【課題】電池用電極材に対して、簡便に評価を行うことができる厚さ測定装置、及び厚さ測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる測定装置は、太陽電池のセル２１の電極の抵抗分布を測定する測定装置であって、セル２１との間にエアギャップを形成するため、セル２１にエアを噴出する測定ヘッド３１と、測定ヘッド３１に設けられたコイル４１と、コイル４１に接続された発振器５０と、測定ヘッド３１とセル２１との相対位置を変化させる可動部１３と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】信頼性が高い検査結果を得ることができる検査治具を提供すること。
【解決手段】検出電極１０２を有する静電容量センサーシート１００の検査をするために検出電極１０２に接続される検査装置に適用される検査治具１０であって、静電容量センサーシート１００との間に空気層を生じさせる凹部１３を有し静電容量センサーシート１００が載置される載置台１１と、凹部１３内に設けられ、載置台１１に載置された静電容量センサーシート１００の厚さ方向からみたときに検出電極１０２と重なる位置で静電容量センサーシート１００を支持する柱状部１５と、検査装置と電気的に接続され柱状部１５との間に検出電極１０２が挟まれるように静電容量センサーシート１００に押し当てられる押し子１７と、静電容量センサーシート１００の厚さ方向の一方の表面を柱状部１５に密着させる密着手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ミリ波帯における誘電材料の誘電率や透磁率などの電気特性を，広い温度範囲で測定できるようにし、温度変化の激しい環境下で使用されるようなミリ波帯無線装置に用いられる誘電材料の開発・選択を容易にする。
【解決手段】ビームレンズ１０７，１０８を備えた２つの電磁ホーン１０１，１０２の焦点が一致するように配置し、その焦点位置に置いた板状の誘電材料試料１０６のミリ波帯における透過特性を測定して、誘電材料の電気特性を測定するようにした誘電材料の電気特性測定装置において、前記試料１０６をその内部に含む密閉空間１４を、ケース１および該ケース１に設けた開口部に着脱可能なシール２により形成し、温度を可変制御可能な加熱・冷却装置３により温度制御されたガスを上記密閉空間１４内へ通流させて前記試料１０６の温度を目標温度とし、この目標温度における試料の電気特性を測定できるようにする。 （もっと読む）

【課題】厚さの薄いチップ抵抗器においても、測定端子の接触圧を十分に付与しつつ、且つたわみによる測定誤差の影響を排除して、測定時の抵抗値変化を極力抑えることで、高精度の測定が行える抵抗測定装置を提供する。
【解決手段】チップ抵抗器Ｒの両端に形成された一対の電極端子に測定端子３ａ，３ｂを押し当てて、前記抵抗器の抵抗値を測定する装置であって、前記測定端子を押し当てたときに、前記抵抗器を反対側で受ける受け部材２を備え、該受け部材の前記抵抗器が押し当てられる部分に凹み２ａを備え、該凹みの径ｒが前記抵抗器Ｒよりも大きいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】４探針プローブの移動及び移動速度を容易に制御することが可能な抵抗率測定装置を提供する。
【解決手段】 試料が載置される測定ステージと、４探針プローブと、回転軸を有するモーターと、前記モーターの前記回転軸に連結された偏心カムと、前記４探針プローブを保持するとともに、前記偏心カムの回転に従動して前記４探針プローブを前記測定ステージに対して接近する側及び離間する側にそれぞれ移動させる保持体と、前記モーターの回転及び回転速度により前記４探針プローブの移動及び移動速度を制御する制御部と、を備えた抵抗率測定装置。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ端部付近における測定値変動を正しく補正し、正確な値を求めることができる半導体ウェーハ抵抗率測定装置を提供する。
【解決手段】４探針抵抗率測定器を用いて半導体ウェーハ１２の抵抗率を測定する半導体ウェーハ抵抗率測定装置において、４探針プローブ１４の４探針に供給する電流の探針と測定する電圧の探針を変更して半導体ウェーハ１２の端部から半径方向の直線上における複数の位置の抵抗率を測定手段により測定する。前記測定手段により測定された複数値に対して演算を行ってから前記各測定位置から前記ウェーハ端部までの距離と半導体ウェーハ上に生成される薄膜の端部までの距離との差による端部補正係数を乗じて抵抗値を得る。 （もっと読む）

