【課題】複数のスポークを有するスパイダにＥＵＶの斜入射集光器（ＧＩＣシェル）を固定するための調節クリップが開示される。
【解決手段】クリップ１０が備える基体は、スパイダのスポークに固定され、上面を有する。クリップ１０が備えるフォーク部材２０は、端部に端部パッド３６を有する突起３０を２つ保持すると共に、突起３０の端部とは反対側の端部に第１ヒンジ部３８を保持する。ヒンジリーフ６０は基体の上面に固定され、第１ヒンジ部３８と動作可能に係合する第２ヒンジ部６１を有し、フォーク部材２０を回転調節可能にするヒンジが形成される。ＧＩＣシェルは、２つの端部パッド３６によるクリップの自己調節によって光学的に位置合わせされる。ＧＩＣシェルが位置合わせされると、端部パッド３６がＧＩＣシェルの外面に固定される。これにより、クリップは、ＧＩＣシェルをスパイダに対して定位置に固定する剛性支持部材となる。 （もっと読む）

【課題】 監視する対象物を確実に監視することができる反射鏡回転装置を提供すること。
【解決手段】 反射鏡２と、反射鏡２が固定された第１回転軸３と、第１回転軸３を両端で回転可能に支持している第１支持部材４と、第１回転軸３と直交して配置され、第１支持部材４が固定された第２回転軸５と、第２回転軸５を両端で回転可能に支持している第２支持部材６とを含む反射鏡回転装置１である。２つの回転軸３，５周りの回転を組み合わせることによって反射鏡２を上下左右に向けて自由に回転させることができるので、反射鏡２を広範囲の領域に向けることが可能であり、反射鏡２を対象物の動きに対応させて自由に動かすことができ、監視者は反射鏡２を用いてその対象物を確実に視認して監視することができる。 （もっと読む）

【課題】感光体における複数のビームの副走査方向の間隔を調整できる新たな光走査装置を提供する。
【解決手段】ＬＤ４は、ビームＢ１，Ｂ２を放射する。コリメータレンズ６は、ＬＤ４が放射したビームＢ１，Ｂ２を平行光に変換する。シリンドリカルレンズ１４は、コリメータレンズ６により平行光に変換されたビームＢ１，Ｂ２を、副走査方向に集光する。ポリゴンミラー１８は、シリンドリカルレンズ１４により集光されたビームＢ１，Ｂ２を偏向する。ミラー１０は、ビームＢ１，Ｂ２が通過する経路上においてコリメータレンズ６とシリンドリカルレンズ１４との間に設けられ、かつ、シリンドリカルレンズ１４の主点位置からシリンドリカルレンズ１４の焦点距離Ｌだけ離れた位置に設けられている。ミラー１０は、コリメータレンズ６により平行光に変換されたビームＢ１，Ｂ２の進行方向を副走査方向に傾けることができる。 （もっと読む）

【課題】より簡易な構成でカラーレジ補正を行なうことができ、色ずれを抑制することができる光走査装置等を提供する。
【解決手段】レーザー光束ＬＹ，ＬＭ，ＬＣ，ＬＫを出射する複数のレーザー光源５１と、レーザー光束ＬＹ，ＬＭ，ＬＣ，ＬＫが対応する感光体ドラム３１Ｙ，３１Ｍ，３１Ｃ，３１Ｋ上を直線状に走査するように回転多面鏡を移動させる走査手段と、レーザー光束ＬＹ，ＬＭ，ＬＣ，ＬＫが、予め定められた角度に対し小さい角度で入射するように配置する平面反射鏡６２Ｙ，６２Ｍ，６２Ｃ，６２Ｋと、大きい角度で入射するように配置する平面反射鏡６３Ｙ，６３Ｍ，６３Ｃ，６３Ｋとからなる複数の平面反射鏡を備える偏向後光学系と、平面反射鏡６２Ｙ，６２Ｍ，６２Ｃ，６２Ｋおよび平面反射鏡６３Ｙ，６３Ｍ，６３Ｃ，６３Ｋの角度を変更する角度変更手段と、を備えることを特徴とする光走査装置２６。 （もっと読む）

