検査治具
【課題】信頼性が高い検査結果を得ることができる検査治具を提供すること。
【解決手段】検出電極１０２を有する静電容量センサーシート１００の検査をするために検出電極１０２に接続される検査装置に適用される検査治具１０であって、静電容量センサーシート１００との間に空気層を生じさせる凹部１３を有し静電容量センサーシート１００が載置される載置台１１と、凹部１３内に設けられ、載置台１１に載置された静電容量センサーシート１００の厚さ方向からみたときに検出電極１０２と重なる位置で静電容量センサーシート１００を支持する柱状部１５と、検査装置と電気的に接続され柱状部１５との間に検出電極１０２が挟まれるように静電容量センサーシート１００に押し当てられる押し子１７と、静電容量センサーシート１００の厚さ方向の一方の表面を柱状部１５に密着させる密着手段と、を備えることを特徴とする。
【解決手段】検出電極１０２を有する静電容量センサーシート１００の検査をするために検出電極１０２に接続される検査装置に適用される検査治具１０であって、静電容量センサーシート１００との間に空気層を生じさせる凹部１３を有し静電容量センサーシート１００が載置される載置台１１と、凹部１３内に設けられ、載置台１１に載置された静電容量センサーシート１００の厚さ方向からみたときに検出電極１０２と重なる位置で静電容量センサーシート１００を支持する柱状部１５と、検査装置と電気的に接続され柱状部１５との間に検出電極１０２が挟まれるように静電容量センサーシート１００に押し当てられる押し子１７と、静電容量センサーシート１００の厚さ方向の一方の表面を柱状部１５に密着させる密着手段と、を備えることを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電容量センサーシートの検査装置に適用される検査治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、表示画面と重ねて設置され、ユーザが直感的に操作できるタッチパネルが知られている。タッチパネルには、ユーザの指などが近接することを検出するための検出電極を有する静電容量センサーシート（以下、単に「センサーシート」と称する。）が設けられている。
【０００３】
センサーシートが仕様通りの性能を発揮できるか検査するための一方法として、静電容量の変化を検出する検出回路にセンサーシートを接続し、ユーザの指などの入力体の代替となる電極を、センサーシートの検出電極に近接させることが知られている。
【０００４】
センサーシートの検査装置の例として、例えば特許文献１には、入力体の代替となる複数の電極（検査電極）を有する検査治具を備えた検査装置が開示されている。特許文献１に記載の検査装置では、センサーシート（センサーモジュール）の検出電極（センサ電極）に検査治具の検査電極が一定の間隔を開けて対向するように、センサーシートに検査治具が取り付けられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−８６０２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
センサーシートは、樹脂やガラスなどからなる硬質な筐体に接着されたり、インサート成形などによって樹脂等からなる硬質なパネルと一体成形されたりする。一般的に、センサーシートは、これらの筐体やパネルと密着した状態で使用されるようになっており、センサーシートの検査時においても、実際の使用状態と近い条件でセンサーシートが検査されることが好ましい。
しかしながら、センサーシートの製造時に反り等がある場合、特許文献１に記載の検査装置では、検査されるセンサーシートが必ずしも平坦とならない場合がある。このため、センサーシートが実際に使用される条件とは異なる条件下での検査となり、検査結果の信頼性が低下するおそれがある。
【０００７】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、信頼性が高い検査結果を得ることができる検査治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明の検査治具は、検出電極を有する静電容量センサーシートの検査をするために前記検出電極に接続される検査装置に適用される検査治具であって、前記静電容量センサーシートとの間に空気層を生じさせる凹部を有し前記静電容量センサーシートが載置される載置台と、前記凹部内に設けられ、前記載置台に載置された前記静電容量センサーシートの厚さ方向からみたときに前記検出電極と重なる位置で前記静電容量センサーシートを支持する柱状部と、前記検査装置と電気的に接続され前記柱状部との間に前記検出電極が挟まれるように前記静電容量センサーシートに押し当てられる押し子と、前記静電容量センサーシートの厚さ方向の一方の表面を前記柱状部に密着させる密着手段と、を備えることを特徴とする検査治具である。
【０００９】
また、前記密着手段は、前記一方の表面の形状に倣って前記柱状部に形成された柱状部側密着面と、前記柱状部側密着面に形成された開口と、前記柱状部側密着面に接する前記一方の表面を前記開口を通じて吸引するために前記柱状部に形成された吸引通路と、を備えることが好ましい。
【００１０】
また、前記密着手段は、前記柱状部に設けられ、前記一方の表面の形状に倣った形状で前記一方の表面に対して再剥離可能に付着する柱状部側密着面を備えていてもよい。
【００１１】
また、前記密着手段は、前記一方の表面の形状に倣って前記柱状部に形成された柱状部側密着面と、前記静電容量センサーシートにおける前記一方の表面に対する他方の表面に接し、前記一方の表面を前記柱状部側密着面に押し付けるピンを備えていてもよい。
【００１２】
また、前記押し子は、前記一方の表面に対する他方の表面に密着するように前記他方の表面の形状に倣って形成された押し子側密着面を有することが好ましい。
【００１３】
また、前記押し子側密着面は直径が５ｍｍ以上２０ｍｍ以下の円形に形成され、前記柱状部側密着面は前記押し子側密着面の直径よりも大きい直径を有する円形に形成されていることが好ましい。
【００１４】
また、前記載置台に着脱可能に取り付けられ前記押し子を前記柱状部へ向けて案内するガイド部材を有し、前記ガイド部材には、前記柱状部の中心軸と同軸状に前記ガイド部材を貫通する貫通孔が形成され、前記貫通孔の内寸は、前記押し子が進退自在に挿通されるとともに前記押し子の中心軸が前記柱状部の中心軸と略同軸となるように前記押し子を支持可能な内寸であり、前記柱状部側密着面の外寸は、前記貫通孔の内寸と略等しいことが好ましい。
【００１５】
また、前記押し子は、前記検査装置と電気的に接続され前記押し子側密着面が形成された押し子本体と、前記押し子本体に対して着脱可能であり前記他方の表面の形状に倣って形成された押し子側第二密着面を有し押し子側密着面と前記静電容量センサーシートとの間に所定の隙間を生じさせるスペーサと、を有し、前記スペーサの誘電率は、前記静電容量センサーシートの使用時に前記静電容量センサーシートの厚さ方向に重ねられるパネルの誘電率と略同じであり、前記所定の隙間の大きさは、前記パネルの厚さと略等しいことが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の検査治具によれば、センサーシートの反りを矯正することができるので、信頼性が高い検査結果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態の検査治具を備える検査装置およびセンサーシートを示すブロック図である。
【図２】同検査治具を示す平面図である。
【図３】同検査治具を示す側面図である。
【図４】同検査治具における載置台を示す平面図である。
【図５】図２のＡ−Ａ線における断面図である。
【図６】検査治具の部分断面図である。
【図７】同実施形態の変形例の検査治具の構成を示す部分断面図である。
【図８】同実施形態の他の変形例の検査治具を図２のＡ−Ａ線と同様の断面で示す断面図である。
【図９】同実施形態のさらに他の変形例の検査治具を図２のＡ−Ａ線と同様の断面で示す断面図である。
【図１０】同実施形態のさらに他の変形例の検査治具の一部の構成を示す断面図である。
【図１１】本発明の第２実施形態の検査治具の一部の構成を示す断面図である。
【図１２】同実施形態の変形例の検査治具の一部の構成を示す断面図である。
【図１３】本発明の第３実施形態の検査治具の一部の構成を示す断面図である。
【図１４】同実施形態の変形例の検査治具の一部の構成を示す平面図である。
【図１５】図１４のＢ矢視図である。
【図１６】同実施形態の他の変形例の検査治具の一部の構成を一部断面で示す斜視図である。
【図１７】同変形例の検査治具の一部の構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態の検査治具１０について、検査治具１０を備える検査装置１を例に説明する。図１は、検査装置およびセンサーシートを示すブロック図である。
図１に示すように、検査装置１は、静電容量の変化を検出するための静電容量センサーシート１００（以下、単に「センサーシート１００」と称する。）を検査する装置である。本実施形態で検査装置１によって検査されるセンサーシート１００は、板状、シート状、あるいはフィルム状に形成された絶縁体からなる基板１０１と、基板１０１上に形成された検出電極１０２と、検出電極１０２に一端が接続された配線１０３とを有している。配線１０３の他端は、基板１０１の周縁部に配置されており、静電容量を検出する検出回路に接続するための端子となっている。
検査装置１は、センサーシート１００を保持する検査治具１０と、センサーシート１００の端子に接続される検査回路３０と、検査回路３０による検査結果を表示する表示部４０とを備える。
【００１９】
図２は、検査治具１０を示す平面図である。図３は、検査治具１０を示す側面図である。図４は、検査治具１０における載置台１１を示す平面図である。図５は、図２のＡ−Ａ線における断面図である。
図２、図３、および図４に示すように、検査治具１０は、載置台１１と、柱状部１５と、押し子１７と、ガイド部材２０とを備える。
図３および図４に示すように、載置台１１は、センサーシート１００が載置される台であり、センサーシート１００が載置される載置面１２を有する略直方体形状に形成されている。
図４および図５に示すように、載置台１１には、平面視でセンサーシート１００の周縁より僅かに内側に輪郭が位置する凹部１３と、載置面１２に直交する方向へ載置面１２から突出した凸部１４とが形成されている。
【００２０】
図５に示すように、凹部１３は、載置面１２に直交する方向へ載置面１２から窪んで形成されており、凹部１３の底面には、複数の柱状部１５が固定されている。図４および図５に示すように、載置面１２にセンサーシート１００が載置されたときに、凹部１３は少なくともセンサーシート１００において検査対象となる検出電極１０２のすべてを囲むように開口されている。なお、凹部１３の開口の形状は、センサーシート１００の検出電極１０２が検査対象であるか否かによらず全ての検出電極１０２を囲む形状であってもよい。