【課題】半導体素子の電気的特性と２本のプローブの校正とをプローブ付け替えせずに行え、高い校正精度を維持して電気的特性を測定することを可能にする校正用基板を提供する。
【解決手段】製品チップが形成される製品チップ領域、およびこの製品チップの電気的特性を測定するための校正用の校正用素子が形成される校正用素子領域とを有するウエハ５と、このウエハ５の製品チップ領域に形成され、互いにウエハ５面上で直交する入力信号経路６６および出力信号経路６７、６８を有する半導体素子４２と、それぞれウエハ５の校正用素子領域に形成され、この半導体素子４２の入出力に接触される２本のプローブ１４、１５及びプローブ１６の各プローブ先端が接触される互いに直交配置された入力パッドおよび出力パッドを入出力側に設けた４つの校正用素子とを備える。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの測定チャネル（１８，２０，２２，２４）と、少なくとも１つの測定チャネル（１８，２０，２２，２４）に電気的に接続され、電子回路内の電気測定対象物（４０，４２，４４，４６，４８）の電気信号線（５０）に非接触または接触接続するように設計された少なくとも１の測定プローブ（２８）とを有する測定装置（１０）を有する、基板（３８）上の電気測定対象物（４０，４２，４４，４６，４８）の散乱パラメータを決定する測定システムに関する。本発明によれば、第１の位置決め装置（３０）は、少なくとも１つの測定プローブ（２８）を備え、少なくとも１つのセンサ（３４）は、少なくとも１つの測定プローブ（２８）の位置を検出し、位置信号を出力する。
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【課題】再現性を有し、測定精度を格段と向上させることのできるプリント回路基板用測定装置を提供すること。
【解決手段】筐体２内に収納されたプリント回路基板３における物性特性を測定するための測定装置であって、外部の測定器に対しケーブルを介して接続される少なくとも４つの測定端子４と、その同軸上に回転自在に設けられ、プリント回路基板３における測定ポイントへ接触するための電極ピン６と、各測定端子４を当該各測定端子４の軸を中心に回転自在に、且つ、プリント回路基板３に対し略垂直に保持すると共に、筐体２の対向する１対の側壁部２ａ，２ａ間上方に、これと直交する方向にスライド自在に架設される本体部１と、本体部１を筐体２に対しスライド自在に保持すると共に、所望の位置にて固定可能な位置決め手段５とを有し、電極ピン６は、ばね機構６ａを備えると共に、プリント回路基板３に向かう端部側に屈折したクランク部６ｂを設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】電率検出器の検出部を計器元弁の先まで挿入させた試料の測定時における導電率検出器の設地位置と、導電率検出器の検出部が計器元弁により挟み込まれない位置まで引き抜かれた試料の非測定時における導電率検出器の設置位置を、保守作業員の経験に基づいた感覚に頼ることなく、誰もが容易に確認することができる導電率検出器の進退移動台座を提供する。
【解決手段】土台の上に固定したレールと、導電率検出器を取り付けた状態で、レールの長手方向に沿ってスライド移動が可能である移動基台と、レールにおける移動基台のスライド移動を規制するために所定の間隔を開けてレールに固定した一対のストッパーを備え、前側のストッパーは、導電率検出器の検出部を計器元弁の先まで挿入させた試料の測定時における導電率検出器の設置位置に対応して配置され、後側のストッパーは、導電率検出器の検出部が計器元弁により挟み込まれない位置まで引き抜かれた試料の非測定時における導電率検出器の設置位置に対応して配置されている。 （もっと読む）

【課題】検出部を計器元弁の先まで挿入させた試料測定時の導電率検出器の設地位置と、検出部が計器元弁により挟み込まれない位置まで引き抜かれた試料非測定時の導電率検出器の設置位置を、誰もが容易に確認することができる導電率検出器の進退移動台座を提供する。
【解決手段】操作ハンドルの操作により回転する捩子棒体７と、導電率検出器１を取り付けた状態で捩子棒体７に装着され捩子棒体７の回転により捩子棒体７の長手方向に沿って移動が可能である移動基台８と、長手方向の移動距離を制限する制限部１１を備え、制限部１１は導電率検出器１の検出部５を計器元弁Ｇの先まで挿入させた測定時の導電率検出器１の設置位置に移動基台８が到達したとき、また検出部５が計器元弁Ｇにより挟み込まれない位置まで引き抜かれた非測定時の導電率検出器１の設置位置に移動基台８が到達したときに捩子棒体７の回転を停止し、移動基台８の移動範囲を制限している。 （もっと読む）

【課題】 誘電体試料に対する探針の接触力が常に一定になるようにし、測定後の演算処理を行うことなく誘電率の空間分布の測定や温度依存性の測定を正確に行う。
【解決手段】 試料ステージに載せた誘電体試料の表面に接触させる探針と、探針の周囲に設けられた固定電位の電極と、探針が誘電体試料の表面に接触して生じるキャパシタンスが並列になるように探針および電極に接続されるＬＣ発振回路と、ＬＣ発振回路の発振周波数を測定する周波数弁別器とを備え、ＬＣ発振回路の発振周波数から誘電体試料の探針直下の微小領域の誘電率を測定する誘電率測定装置において、探針と電極とＬＣ発振回路を取り付ける基板と、レールと、レールに沿って鉛直方向に可動するブロックとを備え、基板とブロックを結合し、探針と電極とＬＣ発振回路が一体で鉛直方向に可動する構成である。 （もっと読む）