【課題】 組立調整が容易で部品点数も少ない簡便な構成で、どちらの方向の走査線曲がりも調整可能な走査光学装置を提供する。
【解決手段】 半導体レーザとコリメータレンズを具備した光源装置と、光源装置から出射されたレーザ光束を偏向する偏向手段と、偏向手段により偏向されたレーザ光束を感光体上に結像走査する結像光学系と、光学的に偏向手段と感光体の間に配置される直方体の折り返しミラーと、これらを収容する光学箱とを有し、折返しミラーの両端を反射面側とその反対側から挟んで固定する構成であって、反射面側とその反対側から当接する部分とが互いに交差しており、折返しミラーは反射面と平行な平面内でスライド調整可能であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】製造が容易な投影光学系を有する露光装置を提供する。
【解決手段】原版のパターンを投影光学系によって基板に投影して該基板を露光する露光装置において、前記投影光学系は、ミラーアセンブリを含み、前記ミラーアセンブリは、前記投影光学系の光軸を折り曲げる第１反射面を有する第１ミラー部材と、前記光軸を折り曲げる第２反射面を有する第２ミラー部材と、前記第１ミラー部材および前記第２ミラー部材を支持する支持機構とを含み、前記支持機構が位置決めされることによって前記第１ミラー部材および前記第２ミラー部材の相互の位置関係が維持されたまま前記第１ミラー部材および前記第２ミラー部材が位置決めされる。 （もっと読む）

平行光ビーム二次元整列アレイを発生させるビーム整列システムであって、長尺で前縁、第１側縁及び第２側縁のあるベース並びに個別のヨー調整及びピッチ調整が可能な複数個のベース側反射器を有するビーム整列室と、それぞれ光ビームアレイを発生させる複数個の光源アレイと、を備える。本ビーム整列システムでは、光源アレイのうちベース側反射器と対をなすもので生じた光ビームアレイがそのベース側反射器にてビーム整列室の長手方向沿いに反射され、それらの光ビームアレイで平行光ビーム二次元整列アレイが形成される。
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【課題】光学部材としての性能を低下させることなく、複数のミラー要素を保持できる保持装置、光学系、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】入射側フライアイミラー２１は、平面状の設置面４１を有するベース部材４０と、設置面４１に取付面が密着するように配置される複数のミラー要素４２とを備えている。ミラー要素４２は、その収容凹部内に設置面４１上に配置される規制部材４６が収容されることにより第１の方向Ａへの移動が規制される。また、ミラー要素４２は、第２の方向Ｂにおける両側に配置される一対の接触部５０，５１に挟持されることにより第２の方向Ｂへの移動が規制される。さらに、ミラー要素４２は、ベース部材４０側に付勢された状態で固定される。 （もっと読む）

【課題】ヘリオスタットの状態は変化させずに得られる熱エネルギーの調整を図ることができる太陽光集光システムを提供する。
【解決手段】センタミラー１が上下方向に平行移動するため、センタミラー１からの反射光が一点に集光した状態から、センタミラー１を上下に平行移動させると、反射光の集光範囲が広がり、単位面積当たりで得られる熱エネルギーが低下する。従って、集光部の熱エネルギーが大きくなり過ぎる場合は、一部のヘリオスタット７の向きを変えるのではなく、センタミラー１を上下に平行移動させるだけで、その移動量に応じて、熱エネルギーが低下するため、熱エネルギーの調整が容易である。 （もっと読む）