【００２１】
図５に示すように、凹部１３の深さ寸法ｄは、センサーシート１００が電子機器等に組み込まれて実際に使用される状態でセンサーシート１００との間に生じる隙間（空気層）の厚さを考慮して設定される。例えば、凹部１３の深さ寸法ｄは、例えば３ｍｍ以上１３ｍｍ以下、具体的には３ｍｍ、５ｍｍ、１３ｍｍなどに設定される。これにより、凹部１３は、載置面１２上にセンサーシート１００が載置されたときに、センサーシート１００との間に所定の厚さの空気層を生じさせる。なお、凹部１３の深さ寸法ｄが大きくなるほど、凹部１３の底部がセンサーシート１００における検出感度に与える影響が軽減される。このため、センサーシート１００における検出感度への検査治具１０による影響を軽減するという観点からは、凹部１３の深さ寸法ｄは大きい方が好ましい。
【００２２】
凸部１４は、載置面１２とガイド部材２０との間に隙間を空け、センサーシート１００とガイド部材２０との間に空気層を生じさせる。凸部１４の突出量は、凹部１３の深さ寸法ｄの設定方法と同様に、センサーシート１００の検出感度への検査治具１０による影響を考慮して設定される。これにより、凸部１４は、載置面１２上にセンサーシート１００が載置されたときに、センサーシート１００との間に所定の厚さの空気層を生じさせる。凸部１４と上述の凹部１３とがともに載置台１１に形成されている場合、センサーシート１００の厚さ方向の両面は空気層に接している。
【００２３】
なお、センサーシート１００の使用時に、センサーシート１００の厚さ方向の両面のうち検査治具１０の載置面１２に接する表面（本明細書では、「センサーシート１００の一方の表面１００ａ」と称する。）と反対側の表面（本明細書では、「センサーシート１００の他方の表面１００ｂ」と称する。）が樹脂等のパネルに密着した状態となる場合には、検査治具１０は凸部１４を有していなくてもよい。
【００２４】
図４および図５に示すように、柱状部１５は、載置面１２にセンサーシート１００が載置されたときに平面視でセンサーシート１００の検出電極１０２と重なる位置に配置された柱状の部材である。本実施形態では、柱状部１５は、円柱形状に形成されており、凹部１３の底に固定された側と反対側の端面は、センサーシート１００の表面の形状に倣って形成された柱状部側密着面１６となっている。本実施形態では、センサーシート１００は平坦な板状、シート状、あるいはフィルム状であるので、本実施形態における柱状部側密着面１６は、センサーシート１００の外面に倣って平坦な面となっている。これにより、柱状部側密着面１６は、センサーシート１００の厚さ方向の一方の表面１００ａに密着する。さらに、柱状部側密着面１６は、後述する押し子１７に形成された押し子側密着面１８の外径と等しいか僅かに大きな略円形（真円形を含む）形成されている。
柱状部１５の中心軸線方向における柱状部側密着面１６の位置は、載置面１２と面一となっている。これにより、柱状部１５は、載置面１２上に載置されたセンサーシート１００を載置面１２に沿って支持することができる。
【００２５】
載置台１１を平面視したときの柱状部側密着面１６の位置は、載置面１２にセンサーシート１００が載置されたときに、検出電極１０２内で検査を行う位置に設定されている。たとえば、センサーシート１００を平面視したときの検出電極１０２の中央に対して検査を行う場合には、柱状部側密着面１６は、検出電極１０２の中央と重なる位置に配置される。
【００２６】
柱状部１５の内部には、センサーシート１００を柱状部側密着面１６に吸着させるための吸引通路（密着手段）１５ａが形成されている。吸引通路１５ａは、柱状部１５の上面（柱状部側密着面１６）に開口１５ａ１が配され、載置台１１の外面に開口１５ａ２が配されている。本実施形態では、吸引通路１５ａは、複数の柱状部１５のそれぞれに１つずつ形成されている。さらに、複数の吸引通路１５ａは、載置台１１内で集合され、載置台１１の外面に配された１つの開口１５ａ２に接続されている。載置台１１の外面に配された開口１５ａ２には、図示しない吸引ポンプを接続することができるようになっている。吸引通路１５ａの開口１５ａ２に吸引ポンプを接続し、吸引ポンプを駆動させることにより、柱状部側密着面１６に接したセンサーシート１００を柱状部側密着面１６に吸着させることができる。
【００２７】
本実施形態では、柱状部１５は、載置台１１と一体成形されている。載置台１１および柱状部１５の材質は、検査装置１において不要な静電容量が検出されるのを防ぐ目的で、誘電率の低い材質が採用されている。本実施形態では、載置台１１および柱状部１５の材質としては、フッ素樹脂、発泡スチロール、あるいはスポンジなどを採用することができる。
【００２８】
図１に示すように、押し子１７は、検査装置１と電気的に接続された導電体からなる部材である。押し子１７は、センサーシート１００に対して入力を行う指やスタイラスペンを模した部材であり、センサーシート１００の検出電極１０２に対する検査のための入力操作をする目的で設けられている。
【００２９】
図５に示すように、押し子１７は、センサーシート１００の他方の表面１００ｂの形状に倣って形成された押し子側密着面１８を有する。押し子側密着面１８は、センサーシート１００の他方の表面１００ｂに密着する面であり、たとえばセンサーシート１００を使用するユーザの指の太さに基づいて寸法が設定されている。具体的には、押し子側密着面１８は、センサーシート１００にユーザの指が接触する接触面積と略同程度の面積となる直径が５ｍｍ以上２０ｍｍ以下の円形に形成される。
【００３０】
押し子１７の位置は、後述するガイド部材２０によってガイドされ、柱状部１５との間に検出電極１０２が挟まれるように押し子側密着面１８がセンサーシート１００に押し当てられる。
押し子１７における押し子側密着面１８と反対側の端面には、検査装置１の検査回路３０と電気的に接続するためのコードが取り付けられている。本実施形態では、押し子１７は、検査装置１の検査回路３０におけるグランドに接続される。
【００３１】
図３および図５に示すように、ガイド部材２０は、載置台１１に着脱可能に取り付けられる板状の部材であり、柱状部１５へ向けて押し子１７を案内するための貫通孔２１を有する。
図３に示すように、ガイド部材２０は、載置台１１の凸部１４によって、載置台１１の載置面１２との間に隙間が空けられた状態で支持される。
【００３２】
図５に示すように、ガイド部材２０に形成された貫通孔２１は、柱状部１５の中心軸と同軸状にガイド部材２０を貫通している。貫通孔２１の内寸は、押し子１７が進退自在に挿通される内寸であり、且つ、押し子１７の中心軸が柱状部１５の中心軸と略同軸となるように押し子１７を支持可能な内寸となっている。さらに、貫通孔２１の内寸と柱状部側密着面１６の外寸とは略等しい。
【００３３】
ガイド部材２０は、載置面１２にセンサーシート１００が載置されたときに、検出電極１０２内で検査を行う位置へと押し子側密着面１８を案内する。たとえば、本実施形態では、センサーシート１００を平面視したときの検出電極１０２の中央に対して検査を行うようになっている。そのため、ガイド部材２０は、検出電極１０２の中央と重なり柱状部側密着面１６と対向する位置に押し子側密着面１８を案内する。
【００３４】
なお、ガイド部材２０に形成された貫通孔２１は、押し子１７との間に適切なクリアランスを有していることが好ましい。適切なクリアランスの大きさは、押し子側密着面１８がセンサーシート１００の他方の表面１００ｂに密着するように押し子１７が貫通孔２１内で僅かに傾くことを許容できる大きさである。
【００３５】
以上に説明した構成の検査治具１０の作用について説明する。図６は、検査治具１０の部分断面図である。
検査治具１０は、静電容量の変化を検出する検査回路３０を備えた検査装置１とともに使用される。なお、以下では、検査装置１が自己容量方式のセンサーシート１００の検査を行う場合を例にして説明する。
【００３６】
検査装置１の使用時には、まず、センサーシート１００を検査治具１０に取り付けるとともにセンサーシート１００の端子を検査回路３０に接続し、検査治具１０の押し子１７を検査回路３０に接続する（図１参照）。これにより、検査回路３０においては、センサーシート１００の検出電極１０２に押し子１７を近接させることによって検出電極１０２における静電容量の変化を検出することができる。
【００３７】
図６に示すように、検査治具１０へセンサーシート１００を取り付けるためには、まず、センサーシート１００を載置面１２に載置する。このとき、センサーシート１００の外縁が平面視で凹部１３の開口の僅かに外側に位置し、センサーシート１００において検査する検出電極１０２が平面視で凹部１３内に位置するように、センサーシート１００を載置する。
図５に示すように、センサーシート１００の外縁は、載置面１２によって支持される。さらに、センサーシート１００の検出電極１０２は、柱状部１５の柱状部側密着面１６によって支持される。センサーシート１００の一方の表面１００ａは、凹部１３によって生じる空気層と接している。
【００３８】
続いて、載置台１１にガイド部材２０を取り付け、その後、検査装置１の検査回路３０によって各検出電極１０２における静電容量の検出を開始する。ガイド部材２０に押し子１７が挿入されていない状態は、検出電極１０２に対する入力操作がされていない状態に対応する。
【００３９】
続いて、図６に示すように、ガイド部材２０に形成された貫通孔２１に押し子１７を挿入する。ガイド部材２０の貫通孔２１に押し子１７を挿入する動作は、手作業によって行ってもよいし、図示しないマニピュレータ等を用いて行ってもよい。
センサーシート１００の１つの検出電極１０２のみを検査するときには、押し子１７を貫通孔２１に１つだけ挿入する。また、センサーシート１００の複数の検出電極１０２を検査するときには、検査する部位に対応する貫通孔２１に押し子１７をそれぞれ挿入する。さらに、１つの検出電極１０２の複数の位置への同時入力を検査する場合には、検査対象となる位置に対応する貫通孔２１にそれぞれ押し子１７を挿入する。
【００４０】
ガイド部材２０の貫通孔２１に挿入された押し子１７は、押し子１７に形成された押し子側密着面１８がセンサーシート１００の他方の表面１００ｂへと案内される。これにより、センサーシート１００の検出電極１０２は、押し子側密着面１８と柱状部側密着面１６とによってはさまれた状態となる。
【００４１】
検査回路３０のグランドに押し子１７が接続されているので、検出回路は、押し子側密着面１８がセンサーシート１００に密着したことによる検出電極１０２の静電容量の変化を検出する。検査回路３０は、静電容量の変化量が仕様で定められた範囲内にあるか否かを判定し、検査結果をたとえば表示部４０に出力する。
【００４２】
