【課題】サイズと、重量と、コストとに関して、大幅に簡素化された、気体の検出用の３チャネルの分光計を提供する。
【解決手段】３チャネル分光計１００は、入射放射線１０１を受け取って、入射放射線の第１の部分と、第２の部分と、第３の部分とを透過するビームスプリッタ要素１０５と、第１の部分を受け取って、第１の波長の範囲の第１のスリット出力放射線を透過する第１のスリットと、第２の部分を受け取って、第２の波長の範囲の第２のスリット出力放射線を透過する第２のスリットと、入射放射線の第３の部分を受け取って、第３の波長の範囲の第３のスリット出力放射線を透過する第３のスリットと、第１と、第２と、第３のスリット出力放射線を受け取って、平行にする共通の光学フォーム１１１と、共通の光学フォームから、平行にされた第１と、第２と、第３のスリット出力放射線を受け取って、反射する分散要素１１３とを含む。 （もっと読む）

【課題】 小型化及び検出精度の向上の両立を図ることができる分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１は、光を透過させる本体部２と、本体部２の所定の面から本体部２に入射した光を分光すると共に所定の面側に反射する分光部と、所定の面に配置され、分光部によって分光されると共に反射された光を検出する光検出素子４と、所定の面に設けられ、分光部に進行する光が通過する第１の光通過孔６ａ、及び分光部から光検出素子４に進行する光が通過する第２の光通過孔６ｂを有する遮光層６と、光検出素子４を所定の面に固定する遮光性の樹脂部材１０と、を備えている。樹脂部材１０は、光の入射方向から見た場合に、光検出素子４の外縁から突出する突出部１５ａを複数有し、第１の光通過孔６ａの少なくとも一部は、光の入射方向から見た場合に、隣り合う突出部１５ａ，１５ａの間に位置している。 （もっと読む）

【課題】高波長分解能と高速測定とが両立可能な光強度スペクトル測定方法および装置を提供する。
【解決手段】入力光を波長成分ごとに空間分解し波長成分ごとに空間分解された分解光を生成する波長成分分解素子（１００３）と、分解光を複数の分岐光に分岐するハーフミラー（１００４）と、複数の分岐光をそれぞれ別個に受光する複数のスリット付き受光素子アレイ（１００７，１００５；１００８，１００６）と、複数のスリット付き受光素子アレイでそれぞれ検出された波長成分ごとの光強度信号から前記入力光の光強度スペクトル情報を生成する光強度スペクトル構成部（１００９）と、を有し、複数のスリット付き受光素子アレイの各々は、受光する分岐光の波長成分変化方向と受光素子のアレイ方向とが一致し、前記アレイ方向において各受光素子の受光面に対する当該受光面より狭いスリット透光部の位置がスリット付き受光素子アレイごとに異なる。 （もっと読む）

【課題】 スリットの位置や姿勢を精度良く調整する。
【解決手段】 被検知面から導かれた光束が通過する開口部を備えるスリット部材と、前記スリット部材の前記開口部を通過した光束が入射し、該入射した光束を分光して集光する凹面回折格子と、前記凹面回折格子によって分光及び集光された光束を一方向に配列した複数の光電変換素子で受光し、前記複数の光電変換素子それぞれに対応する電気信号を出力する受光素子と、前記スリット部材、前記凹面回折格子及び前記受光素子を支持する箱形状の筐体と、を有する分光測色装置において、前記筐体は前記開口部を通過して前記凹面回折格子に入射する光束の光軸方向に実質的に平行な第１ガイド面及び第２ガイド面を備え、前記第１及び第２ガイド面は、前記スリット部材を当接させた状態で前記スリット部材を移動し、前記スリット部材の前記光軸方向の位置を調整可能な調整面であることを特徴とする分光測色装置。
【選択図面】 図７
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【課題】 信頼性の高い分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュールは、光を透過させる本体部２と、本体部２の前面２ａから本体部２に入射した光Ｌ１を分光して前面２ａ側に反射する分光部３と、前面２ａ上に支持され、分光部３によって分光されて反射された光Ｌ２を検出する光検出素子４と、前面２ａに形成され、光検出素子４の外部端子が電気的に接続された複数のパッド部９ａ、光検出素子４の出力信号を外部に取り出すための複数のパッド部９ｂ、及び対応するパッド部９ａとパッド部９ｂとを接続する複数の接続部９ｃを有する配線９と、接続部９ｃを覆い且つパッド部９ａ，９ｂを露出させるように前面２ａに形成され、分光部３に進行する光Ｌ１が通過する光通過孔６ａ、及び光検出素子４に進行する光Ｌ２が通過する光通過孔６ｂを有する光吸収層６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 小型化を図り、ウェハプロセスによって容易に大量生産することのできる分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１は、本体部２が板状であるため、本体部２の薄型化により小型化を図ることができる。しかも、本体部２が板状であるため、例えば、ウェハプロセスを利用して分光モジュール１を製造することができる。つまり、多数の本体部２となるガラスウェハに対し、マトリックス状にレンズ部３、回折層４、反射層６及び光検出素子７を設け、当該ガラスウェハをダイシングすることで、分光モジュール１を多数製造することができる。このようにして、分光モジュール１を容易に大量生産することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 小型化を図り、ウェハプロセスによって容易に大量生産することのできる分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１は、本体部２が板状であるため、本体部２の薄型化により小型化を図ることができる。しかも、本体部２が板状であるため、例えば、ウェハプロセスを利用して分光モジュール１を製造することができる。つまり、多数の本体部２となるガラスウェハに対し、マトリックス状にレンズ部３、回折層４、反射層６及び光検出素子７を設け、当該ガラスウェハをダイシングすることで、分光モジュール１を多数製造することができる。このようにして、分光モジュール１を容易に大量生産することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】面倒な調整の必要がなく、波長再現性の良い安価な分光器を提供する。
【解決手段】回折格子およびスリット部を、可動部を持たない固定型とし、回折格子１で分光された分光光に対応した位置に複数のスリットが設けられたスリット部３を設置し、さらに特定波長の分光光のみ透過可能なマスクを該スリット部の入射側手前に設置し、減光フィルタ２６を付設したλ３用マスク４に開口されたスリット４ａに合致した光のみを透過させて、前記複数の分光光すべての検出が可能な大きさを有する検出器５により光強度を検出する。 （もっと読む）

