【課題】感度が良好で、良好なパターン形状の微細パターンを形成可能なネガ型レジスト組成物、該ネガ型レジスト組成物を用いたパターン形成方法、を提供する。
【解決手段】（Ａ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｂ）カチオン重合性基を持つ化合物、（Ｃ）光カチオン重合開始剤、を含有し、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂が下記一般式（ＳＦ）で表されるスルホンアミド構造を有する繰り返し単位、を含む樹脂であることを特徴とする、ネガ型レジスト組成物およびパターン形成方法。式（ＳＦ）中、＊は結合手を表し、Ｒ^SFは少なくとも１つのフッ素原子を有する有機基を表す。
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【課題】感度が良好で、良好なパターン形状の微細パターンを形成可能で、未露光部の残膜の少ないネガ型レジスト組成物、該ネガ型レジスト組成物を用いたパターン形成方法、を提供する。
【解決手段】（Ａ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｂ）少なくとも１種のカチオン重合性基を持つ化合物、（Ｃ）光カチオン重合開始剤、とを含有するレジスト組成物であって、該レジスト組成物中に異なる複数のカチオン重合性基が存在することを特徴とする、ネガ型レジスト組成物。 （もっと読む）

【課題】酸存在下での極性変化の反応性に優れるポリマーを提供する。
【解決手段】下記一般式で示される構成単位を含むポリマー、


（式中、Ｒ_３は水素又はＣ１〜４のアルキル基であり、Ｒ_４は水素、アルキル基又はフェニル基であり、ｍは１〜４の整数）及び、１〜４個のＣ１〜４アルキル基の置換体を有するアルキルフェノールノボラック樹脂のフェノール性水酸基を２，３−エポキシ−１−プロパノールで変性したポリマーである。更に、これらのポリマーと光酸発生剤とを含有した感光性樹脂組成物である。 （もっと読む）

【課題】酸存在下での極性変化の反応性に優れるポリマーを提供する。
【解決手段】下記式


で表される構造と、グリセリンモノ（メタ）アクリレートとを構成単位として含むポリマー。 （もっと読む）

【課題】耐熱性に優れた液晶表示素子用スペーサーまたは保護膜を製造することができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。また、液晶表示素子用スペーサーの製造に用いる場合にあっては、さらに弾性回復性、ラビング耐性、密着性等の諸性能にも優れたスペーサーを製造することができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、〔Ａ〕（ａ１）不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物よりなる群から選ばれる少なくとも１種を含有してなる不飽和化合物の重合体、〔Ｂ〕特定の構造を有するカリックスアレーン系化合物、ならびに〔Ｃ〕感放射線性重合開始剤を含有する。 （もっと読む）

【解決手段】（Ａ−１）酸を触媒として用いて加水分解性ケイ素化合物を加水分解縮合することにより得られるケイ素含有化合物、
（Ａ−２）塩基を触媒として用いて加水分解性ケイ素化合物を加水分解縮合することにより得られるケイ素含有化合物、
（Ｂ）式（１）又は（２）で表される化合物、
Ｌ_aＨ_bＸ （１）
（ＬはＬｉ，Ｎａ，Ｋ，Ｒｂ又はＣｅ、Ｘは水酸基、又は有機酸基であり、ａは１以上、ｂは０又は１以上）
Ｍ_aＨ_bＡ （２）
（Ｍはスルホニウム、ヨードニウム又はアンモニウムであり、Ａは上記Ｘ又は非求核性対向イオン）
（Ｃ）有機酸、
（Ｄ）環状エーテルを置換基として有するアルコール、
（Ｅ）有機溶剤
を含む熱硬化性ケイ素含有膜形成用組成物。
【効果】本発明の熱硬化性ケイ素含有膜形成用組成物で形成されたケイ素含有中間膜を用いることで、良好なパターン形成ができる。また、フォトレジストパターンを転写可能で、基板を高い精度で加工できる。 （もっと読む）

【課題】高集積且つ高精度な電子デバイスを製造するための高精度な微細パターンを安定的に形成するために、ラインエッジラフネスが小さく、パターン倒れ性能が良好なネガ型現像用レジスト組成物及びこれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ１）特定の脂環炭化水素構造から選ばれる部分構造を有する酸分解性の繰り返し単位を有し、酸の作用により極性が増大し、ネガ型現像液に対する溶解度が減少する第１の樹脂、（Ａ２）酸分解性の繰り返し単位を有し、酸の作用により極性が増大し、ネガ型現像液に対する溶解度が減少し、且つ酸分解性の繰り返し単位の平均含有率が、樹脂（Ａ１）の酸分解性の繰り返し単位の平均含有率とは異なる第２の樹脂、（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物及び（Ｃ）溶剤を含有するネガ型現像用レジスト組成物及びこれを用いたパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】ラインエッジラフネスが小さく、パターン倒れ性能が良好なネガ型現像用レジスト組成物及びこれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）特定の脂環炭化水素構造から選ばれる、異なる部分構造を有する繰り返し単位を少なくとも２種類有し、酸の作用により極性が増大し、ポジ型現像液に対する溶解度が増大し、ネガ型現像液に対する溶解度が減少する樹脂、（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物及び（Ｃ）溶剤を含有するネガ型現像用レジスト組成物及びこれを用いたパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】エポキシ基含有アクリル樹脂を使用しながら高硬度化を実現可能な感光性樹脂組成物、感光性樹脂積層体、及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）エポキシ基含有アクリル樹脂、（Ｂ）光重合開始剤、及び（Ｃ）増感剤を含有してなる感光性樹脂組成物において、（Ｂ）成分として特定構造のオニウム塩を使用し、（Ｃ）成分として１，５−ジヒドロキシナフタレン、２，３−ジヒドロキシナフタレン、及び２，６−ジヒドロキシナフタレンの中から選ばれる少なくとも１種を使用する。 （もっと読む）