【課題】基板に設けられたスルーホールやコンタクトホールなどの導体配線の導通状態を正確に検査することができるプローブ、プローブカード及び検査装置の提供を課題とする。
【解決手段】基板に設けられたスルーホールやコンタクトホールなどの孔における導体配線の導通状態を検査するプローブ１０である。このプローブ１０は、弾性変形可能な脚部１１と、この脚部１１の先端側に設けられ貫通孔２２に設けられた導体配線２１に接触する接触部１３とを備えている。接触部１３は、貫通孔２２に入り込まない形状及び大きさに形成されている。 （もっと読む）

【課題】 隣接する回路配線間の高抵抗ショートを例えば静電容量測定のみによって検査可能とする。
【解決手段】 回路基板１０の一方の面に独立パターンとして形成されている複数の回路配線１１の良否を検査するにあたって、回路基板１０の他方の面側に複数の回路配線１１と対向してその各々との間で静電容量をもつ共通電極基板２０を備え、回路配線１１を一つずつ選択し、その選択された回路配線１１と共通電極基板２０との間に所定周波数の測定信号を印加し、それによって測定される静電容量値に基づいて回路配線１１の良否を検査する回路基板検査方法において、同一の回路配線１１に対して、周波数が異なる少なくとも２種類の測定信号を印加し、各測定信号で測定される静電容量値の差分値が所定の基準値よりも大きい場合に、その回路配線１１に短絡ありと判定する。 （もっと読む）

【課題】被検査基板の導通検査を正確に行う。
【解決手段】制御部のＣＰＵ８１１は、予め選択された基準基板について測定点セット間の抵抗値である基準抵抗値を測定する基準抵抗測定部８１１ａと、測定点セット毎に閾値を設定する閾値設定部８１１ｃと、被検査基板の測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定部８１１ｄと、測定点セット毎に閾値に基づいて検査抵抗値の良否を判定する判定部８１１ｅとを備えている。 （もっと読む）

エッチングされた相互接続層のステッチされたマスクの単向性位置ずれの電気的測定する調整された可変抵抗構造のための装置および方法は、第１のテストパッド（１０１）と第２のテストパッド（１０２）であって、これらの間の抵抗値を測定するためのパッドと、第１のテストパッド（１０１）に第１の端部において電気的に接続された第１の抵抗素子（１０５）と、第２のテストパッド（１０２）に第１の端部において電気的に接続された第２の抵抗素子（１０５）と、を含む。第１の抵抗素子と第２の抵抗素子とは、縦オフセット（１１２）により、電気的に接続されている。第１のテストパッドと第２のテストパッドとの間を測定した抵抗値は、図１Ｃ−図１Ｅに見られる、縦オフセットに対する第１の抵抗素子と第２の抵抗素子との位置決めに従って可変である。指示器は、抵抗素子が位置決めされている表示を選択的に備えてもよい。
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移動度及びシート電荷密度を非接触で測定するための装置（１０）であり、該装置は、マイクロ波源（１６）、マイクロ波パワーを、測定位置における半導体ウエハ又は平面パネルディスプレイ用パネルのようなサンプル（５９）に伝達する円形の導波管（５０）、前方へのマイクロ波パワーを検出する第１の検出器（１８）、サンプルから反射されたマイクロ波パワーを検出する第２の検出器（２３）及び、ホール効果パワーを検出する第３の検出器（９５）を有する。テスト装置（１０）内でウエハ（５９）を自動的に位置決めするための自動位置決めシステム（７００）も設けられる。位置決めシステム（７００）は、第１のエンドエフェクタ（７０６）及び回転／昇降器（７０４）を有しており。第１のエンドエフェクタは、シート素子（５９）をつかんで、テスト装置（１０）内の所望の位置に移動させる。一方、回転／昇降器（７０４）は、シート素子（５９）のシータ角のインクリメンタルな調整が出来、該シート素子の位置を手動で調整する必要なく、完全なシート素子の自動マッピングが可能となる。第２のエンドエフェクタ（７１６）を第１のエンドエフェクタ（７０６）の反対側に設け、装置（１０）の反対側の端部に位置するシート抵抗テストモジュール（７１８）内にシート素子（５９）を自動で位置決めするために使用することも出来る。
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