説明

Fターム[2H025AC01]の内容

フォトレジストの材料 (104,520) | 露光エネルギーの種類 (10,978) | 可視光・近紫外線 (3,984)

Fターム[2H025AC01]に分類される特許

2,001 - 2,020 / 3,984


【課題】300℃以下の熱処理でポリイミドであり、かつ熱処理後の耐薬品性が良いパターンを形成する。
【解決手段】本発明によれば、1又は2以上のテトラカルボン酸二無水物と、互いにオルト位にあるアミノ基及びフェノール性水酸基を有する1又は2以上の芳香族ジアミンとが、脱水縮合した構造を有する(A)重縮合物100質量部に対して、(B)感光性ジアゾナフトキノン化合物1〜100質量部、(C)希釈溶剤100〜1000質量部、アルコキシシリル基含有の有機化合物である(D)接着助剤0.1〜10質量部、を含む感光性樹脂組成物が提供される。 (もっと読む)


【課題】高感度かつ高解像度、高残膜率のポジ型感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】アルカリ可溶性樹脂(A)と、一般式(1)で示されるフェノールのナフトキノンジアジドスルホン酸エステル化合物(B)を含むポジ型感光性樹脂組成物。


(式中、Rは炭素数1〜15のアルキレン基、置換アルキレン基、炭素数2〜15のアルケニレン基、置換アルケニレン基である。R〜Rは水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、置換アルキル基、シクロアルキル基、置換シクロアルキル基、アリール基、置換アリール基、炭素数1〜5のアルコキシ基、炭素数1〜5のアシル基、炭素数1〜5のエステル基であり、それぞれ同じでも異なっていても良い。) (もっと読む)


【課題】半導体レジストの保護膜用樹脂の耐水性、アルカリ現像時にはアルカリ現像液への溶解性、更にはレジスト膜上に均一な薄膜を形成できること、また、露光時において、使用される光、特に遠紫外線には透明性が高いこと、それによってレジスト膜への露光の妨げにならない保護膜樹脂の提供。
【解決手段】アルカリ現像液に可溶な基を有する単量体及び疎水性を示す基を有する単量体の溶液とラジカル重合開始剤の溶液をそれぞれ重合温度に昇温された溶媒中へ添加しながら重合することを特徴として製造された、液浸露光法によるリソグラフィに使用される半導体レジストの保護膜用樹脂であり、前記ラジカル重合開始剤が分子中にシアノ基及び芳香族環を含まないラジカル重合開始剤である前記記載の半導体レジストの保護膜用樹脂。 (もっと読む)


【課題】本発明は、硬化物からの反応触媒の溶出ないしはブリードアウトを低減することができる感光性樹脂組成物とその製造方法を提供するものである。
【解決手段】本発明の感光性樹脂組成物は、酸基を有する共重合物と重合性不飽和二重結合を有するエポキシ化合物とを開環付加反応して得られる重合性不飽和二重結合含有ポリマーと、重合性不飽和二重結合を有する三級アミンとを含む。 (もっと読む)


【課題】ダイコート方式の塗布において、高さ均一性に優れた硬化物が得られる硬化性組成物を提供する。
【解決手段】エチレン性不飽和化合物(A成分)、光重合開始剤(B成分)、高粘度の重合性モノマー(C成分)及び溶剤(D成分)を含み、塗布液の粘度μと固形分濃度Cとを用いて表されるレベリング抵抗値(RL=μ×C)が0.01〜0.05の範囲にあり、垂れ抵抗値(RS=μ×C)が0.1以上である硬化性組成物。 (もっと読む)


【課題】欠け欠陥の発生を抑えて細線画像が形成できる感光性組成物を提供する。
【解決手段】黒色着色剤と、光重合開始剤と、pKa3.0以下の酸に由来の基を有する樹脂と、エチレン性二重結合を有する付加重合性モノマーと、を少なくとも含有させる。 (もっと読む)


【課題】タック性が低減された塗布乾燥膜(保護膜)を形成可能で、ハードベーク時の着色がなく、可視光領域での光透過率が良好な保護膜用熱硬化性組成物を提供する。
【解決手段】(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)エチレン性不飽和基を有する化合物、及び(C)光重合開始剤を含有し、前記成分(A)の酸価が80mg−KOH/g以上であり、且つ、前記成分(A)を膜厚1μmで成膜した樹脂膜の0.4重量%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液(25℃)中でのブレークポイントが、10秒以上であることを特徴とする保護膜用熱硬化性組成物。 (もっと読む)


