【課題】 処理部において処理が施される前の基板につき、容易に良否判定を実行することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 光源１７１および受光部１７２のそれぞれは、加熱処理部１６０付近に設けられるとともに、基板Ｗの搬送方向ＡＲ１から見て加熱処理部１６０の上流側に設けられている。光源１７１は、その光軸が基板Ｗの搬送方向ＡＲ１と略垂直となるように、支持部材１７３により、基板Ｗの斜め上方にて支持されている。受光部１７２は、光源１７１の光軸の延長上となるように、支持部材１７４により、基板Ｗの斜め上方にて支持されている。これにより、搬送中の基板Ｗにつき、加熱処理部１６０に搬入されるまでの期間に、該基板Ｗの表面状況を判定し、良否判定を実行できる。 （もっと読む）

【課題】様々な領域を有する様々な被検査対象基板上に存在する微小な粒状異物や薄膜状の異物やスクラッチ等のキズ等などの欠陥を簡単な構成で、高速で、しかも高精度に検査できるようにした欠陥検査装置およびその方法を提供することにある。
【解決手段】照射光学系２０と、検出光学系３０と、画像処理部４０とを備え、前記照射光学系において、第１又は第２の光路に導かれたビーム光束を反射して下方に向けるミラー２６０３と、該ミラーで下方に向けられたビーム光束を平面上所定の傾き方向から傾斜角で被検査対象基板１上にスリット状ビーム９０として集束させるシリンドリカルレンズ２５１及び傾斜ミラー２６０４とを備えた欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】電線端末部に露出させた芯線に素線の欠損があるかないかを確実に検査できる電線端末部の芯線検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の芯線検査装置１００は、左右方向に延びつつ前後方向に移動する電線１の芯線２に向けて、上下方向、斜め前方向および斜め後方向にそれぞれレーザー光を照射する第１の装置本体１０と、前後方向にレーザー光を照射する第２の装置本体３０とを備える。これにより、複数の方向から芯線を検査することができるから、芯線に素線の欠損があるかないかを確実に検査することができる。 （もっと読む）

【課題】
均一に光を照射することができる光源装置及びそれを用いた検査装置と検査方法並びにパターン基板の製造方法を提供する。
【解決手段】
本発明にかかる光源装置は、フッ素又は塩素を含む放電ガス１１０が含まれた放電チャンバー１０４と、放電ガス１１０を放電することによって発生する紫外線を放電チャンバー１０４の外側に取り出すため、放電チャンバー１０４の対向する箇所に設けられた２つの窓部１０５ａ、１０５ｂと、一方の窓部１０５ａの外側に設けられ、放電チャンバー１０４で発生し窓部１０５ａを介して入射した紫外線を放電チャンバー１０４の方向に反射する反射鏡１０９とを備え、放電チャンバー１０４の２つの窓部のうち、反射鏡１０９が設けられていない方の窓部１０５ｂから自然放出増幅光を出射するものである。 （もっと読む）

【課題】
透過パターン上の欠陥か、遮光パターン上の欠陥かを簡便に判別することができる検査装置及び検査方法ならびにパターン基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる検査装置は、フォトマスク３０を透過した透過光と、フォトマスク３０で反射した反射光とを合成して検出する検出器４２と、遮光パターン３１で反射され検出器４２によって検出された反射光の光量が、透過パターン３２を透過して検出器４２によって検出された透過光の光量の１．５倍以上となるよう光量を調整する透過側フィルタ１２、落射側フィルタ２２とを備え、検出器４２からの検出信号と、第１のスレッショルドレベル及び第２のスレッショルドレベルとを比較して、透過パターン３２上に存在する欠陥か、遮光パターン３１上に存在する欠陥かを判別するものである。 （もっと読む）

【課題】青果物を破壊したり傷ませることなく青果物に付着した残留農薬濃度等を測定し、残留農薬濃度等の測定中に作業者が手を煩わせる必要がなく、該測定中に他の作業を行なうことができる残留農薬測定装置を提供する
【解決手段】該青果物２・２・・・が載置される複数の載置台３・３・・・と、それぞれの載置台３・３・・・を支持する複数のアーム１６ａ・１６ａ・・・と、該複数のアーム１６ａ・１６ａ・・・を放射状に支持するアーム基部１６ｂと、該アーム基部１６ｂを支持して段階的に駆動するアーム駆動部１７とを備え、該載置台３の高さと赤外線の焦点位置Ｘの高さとを略一致させた。 （もっと読む）

