【課題】 校正作業を極めて容易にするための校正ユニット及びこの校正ユニットを使用する分析装置を提供する。
【解決手段】 基板上に電極が設けられた圧電素子又は表面弾性波素子に交流信号を印加して、前記素子上の検出対象物の物性を測定する測定系を校正するために使用する校正ユニットであって、前記校正ユニットは、校正用電極を基板上に備え、前記素子と交換自在となるように構成したことを特徴とする。 （もっと読む）

表面弾性波センサは、ａ）その表面上に交叉指状電極を有する圧電結晶（ニオブ酸リチウム又はタンタル酸リチウムのようなもの）と交叉指状電極の上の第２の圧電層（酸化亜鉛のようなもの）とから成る第１の層状ＳＡＷデバイスと、ｂ）その表面上に交叉指状電極を有する圧電結晶と、交叉指状電極の上の第２の圧電層と、第２の圧電層の上の検体感応表面（金のようなもの）とから成る第２の層状ＳＡＷデバイスとを備える。ｃ）ＳＡＷデバイスの両方は、同じ基板上に製作される。表面弾性波センサは、ｄ）ＳＡＷデバイスの帯域幅を低減するため各ＳＡＷデバイスの交叉指状電極に隣接して配置された反射器を更に備え、ｅ）各ＳＡＷデバイスの共振器回路は、従属性の増幅器を組み込んでいる。
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この発明は、複数の位置からサンプリングされた空気中の粒子を検出する際の検知装置(10)の分野に関する。この発明の一つの態様は、送信機(42,44)および受信機(44,42)間で送信された信号の飛行時間の決定を提供し、少なくとも一つの特有の波形信号を備える第１の信号を送信し、少なくとも一つの特有の波形特性および、本信号の期間内の時間における所定のポイントで導入された波形の変更を備える第２の信号を送信し、送信された第１および第２の信号を受信し、前記変化のポイントが、受信機での導入された波形の性質の到来時間に対応するように、前記第１および第２の受信信号をベストに位置決めすることを備える、第１および第２の受信信号の対応する特有の波形性質間の変化ポイントを決定することを備える。好ましい実施例では、この発明は煙検出システム(10)用に採用されるフローセンサ(24)での超音波信号の飛行時間の正確な決定を与える。

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【課題】 感度が高く小型化が可能な電気回路一体型複合圧電体超音波探触子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 背面負荷材、複合圧電体および整合層を備えた超音波探触子と、該超音波探触子と一体化されたシリコン基材と、該シリコン基材上に載置された電気回路とを備えることを特徴とする電気回路一体型複合圧電体超音波探触子。 （もっと読む）