ところで、センサーシート１００に反りが生じている場合、センサーシート１００と柱状部側密着面１６との間に隙間が生じる場合がる。センサーシート１００が柱状部側密着面１６に密着していない状態で検査治具１０を用いた検査を行なうと、センサーシート１００が柱状部側密着面１６に密着している状態における検査とは異なる検査結果となってしまう。例えば、検出回路３０では、ガイド部材２０に押し子１７が挿入されていない状態における検出値と、ガイド部材２０に押し子１７が挿入されている状態における検出値との差を用いて、入力操作に対するセンサーシート１００の検出感度を検査することができる。しかしながら、上記反りがセンサーシート１００に生じてセンサーシート１００が柱状部側密着面１６から浮いた状態にあると、ガイド部材２０に押し子１０が挿入されていない状態において、センサシート１００が柱状部側密着面１６に密着している場合よりも検出値が小さく検出されてしまう。
【００４３】
本実施形態の検査治具１０では、センサーシート１００に反りが生じている可能性がある場合には、図示しない吸引ポンプを吸引通路１５の開口１５ａ２に接続し、吸引ポンプを駆動させる。これにより、柱状部側密着面１６にセンサーシート１００が吸着され、複数の柱状部側密着面１６が存する一平面に沿った状態となるようにセンサーシート１００が矯正される。これにより、センサーシート１００は、センサーシート１００の実際の使用状態に近い平坦な状態で、柱状部側密着面１６から浮かずに検査される。
【００４４】
なお、センサーシート１００に反りが生じている可能性の有無に関わらず、検査対象となる全てのセンサーシート１００に対する検査を、センサーシート１００を柱状部側密着面１６に吸着させた状態で行なってもよい。
【００４５】
検査対象となる検出電極１０２のすべてに対して、押し子１７を密着させて静電容量の変化を検出し、検査結果を出力して検査は終了する。
検査が終了したら、押し子１７およびガイド部材２０を取り外し、センサーシート１００を載置台１１および検査回路３０から取り外して一連の作業を終了する。
【００４６】
以上説明したように、本実施形態の検査治具１０によれば、センサーシート１００を柱状部側密着面１６に吸着させることができる。このため、センサーシート１００を平坦とすることができ、静電容量センサーシート１００の実際の使用態様に近い条件で静電容量センサーシート１００の検査をすることができる。
【００４７】
また、静電容量センサーシート１００の表面の形状に倣った形状の柱状部側密着面１６が柱状部１５に形成されているので、静電容量センサーシート１００と柱状部１５との間に隙間は生じない。これにより、静電容量の変化を精度よく検査回路３０に測定させることができる。
【００４８】
また、静電容量センサーシート１００の表面の形状に倣った形状の押し子側密着面１８が押し子１７に形成されているので、静電容量センサーシート１００に押し子１７を隙間なく接触させることができる。これにより、静電容量の変化を精度よく検査回路３０に測定させることができる。
【００４９】
また、押し子側密着面１８が直径が５ｍｍ以上２０ｍｍ以下の円形に形成されているので、人の指をセンサーシート１００に接触させた場合に近い条件でセンサーシート１００の検査をすることができる。これにより、センサーシート１００の検査においてセンサーシート１００がユーザによって使用されている状況を再現することができる。
【００５０】
また、ガイド部材２０が設けられていない場合には、検出電極１０２に対して押し子１７を押し付ける位置が検査ごとに異なってしまう場合がある。本実施形態では、ガイド部材２０によって押し子１７を柱状部１５へと案内することができるので、検出電極１０２に対して押し子１７を押し付ける位置の精度が高い。これにより、センサーシート１００ごとに検出電極１０２への押し子１７の押し付け位置が異なってしまう場合と比較して、検査の精度を高めることができる。
【００５１】
（変形例１−１）
次に、上述の実施形態で説明した検査治具１０の変形例について説明する。図７は、本変形例の検査治具を示す部分断面図である。
本変形例の検査治具１０Ａは、押し子１７に代えて押し子１７Ａを備え、ガイド部材２０に代えてガイド部材２０Ａを備える点で上述の検査治具１０と構成が異なっている。
【００５２】
押し子１７Ａは、検査装置１と電気的に接続された押し子本体１７Ａ１と、押し子本体１７Ａ１に対して着脱可能なスペーサ１９とを有する。
押し子本体１７Ａ１は、円柱形状に形成された軸部と、軸部の直径よりも細くガイド部材２０Ａの貫通孔２１Ａに挿入される円柱形状の挿入部とを備える。押し子本体１７Ａ１の挿入部の端面は、上述の押し子側密着面１８と同様の押し子側密着面１８が形成されている。
【００５３】
スペーサ１９は、一方が閉じられた筒状に形成されている。本変形例では、スペーサ１９は、押し子本体１７Ａ１の先端部が挿入可能な断面円形の開口１９ａを有する。スペーサ１９の開口には、スペーサ１９の径方向へ広がって形成された円環状のフランジ１９ｂが形成されている。
さらに、スペーサ１９には、押し子本体１７Ａ１の押し子側密着面１８と密着するスペーサ内密着面１９ｃと、センサーシート１００の他方の表面１００ｂの形状に倣って形成された押し子側第二密着面１９ｄとが形成されている。
【００５４】
スペーサ内密着面１９ｃと押し子側第二密着面１９ｄとは互いに平行な平面となっており、いずれも平滑な表面状態を有している。押し子側第二密着面１９ｄは、上述の押し子１７に形成された押し子側密着面１８と同様に静電容量センサーシート１００の表面に密着することにより、静電容量の変化を精度よく検査回路３０に検出させることができる。
【００５５】
スペーサ１９の誘電率は、静電容量センサーシート１００の使用時に静電容量センサーシート１００の厚さ方向に重ねられるパネルの誘電率と略同じである。スペーサ１９の誘電率をパネルの誘電率と略同じとするためには、スペーサ１９が、パネルの材料と同じ材料によって形成されていればよい。また、パネルの材料と異なる材料を用いてスペーサ１９を形成する場合には、スペーサ１９の厚さを調整したり、複数の材料を混合してスペーサ１９の材料としたりすることもできる。この場合、スペーサ１９の誘電率をパネルの誘電率に近づけることができる。
【００５６】
押し子本体１７Ａ１に取り付けられたスペーサ１９によって、押し子側密着面１８と静電容量センサーシート１００との間に所定の隙間が生じる。所定の隙間の大きさは、パネルの厚さと略等しくなっている。
【００５７】
ガイド部材２０Ａには、上述の実施形態で説明したガイド部材２０の貫通孔２１とは異なる形状の貫通孔２１Ａが形成されている。
貫通孔２１Ａは、スペーサ１９を係止するための係止部２２を有する。係止部２２は、ガイド部材２０Ａの上面側においてフランジ１９ｂの外寸より大きく、ガイド部材２０Ａの下面側においてフランジ１９ｂの外寸より小さくなるように貫通孔２１Ａの内面に形成された段差からなる。
係止部２２にスペーサ１９が係止された状態では、押し子側第二密着面１９ｄは、柱状部側密着面１６と接触可能な程度までガイド部材２０Ａの下面よりも突出する。これにより、スペーサ１９が押し子１７に取り付けられた状態ではスペーサ１９がガイド部材２０Ａと載置台１１との間に落ち込むことなく押し子側第二密着面１９ｄをセンサーシート１００に押し付けることができる。
【００５８】
本変形例では、スペーサ１９を有していることによって、センサーシート１００がパネルに固定されて使用されている状況を再現し、パネルを介して操作入力が行われた場合における検出電極１０２の機能を検査することができる。
【００５９】
なお、本変形例の押し子１７Ａは、スペーサ１９が取り付けられていない状態でも使用することができる。これにより、パネルを設けない条件の下で静電容量センサーシート１００の検査をすることもできる。
【００６０】
（変形例１−２）
次に、上述の実施形態の他の変形例について説明する。図８は、本変形例の検査治具を図２のＡ−Ａ線と同様の断面で示す断面図である。
本変形例の検査治具１０Ｂは、載置面１２上に、センサーシート１００を位置決めするための位置決め部材１１Ｂが設けられている点が上述の検査治具１０と異なっている。
位置決め部材１１Ｂは、たとえば載置台１１に形成された凹部１３の開口の周囲に沿って所定の間隔を開けて複数設けられた突起状に形成されている。位置決め部材１１Ｂによって囲まれる領域内にセンサーシート１００を入れ込むことにより、載置面１２上でセンサーシート１００を位置決めすることができる。
【００６１】
（変形例１−３）
次に、上述の実施形態のさらに他の変形例について説明する。図９は、本変形例の検査治具を図２のＡ−Ａ線と同様の断面で示す断面図である。
図９に示すように、本変形例の検査治具１０Ｃは、センサーシート１００の位置決めをすることができるとともに凹部１３の底部とセンサーシート１００との距離を調整できる点が上述の検査治具１０と異なっている。
本変形例では、凹部１３は、センサーシート１００を内部に収容できる形状に開口されている。また、柱状部１５に加えて、センサーシート１００の外縁を支持する支持部材１１Ｃをさらに備える。
また、柱状部１５と支持部材１１Ｃとは、載置台１１に対して着脱自在であり、中心軸線方向の長さが異なる複数種類が用意されている。
本変形例では、中心軸線方向の長さが異なる柱状部１５および支持部材１１Ｃから１種類を選択して載置台１１に取り付ける。これにより、柱状部１５の上端は一平面上に揃い、センサーシート１００を支持するための載置面１２Ａが生じる。また、支持部材１１Ｃによって、センサーシート１００における検出電極１０２の位置は位置決めされる。載置面１２Ａにセンサーシート１００を載置することによって、上述の実施形態および変形例と同様にセンサーシート１００の検出電極１０２に対する検査を行うことができる。
【００６２】
（変形例１−４）
次に、上述の実施形態のさらに他の変形例について説明する。図１０は、本変形例の検査治具の一部の構成を示す断面図であり、図２のＡ−Ａ線と同様の断面で示した図である。
図１０に示すように、本変形例では、吸引通路１５ａの形状が異なっている。柱状部側密着面１６に設けられた吸引通路１５ａの開口１５ａ１は、柱状部側密着面１６の平面視において、柱状部側密着面１６の外周に沿った複数個所に形成されている。
【００６３】
柱状部側密着面１６は、押し子１７に形成された押し子側密着面１８の直径よりも僅かに大きく形成されている。これにより、押し子側密着面１８は、柱状部側密着面１６において、吸引通路１５ａの開口１５ａ１の内側領域に密着する。
本変形例では、センサーシート１００を検査する際に、柱状部側密着面１６の中央近傍ではセンサーシート１００は平坦な状態で柱状部１５に支持される。このため、本変形例の構成によれば、押し子１７が接する部分を確実に平坦にしつつセンサーシート１００を保持することができる。
なお、吸引通路１５ａは、各柱状部１５に複数設けられていてもよい。
【００６４】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態の検査治具について説明する。図１１は、本実施形態の検査治具の一部の構成を示す断面図であり、図２のＡ−Ａ線と同様の断面で示した図である。
図１１に示すように、本実施形態では、吸引通路１５に代えて、柱状部側密着面１６が粘着層（密着手段）２３を備えている点が異なっている。
【００６５】
