【課題】 製品化された軸受の転動面直下に現れることにより、突発的な転動疲労寿命の低下に継がる大型介在物を検出・排除した軸受用の清浄鋼を提供する。
【解決手段】 探傷周波数を５〜２５ＭＨｚとした焦点型探触子を用いた水浸超音波探傷を適用し、√ＡＲＥＡが２５０μｍの介在物に対する反射波強度が８０％となるように水浸超音波探傷装置を調整し、反射波強度が８０％の反射波強度を超える非金属介在物を有する軸受用鋼を排除し、√ＡＲＥＡが２５０μｍ超の非金属介在物が存在しない高信頼性軸受用鋼とする。 （もっと読む）

本発明は、音響光学成分の周波数に等しい周波数のポンプ波（ＰＭＰ）と信号波（ＳＩＧ）の音響光学成分の干渉から生じる複素屈折率格子をダイナミックホログラフィック材料（９）に刻む段階を有する音響光学イメージング方法に関する。
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【課題】 静電チャック組立体を製造する最終工程で、あるいは同組立体を実際の装置に取り付ける前に、その静電チャック組立体の接着層の状態を検査し、ボイドなどの欠陥の存在が所定の閾値を越えたとき、その組立体の出荷あるいは使用を停止できる品質管理の方法を確立することである。
【解決手段】 探触子から発信する超音波の焦点を静電チャック組立体の接合部を形成する接着層とその被接合部の界面を目安として照準する手段と、前記照準結果が良好であることを静電チャックの組立体の接合部の主要部で確認する手段とを含む、水浸式の超音波を用いた検査の方法。 （もっと読む）

【課題】 人工疵として角溝８を用いた場合にも広いビーム幅Ｗ_Bを有し、安定して探触受け持ち幅Ｗ_Nよりも広いビーム幅Ｗ_Bを確保することのできる斜角探触子およびそれを用いた超音波探傷装置を提供する。
【解決手段】 超音波を被検査体表面から斜めに入射して超音波探傷を行うための斜角探触子であって、超音波を送信する探触子１の表面形状は、超音波放射側に凸であることを特徴とする斜角探触子である。また、このような斜角探触子を複数配列した超音波探傷装置であって、探触子を配列する方向における該探触子の高さは、超音波の送信と受信とを兼ねる探触子又は超音波の受信のみを担当する探触子においては各探触子の探触受け持ち幅の０．６倍〜０．９倍の範囲、超音波の送信のみを担当する探触子においては各探触子の探触受け持ち幅の０．５倍以下であることを特徴とする超音波探傷装置である。 （もっと読む）