【課題】撮像手段の数を少なくしながらも、高精度に検出することができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物（Ｃ）の外観を検査する外観検査装置において、
検査対象物（Ｃ）を特定方向から見たときの主検査面を撮像するように設置された撮像手段（３）と、該検査対象物（Ｃ）を前記特定方向とは異なる方向から見たときの副検査面の画像を前記撮像手段（３）に取り込むように該副検査面からの光の方向を変更する変更手段（４，５，６，７）とを備え、検査対象物（Ｃ）の副検査面から撮像手段（３）までの第１光路の光路長に検査対象物（Ｃ）の主検査面から該撮像手段（３）までの第２光路の光路長を合わせるために、該第２光路を冗長させる光路冗長手段（１０，１２）を備えた。 （もっと読む）

【課題】複雑な立体形状の羽根車の外観を検査する際に、誤検出が少なく検査精度が高く、形状が異なる多品種の羽根車の検査に短時間で対応することが可能である、外観検査方法及び外観検査装置を提供する。
【解決手段】基準となる羽根車の画像に所定の画像処理を施すことで、照明の不均一となり易い部分を非検査領域として不透明化し検査領域を透明化したマスク画像Ｂを作成し、該マスク画像Ｂを基準となる羽根車の画像に重ねたテンプレート画像を作成しておいて、羽根車１に照明光を照射して撮像した原画像Ａに前記マスク画像Ｂを重ねた合成画像Ｃ（検査用画像）と前記テンプレート画像を画像処理することで、羽根車の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】面照明とルーバー層の効果的な使用により所定の角度を持った平行光源を多数形成でき、例えばレンズの外観上の欠陥を撮像手段に精度良く撮像できて検査の自動化を図ることが可能なレンズ欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象レンズの製造時に発生する傷、割れ、異物、気泡等の欠陥を検査するレンズ欠陥検査装置であって、面照明と、該面照明と検査対象レンズとの間に配置されて面照明から照射される光を多数の平行光源とするルーバー層と、該ルーバー層から照射されて検査対象レンズを透過した光を撮像する撮像手段と、を備えることを特徴とする。ルーバー層は、光透過帯と遮光帯が交互に配置されて面照明から入射する光の拡散を防止する第１ルーバー層と、該第１ルーバー層と直交する状態で配置され光透過帯と遮光帯が交互に配置されて面照明から入射する光の拡散を防止する第２ルーバー層とを備える。 （もっと読む）

【課題】面照明とルーバー層からなる照明手段の使用により所定の角度を持った平行光源を多数形成できると共に、撮像手段のフォーカス位置を最適に設定し、レンズの外観上の欠陥を撮像手段で精度良く撮像して検査の自動化を図ることが可能なレンズ欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象レンズの製造時に発生する傷、割れ、異物、気泡等の欠陥を検査するレンズ欠陥検査装置であって、面照明及び該面照明から照射される光を多数の平行光源とするルーバー層からなる照明手段と、該照明手段から照射されて検査対象レンズを透過した光を撮像する撮像手段と、該撮像手段の検査対象レンズに対するフォーカス位置を調整しつつ撮像データを処理して検査対象レンズの良否を判定する制御手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 検査対象物の高さや、形状などの条件が異なる場合でも、外観検査に必要な高精度な画像情報を取得する。
【解決手段】 検査対象物を撮像する際、ＣＣＤカメラによる撮像部をＺ軸方向に稼動させ、カメラのフォーカスを検査対象物に合わせた後、照明部をＺ軸に稼動させる事により、又 多段ＬＥＤ照明の照度を各々任意設定することにより、最適の照度及び照明、高さを設定し、最適な画像を撮像することができる。又その位置座標や照度をコンピュータ上に記憶し 再現制御することにより、１台の装置にて高さ、形状が異なる検査対象物を検査が可能となる。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置のフットプリントを低く抑える。
【解決手段】液晶パネルユニット１０を固定する検査ステージ２０に対向して撮像手段４０を設ける。検査ステージ２０は、撮像手段４０の中心軸Ｃを通る線型軸Ｙに沿って平行移動させ及びその線形軸Ｙ上に設けた回転軸Ｄ周りに回転移動させる２軸のステージ駆動手段２１を備え、ステージ制御手段２２によって制御される。撮像手段４０はその中心軸Ｃ周りに回転できるようカメラ駆動手段４１を備え、その回転がカメラ制御手段４２によって制御される。ステージ制御手段２２は前記２軸の各移動によりパネルユニット１０から画像を取得しようとするショット位置を撮像手段４０の中心軸Ｃ上に位置合せする機能を有し、カメラ制御手段４２は撮像手段４０を回転させて、各ショット位置におけるパネルユニット１０の液晶電極端子１１の向きに対して撮像手段４０が常に一定の向きとなるように方位合せする機能を有する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物を検査する際の検査条件値の再現性を向上させることができる光学系駆動機構を提供すること。
【解決手段】本発明に係る光学系駆動機構は、検査対象物１の面上の一直線又は一点を半径中心とするタイミングベルト１０ａを内歯とする内歯車１０と、内歯車１０の内歯と嵌合しながら回転するタイミングプーリ９と、タイミングプーリ９を回転させる第１のモータ８ａと、タイミングプーリ９の回転に伴い一直線又は一点を中心に回動し、検査対象物１を検査する検査部とを有する。 （もっと読む）