粘着層２３は、センサーシート１００に対して再剥離可能な粘着剤を有する層である。また、粘着層２３は柱状部１５に対して再剥離可能に付着し、柱状部１５に対して粘着層２３を貼り替えることができるようになっていることが好ましい。
この場合、粘着層２３は、センサーシート１００に対する粘着力よりも柱状部１５に対する粘着力の方が高いとさらに好ましい。これにより、検査治具１０を用いた検査時に、検査対象となるセンサーシート１００を検査治具１０から取り外すときに粘着層２３が柱状部１５側に残る。
なお、粘着層２３は柱状部１５に固定されていてもよい。
【００６６】
センサーシート１００の検査時には、センサーシート１００を検査治具１０にセットする際に、センサーシート１００は粘着層２３上に載置される。これにより、センサーシート１００に反りが生じている場合にも、センサーシート１００は柱状部側密着面１６によって平坦な状態に矯正される。
【００６７】
このように、本実施形態で説明した構成であっても、上述の第１実施形態と同様の効果を奏する。また、粘着層２３によってセンサーシート１００を保持することができるので、吸引ポンプなどを動かすための動力源が不要であるので、装置構成を簡素にすることができる。
【００６８】
（変形例２−１）
次に、上述の実施形態の変形例について説明する。図１２は、本変形例の検査治具の一部の構成を示す断面図であり、図２のＡ−Ａ線と同様の断面で示した図である。
図１２に示すように、本変形例では、上述の第２実施形態で説明した粘着層２３に代えて、材質及び形状が異なる粘着層（密着手段）２３Ａを備えている点が異なっている。
粘着層２３Ａは、センサーシート１００（図１１参照）の表面形状に倣って変形する柔軟な樹脂からなっている。また、粘着層２３Ａには、センサーシート１００に接する側の面に、微小な凹部２４が形成されている。本実施形態では、微小な凹部２４は、各粘着層２３Ａに対して１つ以上設けられている。
【００６９】
本変形例では、センサーシート１００を検査治具１０にセットする際に、粘着層２３にセンサーシート１００に手作業などで押し付ける。これにより、センサーシート１００と粘着層２３との間の空気が追い出され、センサーシート１００が粘着層２３に付着した状態が維持される。すなわち、微小な凹部２４は微小な吸盤として機能し、センサーシート１００は粘着層２３に吸着される。このような構成であると、センサーシート１００の表面に糊成分が残ることがなく、センサーシート１００を平坦な状態に矯正することができる。
【００７０】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態の検査治具について説明する。図１３は、本実施形態の検査治具の一部の構成を示す断面図であり、図２のＡ−Ａ線と同様の断面で示した図である。
図１３に示すように、本実施形態では、センサーシート１００の表面を柱状部側密着面１６に押し付けるピン（密着手段）２５をさらに備えている点が上記第１実施形態と異なっている。
ピン２５は、ガイド部材２０に設けられている。また、ピン２５は、載置台１１にガイド部材２０が取り付けられた状態において、柱状部側密着面１６の外周に沿う複数個所に突出端２５ａが向けられている。また、本実施形態では、ピン２５は、柱状部１５に対して１つ以上設けられている。なお、１つのピン２５が複数の突出端２５ａを有していてもよい。
【００７１】
ピン２５の突出端２５ａの位置は、載置台１１にガイド部材２０が取り付けられた状態で、柱状部側密着面１６との間にセンサーシート１００の厚さ分だけの隙間が開けられた位置に設定されている。これにより、載置台１１とガイド部材２０との間にセンサーシート１００が配された状態で載置台１１にガイド部材２０が取り付けられると、ピン２５によって、センサーシート１００が載置台１１側へと押される。これにより、各ピン２５は、センサーシート１００の反りを矯正して平坦な状態とする。
本実施形態の構成であっても、上述の第１実施形態、第２実施形態と同様の効果を奏する。
【００７２】
（変形例３−１）
次に、上述の実施形態の変形例について説明する。図１４は、本変形例の検査治具の一部の構成を示す平面図である。図１５は、図１４のＢ矢視図である。
図１４及び図１５に示すように、本変形例では、ピン（密着手段）２５が、柱状部１５の中心軸線に対して交差する方向に延び、且つ弾性を有している点が異なっている。
本変形例では、載置台１１とガイド部材２０との間にセンサーシート１００が配された状態で載置台１１とガイド部材２０とを組み合わせると、ピン２５の突出端２５ａがセンサーシート１００に接する。さらに、ピン２５はセンサーシート１００に押し返されることによって弾性変形する。
このような構成であると、センサーシート１００の厚さ寸法に誤差があってもセンサーシート１００を過剰に圧迫することなくセンサーシート１００を平坦な状態に矯正することができる。
【００７３】
（変形例３−２）
次に、上述の実施形態の他の変形例について説明する。図１６は、本変形例の検査治具の一部の構成を一部断面で示す斜視図である。図１７は、本変形例の検査治具の一部の構成を示す断面図である。
図１６及び図１７に示すように、本変形例では、ピン（密着手段）２５に代えて、ガイド部２０に設けられた上部ピン２６と、載置台１１に設けられた下部ピン２７とを有するピン（密着手段）２８が、複数の柱状部１５から離間した位置に配されている。
上部ピン２６と下部ピン２７とは、上部ピン２６の突出端面と下部ピン２７の突出端面とが、センサーシート１００の厚さ寸法だけ隙間を開けて互いに対向するように対になっている。また、本変形例では、上部ピン２６の突出端面及び下部ピン２７の突出端面とは、いずれも平坦な平面となっている。
本変形例では、複数の柱状部１５からピン２８が離間して配置されているので、ピン２８があることによるセンサーシート１００の検査結果への影響を低く抑えることができる。
【００７４】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
たとえば、上述の実施形態では、センサーシートを柱状部側密着面に吸着させることによりセンサーシートを平坦とする例を示したが、センサーシートは湾曲状態で保持されてもよい。一例を挙げると、複数の柱状部側密着面によって全体として湾曲した面が構成されるように複数の柱状部が設けられていれば、センサーシートが所定の湾曲形状を有している状態でセンサーシートを保持することができる。このような構成であれば、例えば湾曲面を有する筐体にセンサーシートが固定されるような使用方法に適用されるセンサーシートであっても好適に検査することができる。
【００７５】
また、上述の変形例では、スペーサ内密着面および押し子側第二密着面が平坦な平面である例を示したが、スペーサ内密着面および押し子側第二密着面を、センサーシートの形状に倣う立体形状とすることもできる。これにより、立体的に成形されたセンサーシートにおいても精度よく検査を行うことができる。
また、上述の実施形態および変形例において示した構成要素は適宜に組み合わせて構成することが可能である。
【符号の説明】
【００７６】
１ 検査装置
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ 検査治具
１１ 載置台
１２、１２Ａ 載置面
１３ 凹部
１４ 凸部
１５ 柱状部
１５ａ 吸引通路（密着手段）
１５ａ１、１５ａ２ 開口
１６ 柱状部側密着面
１７、１７Ａ 押し子
１７Ａ１ 押し子本体
１８ 押し子側密着面
１９ スペーサ
１９ｄ 押し子側第二密着面
２０、２０Ａ ガイド部材
２１、２１Ａ 貫通孔
２２ 係止部
２３、２３Ａ 粘着層（密着手段）
２４ 微小な凹部
２５、２８ ピン（密着手段）
２５ａ 突出端
３０ 検査回路
４０ 表示部
１００ センサーシート（静電容量センサーシート）
１００ａ 一方の表面
１００ｂ 他方の表面
１０２ 検出電極
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電容量センサーシートの検査装置に適用される検査治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、表示画面と重ねて設置され、ユーザが直感的に操作できるタッチパネルが知られている。タッチパネルには、ユーザの指などが近接することを検出するための検出電極を有する静電容量センサーシート（以下、単に「センサーシート」と称する。）が設けられている。
【０００３】
センサーシートが仕様通りの性能を発揮できるか検査するための一方法として、静電容量の変化を検出する検出回路にセンサーシートを接続し、ユーザの指などの入力体の代替となる電極を、センサーシートの検出電極に近接させることが知られている。
【０００４】
センサーシートの検査装置の例として、例えば特許文献１には、入力体の代替となる複数の電極（検査電極）を有する検査治具を備えた検査装置が開示されている。特許文献１に記載の検査装置では、センサーシート（センサーモジュール）の検出電極（センサ電極）に検査治具の検査電極が一定の間隔を開けて対向するように、センサーシートに検査治具が取り付けられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−８６０２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
センサーシートは、樹脂やガラスなどからなる硬質な筐体に接着されたり、インサート成形などによって樹脂等からなる硬質なパネルと一体成形されたりする。一般的に、センサーシートは、これらの筐体やパネルと密着した状態で使用されるようになっており、センサーシートの検査時においても、実際の使用状態と近い条件でセンサーシートが検査されることが好ましい。
しかしながら、センサーシートの製造時に反り等がある場合、特許文献１に記載の検査装置では、検査されるセンサーシートが必ずしも平坦とならない場合がある。このため、センサーシートが実際に使用される条件とは異なる条件下での検査となり、検査結果の信頼性が低下するおそれがある。
【０００７】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、信頼性が高い検査結果を得ることができる検査治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明の検査治具は、検出電極を有する静電容量センサーシートの検査をするために前記検出電極に接続される検査装置に適用される検査治具であって、前記静電容量センサーシートとの間に空気層を生じさせる凹部を有し前記静電容量センサーシートが載置される載置台と、前記凹部内に設けられ、前記載置台に載置された前記静電容量センサーシートの厚さ方向からみたときに前記検出電極と重なる位置で前記静電容量センサーシートを支持する柱状部と、前記検査装置と電気的に接続され前記柱状部との間に前記検出電極が挟まれるように前記静電容量センサーシートに押し当てられる押し子と、前記静電容量センサーシートの厚さ方向の一方の表面を前記柱状部に密着させる密着手段と、を備えることを特徴とする検査治具である。
