【課題】被測定ガスである酸化性ガスのＮＯ_２を吸着することなく、有機シリコーンガスを選択的に吸着させることができるようにして、センサの感度や応答特性の低下を防止し、センサ性能の長期安定を図る。
【解決手段】 ケース２０の内部に、酸化性ガスに感応するガスセンサ素子５０を収容し、ケース２０には同ガスが同センサ素子５０に接触可能のガス導入口２３がある。同ガスを同センサ素子５０に接触させてその濃度を検出する構成のガスセンサ１で、被測定ガスが、ガス吸着フィルタ７１を通過して同センサ素子５０に接触する構成のガスセンサで、ガス吸着フィルタ７１に、挟雑ガス吸着剤として、ＴｉＯ_２粉末を含ませてなるものを用いた。ＴｉＯ_２粉末を含ませてなるガス吸着フィルタ７１は、ＮＯ_２を吸着することなく、有機シリコーンガスを選択的に吸着、除去するから、酸化性ガスの検知感度がよくなる。 （もっと読む）

【課題】ガス感応層（ＳｎＯ_２層）の導入孔を大きくし、ガス感応層（ＳｎＯ_２層）内部におけるガスの浸透能力を向上させた薄膜ガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】一対の感知電極層５１，５１を渡すように電気絶縁層４上に設けられるガス感応層５２は、電気絶縁層４の表面に対して傾斜する多数の傾斜柱状晶５２１を成長させることで導入孔５２２が多数形成されるような層とした。大きくなった導入孔５２２を通じてガスがガス感応層５２の内部へ浸透し、検出能力を高める。 （もっと読む）

【課題】車両に搭載され水素等の被検出ガスを検出するシステムであって、車両の状態に対応して作動し、ガス検出素子の劣化を防止可能なガスセンサシステムを提供する。
【解決手段】燃料電池自動車に搭載され、当該車両に対応して作動し、水素を検出するガスセンサシステム１であって、水素を検出するガス検出素子２３と、ガス検出素子２３が配置されると共に、水素が取り込まれる第１ガス検出室３２及び第２ガス検出室４１と、第１ガス検出室３２及び第２ガス検出室４１を密閉状態に維持可能なバタフライ弁５１と、バタフライ弁５１を制御し、燃料電池自動車が停止したか否かを判定するＥＣＵ９０と、を備え、燃料電池自動車は停止したと判定された場合、ＥＣＵ９０は、バタフライ弁５１により第１ガス検出室３２及び第２ガス検出室４１を密閉する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成を追加することでセンサ特性に与える影響を最小限に抑えつつガス感応層とガス選択燃焼層との接合強度を増大させ、パルス駆動時の昇温・降温による歪みに影響されにくくした薄膜ガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】電気絶縁層４・一対の感知電極層５１，５１・ガス感応層５２を覆う島状あるいは網目状の接合層５３と、この接合層５３を介して一対の感知電極層５１，５１の一部・ガス感応層５２の全部・これらの周囲の電気絶縁層４の一部を覆うように設けられるガス選択燃焼層５４と、を備えるような薄膜ガスセンサ１とした。そこで、接合層５３を薄くして島状あるいは網目状に形成する製造方法を採用した。 （もっと読む）

【課題】非水素成分による有害な影響や水素による劣化を抑制でき、更に、高感度で水素ガスを検出できる水素センサーを提供する。
【解決手段】 セラミックス基板４と、該セラミックス基板４上に順次形成される下層セラミックス保護膜６及び上層セラミックス保護膜８と、前記上層セラミックス保護膜８及び下層セラミックス保護膜６の間に埋設される水素検知膜１０と、前記上層セラミックス保護膜８の表面であって前記水素検知膜８の両縁部近傍に形成される一対の電極２０ａ、２０bとからなる水素センサー２であって、少なくとも前記上層セラミックス保護膜８がセラミックス材料１６、１８中に水素透過性金属粒子１２、１４を分散させてなる複合材料保護膜で形成されてなる水素センサーとする。 （もっと読む）

