【課題】 基板温度及び基板の温度分布の精度よい測定を、より単純な構成の温度測定装置によって実現すると共に、この温度測定装置を用いることで良質な半導体デバイスを提供する。
【解決手段】 光源２１から半導体基板２に光を照射し、その散乱光を光検出器２２によって検出する。検出された散乱光についてスペクトル分析器２４でスペクトル分析を行い、分析結果から得られる半導体基板２のバンドギャップの大きさに基づくことにより、温度演算部２５ａで半導体基板２の温度を演算する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複雑なハード構成を必要とせず、非接触により高精度で温度を計測できる温度計測方法及装置及びそのような温度計測方法を用いた半導体熱処理装置を提供することを課題とする。
【解決手段】半導体ウェハ３の温度を非接触で計測するため、半導体ウェハ３からの放射光を測定し、放射光の測定結果に基づいて実効放射率を未知変数として推定しながら半導体ウェハ３の温度を演算する。実行放射率の推定及び温度の演算は、拡張カルマンフィルタを用いて行う。 （もっと読む）

本発明は、ＲＴＰシステムにて取り出される少なくとも１つの測定信号、決定すべき状態変数に依存する測定量を用いて、ＲＴＰシステムのモデルから少なくとも１つの状態変数を決定する方法に関する。ここではモデルによって予想される測定量、予想値を用い、上記の測定量および予想値はそれぞれ直流成分および交流成分のコンポーネントを含んでおり、それぞれ少なくとも交流成分をフィルタによって分離して求めて、上記の測定量の交流成分と、上記のモデルによって予想した上記の測定量の交流成分との第１差分を形成し、モデル特性を可変のシステムパラメタに適合させることを目的として、この第１差分を上記モデルにフィードバックすることによって少なくとも１つのモデルパラメタのパラメタ適合化を行い、測定量および予測値から、または交流成分だけ処理した測定量および処理した予想値から第２差分を形成し、モデルシステムの状態と実システムの状態とを一致させることを目的として、この第２差分を上記モデルにフィードバックすることによって、モデルシステムの状態の状態補正を行い、さらに上記モデルにて少なくとも１つの状態変数を取り出す。 （もっと読む）

【課題】加熱対象物の温度を正確に検出でき、トナーを一定の条件の範囲で、記録材に固着できる定着装置を、提供する。
【解決手段】この発明の定着装置（１）および温度制御方法は、検出対象であるローラ（３）に向けて放射線を放射し、ローラから戻された放射線を検出して温度信号を求め、ローラの表面の放射率を、累積画像形成回数、検出位置、放射線放射劣化率の少なくとも１つを用いて特定し、検出された温度信号を、ローラの表面の放射率に基づいて補正して温度データを生成し、生成された温度データに基づいて、ローラの温度を昇温させるための加熱機構（７）に供給する電力を制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 体格を小型化でき、且つ、保護膜としてゲルを適用した場合よりも赤外線センサの受光効率を向上できる赤外線センサ、赤外線式ガス検出器、及び赤外線光源を提供すること。
【解決手段】 基板１１０と、基板１１０に形成されたメンブレン１２０と、少なくとも一部がメンブレン１２０上に形成され、赤外線を受光したときに生じる温度変化に基づいて検出信号を発生する検出素子１３０と、検出素子１３０の少なくとも一部を被覆するようにメンブレン１２０上に形成された赤外線吸収膜１４０とを備える赤外線センサ１００において、検出素子１３０が、その端部に設けられたパッド部１１８を介して外部と電気的に接続された状態で、パッド部１１８及び赤外線吸収膜１４０を含む基板１１０の一面側全面を、パリレンからなる第２の保護膜１５０によって被覆した。 （もっと読む）

【課題】
粉体部品ベッドの粉体温度および粉体供給ベッド領域の温度を正確に検出できるレーザー焼結方法および装置を提供する。
【解決手段】
レーザー焼結方法および装置において、三次元物品の成形中、放射エネルギーをセンサー手段に放射する放射体を処理チャンバー内のセンサー手段の近傍に配し、校正手段によってセンサー手段からの測定値を受信し、受信した検出温度を放射体からの設定放射エネルギー信号と比較し検出温度を調整することにより三次元物品の成形の間センサー手段の校正を行う。この校正を三次元物品の成形中において反復する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成により赤外線極低温背景を形成する赤外線極低温背景放射源装置を提供する。
【解決手段】 赤外線極低温背景放射源装置において、第１内部空間に液体窒素を収容する液体窒素収容手段と、液体窒素収容手段の底面に対向する第１対向部の上面が黒色であり、第１内部空間に配置されて液体窒素収容手段に収容された液体窒素により冷却される黒体手段と、側面が黒色であり、赤外線検知器の入射窓が第１対向部の上面に対向して赤外線検知器の鏡筒が第２内部空間に挿入される遮光用フード手段と、第２内部空間に乾燥空気を送出する乾燥空気送出手段とを具備して構成する。 （もっと読む）