【課題】 材料を評価のために無駄に消費しない新たな電子部品製造方法を提供すること。
【解決手段】 試料に複数の加工プロセスを施して電子部品を形成する電子部品製造方法において、加工プロセスの終了時に上記試料の一部表面を摘出し、上記一部表面に対して上記加工プロセスでの加工の進捗をモニタまたは検査または解析のうちの少なくともいずれかを行なう工程を含む方法とする。
【効果】 ウェーハなど試料無駄に割断することなく評価でき電子部品の製造歩留りが向上する。 （もっと読む）

【課題】
試料基板内の所望観察領域を試料基板を細かく分離せずに正確に位置出しして試料基板表面から任意の深さの領域についての平面試料を容易に作製することのできる薄片状試料の作製方法及び装置を提供すること。
【解決手段】
集束イオンビーム４の照射によって試料基板１に、該基板表面に対し垂直な溝６と傾斜した溝８とを交差させて形成しクサビ状の試料片９を切り出す試料片摘出工程と、切り出した試料片９を試料ホルダ１２上に固定する工程と、所望の観察領域を含んで試料基板１の表面１５に略平行な薄壁部１８を集束イオンビーム４の照射により形成する工程とにより、薄片状の観察部を有する試料を作製する。 （もっと読む）

本発明は、クリオスタット（５）のミクロトーム（４）のオブジェクトキャリア（３）に設けられたオブジェクト（２）のための温度調節装置（１）であって、オブジェクトキャリア（３）に配置された冷却装置または冷却／加熱装置（７）に通じる運転媒体供給部（６）と、温度制御部とが設けられている形式のものに関する。そのような温度調節装置（１）は、運転媒体供給部（６）がミクロトーム（４）での作業時に障害とならないように、かつ切断精度が可能な限り引き下げられないように形成されるべきである。このことは、運転媒体供給部（６）が、オブジェクトヘッド（１１）の送り運動（９）および切断運動（１０）のためのガイドキャリッジ（８）に配置されていて送り運動（９）の方向に対して平行に方向付けられているガイド（１２）内に摺動可能に支承されて、オブジェクトヘッド（１１）から導き出されていることにより達成される。
（もっと読む）

【課題】
本発明は、試料の内部Ｘ線画像を取得するとともに、電子顕微鏡の機能も実現できるようにする。
【解決手段】
電子鏡筒１の電子線を可動式のターゲット９により遮蔽し、Ｘ線を発生させることで、Ｘ線発生器を電子線発生器と共用させる。これにより試料への照射Ｘ線と照射電子線が同軸上に落射されるため、同一視野で試料内部情報、表面情報の両方を観察することができる。また、試料全体の内部形態情報を示すＸ線画像に目的部位１５の元素分布像を重ねがきして表示することも可能となる。機械的切断手段１０を備えているため、試料内部の電子線画像などを表示することも可能である。 （もっと読む）

【課題】
現在、ウラン染色の代替え技術としていろいろ研究されている方法の何れも、細胞組織内への染色処理液の浸透力が弱く、且つ染色性が悪く、コントラストも低いので実用化が難しい。
【解決手段】
エポキシ樹脂に包埋・重合し薄切した細胞組織を電子染色するに際して、超薄切片をアリザリン水溶液（濃度好ましくは0.05〜10.0％）に浸漬し、これを洗浄後、鉛染色液に浸漬し、これを洗浄することを特徴とする透過電子顕微鏡試料の電子染色法。 （もっと読む）