【０００９】
また、前記密着手段は、前記一方の表面の形状に倣って前記柱状部に形成された柱状部側密着面と、前記柱状部側密着面に形成された開口と、前記柱状部側密着面に接する前記一方の表面を前記開口を通じて吸引するために前記柱状部に形成された吸引通路と、を備えることが好ましい。
【００１０】
また、前記密着手段は、前記柱状部に設けられ、前記一方の表面の形状に倣った形状で前記一方の表面に対して再剥離可能に付着する柱状部側密着面を備えていてもよい。
【００１１】
また、前記密着手段は、前記一方の表面の形状に倣って前記柱状部に形成された柱状部側密着面と、前記静電容量センサーシートにおける前記一方の表面に対する他方の表面に接し、前記一方の表面を前記柱状部側密着面に押し付けるピンを備えていてもよい。
【００１２】
また、前記押し子は、前記一方の表面に対する他方の表面に密着するように前記他方の表面の形状に倣って形成された押し子側密着面を有することが好ましい。
【００１３】
また、前記押し子側密着面は直径が５ｍｍ以上２０ｍｍ以下の円形に形成され、前記柱状部側密着面は前記押し子側密着面の直径よりも大きい直径を有する円形に形成されていることが好ましい。
【００１４】
また、前記載置台に着脱可能に取り付けられ前記押し子を前記柱状部へ向けて案内するガイド部材を有し、前記ガイド部材には、前記柱状部の中心軸と同軸状に前記ガイド部材を貫通する貫通孔が形成され、前記貫通孔の内寸は、前記押し子が進退自在に挿通されるとともに前記押し子の中心軸が前記柱状部の中心軸と略同軸となるように前記押し子を支持可能な内寸であり、前記柱状部側密着面の外寸は、前記貫通孔の内寸と略等しいことが好ましい。
【００１５】
また、前記押し子は、前記検査装置と電気的に接続され前記押し子側密着面が形成された押し子本体と、前記押し子本体に対して着脱可能であり前記他方の表面の形状に倣って形成された押し子側第二密着面を有し押し子側密着面と前記静電容量センサーシートとの間に所定の隙間を生じさせるスペーサと、を有し、前記スペーサの誘電率は、前記静電容量センサーシートの使用時に前記静電容量センサーシートの厚さ方向に重ねられるパネルの誘電率と略同じであり、前記所定の隙間の大きさは、前記パネルの厚さと略等しいことが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の検査治具によれば、センサーシートの反りを矯正することができるので、信頼性が高い検査結果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態の検査治具を備える検査装置およびセンサーシートを示すブロック図である。
【図２】同検査治具を示す平面図である。
【図３】同検査治具を示す側面図である。
【図４】同検査治具における載置台を示す平面図である。
【図５】図２のＡ−Ａ線における断面図である。
【図６】検査治具の部分断面図である。
【図７】同実施形態の変形例の検査治具の構成を示す部分断面図である。
【図８】同実施形態の他の変形例の検査治具を図２のＡ−Ａ線と同様の断面で示す断面図である。
【図９】同実施形態のさらに他の変形例の検査治具を図２のＡ−Ａ線と同様の断面で示す断面図である。
【図１０】同実施形態のさらに他の変形例の検査治具の一部の構成を示す断面図である。
【図１１】本発明の第２実施形態の検査治具の一部の構成を示す断面図である。
【図１２】同実施形態の変形例の検査治具の一部の構成を示す断面図である。
【図１３】本発明の第３実施形態の検査治具の一部の構成を示す断面図である。
【図１４】同実施形態の変形例の検査治具の一部の構成を示す平面図である。
【図１５】図１４のＢ矢視図である。
【図１６】同実施形態の他の変形例の検査治具の一部の構成を一部断面で示す斜視図である。
【図１７】同変形例の検査治具の一部の構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態の検査治具１０について、検査治具１０を備える検査装置１を例に説明する。図１は、検査装置およびセンサーシートを示すブロック図である。
図１に示すように、検査装置１は、静電容量の変化を検出するための静電容量センサーシート１００（以下、単に「センサーシート１００」と称する。）を検査する装置である。本実施形態で検査装置１によって検査されるセンサーシート１００は、板状、シート状、あるいはフィルム状に形成された絶縁体からなる基板１０１と、基板１０１上に形成された検出電極１０２と、検出電極１０２に一端が接続された配線１０３とを有している。配線１０３の他端は、基板１０１の周縁部に配置されており、静電容量を検出する検出回路に接続するための端子となっている。
検査装置１は、センサーシート１００を保持する検査治具１０と、センサーシート１００の端子に接続される検査回路３０と、検査回路３０による検査結果を表示する表示部４０とを備える。
【００１９】
図２は、検査治具１０を示す平面図である。図３は、検査治具１０を示す側面図である。図４は、検査治具１０における載置台１１を示す平面図である。図５は、図２のＡ−Ａ線における断面図である。
図２、図３、および図４に示すように、検査治具１０は、載置台１１と、柱状部１５と、押し子１７と、ガイド部材２０とを備える。
図３および図４に示すように、載置台１１は、センサーシート１００が載置される台であり、センサーシート１００が載置される載置面１２を有する略直方体形状に形成されている。
図４および図５に示すように、載置台１１には、平面視でセンサーシート１００の周縁より僅かに内側に輪郭が位置する凹部１３と、載置面１２に直交する方向へ載置面１２から突出した凸部１４とが形成されている。
【００２０】
図５に示すように、凹部１３は、載置面１２に直交する方向へ載置面１２から窪んで形成されており、凹部１３の底面には、複数の柱状部１５が固定されている。図４および図５に示すように、載置面１２にセンサーシート１００が載置されたときに、凹部１３は少なくともセンサーシート１００において検査対象となる検出電極１０２のすべてを囲むように開口されている。なお、凹部１３の開口の形状は、センサーシート１００の検出電極１０２が検査対象であるか否かによらず全ての検出電極１０２を囲む形状であってもよい。
【００２１】
図５に示すように、凹部１３の深さ寸法ｄは、センサーシート１００が電子機器等に組み込まれて実際に使用される状態でセンサーシート１００との間に生じる隙間（空気層）の厚さを考慮して設定される。例えば、凹部１３の深さ寸法ｄは、例えば３ｍｍ以上１３ｍｍ以下、具体的には３ｍｍ、５ｍｍ、１３ｍｍなどに設定される。これにより、凹部１３は、載置面１２上にセンサーシート１００が載置されたときに、センサーシート１００との間に所定の厚さの空気層を生じさせる。なお、凹部１３の深さ寸法ｄが大きくなるほど、凹部１３の底部がセンサーシート１００における検出感度に与える影響が軽減される。このため、センサーシート１００における検出感度への検査治具１０による影響を軽減するという観点からは、凹部１３の深さ寸法ｄは大きい方が好ましい。
【００２２】
凸部１４は、載置面１２とガイド部材２０との間に隙間を空け、センサーシート１００とガイド部材２０との間に空気層を生じさせる。凸部１４の突出量は、凹部１３の深さ寸法ｄの設定方法と同様に、センサーシート１００の検出感度への検査治具１０による影響を考慮して設定される。これにより、凸部１４は、載置面１２上にセンサーシート１００が載置されたときに、センサーシート１００との間に所定の厚さの空気層を生じさせる。凸部１４と上述の凹部１３とがともに載置台１１に形成されている場合、センサーシート１００の厚さ方向の両面は空気層に接している。
【００２３】
なお、センサーシート１００の使用時に、センサーシート１００の厚さ方向の両面のうち検査治具１０の載置面１２に接する表面（本明細書では、「センサーシート１００の一方の表面１００ａ」と称する。）と反対側の表面（本明細書では、「センサーシート１００の他方の表面１００ｂ」と称する。）が樹脂等のパネルに密着した状態となる場合には、検査治具１０は凸部１４を有していなくてもよい。
【００２４】
図４および図５に示すように、柱状部１５は、載置面１２にセンサーシート１００が載置されたときに平面視でセンサーシート１００の検出電極１０２と重なる位置に配置された柱状の部材である。本実施形態では、柱状部１５は、円柱形状に形成されており、凹部１３の底に固定された側と反対側の端面は、センサーシート１００の表面の形状に倣って形成された柱状部側密着面１６となっている。本実施形態では、センサーシート１００は平坦な板状、シート状、あるいはフィルム状であるので、本実施形態における柱状部側密着面１６は、センサーシート１００の外面に倣って平坦な面となっている。これにより、柱状部側密着面１６は、センサーシート１００の厚さ方向の一方の表面１００ａに密着する。さらに、柱状部側密着面１６は、後述する押し子１７に形成された押し子側密着面１８の外径と等しいか僅かに大きな略円形（真円形を含む）形成されている。
柱状部１５の中心軸線方向における柱状部側密着面１６の位置は、載置面１２と面一となっている。これにより、柱状部１５は、載置面１２上に載置されたセンサーシート１００を載置面１２に沿って支持することができる。
【００２５】
載置台１１を平面視したときの柱状部側密着面１６の位置は、載置面１２にセンサーシート１００が載置されたときに、検出電極１０２内で検査を行う位置に設定されている。たとえば、センサーシート１００を平面視したときの検出電極１０２の中央に対して検査を行う場合には、柱状部側密着面１６は、検出電極１０２の中央と重なる位置に配置される。
【００２６】
柱状部１５の内部には、センサーシート１００を柱状部側密着面１６に吸着させるための吸引通路（密着手段）１５ａが形成されている。吸引通路１５ａは、柱状部１５の上面（柱状部側密着面１６）に開口１５ａ１が配され、載置台１１の外面に開口１５ａ２が配されている。本実施形態では、吸引通路１５ａは、複数の柱状部１５のそれぞれに１つずつ形成されている。さらに、複数の吸引通路１５ａは、載置台１１内で集合され、載置台１１の外面に配された１つの開口１５ａ２に接続されている。載置台１１の外面に配された開口１５ａ２には、図示しない吸引ポンプを接続することができるようになっている。吸引通路１５ａの開口１５ａ２に吸引ポンプを接続し、吸引ポンプを駆動させることにより、柱状部側密着面１６に接したセンサーシート１００を柱状部側密着面１６に吸着させることができる。
【００２７】
本実施形態では、柱状部１５は、載置台１１と一体成形されている。載置台１１および柱状部１５の材質は、検査装置１において不要な静電容量が検出されるのを防ぐ目的で、誘電率の低い材質が採用されている。本実施形態では、載置台１１および柱状部１５の材質としては、フッ素樹脂、発泡スチロール、あるいはスポンジなどを採用することができる。
【００２８】
図１に示すように、押し子１７は、検査装置１と電気的に接続された導電体からなる部材である。押し子１７は、センサーシート１００に対して入力を行う指やスタイラスペンを模した部材であり、センサーシート１００の検出電極１０２に対する検査のための入力操作をする目的で設けられている。