【課題】熱ストレスによる割れが生じにくく、電極と検知膜との間で金属が相互拡散しない耐久性が高い水素センサを提供する。
【解決手段】基板と、該基板上に形成された希土類金属からなる検知膜と、該検知膜上に形成された保護膜であって前記保護膜はセラミックス材料中に水素透過性金属粒子を分散してなる保護膜と、該保護膜上に離間して形成され該保護膜を介して検知膜と電気的に接続される一対の電極と、を有する水素センサ。前記水素透過性金属粒子は、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｎｂ、Ｖ、Ｔａであり、その好ましい含有量は２０〜７０質量％である。保護膜の電極間方向の抵抗値は１０〜１０００００Ω、検知膜の電極間方向の抵抗値は保護膜の電極間方向の抵抗値より小さい値であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】センサ応答時間を遅延させることなくフィルタ効果の低下を抑制することができるガスセンサ及びガスセンサのフィルタ再生方法を提供すること。
【解決手段】検知対象ガスに含まれる所定の被検知ガスを検知する素子２と、該素子２により検知される被検知ガス以外の雑ガスを吸着することにより前記素子２を前記雑ガスによる被毒から保護するフィルタ３と、フィルタ３を加熱することによって当該フィルタ３に吸着した雑ガスを脱離させるヒータ（加熱手段）７とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 高温，高湿下でもセンサ抵抗値の経時安定性が優れた、電池駆動式の薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】 薄膜状の支持膜の外周部または両端部をＳｉ基板により支持し、外周部または両端部が厚く中央部が薄く形成されたダイアフラム様の支持基板１，２上に薄膜のヒーター３を形成し、この薄膜のヒーター３を絶縁層４で覆い、その上にガス感知膜用の電極５を形成し、さらに半導体薄膜からなるガス感知層（ＳｎＯ２）６を形成し、ガス感知層６を被覆するように選択燃焼層７を形成した薄膜ガスセンサにおいて、ガス感知層６の表面にＰｄ，Ｐｔなどの貴金属触媒を担持させることにより、経時変化安定性を持たせる。 （もっと読む）

【課題】多湿環境においてもセンサの感度に低下をきたすことなく環境中のシリコーンを除去すること。
【解決手段】ＩＤ型シリカゲルの粒子、またはキャリアクトＱ−１０の粒子に貴金属系酸化触媒を担持させる。 （もっと読む）

【課題】 交流電圧を印加すると湿度検出信号を出力する湿度センサを用いた湿度検出回路において、湿度検出回路に供給される直流電圧を交流電圧に制御するためのＰＷＭ信号が停止しても、湿度センサの劣化を防止する湿度検出回路を提供する。
【解決手段】
湿度検出回路１０７は、トランジスタＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３と、湿度センサＨＳ１とを備え、ＴＲ１、ＴＲ２のスイッチとしての役割により、ＴＲ３のエミッタ側から供給される直流電圧をＴＲ１のベース側から供給されるＰＷＭ信号に基づいて制御した交流電圧をＨＳ１に印加すると、ＨＳ１が湿度検出信号を出力し、ＴＲ１のベース側から供給されるＰＷＭ信号が停止してＴＲ３のベース側からリセット信号「Ｈ」が供給されると、ＴＲ３がＯＦＦとなるため、湿度センサＨＳ１への直流電圧の印加を遮断する。 （もっと読む）

【課題】密着層の構成材料に工夫を凝らして、当該密着層の熱応力の発生を抑制しつつガス反応層の密着性の強化を図るようにしたガスセンサの製造方法を提供する。
【解決手段】焼成後結晶化するガラス成分、フィラー成分及び結合剤成分を含有する密着層用ペーストを、保護層５０のうち左側発熱抵抗体３０に対する対応部位上に厚膜状に塗布して密着層用焼成前層を形成し、多孔質セラミックスに触媒を担持してなる触媒担持セラミックペーストを、密着層用焼成前層上に厚膜状に塗布して、ガス反応層用焼成前層を形成し、然る後、密着層用焼成前層及びガス反応層用焼成前層を共に焼成して密着層７０及びガス反応層８０として形成する。 （もっと読む）

