【課題】正確で再現性があり従って計測可能で予測性のある結果が得られ、人間の視覚では見つけることができない単独微細粒子を検出できる漏出粒子検出システムを提供する。
【解決手段】面１７上の清浄部分によって反射された平行光の量及びその面１７上にある粒子によって反射された平行光の量を計測することによって、略平滑面１７上の漏出粒子を検出する方法及び装置であり、この方法及び装置においてはＤＶＤ用やＣＤ用のそれと同様の光ピックアップ１０を使用できる。これにより窪み欠陥も検出できる。 （もっと読む）

【課題】 分光分布に抜けがなく、均一な照度分分布を有し、高速に光量や色の切替が可能で、メンテナンスの不要な長寿命であって、小型化した検査用光源装置を実現する。
【解決手段】 被検査受光素子に対し所定の光を照射する検査用光源装置において、
発光部からの出射光を同一照度分布とすると共に対象とする照射範囲を分割して照射する複数の光学系を有することを特徴とする検査用光源装置。 （もっと読む）

本発明は、分配工程を経て、複数の試料を処理するための、又は複数の製品を生産するための装置及び方法を提供する。この装置及び方法は、製品／試料のリアルタイムの監視を行い、かつ、リアルタイムの制御を行うことができる。この装置及び方法は、液体を、担持基部に添加する前及び添加した後の両方において、監視することができる。この装置及び方法は、処理される各製品／試料の監視を行うことができる。 （もっと読む）

本発明は、下地層からのノイズ光を確実に減らすことができ、良好な欠陥検査を行える欠陥検査装置および欠陥検査方法の提供を目的とする。そのため、上層に周期パターンが形成されたレジスト層を有する被検基板１１に対して、照明光を照射する照明装置１３と、照明光の照射により被検基板から発生した光に基づいて、被検基板の像を形成する結像光学系１４とを備える。そして、照明光の波長は、被検基板から発生した光のうち、レジスト層の表面からの光の強度が、レジスト層の下方に形成された周期パターン層の表面を経た光の強度より大きくなるように設定される。 （もっと読む）

【課題】搬送される対象物を平面分光器を用いて、高い分解能で異種品の検出を可能とすること。
【解決手段】本発明では、搬送手段（11）と、近赤外線の照射手段（４）と、反射光を平面分光する平面分光手段（２）と、撮像手段（３）と、反射光のスペクトルデータを得て主成分分析手法を用いて異種品を検出する解析手段（５）とを備え、前記解析手段（５）は、前記スペクトルデータを平均化および標準化する前処理、波長軸平均化処理、ラグランジェ補間する補間処理、測定位置最適化処理、空間軸平均化処理、一次・二次微分および平滑化する変換処理、予め取得したローディングベクトルデータに基づいて主成分得点を算出する主成分得点算出処理、および異種品の判定を行う判定処理を行う。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の存在だけでなく試料表面の凹凸形状をに検出できる光分解能の光学式走査装置を実現する。
【解決手段】 光源１から試料４に向かう光ビームと試料から光検出器６に向かう反射ビームとを分離するビームスプリッタ２と、試料と光スポットとを相対的に移動させる手段とを具え、試料表面を光スポットにより走査し、試料表面からの反射光により試料の表面領域の情報を検出する光学式走査装置において、ビームスプリッタと光検出器との間の光路中に遮光板を配置し、試料表面における光スポットの走査方向と対応する方向の片側半分の光路を遮光する。遮光板を光路中に配置することにより、試料表面に欠陥の要因となる微小な傾斜面存在する場合、反射の法則により光スポットからの反射光は光軸から変位するので、遮光板により遮光される光量が変化する。この結果、光検出器からの出力信号により凸状欠陥及び凹状欠陥を判別することができる。 （もっと読む）