【課題】
微小な欠陥を検出すること、検出した欠陥の寸法を高精度に計測することなどが求められる。
【解決手段】
光源から出射した光を、調整する照明光調整工程と、前記照明光調整工程により得られる光束を所望の照明強度分布に形成する照明強度分布制御工程と、前記照明強度分布の長手方向に対して実質的に垂直な方向に試料を変位させる試料走査工程と、照明光が照射される領域内の複数の小領域各々から出射される散乱光の光子数を計数して対応する複数の散乱光検出信号を出力する散乱光検出工程と、複数の散乱光検出信号を処理して欠陥の存在を判定する欠陥判定工程と、欠陥と判定される箇所各々について欠陥の寸法を判定する欠陥寸法判定工程と、前記欠陥と判定される箇所各々について、前記試料表面上における位置および前記欠陥の寸法を表示する表示工程と、を有することを特徴とする欠陥検査方法。 （もっと読む）

ランダム偏光ビームの出力を計測するユニットは、個別反射面を有する離間する第１と第２のビームスプリッタを用いて構成してあり、それらは互いに対向し、第１のスプリッタに入射するランダム偏光ビームの一部を逐次反射する構成としてある。ビームスプリッタは、第２のビームスプリッタで反射された出力ビームがランダム偏光ビームの偏光状態とは無関係の出力を有するような大きさおよび形状としてある。 （もっと読む）

本装置は、偏光フィルターセルのアレイであって、各セルが第一の偏光方向を有する第一の偏光フィルター及び第一の偏光方向とは異なる第二の偏光方向を有する第二の偏光フィルターを備えた、アレイと；偏光フィルターのアレイ上に光を向ける光学システムと；それぞれ第一及び第二の偏光フィルターを介して受光した光からデータを生成する第一及び第二の光センサーとを備える。また、本方法は、偏光フィルターセルのアレイ上に光を向けるステップであって、各セルが第一の偏光方向を有する第一の偏光フィルター及び第一の偏光方向とは異なる第二の偏光方向を有する第二の偏光フィルターを有する第二の偏光フィルターを有する、ステップと；それぞれ第一及び第二の光センサーによって第一及び第二の偏光フィルターを介して受光した光からデータを生成するステップと；データに基づいて偏光パターンを導出するステップとを備える。
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【課題】本発明は、波長無依存化を実現する光９０度ハイブリッド回路を提供する。
【解決手段】本発明に係る光９０度ハイブリッド回路は、第１の光スプリッタと接続された第１のアーム導波路及び第２のアーム導波路と、第２の光スプリッタと接続された第３のアーム導波路及び第４のアーム導波路と、第１のアーム導波路と前記第３のアーム導波路とに接続された第１の光結合器と、第２のアーム導波路と前記第４のアーム導波路とに接続された第２の光結合器と、第１のアーム導波路及び第２のアーム導波路から伝送された光の位相差と、第３のアーム導波路及び第４のアーム導波路から伝送された光の位相差との和θの絶対値が、使用する波長帯域内のある波長λ＝λ_Cにおいて、ｍを整数として９０＋３６０ｍ度となり、λ＝λ_Cにおけるｄθ／ｄλの絶対値が最小となるように構成された位相シフト機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】媒質の群速度分散の影響を受けにくく、チャープの影響を受けにくい光学遅延素子を提供し、また、チャープの影響を受け難く広帯域の光パルス計測を行うことができる光計測装置を提供する。
【解決手段】光学遅延素子１０Ａは、透過型の光学遅延素子に代えて反射型の光学遅延素子とし、光学的な遅延を反射距離によって遅延時間を形成し、この反射距離を異ならせることによって遅延時間に時間差を付与するものである。反射型の光学遅延素子によれば、光学素子を光が通過することによる吸収や分散の影響を除くことができるため、媒質の群速度分散による光パルスの時間広がり（チャープ）を無くすことができ、また、広帯域の周波数（波長）に対して光学遅延時間を付与する。 （もっと読む）