【課題】特定ガスの濃度変化を良好に検出する上で、絶縁性の密着層を介したガス検知層と検出電極との電気的な接続を図り、製造の際の手間を軽減できるガスセンサを提供する。
【解決手段】ガス検知層４と絶縁被膜層３またはその上部に形成した検出電極６との間に密着層７を形成し、両者の密着性を高め剥離を防止する。この密着層７を絶縁性酸化物から構成することで、ガス検知層４の特性に対し影響が生じない。そして、この密着層７の一部を、ガス検知層４を構成する物質の一部が貫通することで（図中点線で囲った部分）、ガス検知層４と検出電極６とが電気的に接続され、特定ガスの濃度変化に応じて変化するガス検知層４の電気的特性が検出される。 （もっと読む）

【課題】３０分間に１００人以上の飲酒確認をするバス、タクシーの事業所で、ガス選択性（アルコール以外のガスで誤反応しない）の高い燃料電池型アルコールセンサーを用いる場合、応答時間、センサー寿命、等があって実用化の障害になっていた。
【解決手段】本発明は、燃料電池型アルコールセンサーと半導体アルコールセンサーの２種類のセンサーを用い、通常は半導体センサーで測定し、ある濃度値を超えたところで呼気吸引ポンプを動作させ燃料電池型センサーで測定する。 （もっと読む）

【課題】マグネシウム・パラジウム合金薄膜を用いた水素センサ材料、水素センサ部材及び水素の検知方法を提供する。
【解決手段】基材の上にマグネシウム・パラジウム合金薄膜を有する水素センサ材料であって、マグネシウム・パラジウム合金薄膜の厚さが１０〜２００ｎｍであること、マグネシウム・パラジウム合金の組成が、ＭｇＰｄｘ（０．０５≦ｘ≦０．３）であること、基材の上、又は上記合金薄膜の上に触媒層が形成されていること、室温付近（０−６０℃付近）で水素と反応して電気抵抗及び光学的性質が変化する特性を有すること、を特徴とする水素センサ材料、該材料をセンサ素子として含む水素センサ部材、及び該水素センサ部材を用いた水素の検知方法。
【効果】室温で作動し、安価に製造できる新規Ｍｇ−Ｐｄ合金系薄膜材料を用いた高感度、高耐久性、高リカバリー性で、高性能の新規水素センサ部材及び水素の検知方法を提供できる。 （もっと読む）

ガス検知半導体素子。ガス検知半導体素子１’は、ＣＭＯＳ回路のソース領域およびドレイン領域と同時に形成されるドープされた単結晶シリコンから成る抵抗性ヒータ６が埋込まれる二酸化シリコン薄層３’を有するシリコン基板２’上に作製される。素子１’は、絶縁層４’によってヒータ６’から分離されたガス感知層９’を備えた検知領域を含む。作製の最終工程の１つとして、基板２’は、検知領域に薄膜を形成するためにバックエッチングされる。ヒータ６’は、熱拡散プレート１６’を包囲する略円形の構造を有し、弓形部分が互いに入れ子になって入り組んだ形態で相互接続されている２つの湾曲した抵抗器２０’，２１’から成る。ＣＭＯＳ回路のソース領域およびドレイン領域と同時にヒータを作製することは、ＣＭＯＳ工程後のバックエッチングおよびガス感知層の蒸着の他、ＩＣ処理工程で既に採用されている作製工程以外の工程を要することなくガス検知半導体素子が製造されるという点で、特に有利である。この円形の形状は、電力損失および加熱面積を一定として膜の大きさを最小にするには最善の解決策であることから、利点である。
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【課題】電気接点数を低減することが可能な、ガスを検出するためのガス・センサ・アレーの作動回路装置を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの信号ラインを有する、センサ・アレー、特にガスを検出するためのガス・センサ・アレーの作動回路装置において、少なくとも１つの信号ラインが少なくとも２つの並列ライン・ブランチに分岐され、少なくとも２つの並列ライン・ブランチ内にそれぞれ、少なくとも１つのセンサと、それぞれのセンサに直列に結合されている少なくとも１つのダイオードとが配置される。この場合、少なくとも２つのダイオードは電気的に逆の遮断方向を有し、少なくとも１つの信号ラインに印加された電位の極性により、少なくとも１つの信号ライン内を流れる電流の少なくとも大部分が、第１の並列ライン・ブランチ内を流れたか、または第２の並列ライン・ブランチ内を流れたかが決定される。 （もっと読む）