【課題】低いコストで、波長が異なる多数の光を検出し得る、光学ユニットを提供する。
【解決手段】透過する光を分光するフィルタ部材１と、複数の受光素子を有する光検出器２とを備えている。フィルタ部材１は、光透過性を有する基板と、基板の一方の面上に金属材料で形成された複数の凸部と、金属材料よりも屈折率の高い酸化金属材料によって、複数の凸部と共に基板の一方の面を覆うように形成された金属酸化膜とを備えている。複数の凸部は、隣り合う凸部間に存在する金属酸化膜が回折格子となり、凸部が導波路となるように配置される。回折格子の格子周期、凸部の高さ、及び金属酸化膜の厚みの少なくとも一つは、フィルタ部材を透過する光の波長が部分毎に変化するように、部分毎に異なる値に設定されている。光検出器２は、複数の受光素子２１それぞれが、フィルタ部材１を透過する光を受光するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】低コスト化及び高感度化が同時に可能な分光蛍光光度計及び反射型試料セルを提供する。
【解決手段】試料流路１１を備えた試料セル１と、励起光を発生する励起光用光源２と、励起光を分光する励起光側回析格子４と、励起光側回析格子４からの光が照射されて試料から発生した蛍光を分光する蛍光側回析格子５と、蛍光側回析格子５からの光を検出する第１の光学検知器７と、波長校正のための光を発生する波長校正用光源８とを有する分光蛍光光度計において、試料セル１は、試料流路１１内の試料からの蛍光を蛍光側回析格子５に入射するための入射スリット１９と、入射スリット１９が形成された側面に対向する側面に形成され、試料流路１１内の試料からの蛍光の一部を入射スリット１９側に反射し、波長校正用光源８からの光の一部を入射スリット１９側へ透過する細孔付き第１反射ミラー１２を一体的に備える。 （もっと読む）

【課題】ローランド型などの回折型の分光測色器では、絞り位置精度や被検知面となる印字画像が上下移動により、絞りを通過する光束が増減することを低減し、分光測色器の検知精度を向上させる。
【解決手段】照明された被検体の画像の色を検出する分光測色装置は、絞りと、前記被検体で拡散され前記絞りを通過した光束を分光して検知する分光検知光学系と、前記絞りに前記被検体で拡散された光束を導く導光光学系とを有し、前記導光光学系の光軸と平行な断面である第１断面において、前記導光光学系で集光された光束の前記光軸の方向における集光位置は、前記第１断面に直交する方向の位置によって異なり、前記導光光学系の光軸方向において、前記導光光学系で集光された光束の前記第１断面内の集光位置のうち前記導光光学系に最も近い集光位置と最も遠い集光位置の間に前記絞りが配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 必要な波長の光を取り出すことができる小型化された分光ユニットを提供する。
【解決手段】 分光ユニット（３０）は、光学素子（ＣＬ）の光軸外の領域の光線を入射させるスリット（ＳＬ１）を有する遮光部（３４）と、スリット（ＳＬ１）を通過し光学素子（ＣＬ）で屈折した光線を入射させる開口（ＡＰ１）を有する開口遮蔽部（３５）と、開口（ＡＰ１）を通過した光線を受光する受光部（ＳＳ）と、光学素子（ＣＬ）及び遮光部（３４）と開口遮蔽部（３５）及び受光部（ＳＳ）とを相対的に移動させる駆動部（２４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】多方向からの光を、別々にかつ同時に分光測定することができる分光装置の提供。
【解決手段】分光装置は、１次元的または２次元的に配列された複数の第１レンズ９１０と、複数の第１レンズ９１０の各々の焦点面近傍に設けられた絞り開口９２０と、絞り開口９２０を通過した光束をそれぞれ分光する分光手段９４と、分光手段９４により分光された光を受光する受光部９６とを備える。 （もっと読む）

