【課題】 容易に自動で合焦できる表面検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】対物レンズの観察光学系に、試料を対物レンズに合焦させる第１の合焦装置を配置する。さらにこの光学系とは別軸で、対物レンズよりも小さな開口数のレンズを有し、対物レンズと同じ位置に合焦するように調整された第２の合焦装置とが配置されている。
試料に合焦させるためには、まず第２の合焦装置で試料を合焦し、さらに高倍の対物レンズを使用した光学系で合焦する。最初から高倍の対物レンズを使用した光学系で合焦した場合よりも容易に、試料に合焦することができる。 （もっと読む）

【課題】 マトリクス構造における点状の欠陥を容易に検出可能にするマトリクス構造の欠陥検出方法およびマトリクス構造の欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ軸方向に配置された複数のゲート線４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄと、Ｙ軸方向に配置された複数のデータ線３ａ，３ｂとが格子状に交差している構造を有してなるマトリクス構造１００の欠陥検出方法であって、点状欠陥１１を線状の欠陥にして検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 赤外線の照射により被検体の異物部分・異常部分を検出する赤外検査装置において、適切に微小な異物部分・異常部分を検出できるようにする。
【解決手段】 本発明に係る赤外検査装置は、被検体に赤外線を照射する赤外光源と、被検体を透過した赤外線を集光する赤外線レンズと、前記赤外線レンズにより集光された赤外線を電気信号に変換して出力する赤外線カメラと、前記赤外線カメラの出力する電気信号を入力して画像信号に変換し画像信号に基づいて画像を表示するモニタとを備える赤外検査装置であって、被検体の温度を設定温度の近傍に保つ冷却装置を更に備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 長尺状のフィルムワークの幅方向に撮像ユニットを走査し、ワークに形成されたパターンの画像を取得して検査を行なうフィルムワークのパターン検査装置において、フィルムワークに幅方向の湾曲が生じていても、撮像ユニットを湾曲に沿って焦点位置がずれないように走査し、ぼけのないパターン画像を取得する装置を提供すること。
【解決手段】 撮像ユニットの近傍に、ワーク表面までの距離を測定する距離センサを設け、撮像ユニットがワークの幅方向に走査移動されているとき、距離センサから距離情報に基づき、撮像ユニットをフィルムワークまでの距離が焦点距離になるように移動させる。フィルムワークを移動させても良い。 （もっと読む）

【課題】多層平板状被検査体の各層別の明るさに関するデータの分布を求めることにより、異物等の欠陥の存在する層を特定する。
【解決手段】平面視において欠陥の位置が確認されている被検査体２の同欠陥を含む被測定部位に光を照射し、被検査体２に対向したＣＣＤカメラ６を被検査体２に接近させながら、ＣＣＤカメラ６によって、前記被測定部位の各層の鉛直方向の画像データを連続的に取込み、この画像データに基づいて同被測定部位の各層の鉛直方向の明るさに関するデータの分布を求め、前記各層の明るさに関するデータの分布と、予め求められている基準検査体の被検査体２の被測定部位に対応する部位の各層の鉛直方向の明るさに関するデータの分布とを比較し、欠陥が存在する被検査体２の層を特定する。 （もっと読む）

【課題】 装置構成および制御方法が簡単で、低価格の微細パターン修正装置を提供する。
【解決手段】この微細パターン修正装置では、被修正対象ガラス基板８をガラス定盤９の表面に搭載し、ガラス定盤９の裏面に反射膜１０を形成するとともに、リング照明器３を観察光学系２の対物レンズ１１の周囲に配置する。リング照明器３から出射されたリング状の光は、反射膜１０で反射され、ガラス定盤９および被修正対象ガラス基板８の被観察部を透過して対物レンズ１１に入射される。したがって、ガラス定盤９の下方に光源移動機構を設ける必要が無い。 （もっと読む）

【課題】より可変かつよりフレキシブルに実行可能であると共に、常に適正な解像度又は適正なスループットを達成可能なウェハの検査方法及び装置の提供。
【解決手段】ウェハの検査方法であって、以下の工程：ウェハ（６）の表面の少なくとも１つの部分（３５）の照明；画像撮影装置（４）による、前記ウェハ（６）の前記表面（３２）の前記照明された部分（３５）の画像の撮影；前記撮影された画像中の少なくとも１つの画像領域（１７）の選定；及び前記少なくとも１つの画像領域（１７）に基づく、前記画像撮影装置（４）の画像野（８）のサイズの変更を有することを特徴とする。 （もっと読む）