【課題】保護膜としての機能を果たしながら応答速度の低下を抑制できる水素透過膜を提供する。また、この水素透過膜を水素センサに適用して、応答速度が速い水素センサおよび水素検知方法を提供する。
【解決手段】本発明の水素透過膜は、リンを添加した酸化珪素からなる。また、本発明の水素センサは、半導体と、半導体の表面の少なくとも一部に付設する水素吸収体と、水素吸収体の露出した面を覆うとともに水素を透過する水素透過膜と、水素吸収体の付設位置を挟んで、半導体に水素吸収体によって導通しないように配置した対になる電極とを具備してなり、水素透過膜がリンを添加した酸化珪素からなり、水素吸収体への水素吸収の有無に対応する半導体の抵抗値変化を対になる電極間で計測することにより、水素の存在を検知可能とされてなる。 （もっと読む）

【課題】水素吸収体の水素吸収能力を高めて雰囲気中の水素ガス濃度を段階的又は連続的に検出可能な水素センサを提供する。
【解決手段】絶縁基板１と、絶縁基板１の上面のほぼ全面に形成された層状の半導体２と、半導体２の上面中央部に形成された水素吸収体３と、半導体２の表面上であって水素吸収体３の左右両側に形成された内側電極５，５と、半導体２の表面上であって内側電極５，５の外側に形成された外側電極６，６とから水素センサを構成する。水素吸収体３を金又は金を主成分とする金とパラジウムとの合金をもって形成する。 （もっと読む）

簡単な構造により、素早いガス応答性を備えながらも検出値が外気の風量の影響を受けることを十分に防止した自動車用ガス検出装置を提供する。この自動車用ガス検出装置（１）は、ガスセンサ（３）と、ガスセンサ（３）を配置するためのセンサ配置孔（１２）を開口させてある本体ケース（４）と、本体ケース（４）のセンサ配置孔（１２）を覆うフィルタ（２１）と、センサ配置孔（１２）とフィルタ（２１）を覆うように本体ケース（４）に装着されるセンサカバー（５）と、センサカバー（５）におけるセンサ配置孔（１２）との対向領域（Ｔ_１）を囲う所定領域（Ｔ_２）内に、本体ケース（４）側に向けて穿設される空気導入孔（１８）とを、具備したものである。
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【課題】 通電部の腐食または漏電を防止して信頼性が高く、寿命の長いガスセンサを提供する。
【解決手段】 被検出ガス内に設置され、被検出ガスを検出する検出部２と、検出部２を回路部２０と電気的に接続するための通電部３とを有するガスセンサ１であって、通電部３は、保持板４を貫通したピン状に形成され、検出部２は、保持板４の一方の面４ｃ側において通電部３に接続され、保持板４の他方の面４ｄは、保持板４の被取付面２２ａに対面し、他方の面４ｄと被取付面２２ａの間の部分と、一方の面４ｃ側から突出した通電部３の突出部分とが、絶縁部材５ａ，５ｂで封止された構成とする。 （もっと読む）