【課題】 被検物の表面に形成されている薄膜の種類や膜厚に拘わらず、良好な焦点検出を行うことができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】 予め定めた複数の異なる波長域のうち少なくとも１つの波長域を選択し、該波長域の光を焦点検出用の照明光として被検物３０に照射する照明手段(１５〜２２,１２)と、照明光が照射されたときに被検物からの反射光を受光し、該被検物の焦点位置を検出する検出手段(１２,２１,２０,２３,２５)と、照明手段による波長域の選択を制御し、複数の異なる波長域のうち反射光の強度が所定値以上となる波長域を、焦点検出用の照明光の波長域として選択させる制御手段２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 低コストで照明装置の校正を行うことができる照明装置の校正方法を提供すること。
【解決手段】 照明装置３におけるＲＧＢの各色ＬＥＤ群３５１，３５２，３５３から単独で光を出射させ、照度色度校正具６に照射する。照度色度校正具６には、ＲＧＢ各色のカラーパターンが設けられており、当該各色のカラーパターンを介して照明光からＲＧＢの各色成分が抽出され、ＣＣＤカメラ４２によって撮像される。このように、ＣＣＤカメラ４２によって、各色ＬＥＤ群３５１，３５２，３５３の出射光の強度をＲＧＢの各色成分ごとに取得することができ、この取得データに基づいて各色ＬＥＤ群の照度および色度に関する特性を算出することができるので、この特性に基づいて照明装置３の校正を行うことができる。この際、高価な色彩照度計などを用いる必要がないので、低コストで照明装置３を校正することができる。 （もっと読む）

【課題】対象物、特に半導体構造の検査時の系統的測定誤差を低減する方法の提供。
【解決手段】重ね合わせ不良を測定するために提案される測定構造は、照射装置（１２）、前記照射装置（１２）の光線を対象物に集光する対物レンズ（１４）、及び光線をセンサユニット（２０）に結像する鏡筒レンズ（１８）を有している。前記測定構造の光路には、結像面軸方向の倍率色収差の補償が行われるように入射光線の波面を波長別に傾斜させる補償器（２２）が備えられる。 （もっと読む）

【課題】偽造媒体の作成を困難にすると共に、容易且つ高精度に物品の真贋を確認することができる物品確認装置を提供する。
【解決手段】カード等の物品４０を登録するときに、照明光の方向及び撮像方向の少なくとも一方を異ならせて基準の物品表面の再現不能な微細な特徴を含む特徴画像を同一撮像範囲５０について複数個撮像し、該撮像した複数個の特徴画像または該撮像された複数個の特徴画像に含まれる特徴情報を該複数個の特徴画像毎に登録する。確認対象の物品が登録された基準の物品か否かを確認するときには、確認対象の物品表面の特徴画像を、基準の物品を撮像したときと同じ条件で複数個撮像し、該撮像した複数個の特徴画像と基準の物品の複数個の特徴画像とを比較した結果、または該撮像された複数個の特徴画像に含まれる特徴と基準の物品の複数個の特徴画像に含まれる特徴との比較結果に基づいて、確認対象の物品が基準の物品であるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】
従来の解像度を改善して欠陥検出感度を向上させる方法では、微細欠陥と同様に高い空間周波数の構造体である微細パターンが最明部と成っている場合には、微細欠陥の濃淡コントラストが向上すると同時に微細パターンの濃淡コントラストも同時に向上するため、それ以上微細欠陥の検出感度を向上させることができないという問題があった。
【解決手段】
本発明では、照明瞳面に複数の小開口に分割した開口絞りを置き、各小開口の遮光／透光を独立に制御することにより、微細欠陥の濃淡コントラストがより強調されるような入射角のみで被検査物体を照明する。 （もっと読む）

【課題】 卵を所定の処理速度で連続的に搬送させても個々の卵における内部異常の有無を高精度に判定することのできる検卵方法を提供する。
【解決手段】 第１測定部２で検査対象卵Ｅに光を照射し、検出された透過光データを分析して検査対象卵Ｅの光の透過度合いを判定し、判定された検査対象卵Ｅの光の透過度合いを露光時間制御部５に出力する。そして、前記露光時間制御部５が、該検査対象卵Ｅの光の透過度合いに応じた露光時間設定信号を前記第２測定部３の光電変換素子Ｒに出力し、該光電変換素子Ｒが検査対象卵Ｅにおける内部異常の判定のための透過光を受光する際に、前記露光時間制御部５から設定された露光時間で受光する。 （もっと読む）

