【課題】 本発明は、汎用性が高く、膜剥離、歪や基板の反りを防止できる積層薄膜電気配線板を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の積層薄膜電気配線板は、基板上に下部電気絶縁層と上部電気絶縁層を有し、下部電気絶縁層と上部電気絶縁層との間に電気配線層を有している。更に、本発明の積層薄膜電気配線板によれば、電気配線層に孔部を設けることに特徴がある。 （もっと読む）

【課題】検出すべきガス以外の影響を低減し、優れた応答特性を備えたガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のガスセンサは、所定のガスを検出するための検出部１６と、触媒金属を含んでおり、前記検出部の表面上に設けられた複数の孤立した触媒層１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 感応層における剥離やクラックの発生を抑制すると共に、酸化性ガスの還元性ガスに対するガス選択性能に優れるガスセンサ素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 ガスセンサ素子１は、結晶密度の異なる２つの層（基板側感応層４４、触媒側感応層４５）を有する感応層４１を備える。基板側感応層４４は、触媒側感応層４５に比べて高密度の結晶で構成されることから、密着性に優れるため、感応体側絶縁層３４（基板２）との剥離が生じがたく、また、基板側感応層４４自体の強度も高まるためクラックや膜ハガレなどの破損が生じがたい。また、触媒側感応層４５は、基板側感応層４４に比べて低密度の結晶で構成されており、酸化性ガスのガス選択性に優れた特性を有する。ガスセンサ素子１によれば、感応層４１における剥離やクラックの発生を抑制すると共に、酸化性ガスの還元性ガスに対するガス選択性能に優れた特性を有する。 （もっと読む）

【課題】 結露が十分に防止され、装置の小型化が可能で、且つ、十分な検知感度を有するガスセンサを提供すること。
【解決手段】 化学的にガスを検知するセンサ素子部１００と、センサ素子部１００に接して設けられ水分を除去する水分除去部５０と、を備えるガスセンサ１ａ。 （もっと読む）

【課題】 昇温速度が十分に大きく、且つ、高い熱効率での加熱が可能な加熱部を備えたガスセンサを提供すること。
【解決手段】 ガスを検知するセンサ部２と、センサ部２を加熱する加熱部３と、を備えるガスセンサにおいて、加熱部３は、誘導コイル５１と、誘導コイル５１内に設けられ誘導コイル５１により誘導加熱されて発熱する発熱体５２と、を有し、センサ部２と加熱部３との間に磁気遮蔽層４０が設けられているガスセンサ１。 （もっと読む）

【課題】点検ガスによる点検を確実に行えるガスセンサ及びガス検出装置を提供する。
【解決手段】ガスセンサＡは、軸方向の一端側にガス流入口８を有し内部に金属酸化物半導体からなる感ガス体１を収納する円筒状の収納容器２３と、軸方向の一端側の開口部からガス流入口８側を先頭にして収納容器２３が嵌着されるとともに、他端側の端面に通気孔１０が形成されたフィルタキャップ７と、通気孔１０とガス流入口８との間のガス流路に設けられて妨害ガスおよび被毒ガスを吸着する吸着材１２とを備え、フィルタキャップ７の開口部から、収納容器２３の外周面とフィルタキャップ７の内周面との間の隙間を通ってガス流入口８に点検ガスを導入する点検ガス導入路２２を設けるとともに、フィルタキャップ７の、開口部側の周面に切欠１９を形成し、この切欠１９の周りの周面から径方向の外側に向かって点検ガスを切欠１９に導くガイド壁２０を突設してある。 （もっと読む）

【課題】 ベースとキャップとの間の気密性を向上することができるガスセンサを提供する。
【解決手段】 気体が導入される導入口１１ｂと導入口１１ｂとは別に設けられた取付穴１１ａとが開口したキャップ１１並びに絶縁材料からなり取付穴１１ａに圧入されて取付穴１１ａを閉塞するベース１２からなりセンサ素子２が収納されたケース１を備える。ケース１内に露出するベース１２の端面の周縁部に全周に亙って当接する突起１１ｃをキャップ１１の内面に突設した。突起１１ｃとベース１２との当接によってベース１２とキャップ１１との間の気密性が向上するから、センサ素子２の劣化が防止される。 （もっと読む）