【課題】ランダム現象を対象とする計測において、計測器雑音よりも遙かに小さいランダム信号のスペクトルを測定することができるスペクトル測定装置を提供すること。
【解決手段】スペクトル測定装置は、被測定物から到来する波又は物質を検出する第１及び第２検出器１１、１２と、該第１及び第２検出器から出力される信号の相互相関スペクトルを算出する相関器１３、１４、１５と、該相関器から出力される信号を積算する積算器１６とを備える。このとき、２系統の計測系においてランダム信号は互いに同一であり、計測器雑音は互いに統計的に独立（無相関）なので、統計処理によりランダム信号と計測器雑音とを区別することができる。 （もっと読む）

【課題】製造が容易で且つ再現性の高い構造を備えた量子ドット赤外線光検出器を提供することである。
【解決手段】半導体基板と、前記半導体基板の上に形成された、導電性の半導体からなる第１の電極層と、前記第１の電極層の上に形成された前記第１の光電変換層と、前記第１の光電変換層の上に形成された、導電性の半導体からなる第２の電極層と、前記第２の電極層の上に形成された、第２の光電変換層と、前記第２の光電変換層の上に形成された、導電性の半導体からなる第３の電極層からなる赤外線を電気信号に変換する光半導体装置において、前記第１の光電変換層が、前記半導体基板の主面に投影した形状が、第１の方向に長軸を有する第１の量子ドットから成り、前記第２の光電変換層が、前記主面に投影した形状が、前記第１の方向にに交差する第の２の方向に長軸を有する第２の量子ドットから成ること。 （もっと読む）

本発明は、テラヘルツ周波数帯域中に存在する摂動によって光学媒体で誘起される一時的な複屈折の、直接で、非変形の、ワンショット測定方法及び装置に関する。本発明の目的は、ワンショットの測定方法及びワンショットの測定装置を提供することによって先行技術の欠点を軽減することにある。これらは、スペクトル符号化／復号化方式に基づく。そして、それらはすべての短いパルス（UV-NIR）のレーザー光源と互換性がある。この点に関し、本発明は、少なくとも１つのテラヘルツ摂動（６）によって、光学媒体（１２）で誘起される一時的な複屈折のワンショット測定方法を提供し、その方法は、光パルス信号（２）の送信及びスペクトル符号化のステップを含む。符号化ステップは、スーパーコンティニューム（３）の生成を含み、さらに、２つの偏光方向へのスーパーコンティニュームの電界を分解し、その２つの成分の強度I_s及びI_pを同時に測定することによる、媒体（１２）の摂動（６）によって誘起されたスーパーコンティニュームの偏光の楕円率の復号ステップと組み合わされる。 （もっと読む）

【課題】簡単にレーザ発光源の不良品を判別すること。
【解決手段】レーザ発光源（１）に対向してＦＦＰ測定用レンズ（２）、偏光板（３）、カメラ（４）を光軸を合わせて配設し前記光軸の周りに前記偏光板（３）を回動させることにより、前記カメラ（４）が受ける像の変化から前記レーザ発光源（１）の不良品を判別するようにした。 （もっと読む）

【課題】従来よりも干渉信号の強度を大きくできるようにする。
【解決手段】帯域１オクターブ以上の光２ａをその中心波長を境界に長波長成分と短波長成分とに分光するミラー１１と、長波長成分の光をさらに２以上の波長成分に分光するミラー１２₁〜１２_kと、ミラー１２₁〜１２_kにより分光されたそれぞれの波長成分の光を第２高調波に波長変換する第２高調波発生器１５₁〜１５_kと、短波長成分の光と波長変換された２以上の光とを干渉させた干渉信号を合成する偏光子２１とを備える。 （もっと読む）

入射光の偏光状態を検出する為の装置であって、前記入射光の一部が第１の検出器を通過して第２の検出器に進む、少なくとも第１の直線偏光を持つ光を検出する第１の検出器と、少なくとも検出される光の一部が前記第１の偏光と直交する第２の偏光方向を有する、前記第１の検出器の下にあり前記第１の検出器を透過した光を検出する第２の検出器と、を備え、前記第１と第２の検出器で検出される前記第１と第２の偏光を持つ光の比率は、前記入射光が前記第１の検出器に垂直に入射するとき、第１と第２の検出器で異なる。 （もっと読む）