【００２９】
図５に示すように、押し子１７は、センサーシート１００の他方の表面１００ｂの形状に倣って形成された押し子側密着面１８を有する。押し子側密着面１８は、センサーシート１００の他方の表面１００ｂに密着する面であり、たとえばセンサーシート１００を使用するユーザの指の太さに基づいて寸法が設定されている。具体的には、押し子側密着面１８は、センサーシート１００にユーザの指が接触する接触面積と略同程度の面積となる直径が５ｍｍ以上２０ｍｍ以下の円形に形成される。
【００３０】
押し子１７の位置は、後述するガイド部材２０によってガイドされ、柱状部１５との間に検出電極１０２が挟まれるように押し子側密着面１８がセンサーシート１００に押し当てられる。
押し子１７における押し子側密着面１８と反対側の端面には、検査装置１の検査回路３０と電気的に接続するためのコードが取り付けられている。本実施形態では、押し子１７は、検査装置１の検査回路３０におけるグランドに接続される。
【００３１】
図３および図５に示すように、ガイド部材２０は、載置台１１に着脱可能に取り付けられる板状の部材であり、柱状部１５へ向けて押し子１７を案内するための貫通孔２１を有する。
図３に示すように、ガイド部材２０は、載置台１１の凸部１４によって、載置台１１の載置面１２との間に隙間が空けられた状態で支持される。
【００３２】
図５に示すように、ガイド部材２０に形成された貫通孔２１は、柱状部１５の中心軸と同軸状にガイド部材２０を貫通している。貫通孔２１の内寸は、押し子１７が進退自在に挿通される内寸であり、且つ、押し子１７の中心軸が柱状部１５の中心軸と略同軸となるように押し子１７を支持可能な内寸となっている。さらに、貫通孔２１の内寸と柱状部側密着面１６の外寸とは略等しい。
【００３３】
ガイド部材２０は、載置面１２にセンサーシート１００が載置されたときに、検出電極１０２内で検査を行う位置へと押し子側密着面１８を案内する。たとえば、本実施形態では、センサーシート１００を平面視したときの検出電極１０２の中央に対して検査を行うようになっている。そのため、ガイド部材２０は、検出電極１０２の中央と重なり柱状部側密着面１６と対向する位置に押し子側密着面１８を案内する。
【００３４】
なお、ガイド部材２０に形成された貫通孔２１は、押し子１７との間に適切なクリアランスを有していることが好ましい。適切なクリアランスの大きさは、押し子側密着面１８がセンサーシート１００の他方の表面１００ｂに密着するように押し子１７が貫通孔２１内で僅かに傾くことを許容できる大きさである。
【００３５】
以上に説明した構成の検査治具１０の作用について説明する。図６は、検査治具１０の部分断面図である。
検査治具１０は、静電容量の変化を検出する検査回路３０を備えた検査装置１とともに使用される。なお、以下では、検査装置１が自己容量方式のセンサーシート１００の検査を行う場合を例にして説明する。
【００３６】
検査装置１の使用時には、まず、センサーシート１００を検査治具１０に取り付けるとともにセンサーシート１００の端子を検査回路３０に接続し、検査治具１０の押し子１７を検査回路３０に接続する（図１参照）。これにより、検査回路３０においては、センサーシート１００の検出電極１０２に押し子１７を近接させることによって検出電極１０２における静電容量の変化を検出することができる。
【００３７】
図６に示すように、検査治具１０へセンサーシート１００を取り付けるためには、まず、センサーシート１００を載置面１２に載置する。このとき、センサーシート１００の外縁が平面視で凹部１３の開口の僅かに外側に位置し、センサーシート１００において検査する検出電極１０２が平面視で凹部１３内に位置するように、センサーシート１００を載置する。
図５に示すように、センサーシート１００の外縁は、載置面１２によって支持される。さらに、センサーシート１００の検出電極１０２は、柱状部１５の柱状部側密着面１６によって支持される。センサーシート１００の一方の表面１００ａは、凹部１３によって生じる空気層と接している。
【００３８】
続いて、載置台１１にガイド部材２０を取り付け、その後、検査装置１の検査回路３０によって各検出電極１０２における静電容量の検出を開始する。ガイド部材２０に押し子１７が挿入されていない状態は、検出電極１０２に対する入力操作がされていない状態に対応する。
【００３９】
続いて、図６に示すように、ガイド部材２０に形成された貫通孔２１に押し子１７を挿入する。ガイド部材２０の貫通孔２１に押し子１７を挿入する動作は、手作業によって行ってもよいし、図示しないマニピュレータ等を用いて行ってもよい。
センサーシート１００の１つの検出電極１０２のみを検査するときには、押し子１７を貫通孔２１に１つだけ挿入する。また、センサーシート１００の複数の検出電極１０２を検査するときには、検査する部位に対応する貫通孔２１に押し子１７をそれぞれ挿入する。さらに、１つの検出電極１０２の複数の位置への同時入力を検査する場合には、検査対象となる位置に対応する貫通孔２１にそれぞれ押し子１７を挿入する。
【００４０】
ガイド部材２０の貫通孔２１に挿入された押し子１７は、押し子１７に形成された押し子側密着面１８がセンサーシート１００の他方の表面１００ｂへと案内される。これにより、センサーシート１００の検出電極１０２は、押し子側密着面１８と柱状部側密着面１６とによってはさまれた状態となる。
【００４１】
検査回路３０のグランドに押し子１７が接続されているので、検出回路は、押し子側密着面１８がセンサーシート１００に密着したことによる検出電極１０２の静電容量の変化を検出する。検査回路３０は、静電容量の変化量が仕様で定められた範囲内にあるか否かを判定し、検査結果をたとえば表示部４０に出力する。
【００４２】
ところで、センサーシート１００に反りが生じている場合、センサーシート１００と柱状部側密着面１６との間に隙間が生じる場合がる。センサーシート１００が柱状部側密着面１６に密着していない状態で検査治具１０を用いた検査を行なうと、センサーシート１００が柱状部側密着面１６に密着している状態における検査とは異なる検査結果となってしまう。例えば、検出回路３０では、ガイド部材２０に押し子１７が挿入されていない状態における検出値と、ガイド部材２０に押し子１７が挿入されている状態における検出値との差を用いて、入力操作に対するセンサーシート１００の検出感度を検査することができる。しかしながら、上記反りがセンサーシート１００に生じてセンサーシート１００が柱状部側密着面１６から浮いた状態にあると、ガイド部材２０に押し子１０が挿入されていない状態において、センサシート１００が柱状部側密着面１６に密着している場合よりも検出値が小さく検出されてしまう。
【００４３】
本実施形態の検査治具１０では、センサーシート１００に反りが生じている可能性がある場合には、図示しない吸引ポンプを吸引通路１５の開口１５ａ２に接続し、吸引ポンプを駆動させる。これにより、柱状部側密着面１６にセンサーシート１００が吸着され、複数の柱状部側密着面１６が存する一平面に沿った状態となるようにセンサーシート１００が矯正される。これにより、センサーシート１００は、センサーシート１００の実際の使用状態に近い平坦な状態で、柱状部側密着面１６から浮かずに検査される。
【００４４】
なお、センサーシート１００に反りが生じている可能性の有無に関わらず、検査対象となる全てのセンサーシート１００に対する検査を、センサーシート１００を柱状部側密着面１６に吸着させた状態で行なってもよい。
【００４５】
検査対象となる検出電極１０２のすべてに対して、押し子１７を密着させて静電容量の変化を検出し、検査結果を出力して検査は終了する。
検査が終了したら、押し子１７およびガイド部材２０を取り外し、センサーシート１００を載置台１１および検査回路３０から取り外して一連の作業を終了する。
【００４６】
以上説明したように、本実施形態の検査治具１０によれば、センサーシート１００を柱状部側密着面１６に吸着させることができる。このため、センサーシート１００を平坦とすることができ、静電容量センサーシート１００の実際の使用態様に近い条件で静電容量センサーシート１００の検査をすることができる。
【００４７】
また、静電容量センサーシート１００の表面の形状に倣った形状の柱状部側密着面１６が柱状部１５に形成されているので、静電容量センサーシート１００と柱状部１５との間に隙間は生じない。これにより、静電容量の変化を精度よく検査回路３０に測定させることができる。
【００４８】
また、静電容量センサーシート１００の表面の形状に倣った形状の押し子側密着面１８が押し子１７に形成されているので、静電容量センサーシート１００に押し子１７を隙間なく接触させることができる。これにより、静電容量の変化を精度よく検査回路３０に測定させることができる。
【００４９】
また、押し子側密着面１８が直径が５ｍｍ以上２０ｍｍ以下の円形に形成されているので、人の指をセンサーシート１００に接触させた場合に近い条件でセンサーシート１００の検査をすることができる。これにより、センサーシート１００の検査においてセンサーシート１００がユーザによって使用されている状況を再現することができる。
【００５０】
また、ガイド部材２０が設けられていない場合には、検出電極１０２に対して押し子１７を押し付ける位置が検査ごとに異なってしまう場合がある。本実施形態では、ガイド部材２０によって押し子１７を柱状部１５へと案内することができるので、検出電極１０２に対して押し子１７を押し付ける位置の精度が高い。これにより、センサーシート１００ごとに検出電極１０２への押し子１７の押し付け位置が異なってしまう場合と比較して、検査の精度を高めることができる。
【００５１】
（変形例１−１）
次に、上述の実施形態で説明した検査治具１０の変形例について説明する。図７は、本変形例の検査治具を示す部分断面図である。
本変形例の検査治具１０Ａは、押し子１７に代えて押し子１７Ａを備え、ガイド部材２０に代えてガイド部材２０Ａを備える点で上述の検査治具１０と構成が異なっている。
【００５２】
押し子１７Ａは、検査装置１と電気的に接続された押し子本体１７Ａ１と、押し子本体１７Ａ１に対して着脱可能なスペーサ１９とを有する。
押し子本体１７Ａ１は、円柱形状に形成された軸部と、軸部の直径よりも細くガイド部材２０Ａの貫通孔２１Ａに挿入される円柱形状の挿入部とを備える。押し子本体１７Ａ１の挿入部の端面は、上述の押し子側密着面１８と同様の押し子側密着面１８が形成されている。
【００５３】
スペーサ１９は、一方が閉じられた筒状に形成されている。本変形例では、スペーサ１９は、押し子本体１７Ａ１の先端部が挿入可能な断面円形の開口１９ａを有する。スペーサ１９の開口には、スペーサ１９の径方向へ広がって形成された円環状のフランジ１９ｂが形成されている。
さらに、スペーサ１９には、押し子本体１７Ａ１の押し子側密着面１８と密着するスペーサ内密着面１９ｃと、センサーシート１００の他方の表面１００ｂの形状に倣って形成された押し子側第二密着面１９ｄとが形成されている。