【課題】 例えばＥＵＶ光を用いる露光装置であって、装置を複雑化することなく照明側の位置決め調整を行うことのできる露光装置。
【解決手段】 本発明の露光装置は、光源（１）からの光により反射型のマスク（Ｍ）を照明する照明光学系（ＩＬ）と、マスクのパターンを感光性基板（Ｗ）に投影する投影光学系（ＰＬ）と、照明光学系とマスクとの間の光路中に配置されて、照明光学系からの光を偏向してマスクへ導く反射鏡（３）と、反射鏡の反射面の位置および向きのうちの少なくとも一方を調整する調整機構（１１，１２）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】初期駆動に必要な印加電圧を抑えながら、マイクロミラーを容易に傾斜させる。
【解決手段】トーションバー１４Ａ、１４Ｂを介してマイクロミラー１２が揺動可能に支持されるマイクロミラーデバイス１０において、マイクロミラー１２と一体的に形成された櫛歯形状の可動電極部２０Ａ、２０Ｂに、Ｘ軸に沿ってその先端部がマイクロミラー１２に向けて延びる可動電極２６Ａ_１〜２６Ａ_４、２６Ｂ_１〜２６Ｂ_４を設ける。一方、支持フレーム１６と一体的に形成された櫛歯形状の固定電極部３０Ａ_１、３０Ａ_２、３０Ｂ_１、３０Ｂ_２に、Ｘ軸に沿ってその先端部が支持フレーム１６に向けて延び、可動電極２６Ａ_１〜２６Ａ_４、２６Ｂ_１〜２６Ｂ_２とそれぞれ交互にピッチ間隔ｓで近接配置される固定電極３６Ａ_１〜３６Ａ_４、３６Ｂ_１〜３６Ｂ_４を設ける。 （もっと読む）

【課題】本発明は二軸駆動の光学反射素子において、振動の周波数比を大きくすることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部１と、このミラー部１と支持部２で連結された音叉形振動子３と、この音叉形振動子３と支持部５で連結され、音叉形振動子３およびミラー部１の外周を囲う枠体６と、この枠体６を介して対向し、この枠体６とそれぞれ支持部７で連結される対の音叉形振動子８と、これらの音叉形振動子８とそれぞれ支持部１０で連結された支持体１１とを備え、音叉形振動子３の回転軸１８と音叉形振動子５の回転軸１７とは垂直な関係であって、音叉形振動子８のアーム１４、１５の先端には、それぞれ外側へ突出する突起部１６Ａ、１６Ｂが形成されているものとした。これにより本発明は、二軸駆動の光学反射素子において、振動の周波数比を大きくすることができる。 （もっと読む）

【課題】小型かつ簡単な構成で移動の直進性を確保した光学装置の可動部の駆動装置を提供する。
【解決手段】光学装置の可動部の駆動装置は、可動部を駆動する駆動部と、駆動部の駆動力を可動部に伝達する駆動力伝達部と、駆動力伝達部を直線移動させるための案内部とを有し、案内部は、駆動力伝達部が直線上を移動するために、直線上の移動方向に対し直角方向に働く付勢状態の弾性部を有する。 （もっと読む）

【課題】反射面に歪みが生じることを防止し、面精度を維持することにより、入射されたレーザ光の集光性能の低下や、照射位置のずれが生じることを防止する光学ミラー装置、および光学ミラーの固定方法を提供する。
【解決手段】光学ミラー装置３０は、入射されたレーザ光を照射位置へ反射する反射面３６を備えた光学ミラー３５と、反射面に連なって対をなす側面部３７の両側から光学ミラーを押圧して挟持することにより、光学ミラーを固定する固定手段４１と、固定手段に連結されるとともに回転駆動される駆動軸２４を備える回転駆動手段２３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】長い調整時間を要することなく、非球面ミラーの姿勢調整を適切に行えるようにすること。
【解決手段】曲面ミラー１３を、基軸（鏡軸）をなすＺ軸と直交するＸ軸と、ＸＺ平面において平行な軸線である第１の軸線Ｘａを回動中心として回動可能に保持部材２１に取り付け、第１の姿勢調整手段によって曲面ミラー１３を、第１の軸線Ｘａを回動中心とした任意の回動角姿勢に変更可能に保持部材２１より保持する （もっと読む）