【課題】照明光学システムおよび投影光学システムを有するスキャトロメータの収差を測定する方法が提供される。
【解決手段】スキャトロメータ内で、透過性開口のアレイを備えるアパーチャプレートが、投影光学システムの瞳面と共役である照明光学システムの面に挿入される。光学システムの収差は、瞳面における輝点の相対位置を測定することによって測定することができる。 （もっと読む）

【課題】それらの間にスリットを画成する２枚のブレードを具え、それぞれのブレードが他方に対して独立に移動可能である光スリット装置を提供する。
【解決手段】光スリットを分光システムにおける光ビームの中心に位置合わせする本発明による光スリットの位置合わせ方法は、光ビームを検出器に向け、光スリットの少なくとも一方の端縁を光路を横切って移動させ、検出器における伝播光の強度を光スリットの少なくとも１つの端縁の複数の位置に対して検出し、スリット位置を調整する信号をフィードバックすることを具えている。 （もっと読む）

【課題】高精度な分光を行うことが可能な分光器等を提供する。
【解決手段】分光器は、入射された光を分光する凹面回折格子３０３と、凹面回折格子３０３に光を入射させる入射光導入手段３０１と、凹面回折格子３０３によって波長ごとに分光された出射光を受光する出射光受光手段３０５とを有する。分光器は、入射光導入手段３０１によって発せられた光の凹面回折格子３０３への入射角度を制限する入射開口３０２と、凹面回折格子３０３によって波長ごとに分光された出射光の出射光受光手段３０５への出射角度を制限する出射開口３０４とをさらに有する。凹面回折格子３０３と入射開口３０２と出射開口３０４とのうちの少なくとも２つが、凹面回折格子３０３が成すローランド円に沿って相対的に回転移動できるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ることができると共に、高感度な計測を実現する分光装置を提供する。
【解決手段】 分光装置１は、入力部１３を通して入力される被測定光を分光素子９によって分光した後、分光された各波長の光を集光光学系７で集光して出力部１５を通して光信号として出力する分光器３と、光信号の波長を走査する波長走査手段１７と、光信号を検出して電気信号に変換して出力する光検出部１９と、光検出部２９から出力された電気信号から被測定光のスペクトルを算出する演算部２１Ｂと、を備え、出力部１５は、集光光学系７によって集光される各波長の光の集光位置を含む面に配置される基体１５ａに各波長の光を選択する複数の光成分選択部１５ｂ〜１５ｅが設けられて構成されており、演算部は、出力部１５が有する複数の光成分選択部の空間パターンと電気信号とを利用して被測定光のスペクトルを算出する。 （もっと読む）

【課題】高速に波長掃引することができ、かつ、高い波長分解能が得られる光スペクトラムアナライザを実現することを目的にする。
【解決手段】被測定光を回折格子によって分光し、分光された被測定光を測定して光スペクトラムを求める光スペクトラムアナライザに改良を加えたものである。本装置は、回折格子に入射する被測定光の入射角を変える偏向手段と、分光された被測定光を受光し、光強度に応じた電気信号を出力する受光手段と、この受光手段からの電気信号に基づいて被測定光の光スペクトラムを求める信号処理部とを有し、受光手段は、回折格子の波長分散方向に沿って複数個配列され、互いに独立して電気信号を出力することを特徴とするものである。 （もっと読む）

本発明は、光信号の主成分の振幅を決定する光学分析システムを提供する。主成分とは、分光分析を受ける物質における種々の化合物のうち、特定の化合物の濃度を意味する。光信号には、波長の選択的な重み付けを加える。スペクトルの重み付けは、好ましくは、分散光学素子と組み合わせて空間的光操作手段によって行う。本発明による較正機構及び方法によれば、空間的光操作手段の正確な位置決めを効果的に行うことができる。この較正は、基準光源および検出器と組み合わせた空間的光操作手段における較正セグメントに基づく。
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光ビームの光のスペクトルを選択検出するための光学装置（２）であって、特に共焦点走査顕微鏡（１）内で検出光ビーム（３）の光を検出するのに好適なものであり、光ビームを空間的にスペクトル分解するための手段（１８）と、予め設定可能な連続スペクトル領域を選択するための選択手段と、検出器（２８）とを有する光学装置において、選択された連続スペクトル領域内において予め設定可能なスペクトル部分領域をマスクするために光ビーム中に導入可能な少なくとも１つの遮断素子（２５、２６、２７）を備えることを特徴としている。 （もっと読む）