【課題】パターニング性およびパターン形状に優れたFPDのパネル部材を好適に形成することができる無機粉体含有樹脂組成物および無機粉体含有樹脂組成物を用いた転写フィルムを提供すること。およびパターニング性および、パターン形状に優れたFPDのパネル部材を効率的に形成することができるFPD部材の製造方法を提供することにある。
【解決手段】(a)無機粉体、(b)結着樹脂、(c)下記式(1)で表される化合物、(d)溶剤を含有することを特徴とする、無機粉体含有樹脂組成物。ただし下記式(1)において、nは1〜10の整数を表し、R1はn価の有機基を示し、Bはイソシアネート
をブロックする基を表す。
(もっと読む)


【課題】少なくともPB15:6ならびにPV23を含む青色画素形成用の着色剤組成物においても分散安定化させ、コントラストを向上し、表示性能が良好な液晶表示装置、それを実現するために好適なカラーフィルターおよび着色剤組成物を提供することにある。
【解決手段】有機溶媒中に少なくとも第1の顔料と硫酸バリウムとが分散された第1の顔料分散液と、有機溶媒中に少なくとも第2の顔料が分散された第2の顔料分散液とを混合し、次いで有機溶媒中に樹脂が溶解された樹脂溶液を添加してなるカラーフィルター用着色剤組成物の製造方法。 (もっと読む)


【課題】 未反応フェノール類や、低核体成分の含有量が少ないノボラック型フェノール樹脂を、効率的かつ簡易に製造することができる方法を提供する。また、該ノボラック型フェノール樹脂を用いることにより、低核体成分の昇華物による生産ラインの汚染を低減し、生産性を向上させることができるフォトレジスト用フェノール樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 下記(a)工程の後に(b)及び(c)の工程を有することを特徴とするノボラック型フェノール樹脂の製造方法。
(a)フェノール類とアルデヒド類とを縮合反応させてノボラック型フェノール樹脂を得る工程、
(b)ノボラック型フェノール樹脂を、樹脂に対する貧溶媒と良溶媒を使用した溶剤分画法により低核体を除去する工程、
(c)反応系温度を170〜250℃に維持しながら、該反応系温度よりも沸点が低い低沸点化合物を添加して、ノボラック型フェノール樹脂の低核体成分を除去する工程。 (もっと読む)


【課題】直線性に優れ、剥がれや残渣がなく、表示コントラストの優れた良好なブラックマトリクスパターンを基板上に容易に形成することができる着色感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】光重合性化合物(A)と、光重合開始剤(B)と、着色剤(C)と、を含む着色感光性樹脂組成物において、前記光重合性化合物(A)は、下記式(1)で表される化合物を反応させることにより得られる樹脂を含む。


(式中、複数のRは、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜12のアルキル基、ハロゲン原子、または、置換基を有してもよいフェニル基を示し、mは平均値であって、0〜10の数を示す。) (もっと読む)


【課題】パターンの線幅、直進性および各パターンの高さなどの調節が容易であり、同時に透過度に優れてカラーフィルターのOCL形成用に特に適した感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】本発明による感光性樹脂組成物は、カラーフィルターのOCL用感光性樹脂組成物であって、紫外線吸収剤を含むことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】感光性及びアルカリへの溶解性に優れたポリイミド樹脂及び該樹脂を含む組成物及びその使用方法を提供する。
【解決手段】下記3種の繰り返し単位からなり、重量平均分子量(ポリスチレン換算)が5000〜500000であり、アクリル当量が400〜3000であり、且つ、カルボン酸当量が300〜2500であることを特徴とするポリイミド樹脂。


(式中、Xは4価の有機基であり、Yは(メタ)アクリル基、カルボキシル基、及び水酸基から選ばれる少なくも1種の基を有する2価の有機基であり、Zはアクリル基、カルボキシル基、及び水酸基のいずれも有しない2価の有機基であり、Wはポリオルガノシロキサン構造を有する2価の有機基であり、但し、X、Y、Z、Wは、夫々、2種以上の構造であってよく、k、m、nは、夫々、0.2≦k≦1.0、0≦m≦0.8、0≦n≦0.8 を満たす数であり、但し、k+m+n=1である) (もっと読む)


【課題】パターン断面形状が台形形状となる隔壁を製造しうる感光性ペーストを提供する。
【解決手段】[1](A)無機粒子、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)架橋剤、(D)酸発生剤、(E)有機溶媒、(F)(F)下記式(10)で表される化合物
を含有することを特徴とする感光性ペースト。