広帯域のウェーハ検査用の全反射光学システムが提供されている。ウェーハを検査するよう構成されている一つのシステムは、光学サブシステムを含んでいる。この光学サブシステムの全ての導光部品は、実質的に視準された空間内にしか配置されていない一つまたはそれ以上の回折光学部品を除き、反射光学部品である。回折光学部品（複数も可）は、例えば、照明瞳および集光瞳を分離するのに使用できる回折ビームスプリッター要素を含んでいてよい。この光学サブシステムはまた、実質的に視準された空間内に配置されている一つまたはそれ以上の反射光学部品を含んでいてよい。この光学サブシステムは、２０ｎｍより大きい周波帯に亘るウェーハの検査用に構成されている。いくつかの実施形態では、この光学サブシステムは、２００ｎｍより小さく、かつ、２００ｎｍより大きい波長でのウェーハの検査用に構成されている。
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【課題】フィルムに紫外線硬化樹脂が設けられていても、また暗い色のインクを用いていても、像を印刷している最中に、その印刷状態を検査できる印刷方法を提供すること。
【解決手段】転写ローラ１の外周面に形成されたインクの像をフィルムＦに転写する印刷方法において、前記像が形成された転写ローラの外周面に紫外光Ｌ２を照射する第１の工程と、前記光を照射したときに前記インクから発生する蛍光Ｌ３の強度分布を検出する第２の工程と、前記蛍光Ｌ３の強度分布に基づいて前記像の印刷状態を検査する第３の工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】被検物体の反射光の光量を撮像素子の検出範囲内に調整することのできる表面検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】光源からの光を色分解光学系で複数の色光に色分解し、複数の色光の光路にそれぞれ配置された調光手段で光強度を調整する。調光手段で調光された複数の色光は色合成光学系で色合成された後、被検物に照明される。被検物で反射された光の一部は、反射光検出器で複数の色光毎に光強度が検出され、残りの反射光は、撮像部で被検物の反射像が撮像される。反射光検出器で検出された複数の色光の各色光の強度が、所定の値になるように調光手段は制御部によって制御される。 （もっと読む）

【課題】 光透過性塗布膜上への光透過性物質の付着の有無を容易に判定することができる表面状態測定方法及び表面状態測定装置の提供。
【解決手段】 光透過性塗布膜表面における垂直分光表面反射率を求めて、該光透過性塗布膜上の光透過性物質の有無を測定する表面状態測定方法であって、所望波長領域のスペクトル光を放射する光源からの光を共焦点光学系における集束光学系を介して集光し、該集光光束を前記光透過性塗布膜に入射させ、集光光束の合焦点位置を光透過性塗布膜表面とした状態で、該光透過性塗布膜表面からの反射光を、前記集束光学系を介して共焦点光学系に戻して、検出光伝送用ファイバにより分光手段に導いて分光し、得られた分光スペクトル強度に基づき垂直分光表面反射率を算出して、物質固有の垂直分光表面反射率から光透過性物質の存在を測定する表面状態測定方法である。 （もっと読む）

【課題】光学補償フイルム等の僅かな厚みムラや塗工ムラまでを検出できるようにする。
【解決手段】連続的に搬送されるフイルム７の下側の面に光源部１５を配してあり、フイルム７に光を照射する。フイルム７からの透過光を受光する受光器１６は、フイルム７を俯瞰するように配置されており、その光軸Ｐとフイルム７に垂直な基準線（法線）Ｌｎと交差角度θ１が３０°≦θ１≦５０°となっている。また、受光器１６は、基準線Ｌｎを回転中心として搬送方向Ｓを基準に回転角度θ２だけ回転してあり、−６０°≦θ２≦＋６０°を満たすようになっている。 （もっと読む）

【課題】 カラー印刷物における黒色の部分の検査を迅速に行うことができる安価で信頼性の高い印刷物検査装置および方法を提供する。
【解決手段】 印刷物検査装置は、印刷物３０による白色光の反射光を受光するためのカラーＣＣＤラインセンサー１３１を利用して、印刷物３０による赤外光の反射光をも受光し、かかる赤外光の反射光がカラーＣＣＤラインセンサー１３１により検出された値を考慮して、印刷物３０における墨部分と、ＹＭＣの各インクの組み合わせによる黒色の部分とを識別する。 （もっと読む）

【課題】サンプルを検査するための改良された検査装置を提供すること。
【解決手段】放射線ビームを提供するように構成された放射システムと、サンプルの平坦な基準部及びサンプルのパターン形成済み部にそれぞれ向けて送られる第１の照明ビーム及び第２の照明ビームを放射線ビームから生成するように構成されたビームスプリッタと、平坦な基準部及びパターン形成済み部から散乱された放射線の再結合を含む検出ビームを検出するように構成されたビーム検出器とを有する検査装置が開示される。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハあるいはペレット上の欠陥を高速で確実に検出することができる半導体外観検査装置を提供する。
【解決手段】 半導体外観検査装置２ａは、検査対象面１０ａで反射した反射光から、少なくともその半値幅が１００ｎｍ波長帯域の１／２以下からなる狭帯域幅のピークを有する透過光を生成するとともに、１００ｎｍ波長帯域内において、透過光を複数の波長で選択的に出力させるようにした透過特性切替装置１６を備える。透過特性切替装置１６は、その実効光路長が設定中心透過波長の整数倍からなるように厚みが設定された液晶デバイスを少なくとも１つ有する複数の平行ニコル液晶セルおよび垂直ニコル液晶セルを組み合わせてなる波長可変液晶フィルタ１４と、各液晶セルに複数の電位を多段に切り替えて印加する駆動回路１５とから構成される。 （もっと読む）