【課題】ミラーがアクチュエータとは異なる角度で回転することができるようにするＭＥＭＳミラーデバイスを提供する。
【解決手段】微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）ミラーデバイスが、（１）ミラー、（２）ミラーの一方の半部に連結された第１の群をなすばね要素、（３）第１の群をなすばね要素に連結された第１のビーム、（４）第１のビームに連結された第１のばね、及び（５）第１のばねに連結された第１の静止パッドを有する。このデバイスは、（６）ミラーのもう一方の半部に並列に連結された第２の群をなすばね要素、（７）第２の群をなすばね要素に連結された第２のビーム、（８）第２のビームに連結された第２のばね、及び（９）第２のばねに連結された第２の静止パッドを更に有する。このデバイスは、第１のビーム及び第２のビームが一斉にミラーを回転させるようにこれらビームを剛性的に相互に連結する第３のビームを更に有する。 （もっと読む）

【課題】画像投影光学ユニットを鉛直方向と水平方向の直交二軸方向に移動させることなく、スクリーン上での画像位置調整ができる画像投影表示装置の調整方法を得る。
【解決手段】スクリーンと直交する方向に画像投影光学ユニットを移動させるステップと、小ミラーをスクリーンと平行な方向と直交する方向の少なくとも一方に移動させるステップとを組み合わせて、画像投影光学ユニットとスクリーンとの間の投影距離（光路長）を変化させずに、スクリーン上で画像位置調整を行う調整方法。 （もっと読む）

【課題】電力消費量を低減させることが可能なミラー駆動機構およびこのミラー駆動機構を具備する撮像装置を提供すること。
【解決手段】光が入射されるミラー２１と、ミラー２１を支持すると共に移動可能に設けられるミラー支持部２２と、ミラー支持部２２に設けられ、または該ミラー支持部２２に対して対向して設けられると共に、磁界を生じさせるためのマグネット２４と、ミラー支持部２２に対して対向して設けられ、またはミラー支持部２２に設けられると共に、電流を流すことにより磁界を生じさせ、マグネット２４との間の磁力によってミラー支持部２２を相対的に移動させるためのコイル２５と、コイル２５に流す電流を制御して、ミラー支持部２２を移動させるための制御手段と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】リアプロジェクション装置の光学系とスクリーンの関係性を決める筐体の組み付け誤差による投写角度のずれによる画像の歪の発生に対して光軸調整を実施することを可能としセット画面額と投写画像の高い組付け精度を実現するリアプロジェクションテレビの折り返しミラーを有する投写レンズの光軸調整装ならびにその調整方法を提供するものである。
【解決手段】折り返しミラー面上の光軸水平面との交線とを回転軸に共通にして、鏡筒出射側レンズ部である第二鏡筒の角度調整と折り返しミラーの角度調整を回転角θに対して、折り返しミラー面上の光軸水平面との交線を回転軸として折り返しミラーの回転1/2θとの関係性に連動して稼働する機構を備えたことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 鏡を駆動する駆動機構とは別に、鏡を支持する機構を別に設けることによって、駆動機構への負荷を軽減したアライメントシステムを提供することを目的とする。
【解決手段】 鏡１の外枠となる鏡支持フレーム２に連結したアクチュエータ３ａ〜３ｆを有するパラレルリンク機構３と、パラレルリンク機構３を取り付けた固定側フレーム４と、固定側フレーム４に対してスライド自在な直動機構９と、鏡１及び鏡支持フレーム２の合計重量と釣り合う重量を有するカウンタウェイト６と、梃子機構５を備えている。梃子機構５は、直動機構９と連結した支点５ａと、鏡支持フレーム２と連結した作用点５ｃと、カウンタウェイト６を固定した力点５ｂを有している。 （もっと読む）