(式中、Xは炭素数2〜4のアルケニル基を表し、Yは、テトラヒドロフリル基、テトラヒドロピラニル基、ジオキソリニル基およびジオキサニル基からなる群から選ばれる。)
[2][1]の感光性ペーストを用いてなるプラズマディスプレイ用隔壁。
[3][2]の隔壁を備えたプラズマディスプレイ用部材。 (もっと読む)


【課題】露光光源の分光特性が異なる場合でも感度低下が少なく、高感度で保護層を形成可能で、ハードベーク時の着色がなく、可視光領域での光透過率が良好な保護膜用熱硬化性組成物を提供する。
【解決手段】(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)エチレン性不飽和基を2個以上有する化合物、及び(C)光重合開始剤を含有し、波長400nmにおける光透過率が、膜厚1μm当たり90%以上であり、且つ、成分(C)が、310〜370nmに吸収極大波長を有することを特徴とする保護膜用熱硬化性組成物。 (もっと読む)


【課題】薄層化にともなう膜強度の低下によるピンホール故障の発生や現像時のブラシ傷、ブラックマトリクスのかけの発生を防ぐことができる感光性組成物及びそれを用いた感光性転写材料、表示装置用遮光膜及びその形成方法、ブラックマトリクス、遮光膜付基板、カラーフィルタ並びに表示装置の提供。
【解決手段】少なくとも、(I)金属粒子又は金属を有する粒子と、(II)ウレタン基と複数個の(メタ)アクリロイル基とを含む重合性モノマーと、(III)樹脂と、を含有することを特徴とする感光性組成物及びそれを用いた感光性転写材料、表示装置用遮光膜及びその形成方法、ブラックマトリクス、遮光膜付基板、カラーフィルタ並びに表示装置。 (もっと読む)


【課題】露光・現像後の剥離性に優れ、ハードベーク時の着色がなく、可視光領域での光透過率が良好で、熱硬化後の耐薬品性に優れた保護層を形成することが可能な保護膜用熱硬化性組成物を提供する。
【解決手段】(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)エチレン性不飽和基を2個以上有する化合物、及び(C)光重合開始剤を含有し、成分(A)及び成分(B)の総重量に対するエチレン性不飽和基の含有量が、1ミリモル/g以上5ミリモル/g以下であり、且つ、最適露光量で露光して硬化した露光膜の0.4重量%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液(25℃)中での溶解速度が、2.3μm/分以下であることを特徴とする保護膜用熱硬化性組成物。 (もっと読む)


【課題】従来のポジ型レジスト材料を上回る高解像度を有し、露光後のパターン形状が良好であり、更に優れたエッチング耐性を示すポジ型レジスト材料、特に化学増幅ポジ型レジスト材料のベース樹脂として好適な高分子化合物、これを用いたポジ型レジスト材料、及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】少なくとも、下記一般式(1)で示される置換可ヒドロキシスチレンの繰り返し単位および置換可ヒドロキシビニルナフタレンの繰り返し単位を有することを特徴とする高分子化合物。
【化61】
(もっと読む)


【課題】高感度で、良好なパターン形成性を有し、現像性及びガラス支持体との密着性に優れた着色パターンを形成することができ、カラーフィルタの作製に有用な、光硬化性着色組成物及びそれを用いて得られたカラーフィルタを提供する。
【解決手段】スチリル−オキサジアゾール系、ビニル−ハロメチル−s−トリアジン系、2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス−ハロメチル−s−トリアジン系及び4−(p−アミノフェニル)−2,6−ジ−ハロメチル−s−トリアジン系の特定の化合物又は2,4,5−トリフェニルイミダゾリル二重体から選択されるヘテロ環含有光重合開始剤、側鎖にポリ(メタ)アクリレート鎖を有するアルカリ可溶性のグラフト高分子化合物で分散された着色顔料、及び、重合性不化合物を含有する光硬化性着色組成物及びそれを用いて得られたカラーフィルタ。 (もっと読む)


【課題】金属配線等の銅及び銅合金に対して腐食反応を引き起こさず、膜の密着性、感度の良好な電子材料用の感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品を提供する。
【解決手段】ポジ型感光性樹脂組成物は、(A)下記一般式(I)
【化1】


(式中、Xは2価の有機基、Yは4価の有機基、R1は水素又は1価の有機基、mは2〜500の整数であり重合体の繰り返し単位数を表す。)
で表される構造を有するポリベンゾオキサゾール前駆体と、(B)溶媒と、(C)テトラゾール誘導体と、及び(D)光により酸を発生する化合物とを含有する。 (もっと読む)


2,001 - 2,020 / 3,984