【課題】検査ヘッドや焦点距離が変更された場合でも、その変更に対応して自己の動作状態を診断できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、検査ヘッド１０から照射された検査光を反射面８１によって検査ヘッド１０に向けて反射できる反射鏡８０と、検査ヘッド１０の移動経路上に配置され、検査ヘッド１０が通過可能な貫通孔６１が形成されたカバー部材６０と、貫通孔６０を開閉できるシャッター部材７１と、を備え、反射鏡８０がシャッター部材７１に設けられており、シャッター駆動機構７２によって反射鏡８０の反射面８１から軸線Ａｘまでの距離を調整する。 （もっと読む）

【課題】検査部内には基板を全面検査するためにＸＹ移動ステージ機構や高速回転機構などの可動部があり、ファンフィルタユニット（以下ＦＦＵ）も、付着異物をゼロにすることは困難である。
【解決手段】本発明は、複数の領域に分割されたファンフィルタユニットと、前記ファンフィルタユニットからの空気を排気するための複数の領域に分割された排気ユニットと、前記ファンフィルタユニットと前記排気ユニットとの間に配置された搬送系とを有し、前記搬送系の動作に応じて、前記ファンフィルタユニットの一部の領域の流量と、前記排気ユニットの一部の領域の流量とを制御することを第１の特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
半導体デバイス等の製造工程中に発生する微小な異物やパターン欠陥を高解像検出するための深紫外光を光源とする装置において、短波長化による光学系へのダメージを検知して、ダメージ部分を退避する手段と、光学系配置の異常を製造時と比較検知して補正する手段とを備え、被検査対象基板上の欠陥を高速・高感度で安定検査できる装置および方法を提供すること。
【解決手段】
光学系の光路内に照明光の強度，収れん状態を検知する手段を設けて、光学系の異常を検知し、異常箇所が光軸と一致しないように退避する手段と、光学系を調整して製造時の光学条件となるように補正するように構成したことにより、検査装置内の光学系の長寿命化と微小欠陥の安定検出を図った。 （もっと読む）

【課題】偏光素子の劣化による欠陥検査の精度低下を的確に把握することができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】ウェハ１０を載置保持するホルダ２０と、ホルダ２０により載置保持されたウェハ１０の表面に照明光を照射する照明光学系３０と、照明光が照射されたウェハ１０の表面からの光を検出する撮像光学系４０と、撮像光学系４０で検出された光に基づいて、ウェハ１０の表面における欠陥の有無を検査する画像処理装置５０と、挿抜可能に設けられた第１の偏光板３２と、第２の偏光素子４２とを有する表面検査装置１において、偏光板３２，４２が前記光路から抜去された状態で前記偏光板３２，４２に検査光を照射する検査用光源部６１，６２と、偏光板３２，４２を透過した検査光の光量を検出する、検査用検出部６３，６４により検出された光量に基づいて偏光素子３２，４２の劣化の有無を判定する判定部６５とを有する。 （もっと読む）

【課題】対象線材の特性や種類に制限なく採用でき、安価で高速走行する線材に対しても検査可能な検査手段を備えた金属線状材の疵検査装置、及び連続加工装置を提供する。
【解決手段】線状材Ｗを軸心として回転する回転体でなり、かつ線状材に直交する照射光を照射する光源部１６と、その照射光と線状材からの反射光が、線状材の横断面視で９０゜を超え１８０゜未満の角度θで受光する位置に配置した受光センサー１７を備えてなる回転基体１１と、その系外に設けられた照射光の供給源、並びに受光センサーによる受光データを解析して表面疵に変換するデータ解析部との系外装置における回転基体との電気的接続が、接触又は非接触方式によるコードレス化によって回路形成されるとともに、回転基体は、金属線状材の送給速度に応じて可変かつ一方向に回転可能に構成したことを特徴とする金属線状材の疵検査装置と、その装置を用いた連続加工装置である。 （もっと読む）

【課題】 積層した複数の透過面のそれぞれにおける異物または欠陥を検査する低コスト、省スペースの検査装置を提供する。
【解決手段】 積層された複数の透過部材を含む被検物における複数の透過面の異物または欠陥に関して検査するために、前記複数の透過面を撮像する撮像装置１１と、前記撮像装置にて撮像した画像を処理して前記異物または欠陥を検出する画像処理部１６とを設ける。前記撮像装置には、積極的に焦点位置を変化させる機構１４、１７か、または１つの光軸に対して複数焦点をもつ光学系をもたせる。前記画像処理部は積層した複数の透過面に付着した異物、大きさ、位置や付着した面を判別する機能を有する。それらの情報を表示する表示部１９および各情報から付着した異物を除去する異物除去装置を設ける。 （もっと読む）

【課題】帯状被検査体に開口を設けたり、溶接線を利用したりして検査性能を診断する場合の不具合を避け、ラインを停止させることなく安定的に検査性能を診断できるようにする。
【解決手段】搬送される鋼板１０２の表面に光を照射する光源１０３と、鋼板１０２からの反射光を受光して撮像するカメラ１０７と、光源１０３と鋼板１０２との間に配置され、光源１０３の光の透過率を変化させることのできる液晶パネル１０５とを備える。表面検査システムの検査性能を診断するときに、鋼板１０２の搬送速度に応じて液晶パネル１０５による投影時間を変えたり、液晶パネル１０５による透過率を変化させて影の輝度を変えたりすれば、様々な大きさや形状、輝度の疵に対する検査性能を保証することができる。 （もっと読む）

光を遮る残渣および／または機能不良に関して光源と光検出器との間の光路が監視される卵キャンドリング方法および装置が提供される。卵をキャンドリングする方法は、光源からの光を卵に照射するステップと、卵を通過する光を光検出器で受けるステップと、卵に関して光検出器で受けた光に対応する出力信号を生成するステップと、光源と光検出器との間の光路が変更されたかどうかを決定するために出力信号を解析するステップとを含む。それぞれの光路が変更されたという決定に応じて、光源および／または光検出器が洗浄されおよび／または機能不良が検査される。光源および／または光検出器の洗浄は、光源および／または光検出器の表面を拭き取ること、および／または、光源および／または光検出器の表面に流体を吹き付けることを含んでもよい。
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