【００５４】
スペーサ内密着面１９ｃと押し子側第二密着面１９ｄとは互いに平行な平面となっており、いずれも平滑な表面状態を有している。押し子側第二密着面１９ｄは、上述の押し子１７に形成された押し子側密着面１８と同様に静電容量センサーシート１００の表面に密着することにより、静電容量の変化を精度よく検査回路３０に検出させることができる。
【００５５】
スペーサ１９の誘電率は、静電容量センサーシート１００の使用時に静電容量センサーシート１００の厚さ方向に重ねられるパネルの誘電率と略同じである。スペーサ１９の誘電率をパネルの誘電率と略同じとするためには、スペーサ１９が、パネルの材料と同じ材料によって形成されていればよい。また、パネルの材料と異なる材料を用いてスペーサ１９を形成する場合には、スペーサ１９の厚さを調整したり、複数の材料を混合してスペーサ１９の材料としたりすることもできる。この場合、スペーサ１９の誘電率をパネルの誘電率に近づけることができる。
【００５６】
押し子本体１７Ａ１に取り付けられたスペーサ１９によって、押し子側密着面１８と静電容量センサーシート１００との間に所定の隙間が生じる。所定の隙間の大きさは、パネルの厚さと略等しくなっている。
【００５７】
ガイド部材２０Ａには、上述の実施形態で説明したガイド部材２０の貫通孔２１とは異なる形状の貫通孔２１Ａが形成されている。
貫通孔２１Ａは、スペーサ１９を係止するための係止部２２を有する。係止部２２は、ガイド部材２０Ａの上面側においてフランジ１９ｂの外寸より大きく、ガイド部材２０Ａの下面側においてフランジ１９ｂの外寸より小さくなるように貫通孔２１Ａの内面に形成された段差からなる。
係止部２２にスペーサ１９が係止された状態では、押し子側第二密着面１９ｄは、柱状部側密着面１６と接触可能な程度までガイド部材２０Ａの下面よりも突出する。これにより、スペーサ１９が押し子１７に取り付けられた状態ではスペーサ１９がガイド部材２０Ａと載置台１１との間に落ち込むことなく押し子側第二密着面１９ｄをセンサーシート１００に押し付けることができる。
【００５８】
本変形例では、スペーサ１９を有していることによって、センサーシート１００がパネルに固定されて使用されている状況を再現し、パネルを介して操作入力が行われた場合における検出電極１０２の機能を検査することができる。
【００５９】
なお、本変形例の押し子１７Ａは、スペーサ１９が取り付けられていない状態でも使用することができる。これにより、パネルを設けない条件の下で静電容量センサーシート１００の検査をすることもできる。
【００６０】
（変形例１−２）
次に、上述の実施形態の他の変形例について説明する。図８は、本変形例の検査治具を図２のＡ−Ａ線と同様の断面で示す断面図である。
本変形例の検査治具１０Ｂは、載置面１２上に、センサーシート１００を位置決めするための位置決め部材１１Ｂが設けられている点が上述の検査治具１０と異なっている。
位置決め部材１１Ｂは、たとえば載置台１１に形成された凹部１３の開口の周囲に沿って所定の間隔を開けて複数設けられた突起状に形成されている。位置決め部材１１Ｂによって囲まれる領域内にセンサーシート１００を入れ込むことにより、載置面１２上でセンサーシート１００を位置決めすることができる。
【００６１】
（変形例１−３）
次に、上述の実施形態のさらに他の変形例について説明する。図９は、本変形例の検査治具を図２のＡ−Ａ線と同様の断面で示す断面図である。
図９に示すように、本変形例の検査治具１０Ｃは、センサーシート１００の位置決めをすることができるとともに凹部１３の底部とセンサーシート１００との距離を調整できる点が上述の検査治具１０と異なっている。
本変形例では、凹部１３は、センサーシート１００を内部に収容できる形状に開口されている。また、柱状部１５に加えて、センサーシート１００の外縁を支持する支持部材１１Ｃをさらに備える。
また、柱状部１５と支持部材１１Ｃとは、載置台１１に対して着脱自在であり、中心軸線方向の長さが異なる複数種類が用意されている。
本変形例では、中心軸線方向の長さが異なる柱状部１５および支持部材１１Ｃから１種類を選択して載置台１１に取り付ける。これにより、柱状部１５の上端は一平面上に揃い、センサーシート１００を支持するための載置面１２Ａが生じる。また、支持部材１１Ｃによって、センサーシート１００における検出電極１０２の位置は位置決めされる。載置面１２Ａにセンサーシート１００を載置することによって、上述の実施形態および変形例と同様にセンサーシート１００の検出電極１０２に対する検査を行うことができる。
【００６２】
（変形例１−４）
次に、上述の実施形態のさらに他の変形例について説明する。図１０は、本変形例の検査治具の一部の構成を示す断面図であり、図２のＡ−Ａ線と同様の断面で示した図である。
図１０に示すように、本変形例では、吸引通路１５ａの形状が異なっている。柱状部側密着面１６に設けられた吸引通路１５ａの開口１５ａ１は、柱状部側密着面１６の平面視において、柱状部側密着面１６の外周に沿った複数個所に形成されている。
【００６３】
柱状部側密着面１６は、押し子１７に形成された押し子側密着面１８の直径よりも僅かに大きく形成されている。これにより、押し子側密着面１８は、柱状部側密着面１６において、吸引通路１５ａの開口１５ａ１の内側領域に密着する。
本変形例では、センサーシート１００を検査する際に、柱状部側密着面１６の中央近傍ではセンサーシート１００は平坦な状態で柱状部１５に支持される。このため、本変形例の構成によれば、押し子１７が接する部分を確実に平坦にしつつセンサーシート１００を保持することができる。
なお、吸引通路１５ａは、各柱状部１５に複数設けられていてもよい。
【００６４】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態の検査治具について説明する。図１１は、本実施形態の検査治具の一部の構成を示す断面図であり、図２のＡ−Ａ線と同様の断面で示した図である。
図１１に示すように、本実施形態では、吸引通路１５に代えて、柱状部側密着面１６が粘着層（密着手段）２３を備えている点が異なっている。
【００６５】
粘着層２３は、センサーシート１００に対して再剥離可能な粘着剤を有する層である。また、粘着層２３は柱状部１５に対して再剥離可能に付着し、柱状部１５に対して粘着層２３を貼り替えることができるようになっていることが好ましい。
この場合、粘着層２３は、センサーシート１００に対する粘着力よりも柱状部１５に対する粘着力の方が高いとさらに好ましい。これにより、検査治具１０を用いた検査時に、検査対象となるセンサーシート１００を検査治具１０から取り外すときに粘着層２３が柱状部１５側に残る。
なお、粘着層２３は柱状部１５に固定されていてもよい。
【００６６】
センサーシート１００の検査時には、センサーシート１００を検査治具１０にセットする際に、センサーシート１００は粘着層２３上に載置される。これにより、センサーシート１００に反りが生じている場合にも、センサーシート１００は柱状部側密着面１６によって平坦な状態に矯正される。
【００６７】
このように、本実施形態で説明した構成であっても、上述の第１実施形態と同様の効果を奏する。また、粘着層２３によってセンサーシート１００を保持することができるので、吸引ポンプなどを動かすための動力源が不要であるので、装置構成を簡素にすることができる。
【００６８】
（変形例２−１）
次に、上述の実施形態の変形例について説明する。図１２は、本変形例の検査治具の一部の構成を示す断面図であり、図２のＡ−Ａ線と同様の断面で示した図である。
図１２に示すように、本変形例では、上述の第２実施形態で説明した粘着層２３に代えて、材質及び形状が異なる粘着層（密着手段）２３Ａを備えている点が異なっている。
粘着層２３Ａは、センサーシート１００（図１１参照）の表面形状に倣って変形する柔軟な樹脂からなっている。また、粘着層２３Ａには、センサーシート１００に接する側の面に、微小な凹部２４が形成されている。本実施形態では、微小な凹部２４は、各粘着層２３Ａに対して１つ以上設けられている。
【００６９】
本変形例では、センサーシート１００を検査治具１０にセットする際に、粘着層２３にセンサーシート１００に手作業などで押し付ける。これにより、センサーシート１００と粘着層２３との間の空気が追い出され、センサーシート１００が粘着層２３に付着した状態が維持される。すなわち、微小な凹部２４は微小な吸盤として機能し、センサーシート１００は粘着層２３に吸着される。このような構成であると、センサーシート１００の表面に糊成分が残ることがなく、センサーシート１００を平坦な状態に矯正することができる。
【００７０】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態の検査治具について説明する。図１３は、本実施形態の検査治具の一部の構成を示す断面図であり、図２のＡ−Ａ線と同様の断面で示した図である。
図１３に示すように、本実施形態では、センサーシート１００の表面を柱状部側密着面１６に押し付けるピン（密着手段）２５をさらに備えている点が上記第１実施形態と異なっている。
ピン２５は、ガイド部材２０に設けられている。また、ピン２５は、載置台１１にガイド部材２０が取り付けられた状態において、柱状部側密着面１６の外周に沿う複数個所に突出端２５ａが向けられている。また、本実施形態では、ピン２５は、柱状部１５に対して１つ以上設けられている。なお、１つのピン２５が複数の突出端２５ａを有していてもよい。
【００７１】
ピン２５の突出端２５ａの位置は、載置台１１にガイド部材２０が取り付けられた状態で、柱状部側密着面１６との間にセンサーシート１００の厚さ分だけの隙間が開けられた位置に設定されている。これにより、載置台１１とガイド部材２０との間にセンサーシート１００が配された状態で載置台１１にガイド部材２０が取り付けられると、ピン２５によって、センサーシート１００が載置台１１側へと押される。これにより、各ピン２５は、センサーシート１００の反りを矯正して平坦な状態とする。
本実施形態の構成であっても、上述の第１実施形態、第２実施形態と同様の効果を奏する。
【００７２】
（変形例３−１）
次に、上述の実施形態の変形例について説明する。図１４は、本変形例の検査治具の一部の構成を示す平面図である。図１５は、図１４のＢ矢視図である。
図１４及び図１５に示すように、本変形例では、ピン（密着手段）２５が、柱状部１５の中心軸線に対して交差する方向に延び、且つ弾性を有している点が異なっている。
本変形例では、載置台１１とガイド部材２０との間にセンサーシート１００が配された状態で載置台１１とガイド部材２０とを組み合わせると、ピン２５の突出端２５ａがセンサーシート１００に接する。さらに、ピン２５はセンサーシート１００に押し返されることによって弾性変形する。
このような構成であると、センサーシート１００の厚さ寸法に誤差があってもセンサーシート１００を過剰に圧迫することなくセンサーシート１００を平坦な状態に矯正することができる。
【００７３】
（変形例３−２）
