
【解決手段】４波長同時検出において、波長組合せ切り替え前後の励起光波長λEXの差、蛍光波長λEMの差が０でない場合には、それぞれ波長差から回折格子を回動させるモータの駆動時間Ｙ１、Ｙ２を計算し（Ｓ４、Ｓ８）、さらに回折格子が停止するに要する時間を見込み、１波長に割り当てられた切替時間のうちの残りをＡ／Ｄ変換時間Ｚ１、Ｚ２として求める（Ｓ６、Ｓ１０）。励起光の波長が設定された状態でないと蛍光検出は行えないので、Ｚ１＜Ｚ２のときにはＺ２もＺ１に揃え、そのチャンネルのＡ／Ｄ変換時間を決定する。このように決められた時間に基づく積算回数だけＡ／Ｄ変換後のデータを積算して測光値を求めることで、ノイズ低減を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】少なくともセンサ応答の２次項を含む拡張センサ応答を用いて測定精度を高める場合の演算時間を短縮し、あるいは、測定精度をより高めることを課題とする。
【解決手段】波長帯の一部が互いに重複している少なくとも２つの光強度信号がアレイ受光素子により検出されるように各波長帯の光強度信号ｓ₁〜ｓ_mを分光器１０１で検出し、検出した光強度信号を用いて、波長帯の一部が互いに重複している２つの光強度信号の積（ｓ₁×ｓ₂，ｓ₂×ｓ₃，・・・，ｓ_m-1×ｓ_m）を演算し、その演算結果を光強度信号ｓ₁〜ｓ_mと組み合わせて、波長帯が重複していない２つの光強度信号の積を含まない拡張センサ応答ベクトルｖ''をセンサ応答拡張部１０２で生成し、その拡張センサ応答ベクトルに基づいて分光反射率推定部１０３により測定対象の分光反射率ベクトルｒを導出する。 （もっと読む）

【課題】 大型化を防止しつつ、広い波長域の光や異なる波長域の光を精度良く検出し得る分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１では、分光部７と光検出素子４とに加えて、分光部８と光検出素子９とが設けられているので、広い波長域の光や異なる波長域の光に対して検出感度を高めることができる。更に、光検出部４ａと光検出部９ａとの間に光通過孔４ｂが設けられており、光吸収性の基板２の領域Ｒと対向するように反射部６が設けられているので、大型化を防止することができる。また、外乱光Ｌ_ａは、基板２の領域Ｒで吸収される。そして、外乱光Ｌ_ａの一部が基板２における領域Ｒを透過したとしても、その一部の光は、領域Ｒと対向するように設けられた反射部６によって、領域Ｒ側に反射されるので、外乱光Ｌ_ａの入射に起因した迷光の発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】全波長域で波長分解能が良好なポリクロメータを供給する。
【解決手段】本発明のポリクロメータは、測定光を導入する入口スリット１と、該導入された光を各波長毎に分散するとともに各波長の光の像を結像する凹面回折格子２と、該各波長の光の強度を同時に測定するアレイ検出器３で構成されている。アレイ検出器３は、光電変換素子列３ａと、透光板３ｂで構成される。透光板３ｂは厚さが波長分散方向で変化するＢＫ７ガラスで構成されている。例えば、４４０ｎｍ、５５０ｎｍ、６５０ｎｍの各波長の光の結像位置は、透光板３ｂの厚さで調整され、いずれも光電変換素子列３ａの受光面上にあり、全波長域で波長分解能は良好となる。 （もっと読む）

【課題】スペクトルを変えるか、又は調整できることができる放射発生装置、スペクトル分析装置提供する。
【解決手段】調整可能な分光組成を有する電磁放射を発生させるための放射発生装置において、駆動時に放射素子固有電磁放射４ａ〜４ｎをそれぞれ発生させるように構成された多数の放射素子１，１ａ〜１ｎであって、そのうちの第１の放射素子を第２の放射素子とは独立に駆動させることができる多数の放射素子１，１ａ〜１ｎと、分光素子２と、光開口３とを備え、分光素子２が放射素子固有電磁放射４ａ〜４ｎをその波長とそれぞれの放射素子固有電磁放射を発生させる放射素子の位置とに応じて偏向させるように構成され、それにより各放射素子固有電磁放射の特定のスペクトル範囲が光開口３から出ることができ、その結果、多数の放射素子１ａ〜１ｎを選択的に駆動させることにより、光開口３を通して出る生成電磁放射２２０の分光組成を調整できる。 （もっと読む）