【課題】被検査体の周期性パターンにおけるムラの有無を容易に判定するものであり、作業者間の習熟度の違いによる検査精度のばらつきを抑える。
【解決手段】被検査体に対して複数の照射角度で検査画像を撮像する工程と、前記検査画像において被検査領域の画素値の最大値と最小値に基づく各照明角度における第１画像特徴量から一枚又は複数枚の検査画像を選択する第１画像解析工程と、前記第１の画像解析工程により選択された検査画像の被検査領域中の画素値のばらつきに基づく第２画像特徴量から特定の検査画像を選択する第２画像解析工程と、前記第１画像解析工程及び第２画像解析工程に基づいて、被検査体におけるムラの有無を判定する評価工程と、を有することを特徴とする欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】周期的パターンを持つ検査対象を、画像のボケや劣化をほとんど生じさせることなくかつパターン周期とＣＣＤ分解能が接近した条件であってもモアレの影響なく検査および観察できる検査装置および観察装置を安価に提供する。
【解決手段】周期的パターンを持つ検査対象を光学的に検査する検査装置であって、検査対象の像を撮像する撮像素子と、少なくとも検査対象からの光を反射及び透過させて分割する光分離手段と、分割した光を導く導光手段と有することで、検査対象の二つの像を撮像素子に導く光学系と、前記検査対象の二つの像のうち少なくとも一方の像の撮像素子上での位置をずらす撮像位置ずらし手段と、を有する検査装置とする。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェーハやガラス基板の外観検査に要するタクトタイムの短縮を図ることのできる自動外観検査装置を提供すること。
【解決手段】対象ワーク（Ｋ）における複数の検査箇所（Ｔ）の外観を自動的に検査する自動外観検査装置（１）であって、対象ワーク（Ｋ）を保持するワーク保持手段（２）と、各検査箇所（Ｔ）に閃光（Ｌ）を照射しながら撮像する照射撮像手段（５，７）と、ワーク保持手段（２）と照射撮像手段（５，７）とを相対移動させる相対移動手段（３）と、照射撮像手段（５，７）により得た検査箇所（Ｔ）の画像に基づいてこの検査箇所（Ｔ）の外観に欠陥が有るか否かを判定する判定手段（９）とを備え、照射撮像手段（５，７）から照射する閃光（Ｌ）は、キセノン放電管と、このキセノン放電管が所定のタイミングで閃光（Ｌ）を発するように制御する制御手段（８）とから得られるように構成した。 （もっと読む）