次に、上述の実施形態の他の変形例について説明する。図１６は、本変形例の検査治具の一部の構成を一部断面で示す斜視図である。図１７は、本変形例の検査治具の一部の構成を示す断面図である。
図１６及び図１７に示すように、本変形例では、ピン（密着手段）２５に代えて、ガイド部２０に設けられた上部ピン２６と、載置台１１に設けられた下部ピン２７とを有するピン（密着手段）２８が、複数の柱状部１５から離間した位置に配されている。
上部ピン２６と下部ピン２７とは、上部ピン２６の突出端面と下部ピン２７の突出端面とが、センサーシート１００の厚さ寸法だけ隙間を開けて互いに対向するように対になっている。また、本変形例では、上部ピン２６の突出端面及び下部ピン２７の突出端面とは、いずれも平坦な平面となっている。
本変形例では、複数の柱状部１５からピン２８が離間して配置されているので、ピン２８があることによるセンサーシート１００の検査結果への影響を低く抑えることができる。
【００７４】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
たとえば、上述の実施形態では、センサーシートを柱状部側密着面に吸着させることによりセンサーシートを平坦とする例を示したが、センサーシートは湾曲状態で保持されてもよい。一例を挙げると、複数の柱状部側密着面によって全体として湾曲した面が構成されるように複数の柱状部が設けられていれば、センサーシートが所定の湾曲形状を有している状態でセンサーシートを保持することができる。このような構成であれば、例えば湾曲面を有する筐体にセンサーシートが固定されるような使用方法に適用されるセンサーシートであっても好適に検査することができる。
【００７５】
また、上述の変形例では、スペーサ内密着面および押し子側第二密着面が平坦な平面である例を示したが、スペーサ内密着面および押し子側第二密着面を、センサーシートの形状に倣う立体形状とすることもできる。これにより、立体的に成形されたセンサーシートにおいても精度よく検査を行うことができる。
また、上述の実施形態および変形例において示した構成要素は適宜に組み合わせて構成することが可能である。
【符号の説明】
【００７６】
１ 検査装置
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ 検査治具
１１ 載置台
１２、１２Ａ 載置面
１３ 凹部
１４ 凸部
１５ 柱状部
１５ａ 吸引通路（密着手段）
１５ａ１、１５ａ２ 開口
１６ 柱状部側密着面
１７、１７Ａ 押し子
１７Ａ１ 押し子本体
１８ 押し子側密着面
１９ スペーサ
１９ｄ 押し子側第二密着面
２０、２０Ａ ガイド部材
２１、２１Ａ 貫通孔
２２ 係止部
２３、２３Ａ 粘着層（密着手段）
２４ 微小な凹部
２５、２８ ピン（密着手段）
２５ａ 突出端
３０ 検査回路
４０ 表示部
１００ センサーシート（静電容量センサーシート）
１００ａ 一方の表面
１００ｂ 他方の表面
１０２ 検出電極
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出電極を有する静電容量センサーシートの検査をするために前記検出電極に接続される検査装置に適用される検査治具であって、
前記静電容量センサーシートとの間に空気層を生じさせる凹部を有し前記静電容量センサーシートが載置される載置台と、
前記凹部内に設けられ、前記載置台に載置された前記静電容量センサーシートの厚さ方向からみたときに前記検出電極と重なる位置で前記静電容量センサーシートを支持する柱状部と、
前記検査装置と電気的に接続され前記柱状部との間に前記検出電極が挟まれるように前記静電容量センサーシートに押し当てられる押し子と、
前記静電容量センサーシートの厚さ方向の一方の表面を前記柱状部に密着させる密着手段と、
を備えることを特徴とする検査治具。
【請求項２】
請求項１に記載の検査治具であって、
前記密着手段は、
前記一方の表面の形状に倣って前記柱状部に形成された柱状部側密着面と、
前記柱状部側密着面に形成された開口と、
前記柱状部側密着面に接する前記一方の表面を前記開口を通じて吸引するために前記柱状部に形成された吸引通路と、
を備えることを特徴とする検査治具。
【請求項３】
請求項１に記載の検査治具であって、
前記密着手段は、前記柱状部に設けられ、前記一方の表面の形状に倣った形状で前記一方の表面に対して再剥離可能に付着する柱状部側密着面を備えることを特徴とする検査治具。
【請求項４】
請求項１に記載の検査治具であって、
前記密着手段は、
前記一方の表面の形状に倣って前記柱状部に形成された柱状部側密着面と、
前記静電容量センサーシートにおける前記一方の表面に対する他方の表面に接し、前記一方の表面を前記柱状部側密着面に押し付けるピンを備える
ことを特徴とする検査治具。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載の検査治具であって、
前記押し子は、前記一方の表面に対する他方の表面に密着するように前記他方の表面の形状に倣って形成された押し子側密着面を有することを特徴とする検査治具。
【請求項６】
請求項５に記載の検査治具であって、
前記押し子側密着面は直径が５ｍｍ以上２０ｍｍ以下の円形に形成され、
前記柱状部側密着面は前記押し子側密着面の直径よりも大きい直径を有する円形に形成されている
ことを特徴とする検査治具。
【請求項７】
請求項６に記載の検査治具であって、
前記載置台に着脱可能に取り付けられ前記押し子を前記柱状部へ向けて案内するガイド部材を有し、
前記ガイド部材には、前記柱状部の中心軸と同軸状に前記ガイド部材を貫通する貫通孔が形成され、
前記貫通孔の内寸は、前記押し子が進退自在に挿通されるとともに前記押し子の中心軸が前記柱状部の中心軸と略同軸となるように前記押し子を支持可能な内寸であり、
前記柱状部側密着面の外寸は、前記貫通孔の内寸と略等しい
ことを特徴とする検査治具。
【請求項８】
請求項５から７のいずれか一項に記載の検査治具であって、
前記押し子は、
前記検査装置と電気的に接続され前記押し子側密着面が形成された押し子本体と、
前記押し子本体に対して着脱可能であり前記他方の表面の形状に倣って形成された押し子側第二密着面を有し押し子側密着面と前記静電容量センサーシートとの間に所定の隙間を生じさせるスペーサと、
を有し、
前記スペーサの誘電率は、前記静電容量センサーシートの使用時に前記静電容量センサーシートの厚さ方向に重ねられるパネルの誘電率と略同じであり、
前記所定の隙間の大きさは、前記パネルの厚さと略等しい
ことを特徴とする検査治具。
【請求項１】
検出電極を有する静電容量センサーシートの検査をするために前記検出電極に接続される検査装置に適用される検査治具であって、
前記静電容量センサーシートとの間に空気層を生じさせる凹部を有し前記静電容量センサーシートが載置される載置台と、
前記凹部内に設けられ、前記載置台に載置された前記静電容量センサーシートの厚さ方向からみたときに前記検出電極と重なる位置で前記静電容量センサーシートを支持する柱状部と、
前記検査装置と電気的に接続され前記柱状部との間に前記検出電極が挟まれるように前記静電容量センサーシートに押し当てられる押し子と、
前記静電容量センサーシートの厚さ方向の一方の表面を前記柱状部に密着させる密着手段と、
を備えることを特徴とする検査治具。
【請求項２】
請求項１に記載の検査治具であって、
前記密着手段は、
前記一方の表面の形状に倣って前記柱状部に形成された柱状部側密着面と、
前記柱状部側密着面に形成された開口と、
前記柱状部側密着面に接する前記一方の表面を前記開口を通じて吸引するために前記柱状部に形成された吸引通路と、
を備えることを特徴とする検査治具。
【請求項３】
請求項１に記載の検査治具であって、
前記密着手段は、前記柱状部に設けられ、前記一方の表面の形状に倣った形状で前記一方の表面に対して再剥離可能に付着する柱状部側密着面を備えることを特徴とする検査治具。
【請求項４】
請求項１に記載の検査治具であって、
前記密着手段は、
前記一方の表面の形状に倣って前記柱状部に形成された柱状部側密着面と、
前記静電容量センサーシートにおける前記一方の表面に対する他方の表面に接し、前記一方の表面を前記柱状部側密着面に押し付けるピンを備える
ことを特徴とする検査治具。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載の検査治具であって、
前記押し子は、前記一方の表面に対する他方の表面に密着するように前記他方の表面の形状に倣って形成された押し子側密着面を有することを特徴とする検査治具。
【請求項６】
請求項５に記載の検査治具であって、
前記押し子側密着面は直径が５ｍｍ以上２０ｍｍ以下の円形に形成され、
前記柱状部側密着面は前記押し子側密着面の直径よりも大きい直径を有する円形に形成されている
ことを特徴とする検査治具。
【請求項７】
請求項６に記載の検査治具であって、
前記載置台に着脱可能に取り付けられ前記押し子を前記柱状部へ向けて案内するガイド部材を有し、
前記ガイド部材には、前記柱状部の中心軸と同軸状に前記ガイド部材を貫通する貫通孔が形成され、
前記貫通孔の内寸は、前記押し子が進退自在に挿通されるとともに前記押し子の中心軸が前記柱状部の中心軸と略同軸となるように前記押し子を支持可能な内寸であり、
前記柱状部側密着面の外寸は、前記貫通孔の内寸と略等しい
ことを特徴とする検査治具。
【請求項８】
請求項５から７のいずれか一項に記載の検査治具であって、
前記押し子は、
前記検査装置と電気的に接続され前記押し子側密着面が形成された押し子本体と、
前記押し子本体に対して着脱可能であり前記他方の表面の形状に倣って形成された押し子側第二密着面を有し押し子側密着面と前記静電容量センサーシートとの間に所定の隙間を生じさせるスペーサと、
を有し、
前記スペーサの誘電率は、前記静電容量センサーシートの使用時に前記静電容量センサーシートの厚さ方向に重ねられるパネルの誘電率と略同じであり、
前記所定の隙間の大きさは、前記パネルの厚さと略等しい
ことを特徴とする検査治具。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【公開番号】特開２０１３−１０５１９６（Ｐ２０１３−１０５１９６Ａ）
【公開日】平成２５年５月３０日（２０１３．５．３０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２４６５１６（Ｐ２０１１−２４６５１６）
【出願日】平成２３年１１月１０日（２０１１．１１．１０）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月３０日（２０１３．５．３０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１１月１０日（２０１１．１１．１０）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
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