【課題】樹脂への溶解性が高く、容易に製造することができる非イオン系i線対応の光酸発生剤等を提供する。
【解決手段】


（式中、xは1から8の整数、yは3から17の整数である。）
で示す光酸発生剤。 （もっと読む）

【課題】レジスト下層膜材料であって、エッチング速度が速く、このためエッチング時間を短縮してエッチング中のレジストパターンの膜減りを少なく、パターンの変形も小さく抑えることが出来る。そのため、パターンの転写を高精度に行うことができ基板に良好なパターンを形成することができるレジスト下層膜材料を提供する。
【解決手段】少なくとも下記一般式（１）で示される繰り返し単位を有する重合体を含むことを特徴とするレジスト下層膜材料。
【化５５】
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【課題】所望の高感度・高解像度およびレジスト膜の環境安定性を持ちつつ、エッチング耐性、現像液に対する溶解速度、感度を向上させることのできるレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のレジスト組成物は、（１）簡便に高収率で得ることが出来る、（２）汎用レジスト溶剤および現像液に可溶である、といった特性を持つフラーレン誘導体を用いることを特徴とする。これにより、溶解速度が著しく向上することから高解像度なパターンが得られ、現像不良などの基板欠陥形成を防止できる。 （もっと読む）

【課題】着色剤の含有比率の濃度の高い成分構成とした場合でも、高い感度を保持し、現像マージン及び現像ラチチュードの良好な現像性を有する光硬化性着色組成物、光学濃度が高く鮮鋭なブラックマトリクス及び高コントラストで高色純度の着色画素を得ることができ、高画質なカラーフィルタ及びこれを用いた液晶表示津装置を提供する。
【解決手段】着色剤とアルカリ可溶性樹脂と重合性化合物と光重合開始剤とを含有する光硬化性着色組成物において、前記アルカリ可溶性樹脂が、側鎖にアルカリ可溶性基と重合性二重結合と下記疎水性基（ａ）及び（ｂ）の少なくとも一つとを有するアクリル系共重合体であることを特徴とする光硬化性着色組成物。
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【課題】表示欠陥、表示ムラを十分に防止し、高品位な画像を表示することができる液晶表示装置の製造が可能な感光性フィルム、感光性樹脂組成物、及び液晶スペーサーの製造方法を提供する。
【解決手段】対向して配設された２枚の基板及びこれら２枚の基板の間に液晶が封入された液晶層を備える液晶表示装置において液晶層の厚さを一定に保つために２枚の基板の間に配設される液晶スペーサーを形成するために用いられる感光性フィルムであって、（１）支持体フィルム２４と、（２）感光性樹脂組成物からなる感光層２２と、（３）保護フィルム２５とをこの順に積層してなり、支持体フィルム２４及び保護フィルム２５は、四角錐形状のビッカース圧子を用いて室温で荷重０．０２Ｎを加えたときの押し込み変形量がそれぞれ６μｍ以下である感光性フィルム。 （もっと読む）

【課題】十分なプロセスマージンを有し、１５００Ｊ/ｍ²以下の露光量で十分なスペーサー形状および膜厚を得ることを可能とし、密着性、ラビング耐性、耐熱性等にも優れ、また、スペーサーの形状、経過時間安定性に優れた表示パネル用スペーサーを形成しうる感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】［Ａ］（ａ１）不飽和カルボン酸および／または不飽和カルボン酸無水物、
（ａ２）オキセタニル基を有する特定の単量体、ならびに、
（ａ３）前記（ａ１）および（ａ２）以外のエチレン性不飽和化合物の共重合体、
［Ｂ］エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、ならびに
［Ｃ］特定Ｏ−アシルオキシム型カルバゾール系化合物を必須成分とする光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物である。 （もっと読む）

【課題】保存安定性に優れた熱硬化性組成物、特に、高温高湿保存条件下においても安定性に優れ感熱型平版印刷版材料に適した熱硬化性組成物を提供すること。また、本発明の熱硬化性組成物を用い、保存安定性に優れた平版印刷版用原版を提供すること。
【解決手段】熱によりスルホン酸を脱離するスルホン酸エステル基を２以上有し、かつ、水酸基、カルボキシ基、アミノ基、アミド基、およびスルホンアミド基からなる群から選ばれる一種の官能基を２以上有する化合物を含有してなる熱硬化性組成物、該熱硬化性組成物を用いた平版印刷版用原版。 （もっと読む）