【課題】コークス炉の炭化室からコークスを押し出す際に生じる押出負荷と、炭化室の炉壁の凹凸の状態との関係を定量的に把握することができるようにする。
【解決手段】炭化室１１の右側及び左側の炉壁１４Ｒ、１４Ｌ全体に亘る凹凸量を示す炉壁３次元プロフィールデータ７０１を、壁面観察装置２００で得られた画像信号を用いて生成する。そして、炉壁１４に登り勾配があることによって、押し出されるコークス１５が受ける抵抗を指標化した抵抗指数ｋを、炉壁３次元プロフィールデータ７０１を用いて求めるようにした。そして、この抵抗指数ｋと押出負荷とに相関があることが確認できた。したがって、押出負荷に影響を与える炉壁１４の状態を定量的に評価することができる。 （もっと読む）

【課題】目視検査を実行できる正確さ及び速度を改善することにより、運転停止期間を短縮し、原子力発電所の操作員にかかる多大な費用を節約する。
【解決手段】容器内目視検査システムなどの撮影システムの定量的画質評価の方法及びシステム５６は、対象１０、撮像装置１８及びコンピュータ５８を有する。対象は、種々に異なる空間解像度及び複数の所定の空間周波数を有する１つ以上の画像特徴を含む。撮像装置は対象１０の画像を撮像するように構成される。コンピュータ５８はプロセッサ、メモリ６０及びコンピュータ実行可能命令を含む。コンピュータ５８は、撮像された画像を受信し、所定の空間周波数に応答して撮像された画像に沿った１つ以上の輝度プロファイルを作成し、１つ以上の輝度プロファイルに応答して変調伝達関数を判定するように構成される。 （もっと読む）

【課題】検査で検出した欠陥の観察を容易に行う。
【解決手段】検査テーブル５は、四角形の基板１をその向かい合う二辺だけで支持する。投光系は、光線を基板１の表面へ斜めに照射しながら、光線を基板１の支持された二辺と垂直な方向へ移動して、光線による基板１の走査を行う。欠陥検出回路２５は、上受光系２０が受光した散乱光から基板１の表面の欠陥を検出する。ＣＰＵ６０は、光線が照射されている基板１の表面上の位置を検出して、欠陥検出回路２５が検出した欠陥の基板１の表面上の位置を検出し、欠陥の基板１の表面上の位置の座標を水平面へ投影した位置の座標へ変換する。観察系移動制御回路８３は、ＣＰＵ６０が変換した位置の座標を用いて観察系移動機構８２を制御し、観察系移動機構８２は、観察系８０を欠陥検出回路２５が検出した欠陥の上方へ移動する。 （もっと読む）

【課題】モアレの発生が抑制される撮像倍率を設定するとともに、表示デバイスの全領域において撮像条件を等しくする。
【解決手段】検査装置１は、撮像距離を変更しつつ、表示デバイス６を複数回撮像する撮像装置３と、第１および第２注目撮像素子配列に含まれる撮像素子から出力される画素値を所定の間隔で抽出し、抽出された画素値のばらつきを示す評価値を撮像画像ごとに算出する分解能評価値算出部１６と、算出された評価値のうち、最もばらつき度合いが小さい最適評価値を特定し、当該最適評価値を算出するに至った最適撮像距離を第１および第２注目撮像素子配列に関して算出するとともに、第１および第２注目撮像素子配列の最適撮像距離の差と、第１および第２注目撮像素子配列に対応する表示デバイス６上の位置の間の距離と、から撮像装置３の光軸に対する表示デバイス６の傾きを算出する補正値算出部１９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ムラのない観察画像を得ることが可能な微細パターン修正装置を提供する。
【解決手段】この微細パターン修正装置では、ガラス定盤９を、各々が水平方向に移動可能に設けられた２枚の副ガラス定盤１０，１１に分割する。観察位置Ｐの下に副ガラス定盤１１のリフタピン孔２２がある場合は、副ガラス定盤１１を移動させてそのリフタピン孔２２を観察位置Ｐから離間させる。したがって、リフタピン孔２２などに起因する観察画像のムラを無くすことができる。 （もっと読む）

