【課題】イオンビームで研磨された試料を固定した試料ホルダはSEM試料台支持部に取り付けるに際して試料ホルダとＳＥＭ試料台支持部との間に取り付けのために用いられて来た中間材を設けることなく取り付けることができ、以って両者間の距離を短くし、試料ホルダをＳＥＭ試料台支持部に近接配置できるようにする。
【解決手段】試料ホルダ２３に試料３の研磨されて観察される面の裏側の面に、ＳＥＭ試料台支持部に設けたおねじ部５３に直接ねじ挿入されるめねじ穴５２を設け、当該おねじ部を当該めねじ部に直接ねじ挿入することによって、試料を固定した前記試料ホルダをSEM試料台を介さずに直接ＳＥＭ試料台支持部に固定される。 （もっと読む）

【課題】 ガラス薄膜化時、表面から数μｍの厚さに到達した時点で、所定の膜厚に到達したことを検知する方法及び所定の膜厚までガラス基板を薄膜化する方法を提供する。
【解決手段】 電子線照射でガラス基板の一方の面の表面から所定の厚みまでポーラス構造を形成した後、基板の他方の面から薄膜化加工を行い、薄膜化加工表面がポーラス構造に到達したときの薄膜加工表面の変化により薄膜化加工表面がポーラス構造に到達したことを検知する方法、該検知方法を用いて基板を所定の膜厚まで薄膜化するガラス基板の薄膜化方法、及び、ガラス基板表面に付着した異物をガラス面側から分析するための薄膜化方法であって、電子線照射によりガラス基板の異物が付着した表面から所定の厚みまでポーラス構造を形成し、該検知方法を用いて所定の膜厚まで薄膜化した後、イオンエッチングにより異物のガラス基板に接する面が露出するまで薄膜化するガラス基板の薄膜化方法。 （もっと読む）

【課題】気相分解−全反射蛍光Ｘ線法における分析精度、感度を高める。
【解決手段】複数の波長を用いた気相分解−全反射蛍光Ｘ線分析において、あらかじめ校正用試料の乾燥痕に対して求められた複数の内標準元素の定量値の相関関係である感度校正直線を利用することによって、被測定試料の乾燥痕中に添加される内部標準用元素を１種類とした場合においても、高い精度で被測定試料の乾燥痕中の元素の定量分析を可能とするものである。 （もっと読む）

【課題】 照射するレーザ光についての光吸収率が比較的低い試料に対しても効率良くレーザアブレートすることができる試料分析方法を提供する。
【解決手段】 この試料分析方法によれば、レーザ光Ｌについての光吸収率が試料１０より高い材料からなる膜２０を試料１０の一表面に形成するため、その膜２０にレーザ光Ｌを照射することで、レーザ光Ｌの吸収率を高くすることができる。このとき、吸収されたレーザ光Ｌのエネルギは熱に変換され、その熱が試料１０に伝わって試料１０がレーザアブレートされるので、レーザ光Ｌについての光吸収率が比較的低い試料１０に対しても効率良くレーザアブレートすることが可能になる。 （もっと読む）

【課題】形状記録と同時に表面付着物を採取でき、しかも採取物の保持性に優れ、保管性・分析作業性の良い転写採取用紙を提供する。
【解決手段】坪量が３０〜５００ｇ／ｍ²であり且つ１０秒コブサイズ度５０〜２５０ｇ／ｍ²である基紙の少なくとも片面に、重合度３００〜２０００の親水性の水溶性高分子を主剤とし耐水架橋剤を添加してなる塗料を、３〜６０ｇ／ｍ²の割合で塗布してなることを特徴とする転写採取用紙。 （もっと読む）

【課題】 試料の断面構造を観察・解析する場合、試料の温度を調整した状態で断面を加工する。
【解決手段】 試料室内で試料の断面を評価する装置であって、該試料を載置する試料ステージと、該試料の温度を調整するための温度調整手段と、該試料の断面加工、及び観察を行うため該試料に対してイオンビームを照射するイオンビーム発生手段と、前記イオンビームの試料観察の照射に応じて前記試料から放出される放出信号を検出する検出手段とを備えている。前記温度調整手段により前記試料を予め設定された温度に調整した状態で、前記イオンビーム発生手段によるイオンビームの照射、及び前記検出手段による放出信号の検出を行う。 （もっと読む）