【課題】データ容量を抑制しながら全焦点の像を取得可能な光学装置を提供する。
【解決手段】被検物の像を得る観察光学系３と、観察光学系の焦点位置を光軸方向に変位させる変位部４２と、観察光学系によって得られた像を撮影する撮影部３５と、被検物の複数の部分の光軸方向の位置を検出する高さ検出系２と、検出された光軸方向の位置に観察光学系３の焦点位置を合致させて撮影した被検物の像データから当該位置が検出された部分に対応する部分の像データを抽出するデータ抽出部と、高さ検出系において検出された複数の位置に対応して抽出された複数の像データを合成する像データ合成部とを備えて光学装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】ミクロ検査における基板の振動を抑制すると共にマクロ検査の邪魔にならない。
【解決手段】外観検査装置の基板保持機構は、枠状のステージ３に基板２を載置して、基板を目視観察するマクロ検査と拡大観察するミクロ検査とを行う。ステージ３の開口部に設けた桟１７及び固定ピン１７ａとは別に、基板を支持する支持ピン２５と、支持ピン２５を固定した支持バー２４とを設け、支持バー２４を一対のコンベアのベルトに連結し、基板に対して進退させる。マクロ検査時には支持バーと支持ピンはステージの枠状部３ｂに隠れる退避位置に保持し、ミクロ検査時には支持バーと支持ピンは基板の欠陥Ｋまたはその近傍を裏面から支える。 （もっと読む）

【課題】原動機により回転軸を回転させる自動操作と手動により回転軸を回転させる手動操作との切換を簡易な構成で、かつ非常に簡単な操作で行うことができ、また簡易かつ安価な構成で原動機を過負荷から保護することができる駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置１は、被駆動体が接続される回転軸２と、回転軸２に接続可能なハンドル３と、原動機４により回転駆動される駆動輪５とを備えている。駆動装置１は、略半径方向に延びる半径方向孔８に収容された係合ボール９と、係合ボール９を半径方向内側から駆動輪５に押圧する押圧ボール１１とを備えている。係合ボール９は、その半径方向外側への移動により駆動輪５の内周面に形成された凹部５ｃに係合する。駆動装置１は、押圧ボール１１を付勢する圧縮ばね１３と、圧縮ばね１３に抗して押圧ボール１１を押圧して係合ボール９と駆動輪５との係合を解除する押圧棒１４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】円筒体等の被検査物の外周面の異常箇所を検査する外観検査機構において、被検査物がもともと有している窪みと、被検査物の製造後に円周方向に形成されたキズとを分離検出する機構を提供すること。
【解決手段】円筒状又は円柱状の被検査物を回転させてその全周面のキズを検査する外観検査機構において、前記被検査物の長手方向中心上の所定の高さに撮像手段を有しており、前記撮像手段のシャッター速度を通常のシャッター速度より遅くすることによって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】ＮＧとなった箇所のみ目視検査装置で不良箇所の画像を確認することで、迅速で確実性の高い目視検査支援システムを提供する。
【解決手段】第１の検査装置４７より被検査物体を検査した外観状態を示すデータをデータ処理する第１のコンピューター２１と、第１の検査装置４７の検査後の被検査物体を目視検査する目視検査装置４とを備え、目視検査装置４は、被検査物体を載置して該被検査物を固定しＸＹ方向のいずれか一方向にのみ移動可能なテーブルと、被検査物上方に位置し、ズーム機能及び自動絞り機能を有する被検査物を撮像するカメラ５と、テーブルの垂直な面に対して３０°〜６０°の角度で傾斜し且つ前記被検査物の回りを３６０°回転する当該カメラの動きと連動して前記被検査物を照明する少なくとも２個のランプを有する。 （もっと読む）